JP7039464B2

JP7039464B2 - アクチュエータ

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Publication number: JP7039464B2
Application number: JP2018518677A
Authority: JP
Inventors: 裕士北原; 正武田; 将生土橋
Original assignee: Nidec Sankyo Corp
Current assignee: Nidec Sankyo Corp
Priority date: 2017-03-30
Filing date: 2018-03-23
Publication date: 2022-03-22
Anticipated expiration: 2038-03-23
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Description

本発明は、各種振動を発生させるアクチュエータに関するものである。

磁気駆動機構によって振動を発生させる機器として、磁石を備えた支持体と、磁石と第１方向で対向するコイルを備えた可動体とを有し、可動体と支持体との間に弾性部材が配置されたアクチュエータが提案されている（特許文献１参照）。また、特許文献１に記載のアクチュエータでは、可動体を第１方向に直交する第２方向に直線的に駆動する第１磁気駆動回路が第１方向で離間する２個所に設けられているとともに、可動体を第１方向に直交し、第２方向に交差する第３方向に直線的に駆動する第２磁気駆動回路が第２方向の２個所に設けられている。

特開２０１６－１２７７８９号公報

特許文献１に記載のアクチュエータにおいて、可動体に第２方向での振動、および第３方向での振動を行わせる場合、２つの第１磁気駆動回路に用いたコイルに同一波形の駆動信号を印加する一方、２つの第２磁気駆動回路に用いたコイルに同一波形の駆動信号を印加する。このため、２つの第１磁気駆動回路に用いたコイルに対する給電電極を共通化し、２つの第２磁気駆動回路に用いたコイルに対する給電電極を共通化した構成が採用される。一方、特許文献１には、２つの第１磁気駆動回路に用いたコイルに逆相の交流を印加することによって可動体に第２方向に対して直交する軸線周りの往復回転させる動作を行わせることが提案されているが、上記のように給電電極を共通化した場合、２つの第１磁気駆動回路に用いたコイルに逆相の交流を印加することが困難である。したがって、第２方向に対して直交する軸線周りに往復回転させるには、コイルと上記回路との配線接続を切り換える必要があるため、第２方向に直交する軸線周りの回転駆動を行わせるのは容易ではない。

以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、複数の磁気駆動回路の各々のコイルに対して任意の駆動信号を供給することのできるアクチュエータを提供することにある。

上記課題を解決するために、本発明に係るアクチュエータは、支持体と、前記支持体に対して移動可能な可動体と、第１方向で対向する第１コイルおよび第１磁石を備え、前記可動体を前記第１方向に対して直交する第２方向に駆動する駆動力を発生させる第１磁気駆動回路と、前記第１方向で対向する第２コイルおよび第２磁石を備え、前記可動体を前記第１方向と直交する第２方向に駆動する駆動力を発生させる第２磁気駆動回路と、前記第１磁気駆動回路から離間する位置に前記第１方向で対向する第３コイルおよび第３磁石を備え、前記可動体を前記第１方向と直交し、前記第２方向と交差する第３方向に駆動する駆動力を発生させる第３磁気駆動回路と、前記支持体に保持された基板と、を有し、前記基板には、前記第１コイルの一方端に電気的に接続された第１給電電極と、前記第１コイルの他方端に電気的に接続された第２給電電極と、前記第２コイルの一方端に電気的に接続された第３給電電極と、前記第２コイルの他方端に電気的に接続された第４給電電極と、前記第３コイルの一方端に電気的に接続された第５給電電極と、前記第３コイルの他方端に電気的に接続された第６給電電極と、が設けられていることを特徴とする。

本発明において、支持体に保持された基板には、第１コイルの一方端に電気的に接続された第１給電電極と、第１コイルの他方端に電気的に接続された第２給電電極と、第２コイルの一方端に電気的に接続された第３給電電極と、第２コイルの他方端に電気的に接続された第４給電電極と、第３コイルの一方端に電気的に接続された第５給電電極と、第３コイルの他方端に電気的に接続された第６給電電極とが設けられている。このため、第１電極および第２電極を介して第１コイルに駆動信号を供給する際、第１コイルに供給される駆動振動と同一の駆動信号を第３コイルに供給することができる。また、第１電極および第２電極を介して第１コイルに駆動信号を供給する際、第１コイルに供給される駆動振動と波形の異なる任意の駆動信号を第５給電電極および第６給電電極を介して第３コイルに供給することができる。したがって、可動体には、第１コイルに供給される駆動信号に基づく駆動と、第３コイルに供給される駆動信号に基づく駆動とを組み合わせた複雑な駆動を容易に行うことができる。

本発明において、前記支持体は、前記可動体、前記第１磁気駆動回路、前記第２磁気駆動回路、および前記第３磁気駆動回路を覆うカバーを備え、前記カバーには、前記第１給電電極、前記第２給電電極、前記第３給電電極、前記第４給電電極、前記第５給電電極、および前記第６給電電極を露出させる開口部が形成されている態様を採用することができる。かかる態様によれば、カバーを設けた場合でも、可動体には、第１コイルに供給される駆動信号に基づく駆動と、第３コイルに供給される駆動信号に基づく駆動とを組み合わせた複雑な駆動を容易に行うことができる。

本発明において、前記第１給電電極、前記第２給電電極、前記第３給電電極、前記第４給電電極、前記第５給電電極、および前記第６給電電極の各々に独立して配線が接続されている態様を採用することができる。

本発明において、前記第１給電電極および前記第２給電電極を介して前記第１コイルに印加される第１コイル駆動信号と、前記第５給電電極および前記第６給電電極を介して前記第３コイルに印加される第３コイル駆動信号とは異なる波形を有している態様を採用することができる。例えば、前記第１コイル駆動信号と前記第３コイル駆動信号とは、逆相の波形を有し、前記第１磁気駆動回路と前記第３磁気駆動回路とは、前記可動体を前記第２方向で逆向きに駆動する駆動力を発生させる態様を採用することができる。

本発明において、前記第１磁気駆動回路、前記第２磁気駆動回路、および前記第３磁気駆動回路は、前記第１方向の一方側から他方側に順に重ねて配置されている態様を採用することができる。かかる態様によれば、アクチュエータを第１方向からみたときのサイズ（平面積）を小さくすることができる。

本発明において、前記第２磁気駆動回路の磁気的中心位置は、前記可動体の重心と前記第１方向、前記第２方向、および前記第３方向で一致する位置、またはほぼ一致する位置にあり、前記第１磁気駆動回路の磁気的中心位置と前記第３磁気駆動回路の磁気的中心位置とを合成した磁気的中心位置は、前記可動体の重心と前記第１方向、前記第２方向、および前記第３方向で一致する位置、またはほぼ一致する位置にある態様を採用することができる。かかる態様によれば、可動体を第２方向に駆動した際や第３方向に駆動した際、可動体が傾く等の事態を回避することができる。

