JP7062688B2 - 配線基板、電子装置及び電子モジュール - Google Patents

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Description

本開示は、配線基板、電子装置及び電子モジュールに関する。
電子部品を内部に収容し、当該内部の電子部品を外部の配線に接続して実装するパッケージ状の配線基板がある。配線基板を介して電子部品を電子装置に接続することで、その取り扱い及び配線接続を容易とすることができる。また、電子部品を蓋体により封止することで、電子部品を外部環境から隔離してより安定して動作させることができる。
この配線基板としては、電子部品を収容するための凹部状の収容部を有し、収容部内の電子部品を外部と電気的に接続するために収容部の内外を貫く配線導体が設けられているものが広く用いられている。
また、収容部を封止する蓋体などに金属導体が用いられ、収容部の側壁内に位置した貫通ビアを介して接合された蓋体がこの蓋体とは反対側の面の電極に接続される構成がある。この構成では、当該電極に接地電圧が供給されることで、内部へのノイズの影響が低減される(特開2000-312060号公報および特開2009-111124号公報参照。)。
本開示の一の態様における配線基板は、
第1の面に凹部を有する絶縁基板と、
電気配線構造と、
を備え、
前記絶縁基板のうち前記凹部の開放面と底面とをつなぐ側面をなす枠部は、内部に板状の第1導体部を有し、
前記絶縁基板のうち前記凹部の底面をなす基部は、内部に第2導体部を有し、
前記第1導体部と前記第2導体部とがつながっており、
前記第1導体部と前記第2導体部とは、曲面状に連続している
また、本開示の一の態様における電子装置は、
上記の配線基板と、
前記凹部の内部に位置して前記電気配線構造と接続された電子部品と、
を備える。
また、本開示の一の態様における電子モジュールは、
上記の電子装置と、
当該電子装置が接続されたモジュール用基板と、
を備える。
配線基板を蓋体が外された状態で見た全体斜視図である。 配線基板の底面側から見た斜視図である。 配線基板の平面図である。 電子モジュールの断面図である。 配線導体を含む断面図である。 枠状メタライズ層から外部接続導体までの配線を透視して見た斜視図である。 第1導体部の変形例1について説明する図である。 第1導体部の変形例2について説明する図である。
以下、本開示の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図1A及び図1Bは、本実施形態の配線基板100を蓋体120が外された状態で見た全体斜視図である。図1Aは蓋体120が接合される側の面を見た図であり、図1Bは蓋体120が接合される側とは反対側の面を見た図である。
配線基板100は、絶縁基板110と、蓋体120と、電気配線構造を含む導体部などを有する電子部品収納用パッケージである。絶縁基板110は、枠部110a(側壁)と、基部110bなどを有する。絶縁基板110は、蓋体120が接合される側の面(封止面、z方向について上方側の面)に、凹状にくぼんだ領域である収容部111(凹部)を有する。収容部111には、電子部品150が収容される。枠部110aは、収容部111のうち封止面と重なる開放面及び当該開放面とは反対側の面(電子部品150の載置面)以外を囲う側面(内側面s1)をなす。すなわち、枠部110aは、開放面と載置面s3(くぼんだ領域の底面)との間をつなぐ各面をなし、収容部111と外部環境とを仕切っている。ここでは、内側面s1は、それぞれz方向に平行である。これにより、収容部111の開放面から載置面s3まで広い空間が確保される。枠部110aの蓋体120との接合面となる第1の面s11(開放面側の端面)には、枠状メタライズ層112(枠状の導体層)が位置している。枠状メタライズ層112は、銀ろうなどの封止材を用いて蓋体120と接合されている。特に限定するものではないが、ここでは、この絶縁基板110のサイズは、xy面内で一辺が0.8~10.0mm程度であり、z方向についての厚みが0.2~2.0mm程度である。
基部110bは、収容部111の載置面s3(底面)及びモジュール用基板200への実装面となる第2の面s12(基板底面)をなし、xy面に平行な板状の形態を有する。基部110bは、載置面s3に一対の接続パッド114を有する。外部接続導体116は、当該基部110bの載置面s3とは反対側の第2の面s12に位置している。接続パッド114は、面状であり、基部110bを貫通する貫通導体115(図2B参照)を介して外部接続導体116と電気的に接続されている。
