JP7053672B2 - 殻付き卵を洗浄するための装置及び方法 - Google Patents
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- 235000013601 eggs Nutrition 0.000 title claims description 277
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims description 43
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 19
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 246
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims description 240
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims description 37
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims description 20
- 238000004064 recycling Methods 0.000 description 10
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 8
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 8
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 6
- 102000002322 Egg Proteins Human genes 0.000 description 5
- 108010000912 Egg Proteins Proteins 0.000 description 5
- 239000012459 cleaning agent Substances 0.000 description 5
- 210000003278 egg shell Anatomy 0.000 description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000002518 antifoaming agent Substances 0.000 description 4
- 230000037361 pathway Effects 0.000 description 4
- 230000009471 action Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 3
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 239000003599 detergent Substances 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 239000006260 foam Substances 0.000 description 2
- 241000272525 Anas platyrhynchos Species 0.000 description 1
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000287828 Gallus gallus Species 0.000 description 1
- 241000286209 Phasianidae Species 0.000 description 1
- 239000005708 Sodium hypochlorite Substances 0.000 description 1
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 1
- 230000000844 anti-bacterial effect Effects 0.000 description 1
- 230000001580 bacterial effect Effects 0.000 description 1
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 235000013305 food Nutrition 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 238000007790 scraping Methods 0.000 description 1
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- SUKJFIGYRHOWBL-UHFFFAOYSA-N sodium hypochlorite Chemical compound [Na+].Cl[O-] SUKJFIGYRHOWBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- A—HUMAN NECESSITIES
- A01—AGRICULTURE; FORESTRY; ANIMAL HUSBANDRY; HUNTING; TRAPPING; FISHING
- A01K—ANIMAL HUSBANDRY; AVICULTURE; APICULTURE; PISCICULTURE; FISHING; REARING OR BREEDING ANIMALS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; NEW BREEDS OF ANIMALS
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
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Description
複数の第1液体噴霧ノズルが前記コンベヤ平面の上方に配置され、各第1液体噴霧ノズルは、液体を第1噴霧方向において第1噴霧標的軸に向かって噴霧するように構成され、前記第1噴霧標的軸は、前記コンベヤ平面において、前記第1液体噴霧ノズルから前記横手方向において第1距離を置いて位置し、これにより、前記第1噴霧方向は、鉛直方向及び前記コンベヤ平面の両方に対して傾斜しており、
複数の第2液体噴霧ノズルが前記コンベヤ平面の上方に配置され、各第2液体噴霧ノズルは、液体を第2方向において第2噴霧標的軸に向かって噴霧するように構成され、前記第2噴霧標的軸は、前記コンベヤ平面において、前記第2液体噴霧ノズルから前記横手方向において第2距離を置いて位置し、これにより、前記第2噴霧方向は、鉛直方向及び前記コンベヤ平面の両方に対して傾斜しており、
