JP7006060B2

JP7006060B2 - 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、及び、圧電デバイス

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Publication number: JP7006060B2
Application number: JP2017175474A
Authority: JP
Inventors: 元中尾; 栄樹平井
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2017-09-13
Filing date: 2017-09-13
Publication date: 2022-01-24
Anticipated expiration: 2037-09-13
Also published as: JP2019051602A

Description

本発明は、液体を噴射する液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置、及び、圧電素子を有する圧電デバイスに関する。

液体噴射ヘッドの代表的な例であるインクジェット式記録ヘッドには、ノズルに連通する個別流路と、個別流路に連通する液供給室とが設けられた流路形成基板と、流路形成基板の一方面側に振動板を介して設けられた圧電素子と、流路形成基板の圧電素子側の面に固定された保護基板と、保護基板の流路形成基板とは反対側に設けられて液供給室に連通する流路を有する流路部材と、を具備するものがある（例えば、特許文献１参照）。

このようなインクジェット式記録ヘッドでは、流路形成基板に圧電素子を駆動する駆動回路が直接実装されている。

特開２０１７－２４３３４号公報

しかしながら、保護基板と流路部材との接着面積が小さく、接着強度が低いと、流路内の液体が保護基板と流路部材との接着界面から駆動回路が保持された空間内に浸入し、空間内に侵入した液体によって駆動回路の短絡や破壊が生じてしまうという問題がある。

なお、このような問題は、インクジェット式記録ヘッドに代表される液体噴射ヘッドに限定されず、圧電デバイスにおいても同様に存在する。

本発明はこのような事情に鑑み、保護基板と流路部材との接着強度を向上して、液体の浸入による破壊を抑制した液体噴射ヘッド、液体噴射装置、及び、圧電デバイスを提供することを目的とする。

上記課題を解決する本発明の態様は、液体を噴射する第１のノズルを含む第１のノズル列と、液体を噴射する第２のノズルを含む第２のノズル列と、が形成されたノズルプレートと、前記第１のノズルに連通する第１の圧力発生室と、前記第２のノズルに連通する第２の圧力発生室と、が形成された流路形成基板と、前記流路形成基板の一方面側に形成された振動板と、前記振動板上の前記第１の圧力発生室に対応する位置に設けられた第１の圧電素子と、前記振動板上の前記第２の圧力発生室に対応する位置に設けられた第２の圧電素子と、前記流路形成基板の前記一方面側に接合された保護基板と、前記保護基板の前記流路形成基板とは反対側に接着剤を介して接着され、前記第１の圧力発生室に連通する第１の流路と前記第２の圧力発生室に連通する第２の流路とが形成された流路部材と、前記流路形成基板と前記保護基板と前記流路部材とで囲まれて形成された空間内であって、前記流路形成基板の前記第１の圧電素子と前記第２の圧電素子との間に実装されて、前記第１の圧電素子と前記第２の圧電素子とを駆動する駆動回路と、を具備し、前記駆動回路は、前記保護基板の厚さよりも厚く、前記流路部材に接着剤により接着されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。

さらに、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。

また、液体噴射ヘッドに用いられる圧電デバイスであって、第１の凹部と第２の凹部とが形成された流路形成基板と、前記流路形成基板の一方面側に形成された振動板と、前記振動板上の前記第１の凹部に対応する位置に設けられた第１の圧電素子と、前記振動板上の前記第２の凹部に対応する位置に設けられた第２の圧電素子と、前記流路形成基板の前記一方面側に接合された保護基板と、前記保護基板の前記流路形成基板とは反対側に接着剤を介して接着され、前記第１の凹部に連通する第１の流路と前記第２の凹部に連通する第２の流路とが形成された流路部材と、前記流路形成基板と前記保護基板と前記流路部材とで囲まれて形成された空間内であって、前記流路形成基板の前記第１の圧電素子と前記第２の圧電素子との間に実装されて、前記第１の圧電素子と前記第２の圧電素子とを駆動する駆動回路と、を具備し、前記駆動回路は、前記保護基板の厚さよりも厚く、前記流路部材に接着剤により接着されていることを特徴とする圧電デバイスにある。

本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの要部平面図である。本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの要部を拡大した断面図である。本発明の実施形態２に係る記録ヘッドの要部を拡大した断面図である。本発明の実施形態３に係る記録ヘッドの要部を拡大した断面図である。本発明の実施形態４に係る記録ヘッドの要部を拡大した断面図である。一実施形態に係る記録装置の概略構成を示す図である。

以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。ただし、以下の説明は、本発明の一態様を示すものであって、本発明の範囲内で任意に変更可能である。各図において同じ符号を付したものは、同一の部材を示しており、適宜説明が省略されている。また、各図において、Ｘ、Ｙ、Ｚは、互いに直交する３つの空間軸を表している。本明細書では、これらの軸に沿った方向を第１の方向Ｘ、第２の方向Ｙ、及び第３の方向Ｚとして説明する。

（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図２は、インクジェット式記録ヘッドの流路形成基板の平面図であり、図３は、図２のＡ－Ａ′線に準じたインクジェット式記録ヘッドの要部を拡大した断面図である。

図示するように、インクジェット式記録ヘッド１（以下、単に記録ヘッド１とも言う）を構成する流路形成基板１０は、ステンレス鋼やニッケル（Ｎｉ）などの金属、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ_Ｘ）あるいは酸化アルミニウム（Ａｌ_ＸＯ_Ｙ）を代表とするセラミック材料、ガラスセラミック材料、酸化シリコン（ＳｉＯ_Ｘ）、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、ランタンアルミネート（ＬａＡｌＯ_３）のような酸化物などを用いることができる。本実施形態では、流路形成基板１０は、シリコン単結晶基板からなる。

流路形成基板１０には、一方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁によって区画された凹部である圧力発生室１２がインクを吐出する複数のノズル２１が並設される第１の方向Ｘに沿って並設されている。また、流路形成基板１０には、圧力発生室１２が第１の方向に並設された列が第２の方向Ｙに複数列、本実施形態では、２列設けられている。本実施形態では、一方の列を構成する圧力発生室１２を第１の圧力発生室１２Ａと称し、他方の列を構成する圧力発生室１２を第２の圧力発生室１２Ｂと称する。また、流路形成基板１０には、第２の方向Ｙにおける圧力発生室１２の一端側にインク供給路１４と第１液供給室１３とが隔壁によって区画されている。すなわち、本実施形態では、流路形成基板１０には、各ノズル２１に連通する個別流路として、圧力発生室１２とインク供給路１４と第１液供給室１３とが設けられている。つまり、本実施形態の第１液供給室１３は、圧力発生室１２の各々に独立して設けられている。なお、本実施形態では、第１液供給室１３を圧力発生室１２の各々に独立して設けるようにしたが、特にこれに限定されず、第１液供給室１３を複数の圧力発生室１２に共通して連通するように設けてもよい。すなわち、第１液供給室１３が複数の個別流路に共通して連通する共通液室の一部を構成してもよい。

インク供給路１４は、第１の方向Ｘにおいて圧力発生室１２よりも狭い幅で形成されており、第１液供給室１３から圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。なお、インク供給路１４は、幅を絞る構成に限定されず、第３の方向Ｚの高さを絞るようにしてもよい。なお、特に図示していないが、圧力発生室１２と第１液供給室１３とインク供給路１４との内壁面には、耐液体性（耐インク性）を有する保護膜が設けられている。ここで言う耐液体性（耐インク性）とは、アルカリ性のインクに対する耐エッチング性のことである。このような保護膜としては、例えば、酸化タンタル（ＴａＯ_Ｘ）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ_Ｘ）、ニッケル（Ｎｉ）、クロム（Ｃｒ）から選択される少なくとも１種の材料を単層又は積層したものを用いることができる。

