JP7021854B2 - 電力用電子回路パッケージおよびその製造方法 - Google Patents
電力用電子回路パッケージおよびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7021854B2 JP7021854B2 JP2017009926A JP2017009926A JP7021854B2 JP 7021854 B2 JP7021854 B2 JP 7021854B2 JP 2017009926 A JP2017009926 A JP 2017009926A JP 2017009926 A JP2017009926 A JP 2017009926A JP 7021854 B2 JP7021854 B2 JP 7021854B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electronic circuit
- substrate
- layer
- circuit package
- glass substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/18—High density interconnect [HDI] connectors; Manufacturing methods related thereto
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73251—Location after the connecting process on different surfaces
- H01L2224/73267—Layer and HDI connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/91—Methods for connecting semiconductor or solid state bodies including different methods provided for in two or more of groups H01L2224/80 - H01L2224/90
- H01L2224/92—Specific sequence of method steps
- H01L2224/921—Connecting a surface with connectors of different types
- H01L2224/9212—Sequential connecting processes
- H01L2224/92142—Sequential connecting processes the first connecting process involving a layer connector
- H01L2224/92144—Sequential connecting processes the first connecting process involving a layer connector the second connecting process involving a build-up interconnect
Landscapes
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Description
12、68、70、132、133 電力用半導体素子、半導体素子
14、42 誘電体層
16 接着剤、接着層
18 受動部品
20 金属相互接続
22 入出力(I/O)システム
24 銅回路付(DBC)基板
26、102 無機セラミック基板
28、104 上側銅シート
30、106 下側銅シート
32 ろう材層
34、135、171、172 導電性シム
36、93 半田
38 高分子誘電体材料
40、41、159、161、162、163、170、176、182 電子回路パッケージ
43、100、143 導電性基板
44、146 外側部分
46、48、52、123 厚さ
50、142 内側部分
51 凹部
54、56、58、60、62、124、140、141、144、174 ビア
64、138、177 接着層
66、86、94、96、139、154、175 底面、下面
72 接触パッド
74、80 能動面
76 ソースパッド
78 ゲートパッド
82、134 受動素子
84、150 下側金属化層
88、148 上側金属化層
90、110、128、152、180 上面
92 第1の接合層
98 第2の接合層
108、160 内部キャビティ
112 第1の部分
114 第2の部分
116 第3の部分
118 集積層、再分配層
16、120 接着剤
122 上側誘電体層
126、164 金属化層
130、131 電子回路パッケージサブモジュール
136 上層誘電体基板
137、173 中央支柱
156、158、178 接合層
167、169 入力/出力(I/O)接続
168 接合材料
Claims (17)
- 電子回路パッケージ(40)であって、
内側部分(50)を囲む外側部分(44)を有するガラス基板(42)であって、前記内側部分(50)は、第1の厚さ(48)を有し、前記外側部分(44)は、前記第1の厚さ(48)よりも厚い第2の厚さ(46)を有する、ガラス基板(42)と、
前記ガラス基板(42)の前記内側部分(50)の下面(66)に形成された接着層(64)と、
前記接着層(64)に結合された上面を有する半導体素子(68)であって、前記上面に配置された少なくとも1つの接触パッド(72)を有する半導体素子(68)と、
前記ガラス基板(42)の上面(90)に結合された第1の金属化層(88)であって、前記ガラス基板(42)の前記第1の厚さ(48)を通じて形成された第1のビア(54)を通って延びて、前記半導体素子(68)の前記少なくとも1つの接触パッド(72)と結合している第1の金属化層(88)と、
を備え、
前記半導体素子(68)は、電力用素子を備える、電子回路パッケージ(40)。 - 前記ガラス基板(42)の熱膨張率と前記半導体素子(68)の熱膨張率との差が7ppm/℃以下である、請求項1に記載の電子回路パッケージ(40)。
- 前記ガラス基板(42)の前記外側部分(44)の下面(86)に結合された第2の金属化層(84)を更に備え、
