JP4735819B2

JP4735819B2 - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置

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Publication number: JP4735819B2
Application number: JP2005235519A
Authority: JP
Inventors: 智明高橋; 宗秀金谷; 和敏後藤
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2005-08-15
Filing date: 2005-08-15
Publication date: 2011-07-27
Anticipated expiration: 2025-08-15
Also published as: JP2007050550A

Description

本発明は、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に、圧力発生手段の駆動によってインク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。

インク滴をノズル開口から吐出させるインクジェット式記録ヘッドには、圧力発生手段の駆動源として、圧電素子の軸方向に伸長、収縮する縦振動モードの圧電アクチュエータを使用したものと、たわみ振動モードの圧電アクチュエータを使用したものの２種類が実用化されている。

例えば、たわみ振動モードの圧電アクチュエータを使用したインクジェット式記録ヘッドとしては、圧力発生室が形成される流路形成基板の流路形成基板の一方面に、ノズル開口が穿設されたノズルプレートが接合され、流路形成基板の他方面側に、各圧力発生室に供給するインクが貯留されるリザーバを構成するリザーバ部が設けられたリザーバ形成基板等が接合されているものがある（例えば、特許文献１参照）。

しかしながら、このようなインクジェット式記録ヘッドでは、各部材の線膨張係数が異なるため、環境温度の変化によって層間剥離が生じるという問題がある。例えば、特許文献１の構造では、流路形成基板及びリザーバ形成基板はシリコン基板からなりその線膨張係数はおよそ２．０［×１０^−６／℃]であり、ノズルプレートはステンレス鋼（ＳＵＳ）からなりその線膨張係数は１６［×１０^−６／℃］であり、各両者の線膨張係数は大きく異なる。このため、例えば、流路形成基板とノズルプレートとの接着時の温度により低い温度にヘッドが置かれた場合、相対的にノズルプレートが縮んでヘッドに反りが生じ、各部材間等で、せん断応力による剥離が生じてしまうという問題がある。

さらに、例えば、上記特許文献１に記載されているように、流路形成基板、リザーバ形成基板等からなる記録ヘッド本体に、この記録ヘッド本体を固定するヘッドケースが固定されたものがある。そして、このヘッドケースも、記録ヘッド本体を構成するリザーバ形成基板等とは異なる材料、例えば、樹脂材料等で形成されている。このため、ヘッドケース側からも応力が発生し、この応力に起因して、記録ヘッド本体の各部材間等で剥離が生じてしまう虞がある。また、記録ヘッド本体を構成するノズルプレートに反りが生じると、インク滴の吐出方向が変わり、着弾位置が変化して画質を劣化させてしまうという問題がある。

これらの問題は、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の剛性の高い材料からなるヘッドケースに記録ヘッド本体を固定することで防止することはできる。しかしながら、このように剛性の高いヘッドケースに記録ヘッド本体を固定して、記録ヘッド本体の反りを矯正すると、記録ヘッド本体に生じる応力が増加してしまい、この応力の増加により記録ヘッド本体を構成する各部材間等での剥離や、クラックが発生する等の問題が生じてしまう虞がある。

なお、このような問題は、インクを吐出するインクジェット式記録ヘッドだけではなく、勿論、インク以外の液滴を吐出する他の液体噴射ヘッドにおいても、同様に存在する。

特開２００３−８０７０３号公報（第２図等）

本発明はこのような事情に鑑み、液滴の吐出特性を良好に維持しつつ、ヘッド本体を構成する各基板の剥離を防止することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを課題とする。

上記課題を解決する本発明の第１の態様は、複数のノズル開口が穿設されたノズルプレートと、圧力発生手段の駆動によって液滴を吐出する前記ノズル開口に連通する複数の圧力発生室が並設された流路形成基板と、を少なくとも有するヘッド本体と、前記ヘッド本体に接合され前記圧力発生室の列に対応する領域の外側に前記ヘッド本体の前記圧力発生室を含む液体流路に連通する連通孔を有するヘッドケースとを具備し、前記ヘッドケースが、接着剤からなる接着層を少なくとも含む接着部によって前記ヘッド本体に接合され、前記接着部が、前記ヘッド本体の変形を実質的に規制する変形規制部と、該変形規制部よりも剛性が低く前記ヘッド本体の変形を弾性変形により許容する変形許容部とを含むと共に、前記変形許容部の前記接着層の厚さが、前記変形規制部の前記接着層の厚さよりも厚くなっており、前記変形規制部が、前記圧力発生室の列に対応する領域の外側で前記ヘッド本体の長辺側の中央部のみに設けられ、前記ヘッドケースの前記連通孔の周囲が前記変形規制部によって前記ヘッド本体に接合されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第１の態様では、ヘッド本体とヘッドケースとは、変形規制部によって強固に固着されるが、変形許容部によってヘッド本体の反りが許容されるため、ヘッド本体の応力増加に伴う各部材間での剥離、クラックの発生等が防止される。特に、変形規制部を所定の領域のみに設けることで、ヘッド本体とヘッドケースとを良好に接合しつつ、ヘッド本体の反りが変形許容部によって確実に許容される。さらに、連通孔の周囲が変形規制部によって接合されていることで、ヘッドケースとヘッド本体との接合部分からの液滴の漏れを確実に防止することができる。

