JP7018301B2 - 積層フィルム及び一時粘着保護剥離シート - Google Patents
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Description
しかしながら、特許文献1~3に記載された樹脂フィルムは、上記作業性の観点から十分満足なものではなかった。また、特許文献2,3に記載された樹脂フィルムが、印刷層に無機微細粉末や有機フィラーを含む場合には、無機微細粉末等が脱落し、回路基板等の表面を傷つけるおそれがあった。
[1]基材層、被覆層、及び粘着力調整層が少なくともこの順に積層され、前記基材層がポリオレフィン系樹脂と無機微細粉末とを含む樹脂組成物からなり、前記被覆層がポリプロピレン系樹脂を含む樹脂組成物からなり、前記粘着力調整層が、(メタ)アクリル酸エステル共重合体からなり、JIS K6768:1999に従い試験用混合液を用いて前記粘着力調整層の表面で測定したぬれ張力が30~50mN/mであり、前記基材層中の前記無機微細粉末の含有量が、前記基材層の固形分総量に対して、10質量%以上であり、 前記被覆層中の無機微細粉末の含有量が、前記被覆層の固形分総量に対して、5質量%未満であることを特徴とする積層フィルム。
図1は、本発明の一実施形態の積層フィルム10の層構成を示す模式断面図である。積層フィルム10は、基材層1、被覆層2、及び粘着力調整層3が少なくともこの順に積層された積層構造を有する。
以下において、積層フィルム10を構成する各層について説明する。
基材層1は、被覆層2及び粘着力調整層3を支持する層である。また、基材層1は、被覆層2の、粘着力調整層3が配置される側の面とは反対側の面に配置される。これにより、積層フィルム10は、基材層1/被覆層2/粘着力調整層3の順に積層された積層構造を含む。
基材層1に含まれるポリオレフィン系樹脂や無機微細粉末の含有量は特に限定されないが、例えば、基材層1の固形分総量を基準として、30~95質量%のポリオレフィン系樹脂と、5~70質量%の無機微細粉末とを含むことが好ましい。また、基材層1を構成する樹脂組成物に、有機フィラーを含ませてもよい。
とりわけ、上述した諸物性のバランスに優れる観点から、高密度ポリエチレン、ポリプロピレン系樹脂、ポリプロピレン系樹脂とポリエチレンとの混合物がより好ましく、ポリプロピレン系樹脂、ポリプロピレン系樹脂と高密度又は低密度のポリエチレンとの混合物がさらに好ましい。また、ポリプロピレン系樹脂としては、融点が150~170℃であるプロピレン単独重合体や融点が70~160℃であるプロピレン系共重合体が好ましく、ポリエチレンとしては、融点が50~140℃であるエチレン単独重合体若しくはエチレン系共重合体が好ましい。
被覆層2は、ポリプロピレン系樹脂を含み、実質的に無機微細粉末を含まない樹脂組成物からなる。このような被覆層2を備えることで、基材層1を構成する樹脂組成物に含まれる無機微細粉末の脱落を抑制できる。積層フィルム10を被着体(例えば、回路基板等)の表面に貼付する際や、積層フィルム10を被着体から剥離する際に、積層フィルム10から無機微細粉末が脱落すると、被着体の表面又は裏面に無機微細粉末が付着し、被着体を傷つけるおそれがある。特に回路基板等は、その表面に緻密で微細な配線を有するため、表面の傷は、回路基板が搭載された製品の信頼性を低下させる原因になる。無機微細粉末の配合された基材層1に、無機微細粉末が実質的に配合されていない被覆層2を積層することで、無機微細粉末の脱落を抑制し、このような不具合を防止できる。
また、基材層1への無機微細粉末の配合により基材層1の表面には凹凸が形成されることがある。基材層1の表面の凹凸は、積層フィルム10を被着体に貼付したときに、接着力に影響を与えることがある。また被着体の表面を傷つける原因になることがある。基材層1に被覆層2を積層することで基材層1の凹凸を被覆層2が緩和し、被着体との接着面積を増やすとともに、被着体の表面を傷つけることなく、被着体に積層フィルム10を貼付できる。