流路形成基板１０の圧力発生室１２の開口する面側には、各圧力発生室１２のインク供給路１４とは反対側の端部近傍に連通するノズル２１が穿設されたノズルプレート２０が、接着剤や熱溶着フィルム等によって固着されている。なお、ノズルプレート２０は、ステンレス鋼やニッケル（Ｎｉ）などの金属、シリコン単結晶基板、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ_Ｘ）あるいは酸化アルミニウム（Ａｌ_ＸＯ_Ｙ）を代表とするセラミック材料、ガラスセラミック材料、酸化シリコン（ＳｉＯ_Ｘ）、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、ランタンアルミネート（ＬａＡｌＯ_３）のような酸化物などを用いることができる。ノズルプレート２０には、第１の圧力発生室１２Ａに連通する第１のノズル２１Ａが第１の方向Ｘに並設された第１のノズル列と、第２の圧力発生室１２Ｂに連通する第２のノズル２１Ｂが第１の方向Ｘに並設された第２のノズル列と、の２列のノズル列が第２の方向Ｙに並設されている。

一方、このような流路形成基板１０のノズルプレート２０とは反対側の面には、振動板５０が形成されている。本実施形態の振動板５０は、流路形成基板１０側に設けられた酸化シリコン（ＳｉＯ_Ｘ）を含む弾性膜５１と、弾性膜５１上に設けられた酸化ジルコニウム（ＺｒＯ_Ｘ）を含む絶縁体膜５２と、を具備する。本実施形態では、二酸化シリコン（ＳｉＯ_２）を含む弾性膜５１と酸化ジルコニウム（ＺｒＯ_２）を含む絶縁体膜５２とを用いた。なお、圧力発生室１２、第１液供給室１３及びインク供給路１４は、流路形成基板１０をノズルプレート２０が接合される面側から異方性エッチングすることにより形成されており、圧力発生室１２のノズルプレート２０とは反対側の面は弾性膜５１によって画成されている。

なお、振動板５０は、弾性膜５１及び絶縁体膜５２の何れか一方のみを設けるようにしてもよく、弾性膜５１及び絶縁体膜５２に加えてさらに別の膜を設けるようにしてもよい。また、振動板５０は、酸化シリコン及び酸化ジルコニウムを含むものに限定されず、例えば、窒化シリコン（ＳｉＮ）、酸化チタン（ＴｉＯ_Ｘ）などを用いてもよい。すなわち、振動板５０は、酸化シリコン、酸化ジルコニウム、窒化シリコン、酸化チタンから選択される少なくとも１種の材料を単層又は積層したものを用いることができる。

流路形成基板１０の振動板５０上には、第１電極６０と圧電体層７０と第２電極８０とが成膜及びリソグラフィー法によって積層されて圧電素子３００を構成している。本実施形態では、圧電素子３００が圧力発生室１２内のインクに圧力変化を生じさせる駆動素子となっている。ここで、圧電素子３００は、圧電アクチュエーターとも言い、第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０を含む部分をいう。一般的には、圧電素子３００の何れか一方の電極を複数の圧電素子３００に共通する共通電極とし、他方の電極を圧電素子３００毎に独立する個別電極として構成する。本実施形態では、第１電極６０を共通電極とし、第２電極８０を個別電極としているが、これを逆にしてもよい。

第１電極６０は、圧電体層７０を成膜する際に酸化せず、導電性を維持できる材料であり、例えば、白金（Ｐｔ）、イリジウム（Ｉｒ）等の貴金属、またはランタンニッケル酸化物（ＬＮＯ）、酸化イリジウム（ＩｒＯ_２）などに代表される導電性酸化物、さらに、これらの積層膜が好適に用いられる。

また、第１電極６０として、前述の導電材料と、振動板５０との間に、密着力を確保するための密着層を用いてもよい。本実施形態では、特に図示していないが密着層としてチタンを用いている。なお、密着層としては、ジルコニウム、チタン、酸化チタンなどを用いることができる。すなわち、本実施形態では、チタンからなる密着層と、上述した導電材料から選択される少なくとも一種の導電層とで第１電極６０が形成されている。

圧電体層７０は、第１電極６０上に形成される分極構造を有する酸化物の圧電材料からなり、例えば、一般式ＡＢＯ_３で示されるペロブスカイト型酸化物からなることができ、鉛を含む鉛系圧電材料や鉛を含まない非鉛系圧電材料などを用いることができる。圧電体層７０は、例えば、ゾル－ゲル法、ＭＯＤ（Metal-Organic Decomposition）法などの液相法や、スパッタリング法、レーザーアブレーション法等などのＰＶＤ（Physical Vapor Deposition）法（気相法）などで形成することができる。

第２電極８０は、圧電体層７０との界面を良好に形成できること、導電性及び圧電特性を発揮できる材料が望ましく、イリジウム（Ｉｒ）、白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、金（Ａｕ）等の貴金属材料、及びランタンニッケル酸化物（ＬＮＯ）に代表される導電性酸化物が好適に用いられる。また、第２電極８０は、複数材料の積層であってもよい。本実施形態では、イリジウムとチタンとの積層電極（イリジウムが圧電体層７０と接する）を使用している。そして、第２電極８０は、スパッタリング法、レーザーアブレーション法などのＰＶＤ（Physical Vapor Deposition）法（気相法）、ゾル－ゲル法、ＭＯＤ（Metal-Organic Decomposition）法、メッキ法などの液相法により形成することができる。また、第２電極８０の形成後に、加熱処理を行うことにより、圧電体層７０の特性改善を行うことができる。

このような第２電極８０は、圧電体層７０上のみ、すなわち、圧電体層７０の流路形成基板１０とは反対側の表面上のみに形成されている。

本実施形態では、一方の列を構成する第１の圧力発生室１２Ａに対応する圧電素子３００を第１の圧電素子３００Ａと称し、他方の列を構成する第２の圧力発生室１２Ｂに対応する圧電素子３００を第２の圧電素子３００Ｂと称する。すなわち、流路形成基板１０には、第１の方向Ｘに並設された第１の圧電素子３００Ａの列と、第２の圧電素子３００Ｂの列とが、第２の方向Ｙに２列設けられている。

また、圧電素子３００の第２電極８０からは、例えば、金（Ａｕ）等からなるリード電極９０が設けられている。リード電極９０は、一端部が第２電極８０に接続されると共に、他端部が流路形成基板１０のインク供給路１４とは反対側まで延設されている。すなわち、リード電極９０は、第２の方向Ｙにおいて第１の圧電素子３００Ａと第２の圧電素子３００Ｂとの間に延設されている。そして、延設されたリード電極９０の先端部には、詳しくは後述する圧電素子３００を駆動する半導体集積回路（ＩＣ）からなる駆動回路１２０がフリップチップ実装されている。すなわち、駆動回路１２０は、第１の圧電素子３００Ａと第２の圧電素子３００Ｂとの間に実装されている。また、駆動回路１２０と流路形成基板１０（振動板５０）及び保護基板３０との間には、アンダーフィル剤である充填剤１２１が充填されている。

また、図２に示すように、流路形成基板１０の振動板５０上には、入力配線１２２が設けられている。入力配線１２２は、一端部が駆動回路１２０に接続されると共に、他端部が流路形成基板１０の第２の方向Ｙの一端部に延設され、延設された入力配線１２２の先端部には、記録ヘッド１の駆動を制御する信号を供給するための外部配線１３０が接続されている。外部配線１３０は、例えば、ＦＦＣ（Flexible Flat Cable）やＦＰＣ（Flexible Printed Circuits）等の可撓性のケーブルである。外部配線１３０からの信号は、入力配線１２２を介して駆動回路１２０に供給される。

さらに、流路形成基板１０の圧電素子３００側の面には、保護基板３０が接合されている。本実施形態では、流路形成基板１０と保護基板３０とを接着剤３６を用いて接合した。保護基板３０は、ステンレス鋼やニッケル（Ｎｉ）などの金属、シリコン単結晶基板、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ_Ｘ）あるいは酸化アルミニウム（Ａｌ_ＸＯ_Ｙ）を代表とするセラミック材料、ガラスセラミック材料、酸化シリコン（ＳｉＯ_Ｘ）、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、ランタンアルミネート（ＬａＡｌＯ_３）のような酸化物などを用いることができる。このような保護基板３０としては、流路形成基板１０と線膨張係数が同等の材料が好ましい。ちなみに、保護基板３０として流路形成基板１０と線膨張係数が大きく異なる材料を用いた場合、加熱や冷却されることで、流路形成基板１０と保護基板３０との線膨張係数の違いにより反りが生じてしまう。本実施形態では、保護基板３０として流路形成基板１０と同じ材料、すなわち、シリコン単結晶基板を用いることで、熱による反りを抑制することができる。