横手方向に沿って見た場合、前記第1噴霧方向は前記第2噴霧方向の反対を向き、
前記第1液体噴霧ノズルの列と第2液体噴霧ノズルの列は、前記横手方向において交互に配置され、
前記第1流体噴霧ノズルと前記第2液体噴霧ノズルの各列は、1つの卵経路の上方に配置されるとともに、別の卵経路に位置する離れた噴霧標的軸に液体を噴霧する。
i)卵を卵供給部を介して卵コンベヤに供給するステップであって、前記卵コンベヤは、長手方向において前記卵供給部から卵出口まで延びるとともに、前記長手方向に対して垂直であって実質的に水平である横手方向を有し、前記長手方向及び前記横手方向はコンベヤ平面を規定し、卵の列を前記装置の前記長手方向において案内するための複数の経路が規定される、ステップと、
ii)前記卵を前記長手方向において搬送して洗浄ユニットを通過させるステップと、
を備える殻付き卵を洗浄するための方法であって、
前記ステップii)は、
a)前記洗浄ユニット内の前記卵を、前記コンベヤ平面に対して非垂直の角度で延びる第1噴霧方向において液体を噴霧する少なくとも1つの第1液体噴霧ノズルからの液体ジェットにさらすステップと、
b)前記洗浄ユニット内の前記卵を、前記コンベヤ平面に対して非垂直の角度で延びる第2噴霧方向において液体を噴霧する少なくとも1つの第2液体噴霧ノズルからの液体ジェットにさらすステップと、
を含み、
各液体噴霧ノズルは、1つの卵経路の上方に配置されるとともに、他の卵経路上の卵に向かって液体を噴霧し、
前記ステップa)とb)は繰り返される、方法が提供される。
Claims (15)
- 卵供給部(2;102)と、卵出口(3;103)と、卵コンベヤ(4;104)と、洗浄ユニット(6)を含む洗浄領域と、を備える殻付き卵(126;226)を洗浄するための装置において、
前記卵コンベヤ(4;104)は、長手方向において前記卵供給部(2;102)から前記卵出口(3)まで延びるとともに、前記長手方向(L)に対して垂直であって実質的に水平である横手方向(T)を有し、前記長手方向及び前記横手方向はコンベヤ平面(222)を規定し、卵の列を前記装置の前記長手方向において案内するための複数の卵経路が規定されており、
前記洗浄ユニット(6)は、複数の液体噴霧ノズル(129、130;229)と、液体を前記液体噴霧ノズルに供給するための液体分配システム(8;108)と、を備え、 前記液体噴霧ノズルは、前記卵コンベヤの前記長手方向に延びる列に配置され、複数の当該列は、前記横手方向において互いに距離を置いて配置されており、
複数の第1液体噴霧ノズル(129;229)が前記コンベヤ平面(222)の上方に配置され、各第1液体噴霧ノズルは、液体を第1噴霧方向(135;235)において第1噴霧標的軸(124;224)に向かって噴霧するように構成され、前記第1噴霧標的軸は、前記コンベヤ平面において、前記第1液体噴霧ノズルから前記横手方向(T)において第1距離(d4)を置いて位置し、これにより、前記第1噴霧方向は、鉛直方向及び前記コンベヤ平面の両方に対して傾斜しており、
複数の第2液体噴霧ノズルが前記コンベヤ平面の上方に配置され、各第2液体噴霧ノズルは、液体を第2噴霧方向(136)において第2噴霧標的軸(125)に向かって噴霧するように構成され、前記第2噴霧標的軸は、前記コンベヤ平面において、前記第2液体噴霧ノズルから前記横手方向において第2距離を置いて位置し、これにより、前記第2噴霧方向は、鉛直方向及び前記コンベヤ平面の両方に対して傾斜しており、
前記横手方向に沿って見た場合、前記第1噴霧方向は前記第2噴霧方向の反対を向き、
前記第1液体噴霧ノズルの列と前記第2液体噴霧ノズルの列は、前記横手方向に沿って交互に配置され、
前記第1液体噴霧ノズルと前記第2液体噴霧ノズルの各列は、1つの卵経路の上方に配置されるとともに、別の卵経路に位置する離れた噴霧標的軸に液体を噴霧する、
装置。 - 前記第1液体噴霧ノズルと前記第2液体噴霧ノズルの各列は、卵経路の鉛直方向上方に位置する液体分配パイプに配置される、
請求項1に記載の装置。 - 前記第1液体噴霧ノズルと前記第2液体噴霧ノズル(129、130;229)のうちの少なくともいくつかは、液体を、フラットな形状のジェットで噴霧するように構成されたフラットファンノズルであり、前記ジェットの中心は前記第1噴霧方向および前記第2噴霧方向(135、136;235)を規定し、前記ジェットは少なくとも第1ジェット画定方向(237)及び第2ジェット画定方向(238)により画定され、
前記第1ジェット画定方向は、第1端点(239a)において前記コンベヤ平面(222)と交差し、前記第2ジェット画定方向は、第2端点(239b)において前記コンベヤ平面と交差し、
前記第1端点と前記第2端点とは互いに離間している、
請求項1又は2に記載の装置。 - 前記第1噴霧方向(135、235)は、鉛直方向に対して10乃至80度の角度(A)で傾斜している、及び/又は前記第2噴霧方向(136)は、鉛直方向に対して10乃至80度の角度(A)で傾斜している、
請求項1乃至3のいずれかに記載の装置。 - 前記第1液体噴霧ノズル(129、229)と前記第2液体噴霧ノズル(130)は、前記横手方向(T)に延びる各横列(c1、c2)において配置され、
複数の当該横列は、前記長手方向(L)において互いに距離(d6)を置いて配置される、
請求項1乃至4のいずれかに記載の装置。 - 前記第1ジェット画定方向(237)と前記第2ジェット画定方向(238)との間の前記フラットファンノズルの噴霧角度(C)は、10乃至120度である、
請求項3に記載の装置。 - 前記液体噴霧ノズル(129、130;229)のうちの少なくともいくつかは、フラットファンノズルであり、
前記第1端点及び前記第2端点(239a、239b)は、前記横手方向(T)に沿って見た場合に前記各ノズルから異なる距離(d7、d8)を置いて位置するとともに、前記長手方向(L)において互いに離間している、
請求項3に記載の装置。 - 前記第1液体噴霧ノズル及び前記第2液体噴霧ノズル(129、130;229)の噴霧圧力は調整可能である、
請求項1乃至7のいずれかに記載の装置。 - i)卵(126;226)を卵供給部(2;102)を介して卵コンベヤ(4;104)に供給するステップであって、前記卵コンベヤ(4;104)は、長手方向(L)において前記卵供給部(2;102)から卵出口(3)まで延びるとともに、前記長手方向に対して垂直であって実質的に水平である横手方向(T)を有し、前記長手方向及び前記横手方向はコンベヤ平面(222)を規定し、卵の列を前記卵コンベヤの前記長手方向において案内するための複数の経路が規定される、ステップと、
ii)前記卵を前記長手方向において搬送して洗浄ユニット(6)を通過させるステップと、
を備える殻付き卵を洗浄するための方法であって、