本発明を適用したアクチュエータの斜視図である。図１に示すカバーを外した状態のアクチュエータの分解斜視図である。図１に示すアクチュエータを第１方向および第２方向に切断したときの説明図である。図１に示すアクチュエータを第１方向および第３方向に切断したときの説明図である。図２に示す第１端板および第２端板を外した状態のアクチュエータの分解斜視図である。図１に示すアクチュエータに用いた磁気駆動回路を分解したときの分解斜視図である。図６に示す第１磁気駆動回路の分解斜視図である。図６に示す第２磁気駆動回路の分解斜視図である。図６に示す第３磁気駆動回路の分解斜視図である。

図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の説明において、互いに交差する３つの方向を各々、Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向として説明する。Ｚ方向はＸ方向およびＹ方向に対して直交する方向である。また、Ｘ方向の一方側にＸ１を付し、Ｘ方向の他方側にＸ２を付し、Ｙ方向の一方側にＹ１を付し、Ｙ方向の他方側にＹ２を付し、Ｚ方向の一方側にＺ１を付し、Ｚ方向の他方側にＺ２を付して説明する。ここで、Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向は各々、本発明における方向と以下の関係を有している。
Ｘ方向＝本発明における「第２方向」
Ｙ方向＝本発明における「第３方向」
Ｚ方向＝本発明における「第１方向」

（全体構成）
図１は、本発明を適用したアクチュエータ１の斜視図である。図２は、図１に示すカバー１１を外した状態のアクチュエータ１の分解斜視図である。図３は、図１に示すアクチュエータ１を第１方向（Ｚ方向）および第２方向（Ｘ方向）に切断したときの説明図である。図４は、図１に示すアクチュエータ１を第１方向（Ｚ方向）および第３方向（Ｙ方向）に切断したときの説明図である。図５は、図２に示す第１端板２８および第２端板２９を外した状態のアクチュエータ１の分解斜視図である。

図１および図２に示すように、本形態のアクチュエータ１は、Ｚ方向に開口する角筒状のカバー１１と、カバー１１の内側に収容された直方体形状の本体部分１０とを有しており、本体部分１０のＹ方向（第３方向）の一方側Ｙ１の面には基板１５が貼付されている。基板１５には、後述するコイルの端部が接続される複数のコイル接続電極１５１と、複数の給電電極１５３と、複数のコイル接続電極１５１と複数の給電電極１５３とを各々接続する配線１５２とが形成されている。複数の給電電極１５３には、上位の駆動装置（図示せず）から延在した配線（図示せず）が接続される。このため、カバー１１には、複数の給電電極１５３を露出させる開口部１１０が形成されている。

図３、図４および図５に示すように、アクチュエータ１は、支持体２と、可動体３と、支持体２と可動体３との間に配置された弾性部材４とを有しており、可動体３は、弾性部材４を介してＺ方向（第１方向）、Ｘ方向（第２方向）およびＹ方向に移動可能に支持体２に支持されている。また、アクチュエータ１は、可動体３を支持体２に対してＸ方向およびＹ方向に駆動して振動させる複数の磁気駆動回路（第１磁気駆動回路６、第２磁気駆動回路７、および第３磁気駆動回路８）を有している。

支持体２は、Ｚ方向の一方側Ｚ１の端部および他方側Ｚ２の端部に、第１端板２８および第２端板２９を有している。第１端板２８は、可動体３に対してＺ方向の一方側Ｚ１で対向しており、可動体３と第１端板２８との間に第１弾性部材４１（弾性部材４）が配置されている。第２端板２９は、可動体３に対してＺ方向の他方側Ｚ２で対向しており、可動体３と第２端板２９との間に第２弾性部材４２（弾性部材４）が配置されている。

弾性部材４は、粘弾性を備えた粘弾性体であり、本形態では、弾性部材４（粘弾性体）として板状のゲル状ダンパー部材が用いられている。第１弾性部材４１は、Ｚ方向の両面が各々、可動体３および第１端板２８に接着等の方法で接続されている。第２端板２９は、第２弾性部材４２は、Ｚ方向の両面が各々、可動体３および第２端板２９に接着等の方法で接続されている。すなわち、弾性部材４は、可動体３に対する第１方向Ｚの一方側Ｚ１、および可動体３に対する第１方向Ｚの他方側Ｚ２の各々に設けられている。また、弾性部材４は、可動体３、および支持体２において可動体３に第１方向Ｚの一方側Ｚ１で対向する部分（第１端板２８）の双方に接する第１弾性部材４１と、可動体３、および支持体２において可動体３に第１方向Ｚの他方側Ｚ２で対向する部分（第２端板２９）の双方に接する第２弾性部材４２として配置されている。

ゲル状ダンパー部材は、その伸縮方向によって、線形あるいは非線形の伸縮特性を備える。例えば、板状のゲル状ダンパー部材は、その厚さ方向（軸方向）に押圧されて圧縮変形する際は、線形の成分よりも非線形の成分が大きい伸縮特性を備える一方、厚さ方向（軸方向）に引っ張られて伸びる場合は、非線形の成分よりも線形の成分が大きい伸縮特性を備える。また、厚さ方向（軸方向）と交差する方向（せん断方向）に変形する場合も、非線形の成分よりも線形の成分が大きい変形特性を持つ。本形態において、可動体３がＸ方向およびＹ方向に振動した際、弾性部材４（粘弾性体）は、せん断方向に変形するように構成されている。

複数の磁気駆動回路（第１磁気駆動回路６、第２磁気駆動回路７、および第３磁気駆動回路８）はいずれも、コイルと、コイルの各々と対向する磁石とを有している。コイルは、支持体２および可動体３の一方側部材に設けられ、磁石は、他方側部材に設けられる。本形態では、以下に説明するように、コイル（第１コイル６１、第２コイル７１、および第３コイル８１）およびコイルホルダ（第１コイルホル６５、第２コイルホルダ７５、および第３コイルホルダ８５）が支持体２に設けられている。また、磁石（第１磁石６２１、６２２、第２磁石７２１、７２２、および第３磁石８２１、８２２）、およびヨーク（第１ヨーク６４、第２ヨーク７４、および第３ヨーク８４）が可動体３に設けられている。また、第１磁気駆動回路６は、第２磁気駆動回路７に対してＺ方向の一方側Ｚ１で重ねて配置され、第２磁気駆動回路７に対して第１磁気駆動回路６とは反対側に第３磁気駆動回路８が重ねて配置されている。したがって、第１磁気駆動回路６、第２磁気駆動回路７、および第３磁気駆動回路８は、Ｚ方向の一方側Ｚ１から他方側Ｚ２に順に重ねて配置されている。