また、保護基板３０には、流路形成基板１０の第１液供給室１３にインクを供給する流路である第２液供給室３１が設けられている。第２液供給室３１は、複数の第１液供給室１３に共通して連通する大きさで設けられている。すなわち、第２液供給室３１の流路形成基板１０側の開口は、第１の方向Ｘに並設された複数の第１液供給室１３に跨がって連続して設けられており、複数の個別流路に連通する共通流路の一部を構成している。なお、第２液供給室３１内には、特に図示していないが、流路形成基板１０の流路内に設けられた保護膜と同様の保護膜が設けられている。

このように本実施形態では、圧力発生室１２に代表される凹部が設けられた流路形成基板１０と振動板５０と圧電素子３００と保護基板３０と流路部材であるケース部材４０とを合わせて圧電デバイスと称する。

一方、保護基板３０の圧電素子３００に対向する領域には、圧電素子保持部３２が設けられている。圧電素子３００は、この圧電素子保持部３２内に形成されているため、外部環境の影響を殆ど受けない状態で保護されている。なお、圧電素子保持部３２は、密封されていてもよいし密封されていなくてもよい。

また、保護基板３０の圧電素子保持部３２の間には、駆動回路保持部３３が設けられている。駆動回路保持部３３は、保護基板３０を厚さ方向である第３の方向Ｚに貫通して設けられており、駆動回路保持部３３の内部に圧電素子３００を駆動するための駆動回路１２０が配置される。

ここで、保護基板３０の第３の方向Ｚに貫通する駆動回路保持部３３の一方の開口は、流路形成基板１０で塞がれ、他方の開口は、流路部材であるケース部材４０によって覆われている。このような保護基板３０と流路形成基板１０とケース部材４０とによって形成された空間３４内に駆動回路１２０が保持される。

本実施形態の記録ヘッド１を構成する駆動回路１２０は、保護基板３０よりも積層方向である第３の方向Ｚの厚さが厚い。このため、駆動回路１２０は、第３の方向Ｚにおいて、保護基板３０よりもケース部材４０側に突出して設けられている。

また、保護基板３０上には、本実施形態の流路部材であるケース部材４０が接着剤を介して接着されている。

ケース部材４０には、保護基板３０の第２液供給室３１に連通する第３液供給室４１が形成されている。本実施形態では、第３液供給室４１は、ケース部材４０を積層方向である第３の方向Ｚに貫通して設けられている。第３液供給室４１は、保護基板３０側の開口が第２液供給室３１よりも大きな開口を有し、第３液供給室４１の保護基板３０側の開口の一部は、保護基板３０のケース部材４０側の面で封止されている。なお、第３液供給室４１は、複数の第１の圧力発生室１２Ａに連通する第１の流路である第３液供給室４１と、複数の第２の圧力発生室１２Ｂに連通する第２の流路である第３液供給室４１と、の２つが設けられている。このような２つの第３液供給室４１は、第２の方向Ｙに２つ並設されている。

ケース部材４０が保護基板３０の流路形成基板１０とは反対側の面に接合されることによって、駆動回路１２０を保持する空間３４が形成されている。

ケース部材４０と保護基板３０及び駆動回路１２０とが接着剤で接着されている。具体的には、ケース部材４０と保護基板３０とは、積層方向である第３の方向Ｚで互いに対向する面同士が接着剤によって形成された第１接着層４３によって接着されている。

また、ケース部材４０と駆動回路１２０とは、積層方向である第３の方向Ｚで互いに対向する面同士が接着剤によって形成された第２接着層４４によって接着されている。

第２接着層４４は、駆動回路１２０のケース部材４０側の全面に亘って設けられている。すなわち、駆動回路１２０は、駆動回路１２０に相対向する面の全面がケース部材４０と接着剤によって形成された第２接着層４４によって接着されている。

このように、ケース部材４０と駆動回路１２０とが積層方向である第３の方向Ｚで互いに相対向する面同士が第２接着層４４によって接着されることで、駆動回路１２０のケース部材４０側への浮き上がりを抑制して、駆動回路１２０と第３の方向Ｚで実装される流路形成基板１０との実装部の実装不良やマイグレーションの発生を抑制することができる。

特に、第２接着層４４が設けられた駆動回路１２０の接着面は、第３の方向Ｚにおいて、駆動回路１２０の端子部１２０ａに重なる位置となっているため、ケース部材４０によって駆動回路１２０の端子部１２０ａにおけるリード電極９０とは反対側への浮き上がりを確実に抑制して、実装不良やマイグレーションが発生するのを抑制することができる。

また、本実施形態では、第２接着層４４を駆動回路１２０のケース部材４０に第３の方向Ｚで対向する全面に亘って設けたため、ケース部材４０と保護基板３０及び駆動回路１２０との接着面を増大させて、接着強度をさらに向上することができる。したがって、接着強度不良によって、第２液供給室３１及び第３液供給室４１などの流路内のインクが接着界面から空間３４内に侵入するのを抑制することができる。

また、本実施形態では、第３の方向Ｚにおいて、駆動回路１２０は、保護基板３０よりもケース部材４０側に突出して設けられており、ケース部材４０の孔部１４０が開口する面が駆動回路１２０に接着剤である第２接着層４４によって接着されている。このため、第１接着層４３の厚さｄ１は、第２接着層４４の第３の方向Ｚの厚さｄ２よりも厚い（ｄ１＞ｄ２）。このため、ケース部材４０を保護基板３０及び駆動回路１２０に接着する際に、駆動回路１２０に高い荷重を印加することができ、駆動回路１２０の実装部の接続を補強することができる。また、第２接着層４４の厚さを比較的薄くすることができるため、硬化収縮における駆動回路１２０に浮き上がりを抑制することができ、駆動回路１２０の実装部の接続不良を抑制することができる。

また、本実施形態では、第１接着層４３の厚さｄ１は、第２接着層４４の第３の方向Ｚの厚さｄ２よりも厚い（ｄ１＞ｄ２）ため、第１接着層４３の硬化収縮が、第２接着層４４の硬化収縮よりも大きくなる。したがって、第１接着層４３の硬化収縮によってケース部材４０が駆動回路１２０側に移動して、ケース部材４０によって駆動回路１２０に実装部の接続方向への応力が印加される。このため、駆動回路１２０の実装部の浮き上がりや接続不良をさらに抑制することができる。

また、本実施形態では、ケース部材４０と保護基板３０とを接着する第１接着層４３とケース部材４０と駆動回路１２０とを接着する第２接着層４４とは、隙間を空けることなく連続して設けられている。すなわち、第１接着層４３と第２接着層４４とは、連続して一体化されている。このように、第１接着層４３と第２接着層４４とを連続して設けることで、流路である第２液供給室３１から駆動回路１２０が保持された空間３４までの接着界面を長くすることができ、接着界面を介して流路から空間３４内へのインクの進入をさらに抑制することができる。

なお、第１接着層４３と第２接着層４４とは、同一の接着剤によって形成してもよく、異なる接着剤で形成してもよい。例えば、第１接着層４３として、耐インク性が比較的高い接着剤を用いて、第２接着層４４として、硬化収縮が比較的少ない接着剤を用いるようにしてもよい。これにより、流路内のインクが接着界面を介して空間３４内に侵入し難く、接着剤の硬化収縮によって駆動回路１２０が引き上げられることによって実装不良等が発生するのをさらに抑制することができる。

また、第２の方向Ｙにおいて、第２接着層４４の第１接着層４３側の接着剤と、第２接着層４４の中央側の接着剤とで異なる材料の接着剤を用いてもよい。例えば、第２接着層４４の第１接着層４３側の接着剤として、耐インク性が比較的高い接着剤を用いて、第２接着層４４の中央側の接着剤として、硬化収縮が比較的少ない接着剤を用いるようにしてもよい。