ここで、「実質的に含まない」とは、被覆層2の固形分総量を基準に、無機微細粉末の含有量が0.0質量%以上~10.0質量%未満であることを意味し、より好ましくは0.0質量%以上~5.0質量%未満、さらに好ましくは0.0質量%以上~3.0質量%未満、特に好ましくは0.0質量%以上~1.0質量%未満である。なお、無機微細粉末の含有量は、意図して添加されているものを対象とし、所謂コンタミネーションによるものはこの限りでない。また、被覆層2を構成する樹脂組成物は、実質的に有機フィラーも含まないことが好ましい。無機微細粉末や有機フィラーの詳細等は、上述した基材層1で述べたものと同様である。
粘着力調整層3は、(メタ)アクリル酸エステル共重合体からなる層である。つまり、粘着力調整層3は、(メタ)アクリル酸エステル共重合体以外の成分を実質的に含まない。特定組成からなり、特定範囲のぬれ張力を有する粘着力調整層3を積層フィルム10の構成層として設けることで、加工工程中には被着体に積層フィルム10を確実に貼付でき、加工工程後には被着体から積層フィルム10を容易に剥離することが可能になる。また、特定組成からなる粘着力調整層3によれば、剥離後の被着体の表面に、粘着力調整層3由来の成分が残留することを抑制できる。また、特定組成からなる粘着力調整層3を設けることで、積層フィルム10の帯電を防止し、積層フィルム10への異物の付着を抑制できる。
カチオン型の(メタ)アクリル酸エステル共重合体としては、アンモニウム塩やホスホニウム塩構造等を有する(メタ)アクリル酸エステル共重合体が挙げられるが、特に限定されない。
アニオン型の(メタ)アクリル酸エステル共重合体としては、スルホン酸、リン酸、カルボン酸等のアルカリ金属塩、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、(無水)マレイン酸等のアルカリ金属塩(例えばリチウム塩、ナトリウム塩、カリウム塩等)構造等を分子構造中に有する(メタ)アクリル酸エステル共重合体が挙げられるが、特に限定されない。
両性型の(メタ)アクリル酸エステル共重合体としては、前述のカチオン型とアニオン型の両方の構造を同一分子中に含有する(メタ)アクリル酸エステル共重合体、具体的にはベタイン型の(メタ)アクリル酸エステル共重合体が挙げられるが、特に限定されない。
ノニオン型の(メタ)アクリル酸エステル共重合体としては、アルキレンオキシド構造等やホウ素を分子構造中に有する(メタ)アクリル酸エステル共重合体が挙げられるが、特に限定されない。
<ぬれ張力>
積層フィルム10においては、JIS K6768:1999に従い試験用混合液を用いて粘着力調整層3の表面で測定したぬれ張力は、通常30mN/m以上、好ましくは35mN/m以上であり、通常50mN/m以下、好ましくは45mN/m以下である。当該ぬれ張力は、粘着力調整層3の表面張力(表面自由エネルギー[mJ/m2=mN・m/m2=mN/m]と原理上等価である)を近似的に示すものであり、被着体に対する積層フィルム10の貼付性を表す。
本実施形態に係る積層フィルム10における粘着力調整層3の表面で測定されるぬれ張力の数値範囲は、比較的低く、かつ、狭い範囲である。このようなぬれ張力を有する粘着力調整層3を配置した積層フィルム10によれば、被着体に対して仮着された状態を維持したままで被着体の加工工程を行うことができる。また、加工工程後、積層フィルム10を被着体から所定の応力で剥離することが容易である。なお、「仮着」とは、積層フィルム10が被着体の表面に、剥離可能に一時的に固定(保持)された状態をいう。
積層フィルム10においては、スチレン-ブタジエン系樹脂に40℃環境下、35MPaで圧着した粘着力調整層3を剥離するときの接着力が、好ましくは100gf/10mm以上、より好ましくは120gf/10mm以上であり、好ましくは160gf/10mm以下、より好ましくは150gf/10mm以下である。
回路基板等はスチレン-ブタジエン系樹脂を含む樹脂組成物により封止(被覆)されることがある。つまり、スチレン-ブタジエン系樹脂に対する接着力は、樹脂封止された回路基板等に対する積層フィルム10の貼付性の指針といえる。したがって、スチレン-ブタジエン系樹脂に対する接着力を上記範囲とすることで、被着体として樹脂封止された回路基板等を用いる場合であっても、加工工程中において積層フィルム10の被着体に対する仮着状態が良好に保たれ、また、所定の応力でより容易に積層フィルム10を被着体から剥離できる。