（駆動回路の構成）
図６は、図１に示すアクチュエータ１に用いた磁気駆動回路を分解したときの分解斜視図である。図３、図４、図５および図６に示すように、第１磁気駆動回路６は、第１コイル６１と、第１コイル６１にＺ方向の一方側Ｚ１で対向する第１磁石６２１と、第１コイル６１にＺ方向の他方側Ｚ２で対向する第１磁石６２２とを有している。第２磁気駆動回路７は、第２コイル７１と、第２コイル７１にＺ方向の一方側Ｚ１で対向する第２磁石７２１と、第２コイル７１にＺ方向の他方側Ｚ２で対向する第２磁石７２２とを有している。第３磁気駆動回路８は、第３コイル８１と、第３コイル８１にＺ方向の一方側Ｚ１で対向する第３磁石８２１と、第３コイル８１にＺ方向の他方側Ｚ２で対向する第３磁石８２２とを有している。

このように構成した第１磁気駆動回路６、第２磁気駆動回路７、および第３磁気駆動回路８をＺ方向に重ねて配置するために、支持体２は、第１コイル６１を保持する第１コイルホルダ６５と、第２コイル７１を保持する第２コイルホルダ７５と、第３コイル８１を保持する第３コイルホルダ８５とを有しており、第１コイルホルダ６５、第２コイルホルダ７５、および第３コイルホルダ８５は、Ｚ方向の一方側Ｚ１から他方側Ｚ２に順に重ねて配置されている。また、第１コイルホルダ６５、第２コイルホルダ７５、および第３コイルホルダ８５は、Ｚ方向で隣り合うコイルホルダ同士が連結されている。

また、可動体３は、第１コイル６１に対してＺ方向の一方側Ｚ１、第１コイル６１と第２コイル７１との間、第２コイル７１と第３コイル８１との間、および第３コイル８１に対してＺ方向の他方側Ｚ２に配置された複数のヨーク（第１ヨーク６４、第２ヨーク７４、および第３ヨーク８４）を備えており、第１磁石６２１、６２２、第２磁石７２１、７２２、および第３磁石８２１、８２２は各々、複数のヨークのいずれかに保持されている。また、複数のヨークは、Ｚ方向で隣り合うヨーク同士が連結されている。

本形態において、複数のヨークには、第１コイル６１に対してＺ方向の両側に配置された第１ヨーク６４と、第２コイル７１に対してＺ方向の両側に配置された第２ヨーク７４と、第３コイル８１に対してＺ方向の両側に配置された第３ヨーク８４とが含まれている。第１ヨーク６４は、第１コイル６１に対してＺ方向の両側に配置された第１磁石６２１、６２２を保持している。第２ヨーク７４は、第２コイル７１に対してＺ方向の両側に配置された第２磁石７２１、７２２を保持している。第３ヨーク８４は、第３コイル８１に対してＺ方向の両側に配置された第３磁石８２１、８２２を保持している。

（第１磁気駆動回路６の詳細構成）
図７は、図６に示す第１磁気駆動回路６の分解斜視図である。図５、図６および図７に示すように、第１コイルホルダ６５は、第１コイル６１を内側に保持する第１枠部６６と、第１枠部６６の端部（４つの角）からＺ方向の両側に向けて突出した複数の第１柱状部６９とを備えており、第１柱状部６９は、第１端板２８と連結されている。第１コイルホルダ６５は、樹脂製あるいは金属製である。本形態において、第１コイルホルダ６５および第１端板２８は、樹脂製である。

第１磁気駆動回路６に用いた第１コイル６１は、Ｙ方向に延在する第１有効辺部分６１１、６１２（長辺部分）を有する長円形状の空芯コイルである。かかる形状に対応して、第１コイルホルダ６５の第１枠部６６には、Ｙ方向に長径方向を向けた長円形状の第１開口部６７が形成されており、第１開口部６７の内側に第１コイル６１が接着等により固定される。

第１コイルホルダ６５において、第１枠部６６に対してＺ方向の一方側Ｚ１には、第１開口部６７のＹ方向の両端部と重なる位置に、第１コイル６１の両端部でＸ方向に延在する第１無効辺部分６１３、６１４（短辺部分）をＺ方向の一方側Ｚ１で支持する第１座部６８１、６８２が形成されている。第１座部６８１、６８２は、第１枠部６６からＺ方向の一方側Ｚ１に突出し、第１開口部６７のＹ方向の両端部でＺ方向の一方側Ｚ１の底部を構成している。第１枠部６６のＺ方向の他方側Ｚ２の面には、第１開口部６７からＸ方向の他方側Ｘ２かつＹ方向の一方側Ｙ１に向けて溝６６１が延在しており、かかる溝６６１は、第１コイル６１の巻き始めの引き出し部分を通すためのガイド溝である。第１枠部６６の厚さ（Ｚ方向の寸法）は、第１コイル６１の厚さ（Ｚ方向の寸法）より大である。このため、第１開口部６７の内側に第１コイル６１が収容された状態で、第１コイル６１は、第１枠部６６からＺ方向の他方側Ｚ２に突出していない。

第１磁石６２１、６２２は各々、長方形の平面形状を有しており、Ｘ方向に長辺が延在し、Ｙ方向に短辺が延在している。第１磁石６２１、６２２は各々、Ｘ方向に分極着磁されており、Ｎ極およびＳ極が各々、第１コイル６１の第１有効辺部分６１１、６１２に対向している。したがって、第１コイル６１に通電すると、第１磁気駆動回路６は、可動体３をＸ方向に駆動する駆動力を発生させる。第１磁気駆動回路６において、第１ヨーク６４は、第１コイル６１に対してＺ方向の一方側Ｚ１に配置されたヨーク板６４１と、第１コイル６１に対してＺ方向の他方側Ｚ２に配置されたヨーク板６４２とからなる。ヨーク板６４１は、第１磁石６２１をＺ方向の他方側Ｚ２の面で保持する平板状の磁石保持部６４１ａと、磁石保持部６４１ａのＸ方向の両端部からＺ方向の他方側Ｚ２に向けて折れ曲がった側板部６４１ｂ、６４１ｃとを有している。ヨーク板６４２は、第１磁石６２２をＺ方向の一方側Ｚ１の面で保持する平板状の磁石保持部６４２ａと、磁石保持部６４２のＸ方向の両端部からＸ方向の一方側Ｘ１および他方側Ｘ２に突出した連結板部６４２ｂ、６４２ｃとを有している。本形態では、ヨーク板６４１の側板部６４１ｂの先端部とヨーク板６４２の連結板部６４２ｂの先端部とが溶接やカシメ等によって連結され、ヨーク板６４１の側板部６４１ｃの先端部とヨーク板６４２の連結板部６４２ｃの先端部とが溶接やカシメ等によって連結されている。