なお、本実施形態では、ケース部材４０は、第１の流路である一方の第３液供給室４１が形成されて駆動回路１２０に第２接着層４４を介して接着された部分と、第２の流路である他方の第３液供給室４１が形成されて駆動回路１２０に第２接着層４４を介して接着された部分とは、一体化された１つの部材で形成されている。

このように、ケース部材４０を１つの部材で形成することで、ケース部材４０を保護基板３０及び駆動回路１２０に接着する際に、接着面に荷重を均等に印加し易く、接着強度を向上することができる。つまり、ケース部材４０を第２の方向Ｙで、第１の流路である一方の第３液供給室４１が形成されて駆動回路１２０に第２接着層４４を介して接着された部分と、第２の流路である他方の第３液供給室４１が形成されて駆動回路１２０に第２接着層４４を介して接着された部分とを別体で形成した場合、別体のそれぞれを保護基板３０及び駆動回路１２０に同じ荷重で接着するのが困難で、接着状態、例えば、第１接着層４３及び第２接着層４４の厚さにばらつきが生じてしまう虞がある。ちなみに、ケース部材４０を２つ以上の複数の部材で形成したとしても、ケース部材４０を予め一体化した後に保護基板３０及び駆動回路１２０に接着すれば、接着時の荷重を均等にすることができる。

また、ケース部材４０の保護基板３０とは反対側の第３液供給室４１が開口する面には、封止膜４６及び固定板４７とからなるコンプライアンス基板４５が接合されている。封止膜４６は、剛性が低く可撓性を有する材料（例えば、厚さが６μｍのポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）フィルム）からなり、この封止膜４６によって第３液供給室４１の一方面が封止されている。また、固定板４７は、金属等の硬質の材料で形成される。この固定板４７の第３液供給室４１に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４８となっているため、第３液供給室４１の一方面は可撓性を有する封止膜４６のみで封止されたコンプライアンス部４９となっている。

また、コンプライアンス基板４５には、厚さ方向に貫通する図示しないインク導入口が設けられており、図示しない外部のインク供給手段からインク導入口を介して第３液供給室４１にインクが供給される。つまり、本実施形態の記録ヘッド１では、外部のインク供給手段からインク導入口を介してインクを取り込み、第３液供給室４１からノズル２１に至るまで内部をインクで満たした後、駆動回路１２０からの記録信号に従い、圧力発生室１２に対応するそれぞれの第１電極６０と第２電極８０との間に電圧を印加し、圧電素子３００及び振動板５０をたわみ変形させることにより、各圧力発生室１２内の圧力が高まりノズル２１からインクが吐出する。

以上説明したように、本実施形態の液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド１では、駆動回路１２０は、流路部材であるケース部材４０に相対向する面の全面がケース部材４０と接着剤により接着されている。このように第２接着層４４を駆動回路１２０のケース部材４０に第３の方向Ｚで対向する全面に亘って設けたため、ケース部材４０と保護基板３０及び駆動回路１２０との接着面を増大させて、接着強度をさらに向上することができる。したがって、接着強度不良によって、第２液供給室３１及び第３液供給室４１などの流路内のインクが接着界面から空間３４内に侵入するのを抑制することができる。

また、本実施形態では、流路部材であるケース部材４０と駆動回路１２０との積層方向である第３の方向Ｚにおいて、ケース部材４０と駆動回路１２０とが相対向する面同士が接着剤で接着されている。これによれば、駆動回路１２０の端子部１２０ａとリード電極９０との実装方向において駆動回路１２０をケース部材４０によって荷重して接着することができるため、ケース部材４０の接着によって駆動回路１２０の端子部１２０ａの直上に荷重をかけることができ、端子部１２０ａとリード電極９０との接続強度を向上することができる。

また、本実施形態では、流路部材であるケース部材４０の駆動回路１２０と接着された面は、ケース部材４０と駆動回路１２０との積層方向である第３の方向Ｚにおいて駆動回路１２０の端子部１２０ａに重なる位置となっている。これによれば、第２接着層４４の設けられた接着面が、端子部１２０ａに重なる位置となることで、ケース部材４０の接着によって駆動回路１２０の端子部１２０ａの直上に荷重をかけることができ、端子部１２０ａとリード電極９０との接続強度を向上することができる。

また、本実施形態では、駆動回路１２０は、保護基板３０の積層方向である第３の方向Ｚの厚さよりも厚くなっている。このように、駆動回路１２０を保護基板３０よりも厚くすることで、駆動回路１２０を実装する際のハンドリングを向上して、駆動回路１２０の実装を容易に行うことができる。また、駆動回路１２０が保護基板３０よりもケース部材４０側に突出するため、駆動回路１２０を実装する際に駆動回路１２０の天面よりも大きなツールで駆動回路１２０を押圧することができ、荷重や加熱の均一性が向上し、駆動回路１２０を安定して実装することができる。また、駆動回路１２０を保護基板３０よりもケース部材４０側に突出させることで、ケース部材４０と保護基板３０とを接着する第１接着層４３の厚さｄ１よりも、ケース部材４０と駆動回路１２０とを接着する第２接着層４４の厚さｄ２を薄くすることができる。

また、本実施形態では、保護基板３０と流路部材であるケース部材４０との積層方向である第３の方向Ｚの間に設けられて両者を接着する接着剤によって形成された第１接着層４３の厚さｄ１は、駆動回路１２０とケース部材４０との積層方向である第３の方向Ｚの間に設けられて両者を接着する接着剤によって形成された第２接着層４４の厚さｄ２よりも厚くなっている。このように、第１接着層４３の厚さｄ１を第２接着層４４の厚さｄ２よりも厚くすることで、第１接着層４３の硬化収縮が、第２接着層４４の硬化収縮よりも大きくなるため、第１接着層４３が硬化収縮する際にケース部材４０が駆動回路１２０側に移動して、ケース部材４０によって駆動回路１２０に実装部の接続方向への応力が印加される。したがって、駆動回路１２０の実装部の浮き上がりや接続不良をさらに抑制することができる。

また、本実施形態では、流路部材であるケース部材４０は、第１の流路である一方の第３液供給室４１が形成されて駆動回路１２０に接着される部分と第２の流路である他方の第３液供給室４１が形成されて駆動回路１２０に接着される部分とが一体となっている。これによれば、ケース部材４０を一体化された部材で形成することで、ケース部材４０を保護基板３０及び駆動回路１２０に接着する際に、接着面に荷重を均等に印加し易く、接着強度を向上することができる。

さらに、本実施形態では、ケース部材４０と保護基板３０とを接着する第１接着層４３とケース部材４０と駆動回路１２０とを接着する第２接着層４４とは、分断されることなく連続して設けられている。このため、流路から空間３４までの接着界面を長くして、接着界面を介して空間３４内へのインクの進入をさらに抑制することができる。

（実施形態２）
図４は、本発明の実施形態２に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの要部を拡大した断面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

図４に示すように、本実施形態の記録ヘッド１を構成する駆動回路１２０は、保護基板３０よりも第３の方向Ｚの厚さが厚い。このため、駆動回路１２０は、第３の方向Ｚにおいて、保護基板３０よりもケース部材４０側に突出して設けられている。

また、ケース部材４０には、駆動回路１２０側に開口する孔部１４０が設けられている。孔部１４０は、本実施形態では、ケース部材４０を厚さ方向である第３の方向Ｚに貫通することなく形成された凹部によって形成されている。

ケース部材４０は、孔部１４０が開口する流路形成基板１０側の面が、保護基板３０と駆動回路１２０とに接着剤で接着されている。

具体的には、ケース部材４０と保護基板３０とは、積層方向である第３の方向Ｚで互いに対向する面同士が接着剤によって形成された第１接着層４３によって接着されている。

また、ケース部材４０と駆動回路１２０とは、積層方向である第３の方向Ｚで互いに対向する面同士が接着剤によって形成された第２接着層４４によって接着されている。すなわち、ケース部材４０と駆動回路１２０とは、積層方向である第３の方向Ｚにおいて相対向する面同士が接着剤によって接着されている。