本発明の第２の態様は、前記変形規制部は、前記ヘッドケースの前記ヘッド本体との接合面に設けられた第１の突起部を含むことを特徴とする第１の態様の液体噴射ヘッドにある。
かかる第２の態様では、変形規制部を構成する接着層が良好に形成され、また変形規制部の剛性が高まるため、この変形規制部によってヘッドケースとヘッド本体とがより強固に固着される。

本発明の第３の態様は、前記変形許容部は、前記ヘッドケースの接合面に設けられた前記第１の突起部よりも高さの低い第２の突起部を含むことを特徴とする第２の態様の液体噴射ヘッドにある。
かかる第３の態様では、変形許容部を構成する接着層が良好に形成される。また、変形許容部の剛性が変形規制部の剛性よりも確実に低くなる。

本発明の第４の態様は、第１〜３の何れか一つの態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる第４の態様では、信頼性及び耐久性に優れた液体噴射装置を実現することができる。

以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドを示す分解斜視図であり、図２は、図１の断面図である。図示するように、流路形成基板１０は、本実施形態では面方位（１１０）のシリコン単結晶基板からなり、その一方の面には予め熱酸化により形成した二酸化シリコンからなる、厚さ０．５〜２μｍの弾性膜５０が形成されている。流路形成基板１０には、複数の圧力発生室１２がその幅方向に並設された列が２列設けられている。また、流路形成基板１０の圧力発生室１２の長手方向外側の領域には各圧力発生室１２の列毎に連通部１３が形成され、連通部１３と圧力発生室１２とがインク供給路１４を介して連通されている。なお、連通部１３は、後述する保護基板のリザーバ部と連通して各圧力発生室１２の共通のインク室となるリザーバの一部を構成する。インク供給路１４は、圧力発生室１２よりも狭い幅で形成されており、連通部１３から圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。

また、流路形成基板１０の開口面側には、圧力発生室１２を形成する際のマスクとして用いられたマスク膜５１を介して、各圧力発生室１２のインク供給路１４とは反対側の端部近傍に連通するノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０が接着剤や熱溶着フィルム等を介して固着されている。なお、ノズルプレート２０は、厚さが例えば、０．０１〜１ｍｍで、線膨張係数が３００℃以下で、例えば２．５〜２０［×１０^-6／℃］であるガラスセラミックス、シリコン単結晶基板又はステンレス鋼などからなる。

一方、このような流路形成基板１０の開口面とは反対側には、上述したように、厚さが例えば約１．０μｍの弾性膜５０が形成され、この弾性膜５０上には、厚さが例えば、約０．４μｍの絶縁体膜５５が形成されている。さらに、この絶縁体膜５５上には、厚さが例えば、約０．２μｍの下電極膜６０と、厚さが例えば、約１．０μｍの圧電体層７０と、厚さが例えば、約０．０５μｍの上電極膜８０とが積層形成されて、圧力発生手段の駆動源となる圧電素子３００を構成している。ここで、圧電素子３００は、下電極膜６０、圧電体層７０及び上電極膜８０を含む部分をいう。一般的には、圧電素子３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層７０を各圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。本実施形態では、下電極膜６０を圧電素子３００の共通電極とし、上電極膜８０を圧電素子３００の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。

また、各圧電素子３００の上電極膜８０の一端部近傍にはリード電極９０が接続されている。このリード電極９０は、流路形成基板１０の中央部近傍まで延設され、後述する保護基板３０上に実装された駆動ＩＣと電気的に接続される。