（第２磁気駆動回路７の詳細構成）
図８は、図６に示す第２磁気駆動回路７の分解斜視図である。図５、図６および図８に示すように、第２コイルホルダ７５は、第２コイル７１を内側に保持する第２枠部７６と、第２枠部７６の端部（４つの角）からＺ方向の両側に突出した複数の第２柱状部７９とを備えており、第２柱状部７９は、Ｚ方向の一方側Ｚ１で隣り合う第１コイルホルダ６５の第１柱状部６９と連結されている。第２コイルホルダ７５は、樹脂製あるいは金属製である。本形態において、第２コイルホルダ７５は、樹脂製である。

第２磁気駆動回路７に用いた第２コイル７１は、Ｘ方向に延在する第２有効辺部分７１１、７１２（長辺部分）を有する長円形状の空芯コイルである。かかる形状に対応して、第２コイルホルダ７５の第２枠部７６には、Ｘ方向に長径方向を向けた長円形状の第２開口部７７が形成されており、第２開口部７７の内側に第２コイル７１が接着等により固定される。

第２コイルホルダ７５において、第２枠部７６に対してＺ方向の一方側Ｚ１には、第２開口部７７のＸ方向の両端部と重なる位置に、第２コイル７１の両端部でＹ方向に延在する第２無効辺部分７１３、７１４（短辺部分）をＺ方向の一方側Ｚ１で支持する第２座部７８１、７８２が形成されている。第２座部７８１、７８２は、第２枠部７６からＺ方向の一方側Ｚ１に突出し、第１開口部７７のＸ方向の両端部でＺ方向の一方側Ｚ１の底部を構成している。第２枠部７６のＺ方向の他方側Ｚ２の面には、第２開口部７７からＸ方向の一方側Ｘ１かつＹ方向の一方側Ｙ１に向けて溝（図示せず）が延在しており、かかる溝は、第２コイル７１の巻き始めの引き出し部分を通すためのガイド溝である。第２枠部７６の厚さ（Ｚ方向の寸法）は、第２コイル７１の厚さ（Ｚ方向の寸法）より大である。このため、第２開口部７７の内側に第２コイル７１が収容された状態で、第２コイル７１は、第２枠部７６からＺ方向の他方側Ｚ２に突出していない。

第２磁石７２１、７２２は各々、長方形の平面形状を有しており、Ｙ方向に長辺が延在し、Ｘ方向に短辺が延在している。第２磁石７２１、７２２は各々、Ｙ方向に分極着磁されており、Ｎ極およびＳ極が各々、第２コイル７１の第２有効辺部分７１１、７１２に対向している。したがって、第２コイル７１に通電すると、第２磁気駆動回路７は、可動体３をＹ方向に駆動する駆動力を発生させる。第２磁気駆動回路７において、第２ヨーク７４は、第２コイル７１に対してＺ方向の一方側Ｚ１に配置されたヨーク板７４１と、第２コイル７１に対してＺ方向の他方側Ｚ２に配置されたヨーク板７４２とからなる。ヨーク板７４２は、第２磁石７２２をＺ方向の一方側Ｚ１の面で保持する平板状の磁石保持部７４２ａと、磁石保持部７４２ａのＹ方向の両端部からＺ方向の一方側Ｚ１に向けて折れ曲がった側板部７４２ｂ、７４２ｃとを有している。ヨーク板７４１は、第２磁石７２１をＺ方向の他方側Ｚ２の面で保持する平板状の磁石保持部７４１ａと、磁石保持部７４１ａのＹ方向の両端部からＹ方向の一方側Ｙ１および他方側Ｙ２に突出した連結板部７４１ｂ、７４１ｃとを有している。本形態では、ヨーク板７４２の側板部７４２ｂの先端部とヨーク板７４１の連結板部７４１ｂの先端部とが溶接やカシメ等によって連結され、ヨーク板７４２の側板部７４２ｃの先端部とヨーク板７４１の連結板部７４１ｃの先端部とが溶接やカシメ等によって連結されている。

ヨーク板７４１およびヨーク板６４２には穴７４１ｅ、６４２ｅが形成されており、ヨーク板７４１とヨーク板６４２とは、穴７４１ｅ、６４２ｅを基準に位置決めした後、穴７４１ｅ、６４２ｅの内部で溶接やカシメ等によって連結されている。

（第３磁気駆動回路８の詳細構成）
図９は、図６に示す第３磁気駆動回路８の分解斜視図である。図５、図６および図９に示すように、第３コイルホルダ８５は、第３コイル８１を内側に保持する第３枠部８６と、第３枠部８６の端部（４つの角）からＺ方向の両側に突出した複数の第３柱状部８９とを備えており、第３柱状部８９は、Ｚ方向の一方側Ｚ１で隣り合う第２コイルホルダ７５の第２柱状部７９と連結されている。また、第３柱状部８９は、第２端板２９と連結されている。第３コイルホルダ８５は、樹脂製あるいは金属製である。本形態において、第３コイルホルダ８５および第２端板２９は、樹脂製である。

第３磁気駆動回路８は、第１磁気駆動回路６と同様に構成されている。より具体的には、第３磁気駆動回路８に用いた第３コイル８１は、Ｙ方向に延在する第３有効辺部分８１１、８１２（長辺部分）を有する長円形状の空芯コイルである。かかる形状に対応して、第３コイルホルダ８５の第３枠部８６には、Ｙ方向に長径方向を向けた長円形状の第３開口部８７が形成されており、第３開口部８７の内側に第３コイル８１が接着等により固定される。

第３コイルホルダ８５において、第３枠部８６に対してＺ方向の一方側Ｚ１には、第３開口部８７のＹ方向の両端部と重なる位置に、第３コイル８１の両端部でＸ方向に延在する第３無効辺部分８１３、８１４（短辺部分）をＺ方向の一方側Ｚ１で支持する第３座部８８１、８８２が形成されている。第３座部８８１、８８２は、第３枠部８６からＺ方向の一方側Ｚ１に突出し、第３開口部８７のＹ方向の両端部でＺ方向の一方側Ｚ１の底部を構成している。第３枠部８６のＺ方向の他方側Ｚ２の面には、第３開口部８７からＸ方向の他方側Ｘ２かつＹ方向の一方側Ｙ１に向けて溝８６１が延在しており、かかる溝８６１は、第３コイル８１の巻き始めの引き出し部分、および巻き終わりの引き出し部分を通すためのガイド溝である。第３枠部８６の厚さ（Ｚ方向の寸法）は、第３コイル８１の厚さ（Ｚ方向の寸法）より大である。このため、第３開口部８７の内側に第３コイル８１が収容された状態で、第３コイル８１は、第３枠部８６からＺ方向の他方側Ｚ２に突出していない。