接続パッド114には電子部品150が取り付けられる。電子部品150と接続パッド114との電気的な接続には、導電性接着剤(例えば、銀などの導電性粒子が添加された樹脂)といった接合材160が用いられる。接合材160が熱硬化性のものである場合には、接合材160を予め接続パッド114に塗布し、接続パッド114(接合材160)に対して電子部品150を位置決めして配置した状態で加熱する。これにより、接合材160が硬化して、電子部品150が接合材160を介して接続パッド114に接続される。接続パッド114は、例えば、スクリーン印刷(プリント)などにより載置面s3から凸状に形成される。これにより電子部品150は、収容部111内で載置面s3から離隔して固定される。電子部品150が動作時に振動などを生じる場合には、電子部品150が振動時に載置面s3及び蓋体120に接触せずに収容部111内に収容されるように接続パッド114及び接合材160の厚さが定められればよい。
外部接続導体116は、モジュール用基板200の電極パッド201(図2B参照)に接合される外部電極である。配線基板100及び当該配線基板100に収容された電子部品150を備える電子装置10は、外部接続導体116が接合されたモジュール用基板200(図2B参照)とともに電子モジュール1(図2B参照)に含まれる。電子部品150としては、例えば、水晶発振子又は弾性表面波素子(SAWフィルタ)などが挙げられるが、これらに限られない。その他の用途の圧電素子、容量性素子、抵抗素子、インダクタ及びその他の半導体素子など各種電子部品が用いられてもよい。また、必要に応じて複数の電子部品が一つの収容部111内に収容されるものであってもよい。
絶縁基板110は、絶縁性を有し、セラミック材料、例えば、酸化アルミニウム質焼結体、窒化アルミニウム焼結体、ムライト質焼結体又はガラス-セラミック焼結体などからなる。ここでは、酸化アルミニウム質焼結体(アルミナ質焼結体)であるとして説明する。絶縁基板110の枠部110a及び基部110bは、収容部111の底面高さh1に載置面s3が位置するように一体形成されている。
蓋体120は、導体金属からなり、枠状メタライズ層112に対して接合されることで収容部111を気密封止する。封止には、AuSn又は銀ろうなどの導電性封止部材が用いられる。蓋体120は、接地されることで収容部111内への外部ノイズの伝搬を抑制する。蓋体120は、導電性封止部材、枠状メタライズ層112、配線導体113を介して絶縁基板110の外部接続導体116に接続される。蓋体120に接続されたこの外部接続導体116が接地されることで、蓋体120は接地状態とされる。
枠状メタライズ層112は、導体金属からなる。枠状メタライズ層112は、枠部110aの第1の面s11に例えば印刷等により形成される。
枠状メタライズ層112、接続パッド114及び外部接続導体116などの露出面は、ニッケル及び/又は金によるめっき層で被覆されていてもよい。例えば、露出面にニッケルめっき層が1~20μmの厚みでなされ、このニッケルめっき層上に金めっき層が0.1~3.0μmの厚みでなされる。これにより、露出面の表面の酸化腐食が抑制される。また、めっき層により、絶縁体である絶縁基板110の上面に位置する枠状メタライズ層112と金属導体である蓋体120との接続を容易かつ強固なものとすることができる。
次に、配線基板100における電気配線について説明する。
図2Aは、配線基板100の平面図である。また、図2Bは、図2Aにおいて接続パッド114及び電子部品150を含む断面線X1-X1に沿った電子モジュール1の断面図である。
図2Aに示すように、後に詳述する配線導体113は、枠部110aの内側面s1及び外側面s2の間、並びに基部110bの一部の領域、例えば平面視で、枠部110aと重なる位置から載置面s3にかけて、接地される外部接続導体116に重なって位置している。また、配線導体113は、枠部110aにおいては、絶縁基板110の平面形状における短辺側に位置している。配線導体113は、本実施形態の配線基板100における導体部に含まれる。
図2Bに示すように、電子モジュール1は、モジュール用基板200の電極パッド201にはんだなどの接合部材210を介して電子装置10が接合されたものである。電子装置10(電子モジュール1)において、接続パッド114と外部接続導体116は、基部110bを貫く貫通導体115により接続されている。電子部品150は、外部接続導体116に加えられる電圧及び/又は電流に応じて動作する。接続パッド114、貫通導体115及び外部接続導体116が本実施形態の配線基板100における電気配線構造をなす。