すなわち、孔部１４０の第２の方向Ｙの開口幅は、駆動回路１２０の第２の方向Ｙの幅よりも小さい。このため、第３の方向Ｚで互いに対向するケース部材４０の孔部１４０が開口する面と駆動回路１２０のケース部材４０側の面とを接着することができる。ちなみに、孔部１４０の第１の方向Ｘの開口長さは、駆動回路１２０の第１の方向Ｘの長さよりも短くすることで、第１の方向Ｘの両端部においてもケース部材４０と駆動回路１２０との第３の方向Ｚで対向する面同士を接着することができる。なお、孔部１４０の第１の方向Ｘの開口長さは、駆動回路１２０の第１の方向Ｘの長さよりも長くてもよい。これは、本実施形態では、第２液供給室３１及び第３液供給室４１等の流路が、駆動回路１２０の第２の方向Ｙの両側のみに形成されているため、流路から空間３４内へのインクの進入を防ぐためには、流路と空間３４とをつなぐ第２の方向Ｙの両側の第２接着層４４のみがあればいいためである。もちろん、流路は、駆動回路１２０の第１の方向Ｘの一方側又は両側に設けてもよい。この場合には、第１の方向Ｘの少なくとも流路が設けられた端部側に第２接着層４４が設けられていればよい。

また、第２接着層４４は、本実施形態では、駆動回路１２０の第３の方向Ｚの面において、第２の方向Ｙの両端部に第１の方向Ｘに亘って連続して設けられている。ちなみに、駆動回路１２０の第２の方向Ｙの中央部には、第２接着層４４が設けられていない。このように第２接着層４４を狭い面積に設けることで、第２接着層４４の硬化収縮によって駆動回路１２０がケース部材４０側に浮き上がるのを抑制することができる。

このような第２接着層４４が設けられた駆動回路１２０の接着面は、第３の方向Ｚにおいて、駆動回路１２０の端子部１２０ａに重なる位置となっている。ここで、第３の方向Ｚにおいて、ケース部材４０と駆動回路１２０との接着面が、端子部１２０ａに重なるとは、端子部１２０ａと接着面とが、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙを含む面内で少なくとも一部が同じ位置となっていることをいう。本実施形態では、端子部１２０ａを第３の方向Ｚにおいて第２接着層４４に射影した際に、端子部１２０ａの全てが第２接着層４４に含まれるようになっている。

このように、第２接着層４４が設けられた接着面を端子部１２０ａと第３の方向Ｚで重なる位置とすることで、ケース部材４０によって駆動回路１２０の端子部１２０ａにおけるリード電極９０とは反対側への浮き上がりを確実に抑制して、実装不良やマイグレーションが発生するのを抑制することができる。

また、本実施形態では、第３の方向Ｚにおいて、駆動回路１２０は、保護基板３０よりもケース部材４０側に突出して設けられており、ケース部材４０の孔部１４０が開口する面が駆動回路１２０に接着剤である第２接着層４４によって接着されている。このため、第１接着層４３の厚さｄ_１は、第２接着層４４の第３の方向Ｚの厚さｄ_２よりも厚い（ｄ_１＞ｄ_２）。このため、ケース部材４０を保護基板３０及び駆動回路１２０に接着する際に、駆動回路１２０に高い荷重を印加することができ、駆動回路１２０の実装部の接続を補強することができる。また、第２接着層４４の厚さを比較的薄くすることができるため、硬化収縮における駆動回路１２０に浮き上がりを抑制することができ、駆動回路１２０の実装部の接続不良を抑制することができる。

また、本実施形態では、第１接着層４３の厚さｄ_１は、第２接着層４４の第３の方向Ｚの厚さｄ_２よりも厚い（ｄ_１＞ｄ_２）ため、第１接着層４３の硬化収縮が、第２接着層４４の硬化収縮よりも大きくなる。したがって、第１接着層４３の硬化収縮によってケース部材４０が駆動回路１２０側に移動して、ケース部材４０によって駆動回路１２０に実装部の接続方向への応力が印加される。このため、駆動回路１２０の実装部の浮き上がりや接続不良をさらに抑制することができる。

なお、孔部１４０の内側面の表面粗さは、ケース部材４０の孔部１４０が開口する面であって保護基板３０との接着面の表面粗さよりも大きいことが好ましい。このように孔部１４０の内側面の表面粗さを、保護基板３０との接着面の表面粗さよりも大きくすることで、保護基板３０との接着面からはみ出た余分な接着剤を孔部１４０の内側面に毛細管現象によって伝わらせることができる。したがって、駆動回路１２０側に余分な接着剤が流れ出し難く、第１接着層４３及び第２接着層４４の量や厚みを高精度に制御することができる。また、接着面の余分な接着剤を孔部１４０内に流れ出させるため、接着剤が駆動回路１２０とは反対側の流路側に流れ出るのも抑制することができる。したがって、流路内に流れ出た余分な接着剤が剥離することによる異物の発生を抑制して、ノズル２１の目詰まりなどの吐出不良を抑制することができる。

また、本実施形態では、孔部１４０を駆動回路１２０側に開口する凹部で形成するようにしたが、特にこれに限定されず、孔部１４０は、流路部材であるケース部材４０を第３の方向Ｚに貫通する貫通孔であってもよい。すなわち、孔部とは、駆動回路１２０側に開口するものであって、流路部材であるケース部材４０を厚さ方向である第３の方向Ｚに貫通するものであっても、また、貫通しない凹んだものであってもよい。

また、本実施形態では、ケース部材４０は、第１の流路である一方の第３液供給室４１が形成されて駆動回路１２０に第２接着層４４を介して接着された部分と、第２の流路である他方の第３液供給室４１が形成されて駆動回路１２０に第２接着層４４を介して接着された部分とは、一体化された１つの部材で形成されている。

このように、ケース部材４０を１つの部材で形成することで、ケース部材４０を保護基板３０及び駆動回路１２０に接着する際に、接着面に荷重を均等に印加し易く、接着強度を向上することができる。

以上説明したように、本実施形態の液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド１では、流路部材であるケース部材４０は、駆動回路１２０側に開口する孔部１４０を有する。このようにケース部材４０に孔部１４０を設けることで、ケース部材４０と保護基板３０及び駆動回路１２０とを接着する余分な接着剤を孔部１４０内に流れ出させて、余分な接着剤が予期せぬ領域に流れ出すのを抑制することができる。このため、接着剤の量を制御することができ、ケース部材４０と保護基板３０及び駆動回路１２０との接着を確実に行うことができる。また、駆動回路１２０をケース部材４０に第２接着層４４を介して接着することで、駆動回路１２０の実装部とは反対方向への浮き上がり、すなわち、駆動回路１２０が第３の方向Ｚにおいて流路形成基板１０とは反対側に浮き上がるのを抑制することができ、端子部１２０ａとリード電極９０との接触不良を抑制することができると共に、駆動回路１２０の浮き上がりによるマイグレーションの発生等を抑制することができる。

また、ケース部材４０を駆動回路１２０に接着することで、ケース部材４０の接着対象との接着強度を向上することができるため、ケース部材４０と保護基板３０との接着面積を増大させるために保護基板３０を大型化する必要がなく、記録ヘッド１の小型化を図ることができる。

また、本実施形態では、流路部材であるケース部材４０は、孔部１４０が開口する面で駆動回路１２０と接着されている。

すなわち、本実施形態では、流路部材であるケース部材４０と駆動回路１２０との積層方向である第３の方向Ｚにおいて、ケース部材４０と駆動回路１２０とが相対向する面同士が接着剤で接着されている。これによれば、駆動回路１２０の端子部１２０ａとリード電極９０との実装方向において駆動回路１２０をケース部材４０によって荷重して接着することができるため、ケース部材４０の接着によって駆動回路１２０の端子部１２０ａの直上に荷重をかけることができ、端子部１２０ａとリード電極９０との接続強度を向上することができる。