第３磁石８２１、８２２は各々、長方形の平面形状を有しており、Ｘ方向に長辺が延在し、Ｙ方向に短辺が延在している。第３磁石８２１、８２２は各々、Ｘ方向で着磁されており、Ｎ極およびＳ極が各々、第３コイル８１の第３有効辺部分８１１、８１２に対向している。したがって、第３コイル８１に通電すると、第３磁気駆動回路８は、第１磁気駆動回路６と同様、可動体３をＸ方向に駆動する駆動力を発生させる。本形態において、第３磁石８２１は、第１磁気駆動回路６の第１磁石６２１と同一の向きに着磁され、第３磁石８２２は、第１磁気駆動回路６の第１磁石６２２と同一の向きに着磁されている。

第３磁気駆動回路８において、第３ヨーク８４は、第３コイル８１に対してＺ方向の一方側Ｚ１に配置されたヨーク板８４１と、第３コイル８１に対してＺ方向の他方側Ｚ２に配置されたヨーク板８４２とからなる。ヨーク板８４２は、第３磁石８２１をＺ方向の一方側Ｚ１の面で保持する平板状の磁石保持部８４２ａと、磁石保持部８４２ａのＸ方向の両端部からＺ方向の一方側Ｚ１に向けて折れ曲がった側板部８４２ｂ、８４２ｃとを有している。ヨーク板８４１は、第３磁石８２２をＺ方向の一方側Ｚ１の面で保持する平板状の磁石保持部８４１ａと、磁石保持部８４１のＸ方向の両端部からＸ方向の一方側Ｘ１および他方側Ｘ２に突出した連結板部８４１ｂ、８４１ｃとを有している。本形態では、ヨーク板８４２の側板部８４２ｂの先端部とヨーク板８４１の連結板部８４１ｂの先端部とが溶接やカシメ等によって連結され、ヨーク板８４２の側板部８４２ｃの先端部とヨーク板８４１の連結板部８４１ｃの先端部とが溶接やカシメ等によって連結されている。なお、ヨーク板８４１およびヨーク板７４２には穴８４１ｅ、７４２ｅが形成されており、ヨーク板８４１とヨーク板７４２とは、穴８４１ｅ、７４２ｅを基準に位置決めした後、穴８４１ｅ、７４２ｅの内部で溶接やカシメ等によって連結されている。

（磁気駆動回路の磁気的中心と可動体３の重心との位置関係）
このように構成したアクチュエータ１において、第１コイル６１、第２コイル７１、第３コイル８１、第１コイルホルダ６５、第２コイルホルダ７５、第３コイルホルダ８５、は、可動体３のＸ方向の中心を通ってＹ方向に延在する仮想線の中心とする線対称、かつ、Ｙ方向の中心を通ってＸ方向に延在する仮想線の中心とする線対称に構成されている。また、第１磁石６２１、６２２、第２磁石７２１、７２２、第３磁石８２１、８２２、第１ヨーク６４、第２ヨーク７４、および第３ヨーク８４は、可動体３のＸ方向の中心を通ってＹ方向に延在する仮想線の中心とする線対称、かつ、Ｙ方向の中心を通ってＸ方向に延在する仮想線の中心とする線対称に構成されている。また、第２コイル７１は、可動体３のＺ方向の中心に配置され、第２磁石７２１、７２２は、第２コイル７１を中心にＺ方向で面対称に配置されている。また、第１磁石６２１、６２２、および第１ヨーク６４は、第３磁石８２１、８２２および第３ヨーク８４に対して、第２コイル７１を中心にＺ方向で面対称に配置されている。

したがって、第２磁気駆動回路７の磁気的中心位置（駆動中心）は、Ｚ方向、Ｘ方向、およびＹ方向において可動体３の重心と一致する位置、またはほぼ一致する位置にある。また、第１磁気駆動回路６の磁気的中心位置と第３磁気駆動回路８の磁気的中心位置とを合成した磁気的中心位置は、Ｚ方向、Ｘ方向、およびＹ方向において可動体３の重心と一致する位置、またはほぼ一致する位置にある。

（基板１５の構成）
図２に示すように、基板１５には、複数のコイル接続電極１５１として、第１コイル６１の巻き始めおよび巻き終わりの引き出し部分の端部（図示せず）が各々、接続される第１コイル接続電極１５１ａ、１５１ｂと、第２コイル７１の巻き始めおよび巻き終わりの引き出し部分の端部（図示せず）が各々、接続される第２コイル接続電極１５１ｃ、１５１ｄと、第３コイル８１の巻き始めおよび巻き終わりの引き出し部分の端部（図示せず）が各々、接続される第３コイル接続電極１５１ｅ、１５１ｆとが形成されている。また、基板１５には、複数の給電電極１５３として、第１給電電極１５３ａ、第２給電電極１５３ｂ、第３給電電極１５３ｃ、第４給電電極１５３ｄ、第５給電電極１５３ｅ、および第６給電電極１５３ｆが形成されている。

第１給電電極１５３ａは、複数の配線１５２のうち、配線１５２ａを介して第１コイル接続電極１５１ａに電気的に接続し、第２給電電極１５３ｂは、複数の配線１５２のうち、配線１５２ｂを介して第１コイル接続電極１５１ｂに電気的に接続している。したがって、第１給電電極１５３ａは、第２コイル７１の一方の端部（巻き始めの引き出し部分の端部）に電気的に接続し、第２給電電極１５３ｂは、第２コイル７１の他方の端部（巻き終わりの引き出し部分の端部）に電気的に接続している。

第３給電電極１５３ｃは、複数の配線１５２のうち、配線１５２ｃを介して第２コイル接続電極１５１ｃに電気的に接続し、第４給電電極１５３ｄは、複数の配線１５２のうち、配線１５２ｄを介して第２コイル接続電極１５１ｄに電気的に接続している。したがって、第３給電電極１５３ｃは、第２コイル７１の一方の端部（巻き始めの引き出し部分の端部）に電気的に接続し、第４給電電極１５３ｄは、第２コイル７１の他方の端部（巻き終わりの引き出し部分の端部）に電気的に接続している。