積層フィルム10は、基材層1、被覆層2、及び粘着力調整層3が少なくともこの順に積層された積層構造を有する。ここで、本明細書において「この順に積層された」とは、これらがこの順に配列していることを意味し、各層のみが直接積層した構造のみならず、基材層1と被覆層2との間に、及び/又は、被覆層2と粘着力調整層3との間に、接着剤層や中間層等の任意の層が介在している態様をも包含する趣旨である。
なお、積層フィルム10の製造コストを低減する観点からは、基材層1と被覆層2との間、及び、被覆層2と粘着力調整層3との間に、上記任意の層を設けないことが好ましい。
基材層1の厚み寸法は、好ましくは39~380μm、より好ましくは45~280μm、さらに好ましくは53~180μmである。被覆層2の厚み寸法は、好ましくは1~30μm、より好ましくは5~20μm、さらに好ましくは7~15μmである。粘着力調整層3の厚み寸法は、好ましくは0.001~0.5μm、より好ましくは0.003~0.3μm、さらに好ましくは0.005~0.1μmである。
基材層1と被覆層2と粘着力調整層3との厚み寸法の比[(基材層1):(被覆層2):(粘着力調整層3)]は、好ましくは50~95:4~30:0.01~1、より好ましくは60~95:5~20:0.02~0.5、さらに好ましくは70~95:7~15:0.03~0.1である。
基材層1及び被覆層2の成形方法は、公知の方法を適宜適用することができ、その種類は特に限定されない。例えば、スクリュー型押出機に接続された単層又は複層のTダイやIダイを利用して、溶融樹脂をシート状に押し出すキャスト成形、スクリュー型押出機に接続されたOダイを利用して、溶融樹脂を筒状に押し出すインフレーション成形、カレンダー成形、圧延成形、熱可塑性樹脂と有機溶媒やオイルとの混合物をキャスト成形又はカレンダー成形した後に溶媒やオイルを除去する方法等を用いて成形することができる。
基材層1と被覆層2との積層方法は、公知の方法を適宜適用することができ、その種類は特に限定されない。例えば、フィードブロック、マルチマニホールドおよび多層ダイスを用いた共押出方式と、複数のダイスを使用する押出しラミネーション方式等を適用することができる。また、共押出方式と押出しラミネーション方式を組み合わせて使用することもできる。その他に接着剤を用いたドライラミネートやウェットラミネート、ホットメルトラミネート等、公知のいかなる積層法も用いることができる。
基材層1及び被覆層2は、少なくとも1軸方向以上に延伸されたものであることが好ましい。延伸することによってコシ(stiffness)が得られ易く、また、各層の厚み寸法のバラツキが緩和されて均一な厚みの積層フィルム10を得ることができる。さらには、積層フィルム10において平坦な表面が得られ易い傾向にある。
上記のように積層された基材層1と被覆層2において、被覆層2の表面、つまり、被覆層2の、基材層1が配置される側の面とは反対側の面に、粘着力調整層3が配置される。粘着力調整層3は、被覆層2の表面に、(メタ)アクリル酸エステル共重合体からなる樹脂組成物を共押出すること、または押出ラミネートすることで成形し、積層することができる。または被覆層2の表面に、(メタ)アクリル酸エステル共重合体を含む塗工剤を塗布し、乾燥させることで形成することができる。塗工による場合、塗工剤の塗布量は特に限定されないが、粘着力の調整やベタツキの抑制等の観点から、固形分換算で、好ましくは0.005~3g/m2、より好ましくは0.007~1g/m2、さらに好ましくは0.01~0.5g/m2である。
被覆層2の表面の酸素原子数濃度は、上記の酸化処理後1週間以内に、X線光電子分光装置((株)島津製作所製、商品名ESCA-3200型)を用いて、1×106Torr以下の真空度下、MgのKd線(1254.0eV)をX線源とし、光電子放出角90°の条件で測定した値とする。ここで測定する酸素原子のピークとしては、O1sピーク(533eV)を用いる。