図3は、図2Aの断面線X2-X2に沿った断面図である。
絶縁基板110の内部には、上述のように枠部110aから基部110bにかけて配線導体113が位置している。配線導体113は、ここでは、枠部110aの上部からz方向に伸びる第1導体部113aと、基部110bの内部でx方向に伸びる第2導体部113bとが一体的につながっている。第3導体部113cは、z方向から見た平面視で外部接続導体116と重なって位置し、第2導体部113bとつながっている。
第1導体部113aは、枠部110aの内側面s1又は外側面s2に露出せずに当該枠部110aの内部をz方向に貫通している。第1導体部113aは、第1の面s11の側では、枠状メタライズ層112の裏側(枠部110aとの接触面側)に接続されている。また、第2導体部113bは、第3導体部113cを介して外部接続導体116と電気的に接続されている。これらにより、蓋体120は、枠状メタライズ層112から外部接続導体116まで、絶縁基板110の表面に露出されない配線導体113を介して電気的に接続される。
第1導体部113a及び第2導体部113bの収容部111の側は、コーティング層110cに覆われている。コーティング層110cは、絶縁基板110の材料と同一の材質、すなわち、ここでは酸化アルミニウム質のセラミックペーストにより形成されている。配線基板100において、コーティング層110cは、絶縁基板110の一部として一体的かつ連続的である。
ここでは、第1導体部113aは、任意の接点P1で接する接線m1に対して、z方向について接点P1から離れた部位が接線m1から収容部111の方へ離れる方向に湾曲している。第1導体部113aと枠部110aの内側面s1との距離は、収容部111の底面高さh1における距離L4が、この底面高さh1よりもz方向について第1の面s11の側における距離L1~L3よりも大きい。また、距離L1~L4は、第1の面s11の側から底面高さh1にかけて漸次大きくなっている。ここで、第1の面s11の側とは、底面高さh1から第1の面s11までの範囲のうち、第1の面s11に近い方の所定の部位を意味する。第1導体部113aは、第2の面s12に垂直な直線vに対して傾斜しており、この斜度rは、内側面s1の斜度と比較して大きい。以上のような第1導体部113aの形態は、所定の断面、すなわち、内側面s1、第1の面s11及び第2の面s12と交差しかつ第1導体部113aに沿った断面において現れる。
第2導体部113bは、第1導体部113aに対してなだらかに連続して接続され、収容部111の載置面s3に平行な方向に伸びている。第2導体部113bの広い面は、載置面s3に平行である必要はなく、若干傾いていてもよいし、波打っていたりしていてもよい。
図4は、枠状メタライズ層112から外部接続導体116までの配線を透視して見た斜視図である。
第1導体部113a及び第2導体部113bはそれぞれ板状であって、その広い面が湾曲した曲面形状を有する。すなわち、第1導体部113a及び第2導体部113bは、全体で方向が連続的に変化する曲面形状を有する。第1導体部113a及び第2導体部113bは、広い面がそれぞれ内側面s1及び載置面s3に沿う向きとなっている。ここでいう板状とは、平板状に限られず、湾曲して曲面形状を有するもの(帯状など)を含む。
第1導体部113aは、枠状メタライズ層112に対してy方向に延びた範囲で接続されている。第2導体部113bは、柱状の第3導体部113cに対して十分に広い面積を有する。したがって、枠状メタライズ層112から外部接続導体116までの間は、広い範囲で確実に接続される。また、第1導体部113a及び第2導体部113bは、絶縁基板110の表面に露出されないので、意図しない短絡を生じさせない。また、導体は、露出面にめっき層を被覆させるとセラミック材料などにより形成される絶縁基板110に比して、蓋体120の封止時に用いられる導電性封止部材に対して濡れ性が高い。したがって、蓋体120が接合される際に導体が露出されていないことで、意図しない部分に導電性封止部材が流れて意図しない短絡などを生じさせたり、封止に実際に用いられる導電性封止部材が不足して完全に気密封止されなかったりするのを抑制する。