前記第1の金属化層(88)と前記第2の金属化層(84)は、前記ガラス基板(42)の前記第2の厚さ(46)を通じて形成された第2のビア(62)内で電気的に接続している、請求項1に記載の電子回路パッケージ(40)。 - 前記接着層(64)に結合された受動素子(82)を更に備え、
前記受動素子(82)は、前記第1の金属化層(88)に電気的に接続されている、請求項3に記載の電子回路パッケージ(40)。 - 前記ガラス基板(42)の底面(66)に隣接して配置され、前記第1の金属化層(88)に電気的に結合された導電性シム(135)を更に備える、請求項1に記載の電子回路パッケージ(40)。
- 前記半導体素子(68)の底面(94)に結合された導電性基板(100)と、
前記導電性基板(100)と前記ガラス基板(42)の前記外側部分(44)との間に配置された第2の接合層(98)であって、前記ガラス基板(42)の前記内側部分(50)の少なくとも小部分を囲む第2の接合層(98)と、
を更に備える、請求項1に記載の電子回路パッケージ(40)。 - 前記第2の接合層(98)は、前記電子回路パッケージ(40)の内部キャビティ(108)内に前記半導体素子(68)を気密封止する材料を備える、請求項6に記載の電子回路パッケージ(40)。
- 前記第2の接合層(98)は、前記ガラス基板(42)の前記外側部分(44)の下面(86)に直接結合されている、請求項6に記載の電子回路パッケージ(40)。
- 前記ガラス基板(42)と前記導電性基板(100)の間に配置されたキャビティ(1
08)を満たし、前記半導体素子(68)を囲む封入材を更に備える、請求項6に記載の電子回路パッケージ(40)。 - 電子回路パッケージ(40)の製造方法であって、
外側部分(44)により囲まれた内側部分(50)を有するガラス基板(42)を用意することであって、前記外側部分(44)は、前記内側部分(50)の厚さ(48)よりも大きい厚さ(46)を有する、ことと、
前記ガラス基板(42)の前記内側部分(50)の下面(66)に接着層(64)を形成することと、
半導体素子(68)の上面を前記接着層(64)を介して前記ガラス基板(42)に結合することであって、前記上面は、少なくとも1つの接触パッド(72)を備える、ことと、
前記ガラス基板(42)上に第1の金属化層(88)を形成することであって、前記第1の金属化層(88)は、前記ガラス基板(42)の前記内側部分(50)の前記厚さ(48)を通じて形成された少なくとも1つのビア(54)を通って延びて、前記半導体素子(68)の前記少なくとも1つの接触パッド(72)に接続している、ことと、
第1の接合層(92)を用いて前記半導体素子(68)の底面(94)を導電性基板(100)に結合することであって、前記導電性基板(100)は、前記導電性基板(100)に塗布された金属構造を有するセラミック層(102)を備える、ことと、
第2の接合層(98)を用いて前記ガラス基板(42)の前記外側部分(44)を前記導電性基板(100)に結合することと、
を含む、電子回路パッケージ(40)の製造方法。 - ガラスフリットまたは液晶高分子接着を用いて前記ガラス基板(42)の前記外側部分(44)の下面(86)を前記導電性基板(100)に直接結合することを更に含む、請求項10に記載の方法。
- 前記ガラス基板(42)の前記外側部分(44)の下面(86)に第2の金属化層(84)を形成することを更に含む、請求項10に記載の方法。
- 前記ガラス基板(42)の前記外側部分(44)の前記厚さ(46)を通じて延びるビア(62)を通って前記第1の金属化層(88)を前記第2の金属化層(84)に電気的に結合することを更に含む、請求項12に記載の方法。
- 前記接着層(64)を介して受動素子(82)を前記ガラス基板(42)に結合することと、
前記受動素子(82)を前記第1の金属化層(88)および前記第2の金属化層(84)に電気的に結合することと、
を更に含む、請求項13に記載の方法。 - 電力用電子回路パッケージ(40)であって、
第1の厚さ(48)を通じて形成された少なくとも1つのビア(54)を有する複数の厚さを有する基板と、
前記複数の厚さを有する基板に結合された能動面を有する電力用素子(68)であって、前記能動面は、前記複数の厚さを有する基板内の前記少なくとも1つのビア(54)と位置合わせされた少なくとも1つの接触パッド(72)を備える、電力用素子(68)と、
前記複数の厚さを有する基板の上面(90)に形成され、前記少なくとも1つ
のビア(54)を通って延びて、前記少なくとも1つの接触パッド(72)に接触している第1の金属化層(88)と、
前記複数の厚さを有する基板のうち前記第1の厚さ(48)よりも大きい第2の厚さ(46)を有する部分に結合された導電性基板(100)とを備え、
前記複数の厚さを有する基板の熱膨張率と前記電力用素子(68)の熱膨張率との差が、約7ppm/℃未満であり、
電力用素子(68)は、前記複数の厚さを有する基板と前記導電性基板(100)との間に形成されたキャビティ(108)内に気密封止されている、電力用電子回路パッケージ(40)。 - 前記複数の厚さを有する基板と前記電力用素子(68)との間に配置された接着層(64)であって、前記複数の厚さを有する基板のうちの前記第1の厚さ(48)を有する部分に結合された接着層(64)を更に備える、請求項15に記載の電力用電子回路パッケージ(40)。
- 前記複数の厚さを有する基板および前記第1の金属化層(88)に結合された電気部品(82)と、
前記複数の厚さを有する基板のうち前記第2の厚さ(46)を有する部分の下面(86)に形成された第2の金属化層(84)と、を更に備え、
前記電気部品(82)は、前記複数の厚さを有する基板の前記第2の厚さ(46)を通じて形成された金属化ビア(62)を介して前記第2の金属化層(84)に電気的に結合されている、請求項16に記載の電力用電子回路パッケージ(40)。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017009926A JP7021854B2 (ja) | 2017-01-24 | 2017-01-24 | 電力用電子回路パッケージおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017009926A JP7021854B2 (ja) | 2017-01-24 | 2017-01-24 | 電力用電子回路パッケージおよびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018120902A JP2018120902A (ja) | 2018-08-02 |
