JP7033695B2 - スタックメモリアレイの誘電体延長部 - Google Patents
スタックメモリアレイの誘電体延長部 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7033695B2 JP7033695B2 JP2021533329A JP2021533329A JP7033695B2 JP 7033695 B2 JP7033695 B2 JP 7033695B2 JP 2021533329 A JP2021533329 A JP 2021533329A JP 2021533329 A JP2021533329 A JP 2021533329A JP 7033695 B2 JP7033695 B2 JP 7033695B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dielectric
- region
- stack
- extension
- memory cell
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B43/00—EEPROM devices comprising charge-trapping gate insulators
- H10B43/20—EEPROM devices comprising charge-trapping gate insulators characterised by three-dimensional arrangements, e.g. with cells on different height levels
- H10B43/23—EEPROM devices comprising charge-trapping gate insulators characterised by three-dimensional arrangements, e.g. with cells on different height levels with source and drain on different levels, e.g. with sloping channels
- H10B43/27—EEPROM devices comprising charge-trapping gate insulators characterised by three-dimensional arrangements, e.g. with cells on different height levels with source and drain on different levels, e.g. with sloping channels the channels comprising vertical portions, e.g. U-shaped channels
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B43/00—EEPROM devices comprising charge-trapping gate insulators
- H10B43/10—EEPROM devices comprising charge-trapping gate insulators characterised by the top-view layout
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B43/00—EEPROM devices comprising charge-trapping gate insulators
- H10B43/30—EEPROM devices comprising charge-trapping gate insulators characterised by the memory core region
- H10B43/35—EEPROM devices comprising charge-trapping gate insulators characterised by the memory core region with cell select transistors, e.g. NAND
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B43/00—EEPROM devices comprising charge-trapping gate insulators
- H10B43/40—EEPROM devices comprising charge-trapping gate insulators characterised by the peripheral circuit region
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B43/00—EEPROM devices comprising charge-trapping gate insulators
- H10B43/50—EEPROM devices comprising charge-trapping gate insulators characterised by the boundary region between the core and peripheral circuit regions
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B41/00—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates
- H10B41/10—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates characterised by the top-view layout
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B41/00—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates
- H10B41/20—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates characterised by three-dimensional arrangements, e.g. with cells on different height levels
- H10B41/23—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates characterised by three-dimensional arrangements, e.g. with cells on different height levels with source and drain on different levels, e.g. with sloping channels
- H10B41/27—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates characterised by three-dimensional arrangements, e.g. with cells on different height levels with source and drain on different levels, e.g. with sloping channels the channels comprising vertical portions, e.g. U-shaped channels
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B41/00—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates
- H10B41/50—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates characterised by the boundary region between the core region and the peripheral circuit region