第５給電電極１５３ｅは、複数の配線１５２のうち、配線１５２ｅを介して第３コイル接続電極１５１ｅに電気的に接続し、第６給電電極１５３ｆは、複数の配線１５２のうち、配線１５２ｆを介して第３コイル接続電極１５１ｆに電気的に接続している。したがって、第５給電電極１５３ｅは、第３コイル８１の一方の端部（巻き始めの引き出し部分の端部）に電気的に接続し、第６給電電極１５３ｆは、第３コイル８１の他方の端部（巻き終わりの引き出し部分の端部）に電気的に接続している。

また、図１に示すように、基板１５には、フレキシブル配線基板等の配線基板１６が接続されており、配線基板１６には、第１給電電極１５３ａ、第２給電電極１５３ｂ、第３給電電極１５３ｃ、第４給電電極１５３ｄ、第５給電電極１５３ｅ、および第６給電電極１５３ｆの各々に独立して接続する複数の配線（図示せず）が形成されている。したがって、上位の駆動装置から配線基板１６を介してアクチュエータ１に駆動信号が供給される。

（基本動作）
本形態のアクチュエータ１において、第１給電電極１５３ａ、第２給電電極１５３ｂ、第５給電電極１５３ｅ、および第６給電電極１５３ｆを介して第１コイル６１および第３コイル８１に同一波形の交流を印加する一方、第２コイル７１への通電を停止すると、可動体３は、Ｘ方向に振動するため、アクチュエータ１における重心がＸ方向に変動する。このため、利用者は、Ｘ方向の振動を体感することができる。その際、第１コイル６１に印加する第１コイル駆動信号の交流波形、および第３コイル８１に印加する第３コイル駆動信号の交流波形を調整して、可動体３がＸ方向の一方側Ｘ１に移動する加速度と、可動体３がＸ方向の他方側Ｘ２に移動する加速度とを相違させれば、利用者は、Ｘ方向において方向性を有する振動を体感することができる。

また、第３給電電極１５３ｃ、および第４給電電極１５３ｄを介して第２コイル７１に交流を印加する一方、第１コイル６１および第３コイル８１への通電を停止する。その結果、可動体３は、Ｙ方向に振動するため、アクチュエータ１における重心がＹ方向に変動する。このため、利用者は、Ｙ方向の振動を体感することができる。その際、第２コイル７１に印加する第２コイル駆動信号の交流波形を調整して、可動体３がＹ方向の一方側Ｙ１に移動する加速度と、可動体３が第３方向の他方側Ｙ２に移動する加速度とを相違させれば、利用者は、Ｙ方向において方向性を有する振動を体感することができる。

また、第１コイル６１および第３コイル８１への通電と第２コイル７１への通電とを組み合わせれば、利用者は、Ｘ方向での振動とＹ方向での振動とを組み合わせた体感を得ることができる。

ここで、第１コイル６１の端部、および第３コイル８１の端部には各々、異なる給電電極１５３（第１給電電極１５３ａ、第２給電電極１５３ｂ、第５給電電極１５３ｅ、および第６給電電極１５３ｆ）が電気的に接続されている。このため、第１コイル６１および第３コイル８１に異なる波形の交流を印加することができる。それゆえ、可動体３を第１コイル６１および第３コイル８１に印加された波形に対応する振動を組み合わせた振動を行わせることができる。例えば、第１コイル６１および第３コイル８１に逆位相の波形を有する交流を印加すれば、可動体３には、Ｚ方向に延在する中心軸線周りの偶力が加わるので、利用者は、さらに可動体３のＺ方向に延在する中心軸線周りの振動を体感することができる。

（ストッパ機構）
本形態のアクチュエータ１では、可動体３が支持体２に対して過度に移動した際、強度の弱い個所が当接しないように、図３および図４に示すストッパ機構が設けられている。より具体的には、図４に示すように、第１磁石６２１に対してＹ方向の一方側Ｙ１で所定の間隔を介して対向する位置には、第１コイルホルダ６５の第１座部６８１が位置し、第１磁石６２１に対してＹ方向の他方側Ｙ２で所定の間隔を介して対向する位置には、第１コイルホルダ６５の第１座部６８２が位置している。また、第３磁石８２１に対してＹ方向の一方側Ｙ１で所定の間隔を介して対向する位置には、第３コイルホルダ８５の第３座部８８１が位置し、第３磁石８２１に対してＹ方向の他方側Ｙ２で所定の間隔を介して対向する位置には、第３コイルホルダ８５の第３座部８８２が位置している。本形態において、第１座部６８１、６８２のＹ方向で第１磁石６２１と対向する側端部が第１ストッパ部６８３、６８４として機能する。また、第３座部８８１、８８２のＹ方向で第３磁石８２１と対向する側端部が第３ストッパ部８８３、８８４として機能する。したがって、第２磁気駆動回路７によって可動体３をＹ方向に駆動した際の可動体３のＹ方向への可動範囲は、第１磁気駆動回路６の第１磁石６２１と第１コイルホルダ６５の第１座部６８１、６８２（第１ストッパ部６８３、６８４）とによって構成されたストッパ機構、および第３磁気駆動回路８の第３磁石８２１と第３コイルホルダ８５の第３座部８８１、８８２（第３ストッパ部８８３、８８４）とによって構成されたストッパ機構によって規制されている。

本形態において、第１ストッパ部６８３、６８４は、第１コイル６１の第１無効辺部分６１３、６１４の内縁より第１磁石６２１の側に位置している。このため、第１コイル６１の巻き始め側の引き出し部分が、例えば、第１無効辺部分６１３の内縁から第１コイル６１と第１座部６８１との間を通っている場合でも、第１コイル６１の巻き始め側の引き出し部分に第１磁石６２１が接触するという事態が発生しにくい。それゆえ、第１コイル６１の巻き始め側の引き出し部分が断線するという事態が発生しにくい。また、第３ストッパ部８８３、８８４は、第３コイル８１の第３無効辺部分８１３、８１４の内縁より第３磁石８２１の側に位置している。このため、第３コイル８１の巻き始め側の引き出し部分が、例えば、第３無効辺部分８１３の内縁から第３コイル８１と第３座部８８１との間を通っている場合でも、第３コイル８１の巻き始め側の引き出し部分に第３磁石８２１が接触するという事態が発生しにくい。それゆえ、第３コイル８１の巻き始め側の引き出し部分が断線するという事態が発生しにくい。