さらに、本実施形態では、圧電素子３００を構成する各層及びリード電極９０が、駆動ＩＣとの接続部を除いて、例えば、無機絶縁材料からなる絶縁膜１００によって覆われている。この絶縁膜１００の材料としては、無機絶縁材料であれば、特に限定されず、例えば、酸化アルミニウム（Ａｌ_２Ｏ_３）、五酸化タンタル（Ｔａ_２Ｏ_５）等が挙げられるが、特に、酸化アルミニウム（Ａｌ_２Ｏ_３）を用いるのが好ましい。このような無機絶縁材料からなる絶縁膜１００は、薄膜でも水分の透過性が極めて低いため、この絶縁膜１００によって、下電極膜６０、圧電体層７０、上電極膜８０及びリード電極９０の表面を覆うことにより、圧電体層７０の水分（湿気）に起因する破壊を防止することができる。

また、このような圧電素子３００が形成された流路形成基板１０上には、圧電素子３００に対向する領域にその運動を阻害しない程度の空間を確保可能な圧電素子保持部３１を有する保護基板３０が接着剤３５を介して接合されている。圧電素子３００は、この圧電素子保持部３１内に形成されているため、外部環境の影響を殆ど受けない状態で保護されている。なお、圧電素子保持部３１は、密封されていてもよいが、密封されていなくてもよい。また、圧電素子保持部３１は、本実施形態では、並設された圧電素子３００の列毎に設けられている。

また、保護基板３０の各圧電素子保持部３１の外側には、リザーバ１１０の少なくとも一部を構成するリザーバ部３２が設けられている。これらのリザーバ部３２は、保護基板３０を厚さ方向に貫通して圧力発生室１２の幅方向に亘って設けられており、流路形成基板１０の連通部１３と連通されて各圧力発生室１２の列毎の共通のインク室となるリザーバ１１０をそれぞれ構成している。また、本実施形態では、保護基板３０の圧電素子保持部３１の間の領域には、保護基板３０を厚さ方向に貫通する貫通孔３３が、各圧電素子３００の列に対応して設けられている。そして、各圧電素子３００から引き出されたリード電極９０は、その端部近傍が貫通孔３３内で露出されている。なお、このような保護基板３０としては、流路形成基板１０の熱膨張率と略同一の材料、例えば、ガラス、セラミック材料等を用いることが好ましく、本実施形態では、流路形成基板１０と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成した。

また、この保護基板３０の表面、すなわち、流路形成基板１０との接合面とは反対側の面には、圧電素子３００を駆動するための駆動ＩＣ（半導体集積回路）１２０が各圧電素子３００の列毎に実装されている。そして、各駆動ＩＣ１２０と各圧電素子３００から引き出されたリード電極９０とは、保護基板３０の貫通孔３３内にワイヤボンディングによって延設される接続配線１３０によって電気的に接続されている。

さらに、保護基板３０上には、リザーバ部３２に対応する領域を含む周縁部を囲むように、封止膜４１及び固定板４２とからなるコンプライアンス基板４０が接合されている。ここで、封止膜４１は、剛性が低く可撓性を有する材料（例えば、厚さが６μｍのポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）フィルム）からなり、この封止膜４１によってリザーバ部３２の一方面が封止されている。また、固定板４２は、金属等の硬質の材料（例えば、厚さが３０μｍのステンレス鋼（ＳＵＳ）等）で形成される。この固定板４２のリザーバ１１０に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４３となっているため、リザーバ１１０の一方面は可撓性を有する封止膜４１のみで封止されている。

このように、本実施形態のヘッド本体１５０は、流路形成基板１０、ノズルプレート２０、保護基板３０及びコンプライアンス基板４０で構成されている。そして、このようなヘッド本体１５０のノズルプレート２０が形成されている側の反対側には、駆動ＩＣ１２０を囲む空間であるＩＣ保持部２０１を有するヘッドケース２００が、帯状に設けられた接着部２１０を介して接合されている。

そして、このＩＣ保持部２０１内には、例えば、シリコーン樹脂又はウレタン樹脂等の低応力性樹脂材料からなるポッティング剤２５０が充填され、保護基板３０上に設けられた駆動ＩＣ１２０及び接続配線１３０が、ＩＣ保持部２０１に充填されたポッティング剤２５０で完全に覆われている。また、ヘッドケース２００には、一端側が図示しないインクカートリッジに接続されると共に、他端側がリザーバ１１０に接続されるインク連通孔２０２が形成されており、このインク連通孔２０２からリザーバ１１０内にインクが供給されるようになっている。

なお、本実施形態に係るヘッドケース２００は、比較的剛性の高い材料で形成されていることが好ましい。具体的には、ニッケル、アルミニウム、ステンレス鋼等の金属材料が挙げられ、例えば、本実施形態では、ヘッドケース２００の材料として、ステンレス鋼（ＳＵＳ）を用いている。

ここで、ヘッド本体１５０とヘッドケース２００とを接合する接着部２１０は、ヘッド本体１５０の変形を実質的に規制する変形規制部２１１と、変形規制部２１１よりも剛性が低くヘッド本体１５０の変形を弾性変形により許容する変形許容部２１２とを含む。そして、本発明では、変形規制部２１１を、圧力発生室１２の列に対応する領域の外側のみに設けるようにし、少なくとも圧力発生室１２の列に対応する領域では、ヘッド本体１５０とヘッドケース２００とが変形許容部２１２のみを介して接合されている。例えば、本実施形態では、図３に示すように、ヘッド本体１５０の短辺側（圧力発生室１２の並設方向両端部）に設けられる接着部２１０と、ヘッド本体１５０の長辺側両端部のインク連通孔２０２の周囲に設けられる接着部２１０とが、変形規制部２１１であり、その他の部分の接着部２１０は何れも変形許容部２１２である。

このような構成では、ノズル開口２１の位置精度を保ちつつ、ヘッド本体１５０の外周部における温度変化等による反りを許容してヘッド本体１５０を構成する基板の剥離や、クラックの発生を防止することができる。

ここで、変形規制部２１１は、本実施形態では、ヘッドケース２００のヘッド本体１５０との接合面に所定高さで突設された第１の突起部２０３と、この第１の突起部２０３を含む領域に形成される第１の接着層２３０とで構成されている。一方、変形許容部２１２は、第１の突起部２０３よりも高さの低い第２の突起部２０４とこの第２の突起部２０４を含む領域に形成される第２の接着層２３１とで構成されて、変形規制部２１１よりも剛性が低くなっている。すなわち、第２の突起部２０４上に設けられる第２の接着層２３１の厚さが、第１の突起部２０３上に設けられる第１の接着層２３０よりも相対的に厚くなるため、変形許容部２１２は、変形規制部２１１よりも剛性が相対的に低くなっている。そして、ヘッドケース２００とヘッド本体１５０とは、変形規制部２１１によって強固に固着されるため、変形許容部２１２は、インクあるいはポッティング剤２５０等の流れ出しを防止するためのシール剤として機能する程度の剛性を有していればよい。

第１の接着層２３０及び第２の接着層２３１となる接着剤は、特に限定されないが、例えば、本実施形態では、シリコーン接着剤を用いている。また、変形規制部２１１を構成する第１の接着層２３０の厚さｄ１は、特に限定されないが、１〜２０μｍ程度であることが好ましい。変形許容部２１２を構成する第２の接着層２３１の厚さｄ２は、３０〜２００μｍ程度であることが好ましい。そして、第１の接着層２３０の厚さｄ１と、第２の接着層２３１の厚さｄ２との差は、１００μｍ程度であることが望ましい。このため、本実施形態では、第１の突起部２０３の高さを約１５０μｍとし、第２の突起部２０４の高さを約５０μｍとしている。これにより、変形許容部２１２の剛性は、変形規制部２１１よりも十分に低くなり、ヘッド本体１５０の変形が第２の接着層２３１の弾性変形により確実に許容される。

そして、本発明では、変形規制部２１１を圧力発生室１２の列に対応する領域の外側のみ、すなわち、ヘッド本体１５０の外周部のみに設け、少なくとも圧力発生室１２の列に対応する領域では、ヘッド本体１５０とヘッドケース２００とが、変形許容部２１２を介して接合されるようにした。これにより、ヘッド本体１５０とヘッドケース２００とは、変形規制部２１１によって高精度に位置決めされた状態で強固に固着されるが、環境温度の変化等によるヘッド本体１５０の反りは変形許容部２１２によって許容される。すなわち、ヘッド本体１５０はヘッドケース２００に接合された状態でも、厚さ方向にある程度変形することが可能である。したがって、環境温度の変化等が生じた際などに、ヘッド本体１５０に反りは生じるものの応力の増加は抑えられるため、応力の増加に伴う各基板の剥離や、クラックの発生を防止することができる。

なお、本実施形態では、変形規制部２１１を、ヘッド本体１５０の短辺側両端部と、インク連通孔２０２の周囲に設けるようにしたが、これに限定されず、例えば、図４に示すように、ヘッド本体１５０の短辺側両端部のみに設けるようにしてもよい。また、例えば、図５に示すように、インク連通孔２０２の周囲のみに設けるようにしてもよい。さらに、例えば、図６に示すように、ヘッド本体１５０の各隅部、すなわち、ヘッド本体１５０の四隅のみに、それぞれ独立する変形規制部２１１を設けるようにしてもよい。何れにしても、変形規制部２１１は、圧力発生室１２の列の領域の外側、すなわち、ヘッド本体１５０の外周部のみに設けられていればよい。そして、このように変形規制部２１１が圧力発生室１２の列の領域の外側のみに設けられていれば、変形許容部２１２によってヘッド本体１５０の反りが確実に許容される。これにより、ヘッド本体１５０を構成する各基板の剥離等を防止でき、信頼性の高い液体噴射ヘッドを実現することができる。

なお、このようなインクジェット式記録ヘッドでは、インクカートリッジ等の外部インク供給手段から、ヘッドケース２００に設けられたインク連通孔２０２を介してインクを取り込む。そして、リザーバ１１０からノズル開口２１に至るまで内部をインクで満たした後、駆動ＩＣ１２０からの駆動信号に従い、圧力発生室１２に対応するそれぞれの下電極膜６０と上電極膜８０との間に駆動電圧を印加し、弾性膜５０、下電極膜６０及び圧電体層７０とにより、各圧力発生室１２内の圧力が高まりノズル開口２１からインク滴が吐出する。

（他の実施形態）
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。例えば、上述の実施形態では、ヘッドケースに設けられた第１の突起部と第１の接着層とを変形規制部とし、第２の突起部と第２の接着層とで変形許容部としているが、これに限定されるものではない。例えば、変形許容部は、ディスペンサー等で塗布された第２の接着層のみであってもよい。なお、このように第２の接着層のみを変形許容部とする場合、第１の突起部の高さを変化させることにより、変形規制部及び変形許容部の剛性を適宜調整することが望ましい。

また、上述した実施形態のインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図７は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。図７に示すように、ヘッド本体を有する記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。そして、駆動モータ６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８上を搬送されるようになっている。

なお、上述の実施形態では、インク滴を吐出するための圧力発生手段として薄膜からなる圧電素子を例示したが、この圧力発生手段は、特に限定されず、例えば、発熱素子等であってもよい。

また、上述した実施形態においては、本発明の液体噴射ヘッドユニットの一例としてインクジェット式記録ヘッドを具備するインクジェット式記録ヘッドユニットを説明したが、液体噴射ヘッドの基本的構成は上述したものに限定されるものではない。勿論、本発明は、インク以外の液体を噴射するものにも適用することができる。なお、その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。

実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。実施形態１に係る記録ヘッドの平面図である。実施形態１に係る記録ヘッドの変形例を示す平面図である。実施形態１に係る記録ヘッドの変形例を示す平面図である。実施形態１に係る記録ヘッドの変形例を示す平面図である。本発明の一実施形態に係る記録装置の概略図である。

符号の説明

１０流路形成基板、１２圧力発生室、１３連通部、１４インク供給路、２０ノズルプレート、２１ノズル開口、３０保護基板、３１圧電素子保持部、３２リザーバ部、４０コンプライアンス基板、５０弾性膜、５５絶縁体膜、６０下電極膜、７０圧電体層、８０上電極膜、９０リード電極、１１０リザーバ、１２０駆動ＩＣ、１５０ヘッド本体、２００ヘッドケース、２０３第１の突起部、２０４第２の突起部、２１０接着部、２１１変形規制部、２１２変形許容部、２３０第１の接着層、２３１第２の接着層、３００圧電素子

Claims

複数のノズル開口が穿設されたノズルプレートと、圧力発生手段の駆動によって液滴を吐出する前記ノズル開口に連通する複数の圧力発生室が並設された流路形成基板と、を少なくとも有するヘッド本体と、前記ヘッド本体に接合され前記圧力発生室の列に対応する領域の外側に前記ヘッド本体の前記圧力発生室を含む液体流路に連通する連通孔を有するヘッドケースとを具備し、
前記ヘッドケースが、接着剤からなる接着層を少なくとも含む接着部によって前記ヘッド本体に接合され、
前記接着部が、前記ヘッド本体の変形を実質的に規制する変形規制部と、該変形規制部よりも剛性が低く前記ヘッド本体の変形を弾性変形により許容する変形許容部とを含むと共に、前記変形許容部の前記接着層の厚さが、前記変形規制部の前記接着層の厚さよりも厚くなっており、
前記変形規制部が、前記圧力発生室の列に対応する領域の外側で前記ヘッド本体の長辺側の中央部のみに設けられ、
前記ヘッドケースの前記連通孔の周囲が前記変形規制部によって前記ヘッド本体に接合されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
前記変形規制部は、前記ヘッドケースの前記ヘッド本体との接合面に設けられた第１の突起部を含むことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
前記変形許容部は、前記ヘッドケースの接合面に設けられた前記第１の突起部よりも高さの低い第２の突起部を含むことを特徴とする請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。