被覆層2の表面の酸素原子数濃度は、好ましくは3.8~20%、より好ましくは4.0~10%である。酸素原子数濃度が好ましい範囲内にあることにより、後述するぬれ張力の調整がより容易になる。なお、酸素原子数濃度は、上述した酸化処理方法の処理範囲や処理エネルギー量等により調整することが可能である。
本実施形態の積層フィルム10は、粘着力調整層3を被着体の表面に仮着して用いる用途に適している。つまり、積層フィルム10は、その粘着力により被着体の表面に一時的に固定(保持)され、その表面を保護した後に剥離される用途、すなわち、一時粘着保護剥離シートとして好ましく使用できる。被着体は特に限定されないが、回路基板が複数配置された回路基板集合体が好ましい。回路基板としては、例えば、絶縁性の樹脂基板上に銅箔等で回路パターンを形成したプリント配線基板;絶縁性の樹脂基板上に配線層が多層に形成された多層回路基板;セラミックを絶縁基板とするセラミック基板;ガラス基板;有機リジッド基板、フレキシブル回路基板等が挙げられる。また、これらの回路基板を樹脂封止した回路基板であってもよい。回路基板を封止する樹脂は特に限定されず、例えば、スチレン-ブタジエン系樹脂が挙げられる。
また、製造コストを低減する観点及び、回路基板の表面に印刷インキ等が転写することを防止する観点から、上記用途の積層フィルム10を構成する基材層1、被覆層2及び粘着力調整層3のいずれにも印刷加工が施されないことが好ましい。回路基板の表面に印刷インキや粘着力調整層3由来の成分等の有機物が残留すると、回路基板を搭載した製品の信頼性が低下することがある。
基材層及び被覆層を構成する樹脂組成物の配合例1~4を以下に示す。表1に配合例1~4に使用する成分を示す。また、表2に各配合例における樹脂組成物中の成分配合比率を示す。なお、表2において、「-」は樹脂組成物が当該成分を含まないことを示す。
プロピレン単独重合体「ノバテックPP MA3」(日本ポリプロ社製、商品名)からなるペレットを用意した。
(配合例2~4)
表1に記載の原料を、表2に記載の配合比率で混合した樹脂組成物を、270℃に設定した押出機で溶融混錬し、その後これをストランド状に押し出し、水中で冷却し、ペレタイザーを用いてペレット化して、配合例2~4の樹脂組成物からなるペレットを得た。
(1)塗工剤を構成する成分の合成例
粘着力調整層用塗工剤を構成する成分の合成例1~3を以下に示す。
(合成例1)
環流冷却器、温度計、窒素置換用ガラス管、及び撹拌装置を取り付けた四つ口フラスコに、ジメチルアミノエチルメタクリレート40質量部、エチルメタクリレート50質量部、2-ヒドロキシエチルメタクリレート10質量部、エチルセルソロブ100質量部、及び、アゾビスイソブチロニトリル0.6質量部を添加し、窒素気流下にて80℃で撹拌して3時間重合反応を行った。
次いで、四級化剤としてモノクロル酢酸ソーダ18.5質量部を水20質量部で溶解した溶液を添加し、さらに80℃で3時間反応させた後、水を滴下しながらエチルセルソルブを留去して、両性型のメタクリル酸エステル共重合体の水溶液を得た。得られたメタクリル酸エステル共重合体水溶液の最終固形分濃度は、20質量%であった。
環流冷却器、温度計、窒素置換用ガラス管、及び攪拌装置を取り付けた四つ口フラスコに、ジメチルアミノエチルメタクリレート35質量部、エチルメタクリレート20質量部、シクロヘキシルメタクリレート20質量部、ステアリルメタクリレート25質量部、エチルアルコール150質量部、及び、アゾビスイソブチロニトリル1質量部を添加し、窒素気流下にて80℃で攪拌して6時間重合反応を行った。
次いで、3-クロロ-2-ヒドロキシプロピルアンモニウムクロリドの60質量%エチルアルコール溶液70質量部を加え、さらに80℃で15時間反応させた後、水を滴下しながらエチルアルコールを留去して、最終固形分濃度が30質量%のメタクリル酸エステル共重合体の水溶液を得た。この共重合体は、下記式(1)で示される第4級アンモニウム塩基を分子鎖内に含むカチオン型のメタクリル酸エステル共重合体であった。