JP7021854B2 true JP7021854B2 (ja) | 2022-02-17 |
Family
ID=63043150
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017009926A Active JP7021854B2 (ja) | 2017-01-24 | 2017-01-24 | 電力用電子回路パッケージおよびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7021854B2 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7119842B2 (ja) * | 2018-09-27 | 2022-08-17 | Tdk株式会社 | Mosトランジスタ内蔵基板及びこれを用いたスイッチング電源装置 |
US10892237B2 (en) * | 2018-12-14 | 2021-01-12 | General Electric Company | Methods of fabricating high voltage semiconductor devices having improved electric field suppression |
JP7254930B2 (ja) | 2019-03-12 | 2023-04-10 | アブソリックス インコーポレイテッド | パッケージング基板及びこれを含む半導体装置 |
KR102653023B1 (ko) | 2019-03-12 | 2024-03-28 | 앱솔릭스 인코포레이티드 | 패키징 기판 및 이를 포함하는 반도체 장치 |
US11981501B2 (en) | 2019-03-12 | 2024-05-14 | Absolics Inc. | Loading cassette for substrate including glass and substrate loading method to which same is applied |
JP7087205B2 (ja) | 2019-03-29 | 2022-06-20 | アブソリックス インコーポレイテッド | 半導体用パッケージングガラス基板、半導体用パッケージング基板及び半導体装置 |
WO2021040178A1 (ko) | 2019-08-23 | 2021-03-04 | 에스케이씨 주식회사 | 패키징 기판 및 이를 포함하는 반도체 장치 |
JP2022020941A (ja) | 2020-07-21 | 2022-02-02 | 新光電気工業株式会社 | 半導体装置 |
JP2023094391A (ja) | 2021-12-23 | 2023-07-05 | 新光電気工業株式会社 | 半導体装置 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002359341A (ja) | 2001-05-31 | 2002-12-13 | Hitachi Ltd | 半導体モジュールおよびその製造方法 |
CN1577813A (zh) | 2003-07-22 | 2005-02-09 | 松下电器产业株式会社 | 电路模块及其制造方法 |
JP2007047850A (ja) | 2005-08-05 | 2007-02-22 | Dainippon Printing Co Ltd | Icカード、icカードの製造方法、およびicカードの製造装置 |
JP2008176626A (ja) | 2007-01-19 | 2008-07-31 | Dainippon Printing Co Ltd | 非接触データキャリア、非接触データキャリア用配線板 |
US20090215231A1 (en) | 2008-02-25 | 2009-08-27 | Shinko Electric Industries Co., Ltd | Method of manufacturing electronic component built-in substrate |
JP2009239247A (ja) | 2008-03-27 | 2009-10-15 | Ibiden Co Ltd | 多層プリント配線板の製造方法 |
JP2010153691A (ja) | 2008-12-26 | 2010-07-08 | Seiko Instruments Inc | 電子デバイスの製造方法 |
JP2013197258A (ja) | 2012-03-19 | 2013-09-30 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 回路基板、半導体モジュールの製造方法 |
JP2015128124A (ja) | 2013-12-30 | 2015-07-09 | 合同会社東京ソリューションズ | 部品搭載したプリント配線板とその製造方法 |
JP2016058417A (ja) | 2014-09-05 | 2016-04-21 | 日本特殊陶業株式会社 | 半導体パワーモジュールの製造方法 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10270972A (ja) * | 1997-03-19 | 1998-10-09 | Daishinku Co | 表面実装型電子部品 |
-
2017
- 2017-01-24 JP JP2017009926A patent/JP7021854B2/ja active Active
Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002359341A (ja) | 2001-05-31 | 2002-12-13 | Hitachi Ltd | 半導体モジュールおよびその製造方法 |
CN1577813A (zh) | 2003-07-22 | 2005-02-09 | 松下电器产业株式会社 | 电路模块及其制造方法 |