Landscapes
- Semiconductor Memories (AREA)
- Non-Volatile Memory (AREA)
Description
Claims (15)
- スタックメモリアレイを形成する方法であって、
交互の第1及び第2の誘電体のスタックを形成することと、
前記スタックを通る誘電体延長部を形成することであって、
前記誘電体延長部の第1の部分が、前記スタックの第2の領域内における半導体構造体の第1のグループと半導体構造体の第2のグループとの間の、前記スタックの第1の領域内にあるように、かつ、
前記誘電体延長部の第2の部分が、半導体構造体の前記第1のグループ及び半導体構造体の前記第2のグループを含まない前記スタックの第3の領域内へ延在し、前記誘電体延長部が、前記第2の領域内の前記交互の第1及び第2の誘電体を前記第3の領域内の前記交互の第1及び第2の誘電体に結合するように、
前記誘電体延長部を形成することと、
前記誘電体延長部が、前記第3の領域内の前記交互の第1及び第2の誘電体を前記第2の領域内の前記交互の第1及び第2の誘電体に結合する間に、前記第1の領域を通る開口部を形成することと、
を含む方法。 - 前記スタックの前記第1の領域を通る前記開口部を形成することは、前記誘電体延長部の前記第1の部分を通る前記開口部を形成することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記誘電体延長部が、前記第3の領域内の前記交互の第1及び第2の誘電体を前記第2の領域内の前記第2の誘電体に結合する間に、前記第1の誘電体を前記第2の領域から除去することをさらに含み、前記第1の誘電体は、前記開口部を通って前記第1の誘電体にアクセスすることによって除去される、請求項1に記載の方法。
- 前記第1の誘電体を前記第2の領域から除去することは、除去された前記第1の誘電体に対応する空間と交互になっている前記第2の誘電体の前記第2の領域内にスタックを形成し、
前記方法は、前記誘電体延長部が、前記第3の領域内の前記交互の第1及び第2の誘電体を前記第2の領域内の前記第2の誘電体に結合する間に、前記開口部を通して金属を供給して、前記第2の領域内の前記空間内に前記金属を形成すること、をさらに含む、請求項3に記載の方法。 - 前記第1の誘電体を除去することは、前記開口部を通して除去材料を供給して前記第1の誘電体を除去することを含み、
前記除去材料は、ウェットエッチャントである、請求項3に記載の方法。 - 部分的に形成されたメモリセルが、前記半導体構造体に隣接し、
前記部分的に形成されたメモリセルは、
前記半導体構造体に隣接するトンネル誘電体と、
前記トンネル誘電体に隣接する電荷貯蔵構造体と、
前記電荷貯蔵構造体に隣接するブロッキング誘電体と、
を備え、
前記第1の誘電体を除去することは、前記ブロッキング誘電体を露出し、
前記方法は、
前記開口部を通して追加の誘電体を供給することによって、露出された前記ブロッキング誘電体に隣接する前記追加の誘電体を形成することと、
前記開口部を通して界面金属を供給することによって、前記追加の誘電体に隣接する前記界面金属を形成することと、
前記開口部を通して金属を供給することによって、前記界面金属に隣接する前記金属を形成することと、
をさらに含む、請求項1に記載の方法。 - スタックメモリアレイを形成する方法であって、
交互の第1及び第2の誘電体のスタックを形成することと、
前記スタックの第2の領域内における半導体構造体の第1のグループと半導体構造体の第2のグループとの間の、前記スタックの第1の領域内の前記スタックを通り、かつ、半導体構造体の前記第1のグループ及び半導体構造体の前記第2のグループを含まない前記スタックの第3の領域内へ延在する第1の開口部を形成することであって、前記第1の開口部が、前記第2及び第3の領域内の交互の第1及び第2の誘電体の一部分を露出する、ことと、
前記第1の開口部内に誘電体延長部を形成することであって、
前記誘電体延長部の第1の部分が、前記第2の領域内の前記交互の第1及び第2の誘電体の露出された前記一部分に隣接するように、かつ、
前記誘電体延長部の第2の部分が、前記第3の領域内の前記交互の第1及び第2の誘電体の露出された前記一部分に隣接するように、
前記誘電体延長部を形成することと、
前記誘電体延長部が第2の開口部をライニングするように、前記第1の領域内の前記スタック及び前記誘電体延長部の前記第1の部分を通る前記第2の開口部を形成することと、
を含む方法。 - 前記第2の開口部が形成される間に、前記誘電体延長部は、前記第2の領域内の前記交互の第1及び第2の誘電体を前記第3の領域内の前記交互の第1及び第2の誘電体に結合する、請求項7に記載の方法。
- 前記第2の開口部を通って前記第1の誘電体にアクセスすることによって、前記第1の誘電体を前記第2の領域から除去すること、をさらに含む、請求項7に記載の方法。
- 前記第1の誘電体を前記第2の領域から除去することは、空間と交互になっている前記第2の誘電体のスタックを前記第2の領域内に形成し、
前記方法は、前記空間内に金属を形成して、前記金属と交互になっている前記第2の誘電体のスタックを前記第2の領域内に形成すること、をさらに含む、請求項7に記載の方法。 - スタックメモリアレイであって、
メモリセルの第1及び第2のグループを含むメモリセル領域と、
前記メモリセル領域内の前記第1のグループと前記第2のグループとの間の第1の誘電体であって、非メモリセル領域内へ延在する一部分を備える第1の誘電体と、
前記非メモリセル領域内へ延在する前記第1の誘電体の前記一部分の周りを包む前記非メモリセル領域内の誘電体延長部と、
を備え、
前記第1の誘電体が、前記メモリセル領域内の導電性アクセスラインと交互になっている第2の誘電体を通過し、前記誘電体延長部が、前記非メモリセル領域内の第3の誘電体と交互になっている前記第2の誘電体を通過し、
前記第1の誘電体及び前記第2の誘電体が酸化物を含み、前記第3の誘電体が窒化物を含む、
スタックメモリアレイ。 - 前記誘電体延長部は、前記誘電体延長部が前記第1のグループと前記第2のグループとの間の前記第1の誘電体に重なるように、前記メモリセル領域内に延在する、請求項11に記載のスタックメモリアレイ。
- 前記誘電体延長部は、前記誘電体延長部の一部分が前記第1の誘電体と前記第1のグループとの間にあるように、かつ、前記誘電体延長部の別の部分が前記第1の誘電体と前記第2のグループとの間にあるように、前記メモリセル領域内に延在する、請求項11に記載のスタックメモリアレイ。
- 前記誘電体延長部は、前記誘電体延長部が前記メモリセル領域内の前記導電性アクセスラインと交互になっている前記第2の誘電体を通過するように、メモリセルの前記第1のグループと前記第2のグループとの間の前記メモリセル領域内に延在する、請求項11に記載のスタックメモリアレイ。
- スタックメモリアレイであって、
メモリセルの第1及び第2のグループを含むメモリセル領域と、
前記メモリセル領域内の前記第1のグループと前記第2のグループとの間の第1の誘電体であって、非メモリセル領域内へ延在する一部分を備える第1の誘電体と、
前記非メモリセル領域内へ延在する前記第1の誘電体の前記一部分の周りを包む前記非メモリセル領域内の誘電体延長部と、
を備え、
前記第1の誘電体が、前記メモリセル領域内の導電性アクセスラインと交互になっている第2の誘電体を通過し、前記誘電体延長部が、前記非メモリセル領域内の第3の誘電体と交互になっている前記第2の誘電体を通過し、
前記誘電体延長部は、前記誘電体延長部が前記第1のグループと前記第2のグループとの間の前記第1の誘電体に重なるように、前記メモリセル領域内に延在する、
スタックメモリアレイ。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US16/160,074 US10868032B2 (en) | 2018-10-15 | 2018-10-15 | Dielectric extensions in stacked memory arrays |
US16/160,074 | 2018-10-15 | ||