また、図３に示すように、第２磁気駆動回路７の第２磁石７２１に対してＸ方向の一方側Ｘ１で所定の間隔を介して対向する位置には、第２コイルホルダ７５の第２座部７８１が位置し、第２磁石７２１に対してＸ方向の他方側Ｘ２で所定の間隔を介して対向する位置には、第２コイルホルダ７５の第２座部７８２が位置している。本形態において、第２座部７８１および第２座部７８２のＸ方向で第２磁石７２１と対向する側端部が第２ストッパ部７８３、７８４として機能する。したがって、第１磁気駆動回路６および第３磁気駆動回路８によって可動体３をＸ方向に駆動した際の可動範囲は、第２磁気駆動回路７の第２磁石７２１と第２コイルホルダ７５の第２座部７８１、７８２（第２ストッパ部７８３、７８４）とによって構成されたストッパ機構によって規制されている。

本形態において、第２ストッパ部７８３、７８４は、第２コイル７１の第２無効辺部分７１３、７１４の内縁より第２磁石７２１の側に位置している。このため、第２コイル７１の巻き始め側の引き出し部分が、例えば、第２無効辺部分７１３の内縁から第２コイル７１と第２座部７８１との間を通っている場合でも、第２コイル７１の巻き始め側の引き出し部分に第２磁石７２１が接触するという事態が発生しにくい。それゆえ、第２コイル７１の巻き始め側の引き出し部分が断線するという事態が発生しにくい。

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態のアクチュエータ１において、可動体３をＸ方向（第２方向）に振動させる第１磁気駆動回路６、可動体３をＹ方向（第３方向）に振動させる第２磁気駆動回路７、および可動体３をＸ方向に振動させる第３磁気駆動回路８が設けられているため、可動体３をＸ方向およびＹ方向に振動させることができる。したがって、使用者にＸ方向の振動、Ｙ方向の振動、Ｘ方向の振動とＹ方向の振動とを組み合わせた振動を体感させることができる。また、第１磁気駆動回路６、第２磁気駆動回路７、および第３磁気駆動回路８がＺ方向に重ねて配置されているため、アクチュエータ１をＺ方向からみたときのサイズ（平面積）が小さい。それゆえ、本形態のアクチュエータ１は、手に持つコントローラ等の機器に搭載するのに適している。さらに、可動体３をＹ方向に振動させる第２磁気駆動回路７に対してＺ方向の両側に、可動体３をＸ方向に振動させる第１磁気駆動回路６および第３磁気駆動回路８が設けられているため、可動体３をＸ方向に振動させた際、可動体３が傾く等の事態が発生しにくい。

また、第２磁気駆動回路７の磁気的中心位置（駆動点）は、Ｚ方向、Ｘ方向、およびＹ方向において可動体３の重心と一致する位置、またはほぼ一致する位置にある。また、第１磁気駆動回路６の磁気的中心位置（駆動点）と第３磁気駆動回路８の磁気的中心位置（駆動点）とを合成した磁気的中心位置は、Ｚ方向、Ｘ方向、およびＹ方向において可動体３の重心と一致する位置、またはほぼ一致する位置にある。このため、可動体３をＸ方向およびＹ方向に振動させた際、可動体３が傾く等の事態が発生しにくい。

また、支持体２に保持された基板１５には、第１コイル６１の一方端に電気的に接続された第１給電電極１５３ａと、第１コイル６１の他方端に電気的に接続された第２給電電極１５３ｂと、第２コイル７１の一方端に電気的に接続された第３給電電極１５３ｃと、第２コイル７１の他方端に電気的に接続された第４給電電極１５３ｄと、第３コイル８１の一方端に電気的に接続された第５給電電極１５３ｅと、第３コイル８１の他方端に電気的に接続された第６給電電極１５３ｆとが設けられている。このため、第１給電電極１５３ａおよび第２給電電極１５３ｂを介して第１コイル６１に駆動信号を供給する際、第１コイル６１に供給される駆動振動と同一波形の駆動信号を第３コイル８１に供給することができる。また、第１給電電極１５３ａおよび第２給電電極１５３ｂを介して第１コイル６１に駆動信号を供給する際、第１コイル６１に供給される駆動振動と波形の異なる任意の駆動信号を第５給電電極１５３ｅおよび第６給電電極１５３ｆを介して第３コイル８１に供給することができる。したがって、可動体３には、第１コイル６１に供給される駆動信号に基づく駆動と、第３コイル８１に供給される駆動信号に基づく駆動とを組み合わせた複雑な駆動を容易に行うことができる。

また、本形態では、カバー１１には、第１給電電極１５３ａ、第２給電電極１５３ｂ、第３給電電極１５３ｃ、第４給電電極１５３ｄ、第５給電電極１５３ｅ、および第６給電電極１５３ｆを露出させる開口部１１０が形成されている。このため、カバー１１を設けた場合でも、第１給電電極１５３ａ、第２給電電極１５３ｂ、第３給電電極１５３ｃ、第４給電電極１５３ｄ、第５給電電極１５３ｅ、および第６給電電極１５３ｆの各々に独立した配線を接続することができる。それゆえ、可動体３には、第１コイル６１に供給される駆動信号に基づく駆動と、第３コイル８１に供給される駆動信号に基づく駆動とを組み合わせた複雑な駆動を容易に行うことができる。

また、弾性部材４は、粘弾性を備えた粘弾性部材であって、可動体３に対するＺ方向の一方側Ｚ１、および可動体３に対するＺ方向の他方側Ｚ２の各々に設けられている。このため、可動体３が支持体２に対してＸ方向およびＹ方向に振動するとき、弾性部材４は、伸縮方向と直交するせん断方向に変形する。したがって、弾性部材４は、線形性が高い範囲で変形するので、リニアリティが良好な振動特性を得ることができる。

すなわち、弾性部材４（第１弾性部材４１および第２弾性部材４２）は、粘弾性部材（板状のゲル状ダンパー部材）であって、その伸縮方向によって、線形あるいは非線形の伸縮特性を備える。例えば、その厚さ方向（軸方向）に押圧されて圧縮変形する際は、線形の成分（バネ係数）よりも非線形の成分が大きい伸縮特性を備える一方、厚さ方向（軸方向）に引っ張られて伸びる場合は、非線形の成分（バネ係数）よりも線形の成分（バネ係数）が大きい伸縮特性を備える。また、厚さ方向（軸方向）と交差する方向（せん断方向）に変形する場合、いずれの方向に動いても、引っ張られて伸びる方向の変形であるため、非線形の成分（バネ係数）よりも線形の成分（バネ係数）が大きい変形特性を持つ。本形態において、可動体３がＸ方向およびＹ方向に振動した際、弾性部材４（粘弾性部材）は、せん断方向に変形するように構成されている。したがって、弾性部材４では、可動体３がＸ方向およびＹ方向に振動した際、運動方向によるバネ力が一定となる。それ故、弾性部材４のせん断方向のバネ要素を用いることにより、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上することができるので、微妙なニュアンスをもって振動を実現することができる。