また、このように導体板が絶縁基板110の内部に埋め込まれることで、当該絶縁基板110の強度が向上する。特に、配線基板100の温度が変化する際に、絶縁基板110と導体である蓋体120及び各配線などとの間で膨張率が異なるので、枠部110aにおいて金属導体を内部に有しない場合、及び金属導体を内部に有していてもビアなどの細い柱状の導体の場合などと比較して、第1導体部113aが当該枠部110aを補強する。特に、枠部110aと基部110bとの境界部(底面高さh1付近)において、内側面s1から配線導体113までの距離が大きくなるように配線導体113(第1導体部113a)が埋め込まれているので、枠部110aに様々な方向の力が加わった場合でも、当該境界部でのクラックの発生などを抑制することができる。このような力は、例えば、絶縁基板110に蓋体120を接続する場合などに生じる。
次に、配線導体113を有する絶縁基板110の製造方法の一例について説明する。
絶縁基板110となるセラミックグリーンシートに貫通孔を設けて導体を注入し、第3導体部113cを形成する。また、第2の面s12に外部接続導体116を形成する。
セラミックグリーンシート上の第3導体部113c上部を含む適切な位置範囲にマスクを用いて第1導体部113a及び第2導体部113bとなるメタライズペーストを印刷塗布(例えば、スクリーン印刷)する。また、メタライズペーストの一部を覆う適切な位置範囲にマスクを用いてセラミックグリーンシートと同一材質のセラミックペーストを印刷塗布(例えば、スクリーン印刷)する。
収容部111及び枠部110aに対応した形状の凹凸を有する加圧治具を用いて、メタライズペースト及びセラミックペーストが塗布されたシートを加圧する。これにより、塗布されたメタライズペースト及びセラミックペーストが収容部111の底面高さh1まで押し下げられ、メタライズペーストのうち第2導体部113bに対応する部分は、コーティング層110cとセラミックグリーンシートの間に挟まって埋設される。また、セラミックグリーンシート、メタライズペースト及びセラミックペーストが変形し、加圧治具の凹部内に充填されて、コーティング層110cとセラミックグリーンシートの間に挟まった第1導体部113aに対応する部分が埋設、形成される。
このようにして、コーティング層110cとセラミックグリーンシートとが一体化して、間に挟まったメタライズペーストが第1の面s11以外では露出されない配線導体113となる絶縁基板110が得られる。また、平面状に印刷塗布されたメタライズペーストが曲面形状を有する第1導体部113a及び第2導体部113bとなる。その後必要に応じて露出面のめっき処理、焼成処理、電子部品150の取り付け、蓋体120の接合などがなされる。
また、電子モジュール1は、電子装置10がモジュール用基板200に実装されて製造される。電子装置10の外部接続導体116は、モジュール用基板200の電極パッド201に対して接合部材210により接合される。
[変形例]
図5A及び図5Bは、配線導体の変形例について説明する図である。図5Aは、変形例1の第1導体部1131の例を示す断面図である。図5Bは変形例2の側面導体1132、1133を透視した部分を含む絶縁基板110の一部を斜視した図である。
図5Aに示す変形例1の第1導体部1131は、第2導体部113b及び/又は第3導体部113cなどと接続されていない。すなわち、第1導体部1131は、電気的に外部接続導体116と接続されておらず、電気回路の一部をなしていないが、枠部110aを補強する。この場合、第1導体部1131は、枠状メタライズ層112に接していなくてもよい。また、ここでは、第2導体部113b及び第3導体部113cがないものとして図示したが、第1導体部1131と別個の第2導体部113b及び第3導体部113cがあってもよい。この場合、両者が全く異なる位置にあってもよいし、第1導体部1131の基部110bにおける延在方向に延長した先に近接して第2導体部113bが位置していてもよい。両者が別個に位置していても、配置位置の軸方向をそろえることで、所望の方向についての応力に対する強度を適切に高めるようにしてもよい。また、ここでは、第1導体部1131と枠状メタライズ層112との接触面近傍(第1の面s11の近傍)において、第1導体部1131が枠部110aの外側面s2の側に折れ曲がっている。この場合、「第1の面の側における凹部の内側面から配線導体までの距離」とは、凹部の底面高さから第1の面s11までの範囲のうち、当該範囲の中央の高さより第1の面s11の側の範囲において第1導体部1131が最も内側面に近くなる部位の距離が採用されればよい。