PCT/US2019/056212 WO2020081498A1 (en) | 2018-10-15 | 2019-10-15 | Dielectric extensions in stacked memory arrays |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021530121A JP2021530121A (ja) | 2021-11-04 |
JP7033695B2 true JP7033695B2 (ja) | 2022-03-10 |
Family
ID=70160185
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021533329A Active JP7033695B2 (ja) | 2018-10-15 | 2019-10-15 | スタックメモリアレイの誘電体延長部 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US10868032B2 (ja) |
EP (1) | EP3867955A4 (ja) |
JP (1) | JP7033695B2 (ja) |
KR (1) | KR102399360B1 (ja) |
CN (1) | CN112840455B (ja) |
WO (1) | WO2020081498A1 (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20120276702A1 (en) | 2011-04-27 | 2012-11-01 | Yang Jun-Kyu | Method of manufacturing semiconductor device |
US20130049096A1 (en) | 2011-08-31 | 2013-02-28 | Hongmei Wang | Methods and apparatuses including strings of memory cells formed along levels of semiconductor material |
US20170358595A1 (en) | 2015-11-16 | 2017-12-14 | Micron Technology, Inc. | Vertical memory blocks and related devices and methods |
US20180047739A1 (en) | 2016-08-09 | 2018-02-15 | Micron Technology, Inc. | Methods Of Forming An Array Of Elevationally-Extending Strings Of Memory Cells Comprising A Programmable Charge Storage Transistor And Arrays Of Elevationally-Extending Strings Of Memory Cells Comprising A Programmable Charge Storage Transistor |
US20180269227A1 (en) | 2017-03-14 | 2018-09-20 | Micron Technology, Inc. | Memory Cells and Integrated Structures |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20120208347A1 (en) | 2011-02-11 | 2012-08-16 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Three-dimensional semiconductor memory devices and methods of fabricating the same |
KR20120121177A (ko) * | 2011-04-26 | 2012-11-05 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 반도체 메모리 소자 및 그 제조방법 |
US8956968B2 (en) * | 2011-11-21 | 2015-02-17 | Sandisk Technologies Inc. | Method for fabricating a metal silicide interconnect in 3D non-volatile memory |
US10367001B2 (en) * | 2012-06-04 | 2019-07-30 | SK Hynix Inc. | 3D semiconductor memory device |
KR20140063147A (ko) * | 2012-11-16 | 2014-05-27 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 반도체 장치 및 그 제조 방법 |
KR102154093B1 (ko) | 2014-02-14 | 2020-09-10 | 삼성전자주식회사 | 3차원 반도체 소자 |
KR102282138B1 (ko) * | 2014-12-09 | 2021-07-27 | 삼성전자주식회사 | 반도체 소자 |
US9935000B2 (en) | 2016-02-29 | 2018-04-03 | Intel Corporation | Slit stress modulation in semiconductor substrates |
US10256248B2 (en) * | 2016-06-07 | 2019-04-09 | Sandisk Technologies Llc | Through-memory-level via structures between staircase regions in a three-dimensional memory device and method of making thereof |
US9773805B1 (en) | 2016-06-20 | 2017-09-26 | Micron Technology, Inc. | Integrated structures and methods of forming integrated structures |
KR102630954B1 (ko) * | 2016-11-08 | 2024-01-31 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 반도체 장치 및 그 제조방법 |
CN106910746B (zh) * | 2017-03-08 | 2018-06-19 | 长江存储科技有限责任公司 | 一种3d nand存储器件及其制造方法、封装方法 |
KR102346409B1 (ko) * | 2017-03-08 | 2021-12-31 | 양쯔 메모리 테크놀로지스 씨오., 엘티디. | 3차원 메모리 장치의 쓰루 어레이 컨택 구조 |
JP2019009382A (ja) * | 2017-06-28 | 2019-01-17 | 東芝メモリ株式会社 | 半導体装置 |
US10181442B1 (en) * | 2017-11-30 | 2019-01-15 | Sandisk Technologies Llc | Three-dimensional memory device having L-shaped word lines and methods of making the same |
KR102641737B1 (ko) * | 2018-06-21 | 2024-03-04 | 삼성전자주식회사 | 3차원 반도체 메모리 장치 |
-
2018
- 2018-10-15 US US16/160,074 patent/US10868032B2/en active Active
-
2019
- 2019-10-15 KR KR1020217014342A patent/KR102399360B1/ko active IP Right Grant