また、本実施形態では、孔部１４０の内側面の表面粗さは、流路部材であるケース部材４０の孔部１４０が開口する面であって保護基板３０との接着面の表面粗さよりも大きいことが好ましい。これによれば、余分な接着剤を孔部１４０の内壁面に毛細管現象によって誘導して、余分な接着剤が他の部分に流出するのを抑制することができ、接着剤の量を制御して確実な接着を実現できると共に余分な接着剤が他の部分に付着することによる不具合を抑制することができる。

また、本実施形態では、駆動回路１２０は、保護基板３０の積層方向である第３の方向Ｚの厚さよりも厚くなっている。このように、駆動回路１２０を保護基板３０よりも厚くすることで、駆動回路１２０を実装する際のハンドリングを向上して、駆動回路１２０の実装を容易に行うことができる。また、駆動回路１２０が保護基板３０よりもケース部材４０側に突出するため、駆動回路１２０を実装する際に駆動回路１２０の天面よりも大きなツールで駆動回路１２０を押圧することができ、荷重や加熱の均一性が向上し、駆動回路１２０を安定して実装することができる。また、駆動回路１２０を保護基板３０よりもケース部材４０側に突出させることで、ケース部材４０と保護基板３０とを接着する第１接着層４３の厚さｄ_１よりも、ケース部材４０と駆動回路１２０とを接着する第２接着層４４の厚さｄ_２を薄くすることができる。

すなわち、本実施形態では、保護基板３０と流路部材であるケース部材４０との積層方向である第３の方向Ｚの間に設けられて両者を接着する接着剤によって形成された第１接着層４３の厚さｄ_１は、駆動回路１２０とケース部材４０との積層方向である第３の方向Ｚの間に設けられて両者を接着する接着剤によって形成された第２接着層４４の厚さｄ_２よりも厚くなっている。このように、第１接着層４３の厚さｄ_１を第２接着層４４の厚さｄ_２よりも厚くすることで、第１接着層４３の硬化収縮が、第２接着層４４の硬化収縮よりも大きくなるため、第１接着層４３が硬化収縮する際にケース部材４０が駆動回路１２０側に移動して、ケース部材４０によって駆動回路１２０に実装部の接続方向への応力が印加される。したがって、駆動回路１２０の実装部の浮き上がりや接続不良をさらに抑制することができる。

（実施形態３）
図５は、本発明の実施形態３に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの要部を拡大した断面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

図５に示すように、本実施形態の記録ヘッド１を構成する駆動回路１２０は、保護基板３０よりも積層方向である第３の方向Ｚの厚さが厚い。このため、駆動回路１２０は、第３の方向Ｚにおいて、保護基板３０よりもケース部材４０側に突出して設けられている。

ケース部材４０には、駆動回路１２０側に開口する孔部１４０が設けられている。孔部１４０は、本実施形態では、ケース部材４０を厚さ方向である第３の方向Ｚに貫通することなく形成された凹部によって形成されている。

孔部１４０の第２の方向Ｙの開口幅は、駆動回路１２０の第２の方向Ｙの幅よりも大きい。このため、第３の方向Ｚで互いに対向するケース部材４０の孔部１４０の底面と、駆動回路１２０のケース部材４０側の面とが第２接着層４４を介して接着されている。すなわち、保護基板３０よりもケース部材４０側に突出した駆動回路１２０の一部は、孔部１４０内に挿入され、駆動回路１２０は、孔部１４０内においてケース部材４０と第２接着層４４を介して接着されている。なお、孔部１４０の第１の方向Ｘの開口長さは、駆動回路１２０の第１の方向Ｘの長さよりも長い。

なお、ケース部材４０の孔部１４０が開口する面と、保護基板３０とが第１接着層４３によって接着されている。

また、本実施形態の駆動回路１２０は、第３の方向Ｚにおける厚さが保護基板３０の厚さよりも厚く、駆動回路１２０は保護基板３０よりもケース部材４０側に突出して設けられているものの、ケース部材４０に孔部１４０を設け、孔部１４０の底面で駆動回路１２０と第２接着層４４で接着されている。したがって、ケース部材４０と保護基板３０とを接着する第１接着層４３の第３の方向Ｚの厚さｄ_１は、ケース部材４０と駆動回路１２０とを接着する第２接着層４４の第３の方向Ｚの厚さｄ_２よりも薄くすることができる（ｄ_１＜ｄ_２）。

このように、第１接着層４３の厚さｄ_１を、第２接着層４４の厚さｄ_２よりも薄くする（ｄ_１＜ｄ_２）ことで、ケース部材４０と保護基板３０とを接着する際に、ケース部材４０と保護基板３０と間に高い荷重を印加して、両者を確実に接合することができる。したがって、流路内のインクがケース部材４０と保護基板３０との接着界面から空間３４内に侵入するのを抑制して、空間３４内に保持された駆動回路１２０がインクによって破壊されることや短絡、マイグレーションの発生などが生じるのを抑制することができる。

以上説明したように、本実施形態の液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド１では、流路部材であるケース部材４０は、駆動回路１２０側に開口する孔部１４０を有する。このようにケース部材４０に孔部１４０を設けることで、駆動回路１２０の厚さに制限されることなく、ケース部材４０と保護基板３０とを接着する第１接着層４３の厚さｄ_１を、ケース部材４０と駆動回路１２０とを接着する第２接着層４４の厚さｄ_２よりも薄くすることができる。すなわち、駆動回路１２０として、保護基板３０よりも厚いものを用いた場合、ケース部材４０に孔部１４０が設けられていないと、上述した実施形態５のように、第１接着層４３の厚さｄ_１は、第２接着層４４の厚さｄ_２よりも厚くなる（ｄ_１＞ｄ_２）。しかしながら、本実施形態では、ケース部材４０に駆動回路１２０よりも大きな孔部１４０を設け、孔部１４０の内壁面で駆動回路１２０と第２接着層４４によって接着するようにしたため、第１接着層４３の厚さｄ_１を、第２接着層４４の厚さｄ_２よりも薄くすることができる（ｄ_１＜ｄ_２）。したがって、保護基板３０とケース部材４０及び駆動回路１２０とを接着する際に、保護基板３０とケース部材４０との間の接着剤に印加される荷重を高くして、保護基板３０とケース部材４０とを第１接着層４３によって確実に接合することができる。また、第１接着層４３のインクによる膨潤を抑制して、インクが保護基板３０とケース部材４０との間の接着界面を介して空間３４内に侵入するのをさらに抑制することができる。

また、駆動回路１２０を保護基板３０よりも厚くすることで、駆動回路１２０を実装する際のハンドリングを向上して、駆動回路１２０の実装を容易に行うことができる。また、駆動回路１２０が保護基板３０よりもケース部材４０側に突出するため、駆動回路１２０を実装する際に駆動回路１２０の天面よりも大きなツールで駆動回路１２０を押圧することができ、荷重や加熱の均一性が向上し、駆動回路１２０を安定して実装することができる。また、駆動回路１２０を保護基板３０よりもケース部材４０側に突出させることで、ケース部材４０と保護基板３０とを接着する第１接着層４３の厚さｄ_１を、ケース部材４０と駆動回路１２０とを接着する第２接着層４４の厚さｄ_２よりも薄くすることができる。

（実施形態４）
図６は、本発明の実施形態４に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの要部を拡大した断面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

図６に示すように、本実施形態の記録ヘッド１を構成する駆動回路１２０は、保護基板３０よりも積層方向である第３の方向Ｚの厚さが厚い。このため、駆動回路１２０は、第３の方向Ｚにおいて、保護基板３０よりもケース部材４０側に突出して設けられている。

孔部１４０の第２の方向Ｙの開口幅は、駆動回路１２０の第２の方向Ｙの幅よりも大きい。このため、保護基板３０よりもケース部材４０側に突出した駆動回路１２０の一部は、孔部１４０内に挿入され、駆動回路１２０は、孔部１４０内においてケース部材４０と第２接着層４４を介して接着されている。

