JP7039734B2 - 集積化ヒーターとその製造方法 - Google Patents
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- ヒーターを製造する方法であって、
セラミック粉末と複数の第1のスラグをホットプレスして、セラミック基板およびその中に埋め込まれた該複数の第1のスラグを含む焼結アセンブリを形成するステップであって、該複数の第1のスラグが該焼結アセンブリの相互に反対側の表面の両方から露出するようにする、ステップと、
該焼結アセンブリの相互に反対側の表面の一方に機能要素を形成するステップであって、該機能要素が該複数の第1のスラグに接続されるようにする、ステップと、
焼結基板部品又は別の焼結アセンブリを該焼結アセンブリの相互に反対側の表面の該一方及び該機能要素に接触するようにして該焼結アセンブリ上に配置するステップと、
該機能要素および該複数の第1のスラグが埋め込まれたモノリシック基板を形成するステップと、
を有し、
該機能要素を形成するステップが、
該焼結アセンブリの相互に反対側の表面の該一方および該複数の第1のスラグの一部に少なくとも1つのトレンチを形成するステップと、
該機能要素を形成するように機能性材料を該少なくとも1つのトレンチに堆積させるステップであって、該機能要素が該複数の第1のスラグに接続されるようにする、ステップと、
を有する、方法。 - 該焼結アセンブリの相互に反対側の表面の他方に材料層を形成して、該機能要素が該複数の第1のスラグによって該材料層に接続されるようにするステップをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 該材料層が金属箔である、請求項2に記載の方法。
- 該機能性材料を該少なくとも1つのトレンチに堆積させるステップが、
該焼結アセンブリの相互に反対側の表面の該一方および該少なくとも1つのトレンチに該機能性材料を堆積させるステップと、
該機能性材料が該少なくとも1つのトレンチ内のみに存在するように過剰な機能性材料を除去するステップと、
を含む、請求項1に記載の方法。 - 該過剰な機能性材料を除去するステップが、化学的機械平坦化/研磨(CMP)、エッチング、および研磨からなる群から選択されるプロセスを含む、請求項4に記載の方法。
- 該焼結アセンブリを形成するステップが、
該複数の第1のスラグを静水圧プレスチャンバ内に配置するステップと、
該静水圧プレスチャンバを該セラミック粉末で満たすステップと、
該セラミック粉末および該複数の第1のスラグをホットプレスして、該焼結アセンブリを形成するステップと、
を含む、請求項1に記載の方法。 - 該モノリシック基板を形成するステップが、
該焼結アセンブリと該焼結基板部品又は別の焼結アセンブリを熱間静水圧プレスチャンバ内に配置するステップと、
該焼結アセンブリ、該機能要素、及び該焼結基板部品又は別の焼結アセンブリをホットプレスして、該モノリシック基板を形成するステップと、
を含む、請求項1に記載の方法。 - 該焼結アセンブリの相互に反対側の表面の他方に材料層を形成して、該材料層が該複数の第1のスラグに接続されるようにするステップをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 該焼結アセンブリが、該複数の第1のスラグよりも短い長さを有する複数の第2のスラグをさらに含み、該材料層が該複数の第2のスラグに接続されるようにされた、請求項8に記載の方法。
- 該モノリシック基板を形成するステップが、
該焼結アセンブリと該焼結基板部品又は別の焼結アセンブリを熱間静水圧プレスチャンバ内に配置するステップと、
該熱間静水圧プレスチャンバを追加のセラミック粉末で満して、該焼結アセンブリが該追加のセラミック粉末と該焼結基板部品又は別の焼結アセンブリとの間に配置されるようにするステップと、
該焼結アセンブリ、該機能要素、該材料層、該追加のセラミック粉末、および該焼結基板部品又は別の焼結アセンブリをホットプレスして、モノリシック基板を形成するステップと、
を含み、
該第1および第2のスラグ、該機能要素、および該材料層が、該モノリシック基板に埋め込まれるようにされた、請求項9に記載の方法。 - 該第2のスラグへのアクセスを可能にするために該モノリシック基板にホールを開けるステップをさらに含む、請求項10に記載の方法。
- リード線を該第2のスラグに接続するステップをさらに含む、請求項11に記載の方法。
- ヒーターを製造する方法であって、
セラミック基板およびその中に埋め込まれた複数の第1のスラグを含む焼結アセンブリを形成するステップであって、該複数の第1のスラグが該焼結アセンブリの相互に反対側の表面の両方から露出するようにする、ステップと、
該焼結アセンブリの相互に反対側の表面の一方および該複数の第1のスラグの一部に少なくとも1つのトレンチを形成するステップと、
機能性材料を該少なくとも1つのトレンチ内に堆積させて、該複数の第1のスラグに接続された機能要素を形成するステップと、
焼結基板部品又は別の焼結アセンブリを該焼結アセンブリの相互に反対側の表面の該一方及び該機能要素に接触するようにして該焼結アセンブリ上に配置するステップと、
該焼結アセンブリの相互に反対側の表面の他方に材料層を設けて、該材料層が該第1のスラグに接続されるようにするステップと、
該機能要素、該第1のスラグ、および該材料層が埋め込まれたモノリシック基板を形成するステップと、
を含む、方法。 - 該焼結アセンブリが、該複数の第1のスラグよりも短い長さを有する複数の第2のスラグをさらに含む、請求項13に記載の方法。
- 該焼結アセンブリを形成するステップが、
該複数の第1のスラグおよび該複数の第2のスラグを静水圧プレスチャンバ内に配置するステップと、
該静水圧プレスチャンバをセラミック粉末で満たすステップと、
該セラミック粉末ならびに該複数の第1および第2のスラグをホットプレスして、焼結アセンブリを形成するステップと、
を含み、
該第1および第2のスラグが該焼結アセンブリの厚さ方向に沿って延びるようにされた、請求項14に記載の方法。 - 該焼結基板部品又は別の焼結アセンブリを該焼結アセンブリとともにホットプレスして、ヒーターを該モノリシック基板に形成するステップとをさらに備える、請求項15に記載の方法。
- 該第2のスラグへのアクセスを可能にするために該モノリシック基板にホールを開けるステップをさらに備える、請求項15に記載の方法。
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