JP7016820B2 - 銅ジルコニウム合金放熱部品、銅ジルコニウム合金ケーシングの製造方法 - Google Patents
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Description
<金属粉末ボールミル>
実施例1
粒径100メッシュ、純度99.5%の銅粉末97g、粒径325メッシュ、純度99.9%のジルコニウム粉末3gをグローブボックス内のボールミル缶に入れ、アルゴン雰囲気下で、回転速度350rpmで20分間の正逆交互回転で10時間ボールミルを行った。その結果Cu-3wt%Zrサンプル1が得られ、これをエネルギー分散型X線分析(EDS、電界放出形走査電子顕微鏡JEOL、FE-SEM)により成分分析した結果は表1のとおりである。粒径の変化を電子顕微鏡で観察し、X線回折(XRD)分析を行ったところ、ジルコニウム(Zr)が銅(Cu)の表面に拡散固溶し始めたが、ジルコニウムは銅と反応しなかった。
ボールミルを行う時間を20時間とした以外は実施例1と同様にしてCu-3wt%Zrサンプル2を得て、EDSによる成分分析を行った。その結果は表1に示すとおりである。粒径の変化を電子顕微鏡で観察し、X線回折(XRD)分析を行ったところ、微量のジルコニウム(Zr)は銅(Cu)に固溶していないことがわかった。
ボールミルを行う時間を30時間とした以外は実施例1と同様にしてCu-3wt%Zrサンプル3を得て、EDSによる成分分析を行った。その結果は表1に示すとおりである。粒径の変化を電子顕微鏡で観察したところ、X線回折(XRD)分析の結果、ジルコニウム(Zr)と銅(Cu)は固溶しており、残留ジルコニウムはなかった。
粒径100メッシュ、純度99.5%の銅粉末99.85gおよび粒径325メッシュ、純度99.9%のジルコニウム粉末0.15gをグローブボックス内のボールミル缶に入れ、アルゴン雰囲気下で、回転速度350rpmで20分間の正逆交互回転で30時間ボールミルを行ったところ、Cu-0.15wt%Zrサンプル4が得られ、これを電子顕微鏡で観察し、X線回折(XRD)で分析したところ、ジルコニウムは存在しておらず、ジルコニウムが銅中に固溶していることを示している。
粒径100メッシュ、純度99.5%の銅粉末95g、粒径325メッシュ、純度99.9%のジルコニウム粉末5gをグローブボックス内のボールミル缶に入れ、アルゴン雰囲気下で、回転速度350rpmで20分間の正逆交互回転で30時間ボールミルを行ったところ、Cu-5wt%Zrサンプル6が得られ、X線回折(XRD)により分析したところ、ジルコニウムが残留しており、これよりジルコニウムの銅へ固溶する含有量には制限があることを示しており、ジルコニウムの添加量を増加させればその固溶含有量も無制限に増加することではないことが分かる。
粒径100メッシュ、純度99.5%の銅粉末99.2g、粒径325メッシュ、純度99.9%のジルコニウム粉末0.8gをグローブボックス内のボールミル缶に入れ、アルゴン雰囲気下で、回転速度350rpmで20分間の正逆交互回転で30時間ボールミルを行ったところ、Cu-0.8wt%Zrサンプル7が得られた。X線回折(XRD)により分析したところ、ジルコニウム(Zr)と銅(Cu)が固溶していることが観察された。
粒径100メッシュ、純度99.5%の銅粉末98.3g、粒径325メッシュ、純度99.9%のジルコニウム粉末1.7gをグローブボックス内のボールミル缶に入れ、アルゴン雰囲気下で、回転速度350rpmで20分間の正逆交互回転で30時間ボールミルを行ったところ、Cu-1.7wt%Zrサンプル8が得られた。X線回折(XRD)により分析したところ、ジルコニウム(Zr)と銅(Cu)が固溶していることが観察された。
実施例9
タングステン鋼製ダイでサンプル1を950℃、30MPaの圧力で4時間真空熱間プレスし、熱処理および時効処理を行ってサンプル9を得た。サンプル9のナノ析出物をEDS成分分析したところ、Cu80.98原子%、Zr19.02原子%であった。
タングステン鋼製ダイでサンプル2を950℃、30MPaで4時間真空熱間プレスし、熱処理および時効処理を行ってサンプル10を得た。サンプル10のナノ析出物をEDS成分分析したところ、Cu83.37原子%、Zr16.63原子%であった。
タングステン鋼製ダイでサンプル3を950℃、30MPaで4時間真空熱間プレスし、熱処理および時効処理を行ってサンプル11を得た。サンプル11のナノ析出物をEDS成分分析したところ、Cu82.73原子%、Zr17.27原子%であった。