JP2005045013A (ja) | 2003-07-22 | 2005-02-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 回路モジュールとその製造方法 |
JP2007047850A (ja) | 2005-08-05 | 2007-02-22 | Dainippon Printing Co Ltd | Icカード、icカードの製造方法、およびicカードの製造装置 |
JP2008176626A (ja) | 2007-01-19 | 2008-07-31 | Dainippon Printing Co Ltd | 非接触データキャリア、非接触データキャリア用配線板 |
US20090215231A1 (en) | 2008-02-25 | 2009-08-27 | Shinko Electric Industries Co., Ltd | Method of manufacturing electronic component built-in substrate |
JP2009200389A (ja) | 2008-02-25 | 2009-09-03 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 電子部品内蔵基板の製造方法 |
JP2009239247A (ja) | 2008-03-27 | 2009-10-15 | Ibiden Co Ltd | 多層プリント配線板の製造方法 |
JP2010153691A (ja) | 2008-12-26 | 2010-07-08 | Seiko Instruments Inc | 電子デバイスの製造方法 |
JP2013197258A (ja) | 2012-03-19 | 2013-09-30 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 回路基板、半導体モジュールの製造方法 |
JP2015128124A (ja) | 2013-12-30 | 2015-07-09 | 合同会社東京ソリューションズ | 部品搭載したプリント配線板とその製造方法 |
JP2016058417A (ja) | 2014-09-05 | 2016-04-21 | 日本特殊陶業株式会社 | 半導体パワーモジュールの製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018120902A (ja) | 2018-08-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11177204B2 (en) | Power electronics package and method of manufacturing thereof | |
JP7021854B2 (ja) | 電力用電子回路パッケージおよびその製造方法 | |
US10186477B2 (en) | Power overlay structure and method of making same | |
JP6595158B2 (ja) | パワーオーバーレイ構造およびその製造方法 | |
KR101978512B1 (ko) | 리드프레임 접속을 갖는 pol 구조체 | |
US10804116B2 (en) | Electronics package with integrated interconnect structure and method of manufacturing thereof | |
US10312194B2 (en) | Stacked electronics package and method of manufacturing thereof | |
US10700035B2 (en) | Stacked electronics package and method of manufacturing thereof | |
CA2563480C (en) | Power circuit package and fabrication method | |
US10770444B2 (en) | Electronics package having a multi-thickness conductor layer and method of manufacturing thereof | |
CN108428689B (zh) | 功率电子设备组件及其制造方法 | |
EP3352212B1 (en) | Power electronics package and method of manufacturing thereof | |
KR102367619B1 (ko) | 전력 전자 패키지 및 그 제조 방법 | |
TWI697077B (zh) | 功率電子封裝及其製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20190806 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200114 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20201225 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210203 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210428 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210928 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20211223 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220119 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220204 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7021854 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |