JP7005913B2 - 圧電素子 - Google Patents
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- 互いに対向していると共に長方形状を呈している一対の主面と、前記主面の長辺方向において互いに対向している一対の端面と、前記主面の短辺方向において互いに対向している側面と、を有する圧電素体と、
少なくとも一対の前記主面上に配置され、前記圧電素体に電圧を印加するための第1電極及び第2電極と、を備え、
前記第1電極及び前記第2電極の少なくとも一方は、一対の前記側面の対向方向において一方の前記側面から他方の前記側面にわたって延びる領域であって、前記主面に配置され且つ当該領域が設けられている前記第1電極又は前記第2電極の一対の前記端面の対向方向の長さよりも当該対向方向において小さい幅を有している前記領域を有し、
前記領域には、当該領域の延在方向に沿って並ぶ複数の凹部の列が、一対の前記端面の前記対向方向において所定の間隔をあけて複数設けられている、圧電素子。 - 複数の前記凹部それぞれの開口縁部には、前記第1電極又は前記第2電極の表面よりもはんだの濡れ性が低い第1部材が設けられている、請求項1に記載の圧電素子。
- 複数の前記凹部は、前記領域において行列状に配置されている、請求項1又は2に記載の圧電素子。
- 複数の前記凹部は、前記領域において千鳥状に配置されている、請求項3に記載の圧電素子。
- 前記第1電極及び前記第2電極のそれぞれは、複数の金属層が積層されて形成されており、
複数の前記凹部それぞれの内側面には、合金からなる第2部材が設けられている、請求項1~4のいずれか一項に記載の圧電素子。 - 複数の前記凹部のそれぞれは、前記主面を露出させるように、前記第1電極又は前記第2電極を貫通して形成されている、請求項1~5のいずれか一項に記載の圧電素子。
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Citations (4)
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WO2007023685A1 (ja) | 2005-08-22 | 2007-03-01 | Seiko Epson Corporation | 圧電デバイス |
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