攪拌機、環流冷却器、温度計、及び窒素ガス導入口を備えた四つ口フラスコに、ポリエチレンイミン(日本触媒(株)社製、商品名「エポミンP-1000(重合度1600)」)の25質量%水溶液100質量部、グリシドール10質量部、及びプロピレングリコールモノメチルエーテル10質量部を入れて窒素気流下で攪拌し、80℃で16時間変性反応を行って、グリシドール変性ポリエチレンイミン水溶液を得た。これを乾燥した後、赤外分光分析、1H-核磁気共鳴分光分析(1H-NMR)、及び13C-核磁気共鳴分光分析(13C-NMR)により、グリシドールのエポキシ基がポリエチレンイミンの窒素に付加して生成した構造、及びポリエチレンイミンの窒素の23%がグリシドールと反応した生成物であることを確認した。
粘着力調整層に使用する塗工剤の調整例1~5を以下に示す。また、表3に、調整例1~5に使用する成分を示す。また、表4に各調整例の成分配合比率を示す。ここで、調整例における質量部は、水溶液または水分散体として得られる塗工剤中の質量部を表し、原料の固形分の質量部を表すものではない。なお、表4において、「-」は塗工剤が当該成分を含まないことを示す。
合成例1で得たメタクリル酸エステル共重合体を、固形分濃度が2質量%となるように純水で希釈し、撹拌して均一な水溶液として調整例1の塗工剤を得た。
合成例2で得たメタクリル酸エステル共重合体と、合成例3で得た変性ポリエチレンイミンを、固形分濃度が表4に記載の割合となるように配合して純水で希釈し、撹拌して均一な水溶液として調整例2の塗工剤を得た。
合成例1で得たメタクリル酸エステル共重合体と、合成例3で得た変性ポリエチレンイミンと、表3に記載の架橋剤とを、固形分濃度が表4に記載の割合となるように配合して純水で希釈し、撹拌して均一な水溶液として、調整例3の塗工剤を得た。
合成例2で得たメタクリル酸エステル共重合体を、固形分濃度が2質量%となるように純水で希釈し、撹拌して均一な水溶液として調整例4の塗工剤を得た。
合成例3で得た変性ポリエチレンイミンを、固形分濃度が2質量%となるように純水で希釈し、撹拌して均一な水溶液として調整例5の塗工剤を得た。
基材層を構成する原料として、配合例3の樹脂組成物からなるペレットを、270℃に設定した押出機で溶融混練した。これをTダイよりシート状に押し出し、冷却ロールにより冷却して、無延伸シートを得た。次いで、この無延伸シートを150℃にまで再度加熱させた後、ロール間の速度差を利用してシート流れ方向に5倍の延伸を行って縦延伸樹脂フィルムを得た。
別に、被覆層を構成する原料として、配合例2の樹脂組成物からなるペレットを、270℃に設定した押出機で溶融混練した。これをTダイよりシート状に押し出しし、これを上述の縦延伸樹脂フィルムの一方の面上に、積層し、二層構造の積層シートを得た。
この二層構造の積層シートを60℃にまで冷却した後、再び155℃にまで再加熱して、テンターを用いてシート幅方向に8.5倍延伸し、次いで165℃でアニーリング処理した。そして、再び60℃にまで冷却した後、耳部をスリットして、被覆層/基材層の二層構造(一軸延伸/二軸延伸)の厚み寸法110μm(10μm/100μm)の樹脂フィルムを得た。
また、得られた積層フィルムの粘着力調整層側表面におけるぬれ張力は36mN/mであり、粘着力調整層の厚み寸法は0.01μmであった。また、後述の方法により行った積層フィルムの識別性、紙粉レベルおよび接着力の評価結果を、まとめて表5に示す。
上述の実施例1の基材層及び被覆層を構成する樹脂組成物、並びに、粘着力調整層の塗工剤を、表5に記載の樹脂組成物や塗工剤に変更すること以外は、実施例1と同様の工程を経て、実施例2,3、並びに、比較例1~4及び6の積層フィルムを得た。
得られた積層フィルムの粘着力調整層側表面におけるぬれ張力、積層フィルムの識別性、紙粉レベルおよび接着力の評価結果を、まとめて表5に示す。
コロナ放電処理までを実施例1と同様に行い、塗工剤を塗布せずに粘着力調整層を設けなかったこと以外は、実施例1と同様の工程を経て、比較例5の積層フィルムを得た。
得られた積層フィルムの被覆層側の表面におけるぬれ張力、積層フィルムの識別性、紙粉レベルおよび接着力の評価結果を、まとめて表5に示す。
[ぬれ張力]
得られた積層フィルムの粘着力調整層(比較例5では被覆層)側表面のぬれ張力を、JIS K6768:1999に従い、ぬれ張力試験用混合液(和光純薬工(株))を用いて評価した。