また、弾性部材４は、可動体３と支持体２との間で第１方向Ｚに伸縮するように取り付けられ、弾性部材４が可動体３と支持体２との間で厚さ方向（軸方向）に押圧されて圧縮変形する際は、線形の成分（バネ係数）よりも非線形の成分（バネ係数）が大きい伸縮特性を備える。従って、可動体３の駆動方向と直交するＺ方向では、弾性部材４が大きく変形することを抑制できるので、可動体３と支持体２とのギャップが大きく変化することを抑制できる。

また、第１弾性部材４１は、Ｚ方向の両面が各々、可動体３および第１端板２８に接着等の方法で接続され、第２弾性部材４２は、Ｚ方向の両面が各々、可動体３および第２端板２９に接着等の方法で接続されている。したがって、弾性部材４は、可動体３の移動に確実に追従するので、可動体３の共振を効果的に防止することができる。

［他の実施の形態］
上記実施形態２では、第１磁気駆動回路６において第１コイル６１のＺ方向の両側に第１磁石６２１、６２２を配置し、第３磁気駆動回路８において第３コイル８１のＺ方向の両側に第３磁石８２１、８２２を配置したが、第１コイル６１のＺ方向の片側のみに第１磁石を配置し、第３磁気駆動回路８において第３コイル８１のＺ方向の片側のみに第３磁石を配置してもよい。

上記実施の形態では、弾性部材４（粘弾性部材）を可動体３のＺ方向の両側に配置したが、可動体３のＸ方向の両側、および可動体３のＹ方向の両側に弾性部材４（粘弾性部材）を配置してもよい。また、上記実施の形態では、弾性部材４としてゲル状ダンパー部材を用いたが、ゴムやバネ等を弾性部材４として用いてもよい。ゲル状部材（ゲル状ダンパー部材）としては、シリコーン系ゲルを例示することができる。より具体的には、弾性部材４として、針入度が１０度から１１０度であるシリコーン系ゲルを用いることができる。針入度とは、ＪＩＳ－Ｋ－２２０７やＪＩＳ－Ｋ－２２２０で規定されており、この値が小さい程、硬いことを意味する。

また、粘弾性とは、粘性と弾性の両方を合わせた性質のことであり、ゲル状部材、プラスチック、ゴム等の高分子物質に顕著に見られる性質である。したがって、粘弾性を備えた弾性部材４として、天然ゴム、ジエン系ゴム（例えば、スチレン・ブタジエンゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム）、クロロプレンゴム、アクリロニトリル・ブタジエンゴム等）、非ジエン系ゴム（例えば、ブチルゴム、エチレン・プロピレンゴム、エチレン・プロピレン・ジエンゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム等）、熱可塑性エラストマー等の各種ゴム材料及びそれらの変性材料を用いてもよい。

また、上記実施の形態において、第１弾性部材４１のＺ方向の両面を各々、可動体３および第１端板２８に接着により接続し、第２弾性部材４２のＺ方向の両面を各々、可動体３および第２端板２９に接着により接続する際、弾性部材４（第１弾性部材４１および第２弾性部材４２）は、支持体２と可動体３との間でＺ方向に圧縮された状態にある。したがって、弾性部材４は、可動体３の移動に確実に追従するので、可動体３の共振を効果的に防止することができる。

上記実施の形態では、コイルおよびコイルホルダが支持体２に設けられ、磁石およびヨークが可動体３に設けられていたが、コイルおよびコイルホルダが可動体３に設けられ、磁石およびヨークが支持体２に設けられている場合に本発明を適用してもよい。

Claims

支持体と、
前記支持体に対して移動可能な可動体と、
第１方向で対向する第１コイルおよび第１磁石を備え、前記可動体を前記第１方向に対して直交する第２方向に駆動する駆動力を発生させる第１磁気駆動回路と、
前記第１方向で対向する第２コイルおよび第２磁石を備え、前記可動体を前記第１方向と直交する第２方向に駆動する駆動力を発生させる第２磁気駆動回路と、
前記第１磁気駆動回路から離間する位置に前記第１方向で対向する第３コイルおよび第３磁石を備え、前記可動体を前記第１方向と直交し、前記第２方向と交差する第３方向に駆動する駆動力を発生させる第３磁気駆動回路と、
前記支持体に保持された基板と、
を有し、
前記基板には、前記第１コイルの一方端に電気的に接続された第１給電電極と、前記第１コイルの他方端に電気的に接続された第２給電電極と、前記第２コイルの一方端に電気的に接続された第３給電電極と、前記第２コイルの他方端に電気的に接続された第４給電電極と、前記第３コイルの一方端に電気的に接続された第５給電電極と、前記第３コイルの他方端に電気的に接続された第６給電電極と、を有することを特徴とするアクチュエータ。
前記支持体は、前記可動体、前記第１磁気駆動回路、前記第２磁気駆動回路、および前記第３磁気駆動回路を覆うカバーを備え、
前記カバーには、前記第１給電電極、前記第２給電電極、前記第３給電電極、前記第４給電電極、前記第５給電電極、および前記第６給電電極を露出させる開口部が形成されていることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
前記第１給電電極、前記第２給電電極、前記第３給電電極、前記第４給電電極、前記第５給電電極、および前記第６給電電極の各々に独立して配線が接続されていることを特徴とする請求項２に記載のアクチュエータ。
前記第１給電電極および前記第２給電電極を介して前記第１コイルに印加される第１コイル駆動信号と、前記第５給電電極および前記第６給電電極を介して前記第３コイルに印加される第３コイル駆動信号とは異なる波形を有していることを特徴とする請求項３に記載のアクチュエータ。
前記第１コイル駆動信号と前記第３コイル駆動信号とは、逆相の波形を有し、
前記第１磁気駆動回路と前記第３磁気駆動回路とは、前記可動体を前記第２方向で逆向きに駆動する駆動力を発生させることを特徴とする請求項４に記載のアクチュエータ。
前記第１磁気駆動回路、前記第２磁気駆動回路、および前記第３磁気駆動回路は、前記第１方向の一方側から他方側に順に重ねて配置されていることを特徴とする請求項１から５までの何れか一項に記載のアクチュエータ。
前記第２磁気駆動回路の磁気的中心位置は、前記可動体の重心と前記第１方向、前記第２方向、および前記第３方向で一致する位置、またはほぼ一致する位置にあり、
前記第１磁気駆動回路の磁気的中心位置と前記第３磁気駆動回路の磁気的中心位置とを合成した磁気的中心位置は、前記可動体の重心と前記第１方向、前記第２方向、および前記第３方向で一致する位置、またはほぼ一致する位置にあることを特徴とする請求項６に記載のアクチュエータ。