また、ケース部材４０と駆動回路１２０とは、孔部１４０内において、側面同士が第２接着層４４によって接着されている。すなわち、孔部１４０の側面と駆動回路１２０の側面とが第２接着層４４によって接着されている。ここで、孔部１４０の側面とは、第３の方向Ｚに沿った面のことであり、少なくとも第２の方向Ｙの両側の面のことである。また、駆動回路１２０の側面とは、第３の方向Ｚに沿った面のことであり、少なくとも第２の方向の両側の面のことである。また、第２接着層４４は、駆動回路１２０の第３の方向Ｚにおいてケース部材４０側の面上まで延設されている。ただし、ケース部材４０と駆動回路１２０とは、第３の方向Ｚで互いに対向する面同士は接着されることなく、離間して配置されている。ちなみに、第２接着層４４は、駆動回路１２０の第３の方向Ｚにおけるケース部材４０側の面において、第２の方向Ｙの両端部に第１の方向Ｘに亘って連続して設けられている。

このような構成であっても、ケース部材４０と駆動回路１２０とが接着されているという。すなわち、ケース部材４０と駆動回路１２０とが接着されているとは、第３の方向Ｚにおいて互いに対向する面同士が接着されているものも、本実施形態のように第２の方向Ｙにおいて互いに対向する面同士が接着されているものも含むものである。

このように、ケース部材４０と駆動回路１２０とを第２の方向Ｙで相対向する側面同士を第２接着層４４によって接着することで、ケース部材４０と保護基板３０及び駆動回路１２０との接着面積を増大させて、接着強度を向上することができ、接着界面を介して流路から空間３４内にインクが浸入するのを抑制することができる。

また、駆動回路１２０をケース部材４０に接着することで、駆動回路１２０の実装部の浮き上がりを抑制して、実装不良やマイグレーションの発生を抑制することができる。

以上説明したように、本実施形態の液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド１では、流路部材であるケース部材４０の孔部１４０の側面と駆動回路１２０の側面とが接着剤で接着されている。

このように、ケース部材４０と駆動回路１２０との側面同士を接着することで、ケース部材４０と保護基板３０及び駆動回路１２０との接着面積を増大させて、接着強度を向上することができ、接着界面を介して流路から空間３４内にインクが浸入するのを抑制することができる。また、駆動回路１２０をケース部材４０に接着することで、駆動回路１２０の実装部の浮き上がりを抑制して、実装不良やマイグレーションの発生を抑制することができる。

また、本実施形態では、駆動回路１２０は、保護基板３０の積層方向である第３の方向Ｚの厚さよりも厚くなっている。このように、駆動回路１２０を保護基板３０よりも厚くすることで、駆動回路１２０を実装する際のハンドリングを向上して、駆動回路１２０の実装を容易に行うことができる。また、駆動回路１２０が保護基板３０よりもケース部材４０側に突出するため、駆動回路１２０を実装する際に駆動回路１２０の天面よりも大きなツールで駆動回路１２０を押圧することができ、荷重や加熱の均一性が向上し、駆動回路１２０を安定して実装することができる。

（他の実施形態）
以上、本発明の各実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。

例えば、上述した実施形態１～３では、ケース部材４０と駆動回路１２０とが第３の方向Ｚで互いに対向する面同士を第２接着層４４で接着し、第２接着層４４の駆動回路１２０との接着面は、第３の方向Ｚで端子部１２０ａに重なる位置としたが、特にこれに限定されず、第２接着層４４は、第３の方向Ｚで端子部１２０ａに重ならない位置に設けられていてもよい。この場合であっても、駆動回路１２０の実装部とは反対面側をケース部材４０によって支持することができ、駆動回路１２０の実装部の浮き上がりやマイグレーションの発生を抑制することができる。

また、上述した各実施形態では、第１接着層４３と第２接着層４４とを連続して設けるようにしたが、特にこれに限定されず、第１接着層４３と第２接着層４４とは、連続することなく分断して、すなわち、第１接着層４３と第２接着層４４との間に隙間が設けられていてもよい。第１接着層４３と第２接着層４４とが分断されて設けられていても、ケース部材４０の接着面積を増大させて接着強度を向上して、接着界面からのインクの進入を抑制することができる。また、ケース部材４０と保護基板３０との間で第１接着層４３が、連続されることなく２つ以上に分断されて設けられていてもよく、ケース部材４０と駆動回路１２０との間で第２接着層４４が連続されることなく２つ以上に分断されて設けられていてもよい。

さらに、上述した各実施形態では、ケース部材４０の第１の流路である一方の第３液供給室４１が形成されて駆動回路１２０に第２接着層４４によって接着された部分と、第２の流路である他方の第３液供給室４１が形成されて駆動回路１２０に第２接着層４４を介して接着された部分とが一体のものを例示したが、特にこれに限定されず、上記の２つの部分が別体のケース部材４０を用いてもよい。つまり、ケース部材４０は、複数の部材で構成されていてもよい。ただし、ケース部材４０を複数の部材で形成した場合には、ケース部材４０を予め一体化して単一部材とした後に保護基板３０及び駆動回路１２０に接着すれば、接着時の荷重を均等にすることができる。もちろん、ケース部材４０を複数の部材で構成した場合に、複数の部材を個別に保護基板３０及び駆動回路１２０に接着するようにしてもよい。

また、上述した実施形態２及び４では、１つの孔部１４０を設けるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、２つ以上の孔部を設けるようにしてもよい。例えば、第２の方向Ｙに並設された２つの孔部１４０を設けるようにしてもよい。

また、上述した各実施形態では、流路形成基板１０にインク供給路１４及び第１液供給室１３を設けるようにしたが、特にこれに限定されず、第１液供給室１３及びインク供給路１４の何れか一方又は両方を設けないようにしてもよい。

また、上述した各実施形態では、コンプライアンス部４９を設けるようにしたが、例えば、インク自体が圧力変動を吸収するものであれば、コンプライアンス部４９を設けなくてもよい。

また、上述した各実施形態では、１つの駆動回路１２０を設けた構成を例示したが、特にこれに限定されず、第１の方向Ｘに２以上の複数の駆動回路を設けてもよい。また、第１の圧電素子３００Ａの列と第２の圧電素子３００Ｂの列とのそれぞれに駆動回路を設けるようにしてもよい。すなわち、駆動回路が第２の方向Ｙで並設されていてもよい。

さらに、上述した各実施形態では、圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる駆動素子として、薄膜型の圧電素子３００を用いて説明したが、特にこれに限定されず、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電素子や、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電素子などを使用することができる。また、駆動素子として、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズルから液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。

また、上述したインクジェット式記録ヘッド１は、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備するインクジェット式記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図７は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。

図７に示すインクジェット式記録装置Ｉにおいて、複数の記録ヘッド１は、インク供給手段を構成するインクカートリッジ２が着脱可能に設けられ、この記録ヘッド１を搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。

そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッド１を搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４には搬送手段としての搬送ローラー８が設けられており、紙等の記録媒体である記録シートＳが搬送ローラー８により搬送されるようになっている。なお、記録シートＳを搬送する搬送手段は、搬送ローラーに限られずベルトやドラム等であってもよい。

なお、上述したインクジェット式記録装置Ｉでは、インク供給手段であるインクカートリッジ２がキャリッジ３に搭載された構成であるが、特にこれに限定されず、例えば、インクタンク等のインク供給手段を装置本体４に固定して、インク供給手段と記録ヘッド１とをチューブ等の供給管を介して接続してもよい。また、インク供給手段がインクジェット式記録装置に搭載されていなくてもよい。

また、上述したインクジェット式記録装置Ｉでは、記録ヘッド１がキャリッジ３に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、記録ヘッド１が固定されて、紙等の記録シートＳを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。

さらに、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種のインクジェット式記録ヘッド等の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも適用することができる。また、液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置Ｉを挙げて説明したが、上述した他の液体噴射ヘッドを用いた液体噴射装置にも用いることが可能である。