図5Bに示す変形例2の第1導体部1132、1133は、絶縁基板110の枠部110aのうち隣り合う二辺(短辺側及び長辺側)にそれぞれ位置している。すなわち、絶縁基板110は、枠部110aの内部に第1導体部を複数有していてもよい。また、これら複数の第1導体部の位置(辺)は特には限られない。第1の面s11において配線導体113と枠状メタライズ層112とが接続される位置は適宜変更可能である。
また、第1導体部1132、1133は、枠部110a内において曲面形状を有さず、収容部111の側面となる枠部110aの内側面s1に対して平行である。なお、第1導体部1132、1133は、一つのみが枠状メタライズ層112及び(第2導体部113bを介して)外部接続導体116に接続されている又は接続されていないものであってもよい。あるいは、全ての第1導体部1132、1133が枠状メタライズ層112及び外部接続導体116に接続され又は接続されていないものであってもよい。
以上のように、本実施形態の配線基板100は、第1の面s11に凹状の収容部111を有する絶縁基板110と、電気配線構造(接続パッド114、貫通導体115及び外部接続導体116など)と、を備える。絶縁基板110のうち収容部111の開放面と底面とをつなぐ側面をなす枠部110aは、内部に板状の第1導体部113aを有する。
このように、細長く形成される枠部110aの内部に導体板、すなわち、金属板などが埋もれて存在することで、枠部110aを補強して、製造時、蓋体120の接合時における変形などを低減させることができる。特に、枠部110aのセラミック材料と配線構造をなす金属導体などとの間では熱膨張率が異なっているため、当該セラミック材料による枠部110aの内部に金属導体を有する構造により、このような変形を効果的に低減させることができる。また、第1導体部113aが露出されないので、意図しない短絡の発生などを生じさせず、安定して電子部品150を動作させることができる信頼度の高い配線基板100を提供することができる。
また、第1導体部113aは、曲面形状を有する。これにより、より幅広い応力方向に対して効果的に絶縁基板110(枠部110a)を補強することができる。
また、第1導体部113aは、第1の面s11の側よりも収容部111の底面高さh1の位置の方が、収容部111の内側面s1からの距離が長い。したがって、第1導体部113aを枠部110aの外周側角部から遠ざけつつ、枠部110aの付根部分において内側面s1から第1導体部113aまでの肉厚を大きくすることができる。したがって、例えば、蓋体120を接合する際などに枠部110aに様々な方向の力が加わった場合でも、第1導体部113aの近傍の枠部110aの付根部分にクラックが生じる可能性をより低減させることができる。
また、第1導体部113aは、任意の接線m1に対して、接線m1から収容部111の方へ離れる向きに湾曲している。この形態により、第1導体部113aと枠部110aの内側面s1との間の肉厚を、収容部111の底面高さh1の周辺で大きくとることができる。例えば、逆向きに湾曲していると、収容部111の底面高さh1での肉厚が同一でも、第1の面s11の側への位置の変化量に対する肉厚の減少量は大きくなる。しかしながら、上記実施形態で示した向きに湾曲していることで、第1の面s11側への位置の変化量に対する肉厚の減少量を小さくすることができる。したがって、このよう湾曲した形態により、第1導体部113aと枠部110aの内側面s1との間の肉厚を、枠部110aの付根近傍で大きくすることができる。これにより、枠部110aの付根近傍の部位にクラックが発生する可能性をより低減することができる。
さらに、本実施形態の配線基板100によれば、収容部111の内側面s1から第1導体部113aまでの距離が、第1の面s11の側から収容部111の底面高さh1の部位にかけて漸次大きくなっている。したがって、枠部110aに様々な方向の力が加わったときに、第1導体部113aの近傍に作用する応力が分散されて、特定の箇所に集中しない。これにより、収容部111の底面高さh1から第1の面s11の側の全範囲において、第1導体部113aの近傍の内側面s1にクラックが発生する可能性をより低減できる。
また、本実施形態の配線基板100によれば、第2の面s12に垂直な直線v(法線)を基準とした第1導体部113aの斜度rは、収容部111の内側面s1の斜度よりも大きい。したがって、収容部111の内側面s1が、第2の面s12に対して垂直に近いような構成において、上述したようなクラックが発生する可能性を低減できるという効果が奏される。収容部111の内側面s1が第2の面s12に対して垂直に近い構成では、収容部111の開口端から底面にかけて同様の広さが確保され、収容部111に電子部品150を搭載しやすいという利点がある。