前記ステップii)は、
a)前記洗浄ユニット(6)内の前記卵(126;226)を、前記コンベヤ平面(222)に対して非垂直の角度で延びる第1噴霧方向(135;235)において液体を噴霧する少なくとも1つの第1液体噴霧ノズル(129;229)からの液体ジェットにさらすステップと、
b)前記洗浄ユニット(6)内の前記卵(126;226)を、前記コンベヤ平面に対して非垂直の角度で延びる第2噴霧方向(136)において液体を噴霧する少なくとも1つの第2液体噴霧ノズル(130)からの液体ジェットにさらすステップと、
を含み、
各液体噴霧ノズルは、1つの卵経路の上方に配置されるとともに、他の卵経路上の卵に向かって液体を噴霧し、
前記ステップa)とb)は繰り返される、
方法。 - 少なくとも1つの第1及び/又は第2液体噴霧ノズル(129、130;229)は、液体を少なくとも第1ジェット画定方向(237)と第2ジェット画定方向(238)とによって画定されるファン形状ジェットで噴霧するフラットファンノズルであり、
前記第1ジェット画定方向は、第1端点(239a)において前記コンベヤ平面(222)と交差し、前記第2ジェット画定方向は、第2端点(239b)において前記コンベヤ平面と交差し、
前記第1端点及び前記第2端点は、前記長手方向(L)において互いに離間している、 請求項9に記載の方法。 - 前記卵(126;226)は、2つの連続する卵間の前記長手方向(L)における距離が少なくとも1cmである状態で搬送される、
請求項9に記載の方法。 - 前記ステップa)及びb)は、少なくとも8回繰り返される、
請求項9又は10に記載の方法。 - 前記第1液体噴霧ノズル及び/又は第2液体噴霧ノズル(129、130;229)の噴霧圧力は、大気圧以上であり、かつ大気圧から4バール以下である、
請求項9乃至11のいずれかに記載の方法。 - 前記第1噴霧方向及び/又は第2噴霧方向(135、136;235)は、鉛直方向に対して10乃至80度の角度をなす、
請求項9乃至12のいずれかに記載の方法。 - 同じ卵に向かって液体を噴霧する前記第1液体噴霧ノズル及び第2液体噴霧ノズルは、前記長手方向において互いに対して離間している、
請求項1乃至8のいずれかに記載の装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP17153547.9 | 2017-01-27 | ||
EP17153547.9A EP3354131A1 (en) | 2017-01-27 | 2017-01-27 | Apparatus and method for washing shell eggs |
PCT/EP2018/052138 WO2018138339A1 (en) | 2017-01-27 | 2018-01-29 | An apparatus and method for washing shell eggs |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020506724A JP2020506724A (ja) | 2020-03-05 |
JP7053672B2 true JP7053672B2 (ja) | 2022-04-12 |
Family
ID=57914840
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019561353A Active JP7053672B2 (ja) | 2017-01-27 | 2018-01-29 | 殻付き卵を洗浄するための装置及び方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11259505B2 (ja) |
EP (2) | EP3354131A1 (ja) |
JP (1) | JP7053672B2 (ja) |
CN (1) | CN110290699B (ja) |
DK (1) | DK3573453T3 (ja) |
ES (1) | ES2907047T3 (ja) |
WO (1) | WO2018138339A1 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN112718644A (zh) * | 2019-10-14 | 2021-04-30 | 顶级手套国际有限公司 | 用于清洗模具的系统 |
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- 2017-01-27 EP EP17153547.9A patent/EP3354131A1/en not_active Withdrawn
-
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- 2018-01-29 EP EP18702471.6A patent/EP3573453B1/en active Active
- 2018-01-29 DK DK18702471.6T patent/DK3573453T3/da active
- 2018-01-29 WO PCT/EP2018/052138 patent/WO2018138339A1/en unknown
- 2018-01-29 CN CN201880008820.1A patent/CN110290699B/zh active Active
- 2018-01-29 US US16/481,371 patent/US11259505B2/en active Active
- 2018-01-29 ES ES18702471T patent/ES2907047T3/es active Active
- 2018-01-29 JP JP2019561353A patent/JP7053672B2/ja active Active
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EP3573453A1 (en) | 2019-12-04 |
CN110290699B (zh) | 2022-07-19 |
EP3354131A1 (en) | 2018-08-01 |
WO2018138339A1 (en) | 2018-08-02 |
US20190387719A1 (en) | 2019-12-26 |
DK3573453T3 (da) | 2022-01-31 |
US11259505B2 (en) | 2022-03-01 |
CN110290699A (zh) | 2019-09-27 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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