得られた積層フィルムを黒色紙上に置き、ポータブル分光濃度計「508分光濃度計」(ビデオジェット・エックスライト社製)を用いて積層フィルムの色濃度を測定した。同濃度と黒色紙の濃度の差が1.0未満である場合に「×」、1.0以上である場合に「○」として評価した。積層フィルムが透明である場合は、下地の黒色紙が透けて見えるために上記濃度差は小さくなる。
得られた積層フィルムを、学振形染色摩擦堅ろう度試験機(スガ試験器社製、摩擦試験機II形)に、粘着力調整層(比較例5では被覆層)側表面を擦過面として取り付け、JIS-L-0849:2004に準拠し擦過面を黒色布にて荷重500gで10回擦過させた。回収した黒色布の濃度をポータブル分光濃度計「508分光濃度計」(ビデオジェット・エックスライト社製)を用いて色濃度を測定し、擦過前の黒色布との濃度の差が0.5以上である場合は「×」、0.5未満である場合は「○」として評価した。積層フィルムから紙粉が脱落した場合は黒色布が白くなるために上記濃度差は大きくなる。
封止樹脂としてスチレン-ブタジエン系樹脂を用い、コネクター部材を封止した。
次いで、積層フィルムの粘着力調整層(比較例5では被覆層)側表面を封止樹脂に対向するように重ねあわせ、40℃35MPaの力で1分間プレス機により圧着させて評価用サンプルを作製した。
そして、評価用サンプルを10mm幅に打ち抜き、片端の積層フィルムを丁寧に剥がしてつかみ代として、剥離強度テスター(ジェイシーエム社製)を用い、5m/分の速度で剥離させたとき、剥離が安定して進行する際の負荷を測定してこれを積層フィルムの接着力とした。
同接着力が100gf/10mm以上であれば、打ち抜き工程(切断工程)や搬送工程中にコネクター部材から積層フィルムが容易に剥がれることがない。一方、同接着力が160gf/10mm以下であれば、切断工程後のコネクター部材から手作業で積層フィルムを容易に剥がすことができる。
実施例1~3の積層フィルムの評価結果から、本願発明に係る積層フィルムは、回路基板等を加工する際に一時的にその表面を保護することができ、また、加工後に容易に剥離できるものであった。
一方、無機微細粉末を含む樹脂組成物からなる被覆層を配置した比較例1の積層フィルムは、無機微細粉末の脱落が観察されたため、回路基板等に無機微細粉末が付着するおそれがあり、回路基板等の加工用途には適していないことが示された。
また、ぬれ張力が大きすぎる比較例2~4の積層フィルムは、回路基板等から容易に剥離することができず、その結果、回路基板等の生産性に劣るものであった。
また、無機微細粉末を含まない樹脂組成物からなる基材層を配置した比較例5の積層フィルムは透明であるため、回路基板等に仮着した際に目視による積層フィルムの有無が判別しにくく、作業性に劣るものであった。
1 基材層
2 被覆層
3 粘着力調整層
Claims (4)
- 基材層、被覆層、及び粘着力調整層が少なくともこの順に積層され、
前記基材層がポリオレフィン系樹脂と無機微細粉末とを含む樹脂組成物からなり、
前記被覆層がポリプロピレン系樹脂を含む樹脂組成物からなり、
前記粘着力調整層が、(メタ)アクリル酸エステル共重合体からなり、
JIS K6768:1999に従い試験用混合液を用いて前記粘着力調整層の表面で測定したぬれ張力が30~50mN/mであり、
前記基材層中の前記無機微細粉末の含有量が、前記基材層の固形分総量に対して、10質量%以上であり、
前記被覆層中の無機微細粉末の含有量が、前記被覆層の固形分総量に対して、5質量%未満である
ことを特徴とする積層フィルム。 - スチレン-ブタジエン系樹脂に40℃環境下、35MPaで圧着した前記粘着力調整層を剥離するときの接着力が100~160gf/10mmである、請求項1に記載の積層フィルム。
- 前記粘着力調整層の厚み寸法が0.5μm以下である、請求項1又は2に記載の積層フィルム。
- 請求項1~3の何れか一項に記載の積層フィルムの前記粘着力調整層を、回路基板の回路面に仮着して用いる、一時粘着保護剥離シート。
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