また、本実施形態の配線基板100によれば、絶縁基板110のうち収容部111の底面をなす基部110bは、内部に第2導体部113bを有する。このように、枠部110aだけではなく、基部110bについても同様に補強することができる。
また、本実施形態の配線基板100では、第1導体部113aと第2導体部113bとがつながっている。すなわち、第1導体部113aを第2導体部113bと一体的に形成することで、効果的に配線基板100の補強を行うことができる。
また、本実施形態の配線基板100によれば、絶縁基板110は、収容部111の外側に外部接続導体116を有し、第2導体部113bは、外部接続導体116と電気的に接続されてしている。このように、絶縁基板110の内部の導体自体を配線として用いることができる。また、外部接続導体116が接地されて第2導体部113bが接地状態とされることで、内部の電子部品150に対する外部ノイズの影響を効果的に低減させることができる。特に、第2導体部113bと第1導体部113aとがつながっている場合には、より有効に外部ノイズを遮断することができる。また、第2導体部113bも板状である場合には、配線導体113の断面積が大きくなり、接地の場合を含めて電気回路としての電気抵抗を抑えることができる。
また、本実施形態の配線基板100によれば、第1導体部113aと第2導体部113bとは、曲面状に連続している。これにより、第1導体部113aと第2導体部113bとの接続部分に集中的に力が加わりにくくなり、第1導体部113aと第2導体部113bとの間の断線及びこれに伴う絶縁基板110の割れなどを避けることができる。
また、本実施形態の配線基板100によれば、枠部110aの開放面側の端面上に位置する枠状メタライズ層112を備え、第1導体部113aは、枠状メタライズ層112の枠部110aとの接触面側で当該枠状メタライズ層112と電気的に接続している。これにより、第1導体部113aは、全く露出されずに枠状メタライズ層112と電気的に接続されるので、不要な短絡などを避けることができる。また、枠状メタライズ層112に対して蓋体120を接合する場合に、導電性封止部材が枠状メタライズ層112からはみ出て導体に沿って流れ、絶縁トラブルを生じさせたりするのを防ぐことができる。また、枠状メタライズ層112を外部接続導体116に接続する場合に従来枠部110aに有していたビアホールを形成する必要がないので、薄い枠部110aに貫通孔を形成する位置精度の向上に係る技術及び手間が不要となる。また、ビアホールの形成により強度不足などによる変形が生じるおそれなどを効果的に低減させることができる。
また、本実施形態の電子装置10は、上述の配線基板100と、収容部111の内部に位置して電気配線構造(接続パッド114、貫通導体115及び外部接続導体116など)などと接続された電子部品150と、を備える。このような電子装置10は、電子部品150のサイズに従って効果的に精度よく小型化を図りつつその強度の向上を図ることができる。また、第1導体部113aが接地されることで、厚みが小さい枠部110aでも効果的に外部ノイズに対する耐性を高めることができる。
また、本実施形態の電子モジュール1は、上述の電子装置10と、当該電子装置10が接続されたモジュール用基板200と、を備える。このような電子装置10が用いられることで、モジュール用基板200上により効率的に電子部品及び回路を配置することができる。したがって、電子モジュール1の小型化、軽量化及び高機能化を図ることができる。
なお、上記実施の形態は、例示であり、様々な変更が可能である。
例えば、第1導体部113aの枠部110aの周回方向に沿った方向の長さは、枠部110aの長さより短いものとして説明したが、枠部110aの長さに近い長さのものであってもよい。
また、収容部111の形状は、直方体でなくてもよい。平面視で四角形以外の多角形であってもよいし、直方体ではない四辺形であってもよい。また、枠部110aがなす収容部111の側面、及び基部110bがなす収容部111の底面の一方又は両方が平面でなく、曲面であってもよい。また、側面がテーパー形状であったり途中に段差を有する形状としてもよい。
また、収容部111に収容される電子部品150に応じて接続パッド114、外部接続導体116及びこれらを接続する配線の各々の数、配置及び位置関係が適宜変更されてよい。また、接続パッド114の形状が変更されてもよい。