- 2019-10-15 JP JP2021533329A patent/JP7033695B2/ja active Active
- 2019-10-15 CN CN201980067484.2A patent/CN112840455B/zh active Active
- 2019-10-15 WO PCT/US2019/056212 patent/WO2020081498A1/en unknown
- 2019-10-15 EP EP19874727.1A patent/EP3867955A4/en active Pending
-
2020
- 2020-12-14 US US17/121,441 patent/US11424267B2/en active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20120276702A1 (en) | 2011-04-27 | 2012-11-01 | Yang Jun-Kyu | Method of manufacturing semiconductor device |
US20130049096A1 (en) | 2011-08-31 | 2013-02-28 | Hongmei Wang | Methods and apparatuses including strings of memory cells formed along levels of semiconductor material |
US20170358595A1 (en) | 2015-11-16 | 2017-12-14 | Micron Technology, Inc. | Vertical memory blocks and related devices and methods |
US20180047739A1 (en) | 2016-08-09 | 2018-02-15 | Micron Technology, Inc. | Methods Of Forming An Array Of Elevationally-Extending Strings Of Memory Cells Comprising A Programmable Charge Storage Transistor And Arrays Of Elevationally-Extending Strings Of Memory Cells Comprising A Programmable Charge Storage Transistor |
US20180269227A1 (en) | 2017-03-14 | 2018-09-20 | Micron Technology, Inc. | Memory Cells and Integrated Structures |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20210059792A (ko) | 2021-05-25 |
EP3867955A4 (en) | 2022-10-05 |
CN112840455B (zh) | 2022-09-30 |
US20210098493A1 (en) | 2021-04-01 |
CN112840455A (zh) | 2021-05-25 |
KR102399360B1 (ko) | 2022-05-18 |
US11424267B2 (en) | 2022-08-23 |
WO2020081498A1 (en) | 2020-04-23 |
US10868032B2 (en) | 2020-12-15 |
EP3867955A1 (en) | 2021-08-25 |
JP2021530121A (ja) | 2021-11-04 |
US20200119039A1 (en) | 2020-04-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102411019B1 (ko) | 전도성 구조체들, 전도성 구조체들을 포함하는 시스템들 및 디바이스들 및 관련 방법들 | |
US10355010B2 (en) | Memory device | |
US20190115366A1 (en) | Vertical memory device | |
KR102101841B1 (ko) | 수직형 비휘발성 메모리 소자 | |
KR102282139B1 (ko) | 반도체 장치 | |
US11121146B2 (en) | Forming terminations in stacked memory arrays | |
JP2008258458A (ja) | 半導体記憶装置及びその製造方法 | |
CN104979351A (zh) | 半导体装置及其制造方法 | |
US8212303B2 (en) | Nonvolatile semiconductor memory device | |
US9548312B1 (en) | Method including a formation of a control gate of a nonvolatile memory cell and semiconductor structure including a nonvolatile memory cell | |
KR20150125747A (ko) | 비휘발성 메모리 장치 | |
US10347318B2 (en) | Semiconductor memory device | |
CN104821319A (zh) | 半导体器件及其操作方法 | |
CN113206103A (zh) | 半导体存储器装置及其制造方法 | |
JP5801341B2 (ja) | 半導体メモリ | |
US11177279B2 (en) | Formation of termination structures in stacked memory arrays | |
TW202201763A (zh) | 鐵電隨機存取記憶體元件及形成方法 | |
JP7033695B2 (ja) | スタックメモリアレイの誘電体延長部 | |
JP2009206355A (ja) | 不揮発性半導体メモリ及び不揮発性半導体メモリの製造方法 | |
TWI580086B (zh) | 記憶體裝置及其製造方法 | |
US10818681B2 (en) | Termination structures in stacked memory arrays | |
US20230420372A1 (en) | Vertical memory devices and method of fabrication thereof | |
TW201428966A (zh) | 半導體裝置 | |
CN110911410A (zh) | 存储器装置及其制造方法 | |
CN112310104A (zh) | 半导体存储器装置及该半导体存储器装置的制造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210610 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210610 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20210610 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20211026 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220117 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220201 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220228 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7033695 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |