JP7011947B2 - アッシング装置、アッシング方法及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 - Google Patents
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Description
基板処理装置1の構成について、図1及び図2を参照して説明する。基板処理装置1は、有機材料の塗布液の塗布により基板の表面に塗布膜を形成することと、熱処理により塗布膜を硬化して保護膜(有機被膜)とすることと、アッシング処理を通じて保護膜の表面を平滑化することとを実行する装置である。処理対象の基板は、例えば半導体のウエハWである。保護膜は、例えば、スピンオンカーボン(SOC)等のハードマスクである。基板処理装置1は、互いに隣接するキャリアブロック2及び処理ブロック3と、コントローラ100(制御部)とを備える。
続いて、アッシングユニットU2の構成について、図3~図7を参照して説明する。アッシングユニットU2は、図3に示されるように、筐体20と、回転保持部30(姿勢変更部)と、光照射部40と、支持部50と、距離変更部60と、酸素供給部70とを有する。
続いて、基板処理方法の一例として、アッシングユニットU2が実行する基板処理手順について、図8及び図10を参照して説明する。
続いて、図9~図11を参照して、ステップS4のアッシング処理の具体的手順を例示する。コントローラ100は、まず、図9に示されるステップS11~S14を実行する。
ところで、本発明者等による鋭意研究の結果、光源42の立ち上がりは必ずしも一定ではないことが判明した。すなわち、光源42による処理光の点灯直後は、処理光が定常状態になるまでにばらつきが存在しうることが判明した。そのため、照射部の点灯開始時においてウエハWが常に同じ回転角度(姿勢)であると、光源42の立ち上がりによる影響がウエハWの特定の箇所に偏って生じてしまう懸念がある。具体的には、ウエハWの特定の箇所において、アッシングが十分に進行せず、保護膜の被膜除去量に偏りが生ずる懸念がある。
以上、本開示に係る実施形態について詳細に説明したが、本発明の要旨の範囲内で種々の変形を上記の実施形態に加えてもよい。
表面Waに保護膜が形成された円板状のウエハWを用意し、ウエハWをアッシングユニットU2においてアッシング処理した。アッシング処理に際して、ウエハWの回転と、光源42の点灯及び消灯とを図21に示されるように制御した。具体的には、図21(a)に示されるように、10秒間でウエハWを40°回転させた後に3秒一時停止する処理を、ウエハWが1回転するまで繰り返した。一方、図21(b)に示されるように、このようなウエハWの間欠的な動作に応じて、光源42の点灯及び消灯を繰り返した。そのため、光源42からの処理光は、ウエハWに対して累計90秒照射された。なお、アッシング処理に際して、全ての加熱領域33a,33bの温度が略同一となるように、熱板33を制御した。
表面Waに保護膜が形成された円板状のウエハWを用意し、ウエハWをアッシングユニットU2においてアッシング処理した。アッシング処理に際して、ウエハWの回転と、光源42の点灯及び消灯とを図22に示されるように制御した。具体的には、図22(a)に示されるように、10秒間でウエハWを120°回転させた後に3秒一時停止する処理を、ウエハWが3回転するまで繰り返した。一方、図22(b)に示されるように、このようなウエハWの間欠的な動作に応じて、光源42の点灯及び消灯を繰り返した。そのため、光源42からの処理光は、ウエハWに対して累計90秒照射された。なお、アッシング処理に際して、全ての加熱領域33a,33bの温度が略同一となるように、熱板33を制御した。
表面Waに保護膜が形成された円板状のウエハWを用意し、ウエハWをアッシングユニットU2においてアッシング処理した。アッシング処理に際して、ウエハWの回転と、光源42の点灯及び消灯とを図23に示されるように制御した。具体的には、図23(a)に示されるように、10秒間でウエハWを1回転させた後に3秒一時停止する処理を、ウエハWが9回転するまで繰り返した。一方、図23(b)に示されるように、このようなウエハWの間欠的な動作に応じて、光源42の点灯及び消灯を繰り返した。そのため、光源42からの処理光は、ウエハWに対して累計90秒照射された。なお、アッシング処理に際して、全ての加熱領域33a,33bの温度が略同一となるように、熱板33を制御した。
表面Waに保護膜が形成された円板状のウエハWを用意し、ウエハWをアッシングユニットU2においてアッシング処理した。アッシング処理に際して、ウエハWの回転と、光源42の点灯及び消灯とを図24に示されるように制御した。具体的には、図21(a)に示されるように、90秒間でウエハWを1回転させた。一方、図24(b)に示されるように、このようなウエハWの間欠的な動作に応じて、光源42の点灯及び消灯を繰り返した。そのため、光源42からの処理光は、ウエハWに対して累計90秒照射された。なお、アッシング処理に際して、全ての加熱領域33a,33bの温度が略同一となるように、熱板33を制御した。
アッシングによる被膜除去量の面内均一性を調べるために、実施例1~3及び比較例について、Range(%)を求めた。ここで、Range(%)とは、除去レートの最大値と最小値との差を除去レートで割った値である。実施例1のRange(%)は7.1であった。実施例2のRange(%)は6.3であった。実施例3のRange(%)は5.1であった。比較例のRange(%)は8.1であった。そのため、実施例1~3は、比較例よりもRange(%)が小さかった。従って、実施例1~3によれば、比較例に対して、アッシングによる被膜除去量の面内均一性が高まっていることが確認された。
Claims (13)
- 表面に有機被膜が形成された基板に対して、前記有機被膜のアッシング用の処理光を照射するように構成された光照射部と、
基板及び光照射部の少なくとも一方を駆動して、前記光照射部に対する前記基板の姿勢を変更するように構成された姿勢変更部と、
制御部とを備え、
前記光照射部は、前記基板の表面に対して略平行となるように延び且つ所定間隔をもって一方向に並ぶ複数の直管型のランプ光源を含み、
前記制御部は、
前記基板が前記複数のランプ光源の下方に位置した状態のまま、前記姿勢変更部及び前記光照射部を制御して、前記複数のランプ光源に対する前記基板の姿勢を第1の姿勢から第2の姿勢に変化させつつ、前記複数のランプ光源から前記基板の表面に前記処理光を照射させる第1の処理と、
前記第1の処理に引き続いて、前記基板が前記複数のランプ光源の下方に位置した状態のまま、前記姿勢変更部及び前記光照射部を制御して、前記処理光を一度消灯した後、前記基板の姿勢が前記第1の姿勢とは異なる第3の姿勢となった状態において前記処理光を点灯させ、前記複数のランプ光源に対する前記基板の姿勢を前記第3の姿勢から第4の姿勢に変化させつつ、前記複数のランプ光源から前記基板の表面に前記処理光を照射させる第2の処理とを実行する、アッシング装置。 - 表面に有機被膜が形成された基板に対して、前記有機被膜のアッシング用の処理光を照射するように構成された光照射部と、
基板及び光照射部の少なくとも一方を駆動して、前記光照射部に対する前記基板の姿勢を変更するように構成された姿勢変更部と、
制御部とを備え、
前記制御部は、
前記姿勢変更部及び前記光照射部を制御して、前記光照射部に対して前記基板を第1の速度で移動させつつ、前記光照射部から前記基板の表面に前記処理光を照射させる初期処理である第1の処理と、
前記第1の処理の後に、前記姿勢変更部及び前記光照射部を制御して、前記光照射部に対して前記基板を前記第1の速度よりも低い第2の速度で移動させつつ、前記光照射部から前記基板の表面に前記処理光を照射させる後続処理である第2の処理とを実行し、
前記第2の処理では、
前記光照射部に対する前記基板の姿勢を前記第2の速度で第1の姿勢から第2の姿勢に変化させつつ、前記光照射部から前記基板の表面に前記処理光を照射させることと、
前記光照射部に対する前記基板の姿勢を前記第2の速度で前記第1の姿勢とは異なる第3の姿勢から第4の姿勢に変化させつつ、前記光照射部から前記基板の表面に前記処理光を照射させることとが実行される、アッシング装置。 - 前記姿勢変更部は前記基板を回転させるように構成されており、
前記第1の姿勢は、前記基板が所定の回転角度を示す状態であり、
前記第3の姿勢は、前記基板が前記第1の姿勢における回転角度とは異なる所定の回転角度を示す状態である、請求項1又は2に記載の装置。 - 前記基板と前記光照射部とのギャップを変更するように構成された距離変更部をさらに備え、
前記制御部は、前記距離変更部を制御して、前記第2の処理における前記ギャップを前記第1の処理における前記ギャップと異なる大きさに設定する、請求項1~3のいずれか一項に記載の装置。 - 表面に有機被膜が形成された基板に対して、前記有機被膜のアッシング用の処理光を照射するように構成された光照射部と、
基板及び光照射部の少なくとも一方を駆動して、前記光照射部に対する前記基板の姿勢を変更するように構成された姿勢変更部と、
前記基板と前記光照射部とのギャップを変更するように構成された距離変更部と、
制御部とを備え、
前記制御部は、
前記姿勢変更部及び前記光照射部を制御して、前記光照射部に対する前記基板の姿勢を第1の姿勢から第2の姿勢に変化させつつ、前記光照射部から前記基板の表面に前記処理光を照射させる第1の処理と、
前記第1の処理に引き続いて、前記距離変更部を制御して、前記ギャップを前記第1の処理における前記ギャップと異なる大きさに設定した状態で、前記姿勢変更部及び前記光照射部を制御して、前記光照射部に対する前記基板の姿勢を前記第1の姿勢とは異なる第3の姿勢から第4の姿勢に変化させつつ、前記光照射部から前記基板の表面に前記処理光を照射させる第2の処理とを実行する、アッシング装置。 - 前記制御部は、前記光照射部を制御して、前記光照射部からの前記処理光の消灯後から所定の時間が経過する場合、前記基板の表面に前記処理光が照射されないように前記光照射部を点灯し、その後に前記基板の表面に前記処理光を照射させる第3の処理をさらに実行する、請求項1~5のいずれか一項に記載の装置。
- 基板の表面に対して略平行となるように延び且つ所定間隔をもって一方向に並ぶ複数の直管型のランプ光源を含む光照射部から、前記基板の表面に形成された有機被膜に対してアッシング用の処理光を照射させる第1の工程であって、前記基板が前記複数のランプ光源の下方に位置した状態のまま、前記複数のランプ光源に対する前記基板の姿勢を第1の姿勢から第2の姿勢に変化させつつ、前記複数のランプ光源から前記基板の表面に前記処理光を照射させる第1の工程と、
前記第1の工程に引き続いて、前記基板が前記複数のランプ光源の下方に位置した状態のまま、前記処理光を一度消灯した後、前記基板の姿勢が前記第1の姿勢とは異なる第3の姿勢となった状態において前記処理光を点灯させ、前記複数のランプ光源に対する前記基板の姿勢を前記第3の姿勢から第4の姿勢に変化させつつ、前記複数のランプ光源から前記基板の表面に前記処理光を照射させる第2の工程とを含む、アッシング方法。 - 表面に有機被膜が形成された基板を光照射部に対して第1の速度で移動させつつ、前記光照射部から前記基板の表面に前記有機被膜のアッシング用の処理光を照射させる初期工程である第1の工程と、
前記第1の工程の後に、前記光照射部に対して前記基板を前記第1の速度よりも低い第2の速度で移動させつつ、前記光照射部から前記基板の表面に前記処理光を照射させる後続工程である第2の工程とを含み、
前記第2の工程は、
前記光照射部に対する前記基板の姿勢を前記第2の速度で第1の姿勢から第2の姿勢に変化させつつ、前記光照射部から前記基板の表面に前記処理光を照射させることと、
前記光照射部に対する前記基板の姿勢を前記第2の速度で前記第1の姿勢とは異なる第3の姿勢から第4の姿勢に変化させつつ、前記光照射部から前記基板の表面に前記処理光を照射させることとを含む、アッシング方法。 - 前記基板は前記光照射部に対して回転し、
前記第1の姿勢は、前記基板が所定の回転角度を示す状態であり、
前記第3の姿勢は、前記基板が前記第1の姿勢における回転角度とは異なる所定の回転角度を示す状態である、請求項7又は8に記載の方法。 - 前記第2の工程における前記基板と前記光照射部とのギャップは、前記第1の工程における前記基板と前記光照射部とのギャップと異なる大きさに設定されている、請求項7~9のいずれか一項に記載の方法。
- 表面に有機被膜が形成された基板の光照射部に対する姿勢を第1の姿勢から第2の姿勢に変化させつつ、前記光照射部から前記基板の表面に前記有機被膜のアッシング用の処理光を照射させる第1の工程と、
前記第1の工程に引き続いて、前記基板と前記光照射部とのギャップを前記第1の工程における前記基板と前記光照射部とのギャップと異なる大きさに設定した状態で、前記光照射部に対する前記基板の姿勢を前記第1の姿勢とは異なる第3の姿勢から第4の姿勢に変化させつつ、前記光照射部から前記基板の表面に前記処理光を照射させる第2の工程とを含む、アッシング方法。 - 前記光照射部からの前記処理光の消灯後から所定の時間が経過する場合、又は、前記光照射部からの前記処理光の消灯後における前記光照射部の温度が所定の大きさ以下となる場合に、前記基板の表面に前記処理光が照射されないように前記光照射部を点灯し、その後に前記基板の表面に前記処理光を照射させる第3の工程をさらに含む、請求項7~11のいずれか一項に記載の方法。
- 請求項7~12のいずれか一項に記載のアッシング方法をアッシング装置に実行させるためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
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