また、上記実施の形態では、絶縁基板110が単一の面に一つの収容部111を有する場合を例に挙げて説明したが、単一の面に複数の収容部を有していてもよい。また、収容部が複数(例えば表裏両面など)の面(複数の第1の面)に位置してもよい。
また、上記実施の形態では、配線基板100及び蓋体120が直方体形状として説明したが、他の形状であってもよい。また、直方体に対して頂点又は辺などに切り欠きを有していてもよい。
また、上記実施の形態では、蓋体120を配線基板100に含んで説明したが、蓋体120を配線基板100とは別個のものとしてよい。
また、上記実施の形態では、第1導体部113aと第2導体部113bの両方が板状の形状であるとしたが、第1導体部113aのみが板状の形状であってもよい。基部110bについては、枠部110aと比較して十分な面積を有するので、必ずしも板状の導体でなくても十分な強度が得られる。すなわち、第2導体部113bは、太さを有する線状の構成であってもよい。また、第2導体部113bを有しない場合には、第1導体部113aが下方に延長されて外部接続導体116と接続されていてもよい。
また、第1導体部113aが、第1の面s11の側よりも収容部111の底面高さh1の位置の方が、収容部111の内側面s1からの距離が長い形状を有する場合には、第1導体部113aは、板状ではなく、太さを有する線状の構成であってもよい。上記形状のみによっても、枠部110aの付根付近におけるクラックの発生を抑制し、従来の構造よりも強度を上げることができる。
また、上記実施形態では、配線導体113の第1導体部113aと枠部110aの内側面s1との距離が、第1の面s11から収容部111の底面の高さh1にかけて漸次大きくなる構成を示し、また、配線導体113の第1導体部113aが湾曲した構成を示した。また、変形例2として、第1導体部113aが第2の面s12に垂直な構成を示した。しかしながら、配線導体113と枠部110aの内側面s1との距離は、1段階又は複数段階で大きくなる形態としてもよいし、湾曲した形状は省かれてもよい。
また、第1導体部113aの形成は、上記で説明した製造方法によるものに限られない。任意の方法で形成された第1導体部113aであってよい。また、種々の製造方法で製造された場合に、第1導体部113aが必ずしも曲面形状である必要はなく、また、第1導体部113aと第2導体部113bとが曲面状に連続していなくてもよい。
その他、上記実施の形態で示した具体的な構成、その形状、配置、及び位置関係などの具体的な細部は、本開示の趣旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。
本開示の内容は、配線基板、電子装置及び電子モジュールに利用することができる。

Claims (10)

  1. 第1の面に凹部を有する絶縁基板と、
    電気配線構造と、
    を備え、
    前記絶縁基板のうち前記凹部の開放面と底面とをつなぐ側面をなす枠部は、内部に板状の第1導体部を有し、
    前記絶縁基板のうち前記凹部の底面をなす基部は、内部に第2導体部を有し、
    前記第1導体部と前記第2導体部とがつながっており、
    前記第1導体部と前記第2導体部とは、曲面状に連続している
    ことを特徴とする配線基板。
  2. 前記第1導体部は、曲面形状を有することを特徴とする請求項1記載の配線基板。
  3. 前記第1導体部は、前記凹部の内側面からの距離が前記第1の面の側における距離よりも前記凹部の底面高さにおける距離の方が大きいことを特徴とする請求項1又は2記載の配線基板。
  4. 前記第1導体部は、任意の接線に対して前記接線から前記凹部の方へ離れる向きに湾曲していることを特徴とする請求項3記載の配線基板。
  5. 前記第1導体部と前記凹部の内側面との距離は、前記第1の面の側から前記凹部の底面高さの部位にかけて漸次大きくなっていることを特徴とする請求項3又は4記載の配線基板。
  6. 前記第1導体部と前記絶縁基板の前記第1の面とは反対側の第2の面に垂直な直線との斜度は、前記凹部の内側面と前記第2の面に垂直な直線との斜度よりも大きいことを特徴とする請求項3~のいずれか一項に記載の配線基板。
  7. 前記絶縁基板は、前記凹部の外側に外部接続導体を有し、
    前記第2導体部は、当該外部接続導体と電気的に接続されている
    ことを特徴とする請求項1~6のいずれか一項に記載の配線基板。
  8. 前記枠部の前記開放面側の端面上に位置する枠状の導体層を備え、
    前記第1導体部は、前記枠状の導体層の前記枠部との接触面側で当該枠状の導体層と電気的に接続していることを特徴とする請求項1~7のいずれか一項に記載の配線基板。