タングステン鋼製ダイでサンプル4を950℃、30MPaで4時間真空熱間プレスし、熱処理および時効処理を行ってサンプル12を得た。SEMにより微細構造分析をおこなったところ、ジルコニウムは銅に固溶しているが、ナノ析出物の析出はなかった。
タングステン鋼製ダイでサンプル5を950℃、30MPaで4時間真空熱間プレスし、熱処理および時効処理を行ってサンプル13を得た。サンプル13のナノ析出物をEDS成分分析したところ、Cu84.02原子%、Zr15.98原子%であった。
タングステン鋼製ダイでサンプル6を950℃、30MPaで4時間真空熱間プレスし、熱処理および時効処理を行ってサンプル14を得た。電子顕微鏡およびEDS分析の結果より、ナノ粒子を均一に分布させて析出させることは容易ではなく、かつジルコニウムは特定の局所領域に集中しており、成分の均一性は良好でないことが分かる。
タングステン鋼製ダイでサンプル7を950℃、30MPaで4時間真空熱間プレスし、熱処理および時効処理を行ってサンプル15を得るとともに、銅ジルコニウムナノ析出物が見られた。
タングステン鋼製ダイでサンプル8を950℃、30MPaで4時間真空熱間プレスし、熱処理および時効処理を行ってサンプル16を得るとともに、銅ジルコニウムナノ析出物が見られた。
粒径100メッシュ、純度99.5%の銅粉末97g、粒径325メッシュ、純度99.9%のジルコニウム粉末3gを混合した後、タングステン鋼製ダイで950℃、30MPaで4時間真空熱間プレスし、熱処理および時効処理を行って、比較サンプル1を得た。比較サンプル1のナノ析出物をEDS成分分析して、Cu80.76原子%、Zr19.24原子%を得た。このボールミルを経ていない比較サンプル1の試料片をEDS成分分析すると、成分分布に極めてムラがある問題があり、かつナノ析出物が局所領域に集中していることが分かった。
成分均一性実験は、直径約3cmの熱間プレス後に、熱処理と時効処理を行ったサンプルの四辺及び中央の各一点でEDS成分分析を行い、異なる位置の銅、ジルコニウム含有量の分布から、サンプル全体での金属含有量の均一性を確認した。
サンプル9のEDS成分分析による均一性実験の結果は表2のとおりであり、サンプル中の銅ジルコニウム成分の均一性は劣る。
サンプル11のEDS成分分析による均一性実験の結果は表4のとおりであり、銅ジルコニウム成分はサンプル中に均一に分布している。
引張強度は、5トンの静的油圧試験機(インストロン社製)により測定した。
サンプル9~11および比較サンプル1について、導電性、硬度、および引張強度を試験した結果を表6に示す。20時間のボールミル後に熱間プレスを経て熱処理および時効処理を行ったサンプルは高い引張強度と高い硬度を得られた。
サンプル11~13、15~16について、熱伝導率、硬度、引張強度を測定した結果を表7に示す。ジルコニウム含有量の添加に伴い、ナノ析出物の析出量が増大し、合金材料の引張強度および硬度も伴って増大するが、熱伝導の機能は低下せず、その熱伝達率は依然として工業的応用範囲内である。
実施例22
サンプル11を圧延して厚さ0.09mmのシート材を得た。
サンプル15を圧延して厚さ0.05mmのシート材を得た。
102 銅ジルコニウム合金ケーシング
102a 内壁
104 毛細管構造層
S200、S202、S204、S206 ステップ
T1 銅ジルコニウム合金放熱部品の厚さ
T2 銅ジルコニウム合金ケーシングの厚さ
Claims (5)
- 銅粉末と、ジルコニウム粉末とを、前記銅粉末と前記ジルコニウム粉末との合計重量に対して前記ジルコニウム粉末の添加量が0.5wt%超え5.0wt%未満で混合し、少なくとも20時間ボールミルを行って、合金粉末を形成し、
前記合金粉末を930℃~960℃の温度および30MPaの圧力で2~4時間の真空熱間プレス成形して、バルク材を形成し、
前記バルク材に対して、930℃~960℃の温度で1~2時間の熱処理および450℃~550℃の温度で2~4時間の時効処理を行い、15~20原子%のジルコニウムを含むナノ銅ジルコニウム析出物を含むバルク材を得て、
前記バルク材に圧延処理を行うことを特徴とする、
銅ジルコニウム合金ケーシングの製造方法。 - 前記ジルコニウム粉末の粒径が、前記銅粉末の粒径よりも小さい、請求項1に記載の製造方法。
- 前記ボールミルをアルゴン雰囲気下で行う、請求項1または2に記載の製造方法。
- 前記ボールミル時間が少なくとも30時間である、請求項1から3のいずれか1項に記載の製造方法。
- 前記圧延処理後の前記バルク材の厚さが≦0.1mmである、請求項1から4のいずれか1項に記載の製造方法。
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