Ｉ…インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、１…インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、２…インクカートリッジ、３…キャリッジ、４…装置本体、５…キャリッジ軸、６…駆動モーター、７…タイミングベルト、８…搬送ローラー、１０…流路形成基板、１２…圧力発生室、１２Ａ…第１の圧力発生室、１２Ｂ…第２の圧力発生室、１３…第１液供給室、１４…インク供給路、２０…ノズルプレート、２１…ノズル、２１Ａ…第１のノズル、２１Ｂ…第２のノズル、３０…保護基板、３１…第２液供給室（流路）、３２…圧電素子保持部、３３…駆動回路保持部、３４…空間、３６…接着剤、４０…ケース部材（流路部材）、４１…第３液供給室（第１の流路、第２の流路）、４３…第１接着層（接着剤）、４４…第２接着層（接着剤）、４５…コンプライアンス基板、４６…封止膜、４７…固定板、４８…開口部、４９…コンプライアンス部、５０…振動板、５１…弾性膜、５２…絶縁体膜、６０…第１電極、７０…圧電体層、８０…第２電極、９０…リード電極、１２０…駆動回路、１２１…充填剤、１２２…入力配線、１３０…外部配線、１４０…孔部、１４１…突出部、３００…圧電素子、３００Ａ…第１の圧電素子、３００Ｂ…第２の圧電素子、Ｓ…記録シート、Ｘ…第１の方向、Ｙ…第２の方向、Ｚ…第３の方向

Claims

液体を噴射する第１のノズルを含む第１のノズル列と、液体を噴射する第２のノズルを含む第２のノズル列と、が形成されたノズルプレートと、
前記第１のノズルに連通する第１の圧力発生室と、前記第２のノズルに連通する第２の圧力発生室と、が形成された流路形成基板と、
前記流路形成基板の一方面側に形成された振動板と、
前記振動板上の前記第１の圧力発生室に対応する位置に設けられた第１の圧電素子と、
前記振動板上の前記第２の圧力発生室に対応する位置に設けられた第２の圧電素子と、
前記流路形成基板の前記一方面側に接合された保護基板と、
前記保護基板の前記流路形成基板とは反対側に接着剤を介して接着され、前記第１の圧力発生室に連通する第１の流路と前記第２の圧力発生室に連通する第２の流路とが形成された流路部材と、
前記流路形成基板と前記保護基板と前記流路部材とで囲まれて形成された空間内であって、前記流路形成基板の前記第１の圧電素子と前記第２の圧電素子との間に実装されて、
前記第１の圧電素子と前記第２の圧電素子とを駆動する駆動回路と、
を具備し、
前記駆動回路は、前記保護基板の厚さよりも厚く、前記保護基板と前記流路部材とに接着剤により接着されており、
前記流路部材は、前記駆動回路側に開口する孔部を有し、
前記孔部の内側面の表面粗さは、前記流路部材の前記孔部が開口する面であって前記保護基板との接着面の表面粗さよりも大きいことを特徴とする液体噴射ヘッド。
液体を噴射する第１のノズルを含む第１のノズル列と、液体を噴射する第２のノズルを含む第２のノズル列と、が形成されたノズルプレートと、
前記第１のノズルに連通する第１の圧力発生室と、前記第２のノズルに連通する第２の圧力発生室と、が形成された流路形成基板と、
前記流路形成基板の一方面側に形成された振動板と、
前記振動板上の前記第１の圧力発生室に対応する位置に設けられた第１の圧電素子と、
前記振動板上の前記第２の圧力発生室に対応する位置に設けられた第２の圧電素子と、
前記流路形成基板の前記一方面側に接合された保護基板と、
前記保護基板の前記流路形成基板とは反対側に接着剤を介して接着され、前記第１の圧力発生室に連通する第１の流路と前記第２の圧力発生室に連通する第２の流路とが形成された流路部材と、
前記流路形成基板と前記保護基板と前記流路部材とで囲まれて形成された空間内であって、前記流路形成基板の前記第１の圧電素子と前記第２の圧電素子との間に実装されて、
前記第１の圧電素子と前記第２の圧電素子とを駆動する駆動回路と、
を具備し、
前記駆動回路は、前記保護基板の厚さよりも厚く、前記保護基板と前記流路部材とに接着剤により接着されており、
前記流路部材は、前記駆動回路側に開口する孔部を有し、
前記流路部材の前記孔部の側面と前記駆動回路の側面とが前記接着剤で接着されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
前記孔部は、前記流路部材を貫通することなく形成された凹部であることを特徴とする請求項１または２記載の液体噴射ヘッド。
液体を噴射する第１のノズルを含む第１のノズル列と、液体を噴射する第２のノズルを含む第２のノズル列と、が形成されたノズルプレートと、
前記第１のノズルに連通する第１の圧力発生室と、前記第２のノズルに連通する第２の圧力発生室と、が形成された流路形成基板と、
前記流路形成基板の一方面側に形成された振動板と、
前記振動板上の前記第１の圧力発生室に対応する位置に設けられた第１の圧電素子と、
前記振動板上の前記第２の圧力発生室に対応する位置に設けられた第２の圧電素子と、
前記流路形成基板の前記一方面側に接合された保護基板と、
前記保護基板の前記流路形成基板とは反対側に接着剤を介して接着され、前記第１の圧力発生室に連通する第１の流路と前記第２の圧力発生室に連通する第２の流路とが形成された流路部材と、
前記流路形成基板と前記保護基板と前記流路部材とで囲まれて形成された空間内であって、前記流路形成基板の前記第１の圧電素子と前記第２の圧電素子との間に実装されて、
前記第１の圧電素子と前記第２の圧電素子とを駆動する駆動回路と、
を具備し、
前記駆動回路は、前記保護基板の厚さよりも厚く、前記保護基板と前記流路部材とに接着剤により接着されており、
前記保護基板と前記流路部材との積層方向の間に設けられて両者を接着する前記接着剤によって形成された第１接着層の厚さは、前記駆動回路と前記流路部材との積層方向の間に設けられて両者を接着する前記接着剤によって形成された第２接着層の厚さよりも厚いことを特徴とする液体噴射ヘッド。
液体を噴射する第１のノズルを含む第１のノズル列と、液体を噴射する第２のノズルを含む第２のノズル列と、が形成されたノズルプレートと、
前記第１のノズルに連通する第１の圧力発生室と、前記第２のノズルに連通する第２の圧力発生室と、が形成された流路形成基板と、
前記流路形成基板の一方面側に形成された振動板と、
前記振動板上の前記第１の圧力発生室に対応する位置に設けられた第１の圧電素子と、
前記振動板上の前記第２の圧力発生室に対応する位置に設けられた第２の圧電素子と、
前記流路形成基板の前記一方面側に接合された保護基板と、
前記保護基板の前記流路形成基板とは反対側に接着剤を介して接着され、前記第１の圧力発生室に連通する第１の流路と前記第２の圧力発生室に連通する第２の流路とが形成された流路部材と、
前記流路形成基板と前記保護基板と前記流路部材とで囲まれて形成された空間内であって、前記流路形成基板の前記第１の圧電素子と前記第２の圧電素子との間に実装されて、
前記第１の圧電素子と前記第２の圧電素子とを駆動する駆動回路と、
を具備し、
前記駆動回路は、前記保護基板の厚さよりも厚く、前記保護基板と前記流路部材とに接着剤により接着されており、
前記保護基板と前記流路部材との積層方向の間に設けられて両者を接着する前記接着剤によって形成された第１接着層の厚さは、前記駆動回路と前記流路部材との積層方向の間に設けられて両者を接着する前記接着剤によって形成された第２接着層の厚さよりも薄いことを特徴とする液体噴射ヘッド。
前記駆動回路は、前記流路部材に相対向する面の全面が前記流路部材と前記接着剤により接着されていることを特徴とする請求項１～５の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
前記流路部材の前記駆動回路と接着された面は、前記流路部材と前記駆動回路との積層方向において前記駆動回路の端子部に重なる位置であること特徴とする請求項１～６の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
前記流路部材と前記駆動回路との積層方向において、前記流路部材と前記駆動回路とが相対向する面同士が前記接着剤で接着されていることを特徴とする請求項１～７の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
前記流路部材は、前記第１の流路が形成されて前記駆動回路に接着される部分と前記第２の流路が形成されて前記駆動回路に接着される部分とが一体であることを特徴とする請求項１～８の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
請求項１～９の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。