  9. 請求項1~のいずれか一項に記載の配線基板と、
    前記凹部の内部に位置して前記電気配線構造と接続された電子部品と、
    を備えることを特徴とする電子装置。
  10. 請求項記載の電子装置と、
    当該電子装置が接続されたモジュール用基板と、
    を備えることを特徴とする電子モジュール。
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010098227A (ja) 2008-10-20 2010-04-30 Yamaha Corp 半導体装置の製造方法
JP2017098400A (ja) 2015-11-24 2017-06-01 京セラ株式会社 電子部品収納用基板およびそれを用いた電子部品実装パッケージ

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3245329B2 (ja) * 1995-06-19 2002-01-15 京セラ株式会社 半導体素子収納用パッケージ
JP3699609B2 (ja) 1999-04-28 2005-09-28 京セラ株式会社 電子部品搭載用基板
JP2004179198A (ja) * 2002-11-25 2004-06-24 Shinko Electric Ind Co Ltd セラミックパッケージ
JP4189312B2 (ja) * 2003-12-24 2008-12-03 京セラ株式会社 配線基板
JP4903421B2 (ja) * 2005-02-23 2012-03-28 京セラ株式会社 セラミック容器およびこれを用いた電池または電気二重層キャパシタ
JP2009111124A (ja) 2007-10-30 2009-05-21 Epson Toyocom Corp 電子デバイス及び電子デバイス用パッケージ
EP2506302B1 (en) * 2009-11-26 2021-08-11 Kyocera Corporation Wiring substrate, imaging device and imaging device module
US8866067B2 (en) * 2009-12-24 2014-10-21 Kyocera Corporation Imaging device with an imaging element and an electronic component
CN102893593B (zh) * 2010-06-28 2016-11-23 京瓷株式会社 布线基板及摄像装置以及摄像装置模块
WO2014115766A1 (ja) * 2013-01-22 2014-07-31 京セラ株式会社 電子素子搭載用パッケージ、電子装置および撮像モジュール
JP5823043B2 (ja) * 2013-01-31 2015-11-25 京セラ株式会社 電子素子搭載用基板、電子装置および撮像モジュール
WO2015046209A1 (ja) * 2013-09-27 2015-04-02 京セラ株式会社 蓋体、パッケージおよび電子装置
US9608020B2 (en) * 2013-10-23 2017-03-28 Kyocera Corporation Imaging element mounting substrate and imaging device
JP6276040B2 (ja) * 2014-01-20 2018-02-07 日本特殊陶業株式会社 部品搭載用パッケージの製造方法
DE112016000517T5 (de) * 2015-01-30 2017-10-19 Mitsubishi Electric Corporation Halbleitervorrichtung
KR101943895B1 (ko) * 2015-11-25 2019-01-30 쿄세라 코포레이션 전자 부품 수납용 패키지, 전자 장치 및 전자 모듈

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010098227A (ja) 2008-10-20 2010-04-30 Yamaha Corp 半導体装置の製造方法
JP2017098400A (ja) 2015-11-24 2017-06-01 京セラ株式会社 電子部品収納用基板およびそれを用いた電子部品実装パッケージ

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