JP5151006B2 - 圧電素子 - Google Patents

Description

本発明は、圧電体と複数の個別電極及びコモン電極とを有する圧電素子に関するものである。

従来の圧電素子としては、例えば特許文献１に記載されているように、２次元マトリックス状に配列された複数の個別電極とコモン電極とで圧電体を挟持するように形成してなるものが知られている。
特開２００４−１４０１９３号公報

しかしながら、上記従来技術においては、圧電体における個別電極とコモン電極とで挟持された部位（個別変位部）が２次元マトリックス状に形成されることになる。このような構成では、各個別電極とコモン電極との間に電圧を印加して各個別変位部を伸縮（変位）させたときに、隣り合う個別変位部同士が互いに干渉し合う、いわゆるクロストークが発生し、各個別変位部の所望な変位コントロールが行いにくいという問題があった。

本発明の目的は、複数の個別電極を２次元的に配列した構造においても、圧電体間のクロストークを防止することができる圧電素子を提供することである。

本発明は、圧電体を挟んで対向する複数の個別電極及びコモン電極を有する素子本体を備えた圧電素子であって、複数の個別電極は、コモン電極と対向する方向に直交する第１の方向及び第２の方向に２次元的に配列されており、コモン電極は、個別電極の各々に対応する位置に形成された複数の電極パターン部と、個別電極の各々に対応する位置において電極パターン部と第２の方向に隣接するように形成され個別電極の各々に電気的に接続された複数の個別電極中継パターンとを有し、素子本体において第１の方向に隣り合う各個別電極の間及び電極パターン部の間には、個別電極及び電極パターン部に沿って延びる開口を有するスリットが設けられており、第２の方向に隣り合う各個別電極は、第１の方向にずれており、圧電体は、個別電極とコモン電極の電極パターン部とに挟まれた個別変位部と、個別変位部以外の圧電不活性部とを含み、スリットは、第１及び第２の方向に直交する方向からみて、個別電極及び電極パターン部の長手方向に沿って延在すると共に個別電極中継パターン間まで至らないように圧電不活性部に設けられていることを特徴とするものである。

このような圧電素子において、個別電極とコモン電極との間に電圧を印加すると、圧電体における個別電極とコモン電極とに挟まれた部分（個別変位部）が伸縮（変位）する。個別電極は第１の方向及び第２の方向に沿って２次元的に配列されているため、個別変位部は、これに対応して第１の方向及び第２の方向に沿って２次元的に配列されることになる。ここで、素子本体において第１の方向に隣り合う各個別電極の間にはスリットが設けられているので、圧電体における当該各個別電極間の部分が物理的に分断される。このため、第１の方向に隣り合う個別変位部同士の干渉（クロストーク）が防止される。また、圧電体における個別変位部以外の部分による個別変位部の変位の拘束が殆ど生じないため、個別変位部の変位量を増大させることができる。さらに、第２の方向に隣り合う各個別電極は第１の方向にずれているので、第２の方向に隣り合う各個別変位部は第２の方向に対して斜めに位置することになり、当該各個別変位部間の距離が長くなる。これにより、第２の方向に隣り合う個別変位部同士のクロストークも防止することができる。

好ましくは、第２の方向に隣り合う各スリットは、個別電極に対応して第１の方向にずれている。これにより、素子本体においては、第１の方向だけでなく第２の方向に対しても個別電極に隣接してスリットが形成されることになる。このため、第２の方向に隣り合う個別変位部同士のクロストークを一層防止することができる。

また、好ましくは、スリットは、素子本体における個別電極とコモン電極との対向方向に交差する一面に開口するように凹状をなしている。この場合には、素子本体の各個別変位部の強度低下を抑えることができる。また、例えば素子本体を一体焼成して形成する場合に、一体焼成時のスリットの変形を防ぐことができる。さらに、各個別変位部の変位が伝達される部材を、素子本体における個別電極とコモン電極との対向方向に交差する他面に接合する場合には、接合強度が高くなる等、製作面で有利である。

また、スリットは、素子本体を個別電極とコモン電極との対向方向に貫通するように形成されていても良い。この場合には、素子本体における各個別電極の間にスリットを設けることによる効果が十分に発揮されるため、隣り合う個別変位部同士のクロストークをより確実に防止することができる。

本発明によれば、複数の個別電極を２次元的に配列した構造においても、圧電体のクロストークを防止することができる。これにより、複数の個別電極を２次元的に高密度に配置することで、圧電素子の小型化や高集積化を図ることが可能となる。

以下、本発明に係わる圧電素子の好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。

図１は、本発明に係わる圧電素子の一実施形態を示す断面図である。同図において、本実施形態の圧電素子１は積層型圧電素子であり、素子本体である積層体２を備えている。積層体２は、圧電体３と、この圧電体３を挟んで対向するように形成された複数の内部個別電極４及び内部コモン電極５とを有している。これらの各内部個別電極４及び内部コモン電極５は、圧電体３を介して交互に積層されている。積層体２の上面２ａには、各内部個別電極４とそれぞれ電気的に接続された複数の個別端子電極６と、内部コモン電極５と電気的に接続されたコモン端子電極７とが設けられている。

圧電体３は、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）を主成分とした圧電セラミック材料で形成されている。内部個別電極４及び内部コモン電極５は、例えばＡｇ及びＰｄで形成され、個別端子電極６及びコモン端子電極７は、例えばＡｇ、Ａｕ、Ｃｕのいずれかで形成されている。

積層型圧電素子１は、図２に示すように、複数種類の電極付き圧電体８〜１２を所定の数（ここでは１０層）だけ重ねた構造を有している。各層の内部個別電極４は、積層体２の積層方向つまり内部個別電極４と内部コモン電極５との対向方向（Ｚ軸方向）に直交する同一面内のＸ軸方向（第１の方向）及びＹ軸方向（第２の方向）に２次元的に配列されている。内部個別電極４は、Ｘ軸方向長さよりもＹ軸方向長さが大きい長方形状をなしている。電極付き圧電体８〜１２の寸法は、例えば１０ｍｍ×３０ｍｍであり、電極付き圧電体８〜１２の厚さは、例えば３０μｍ程度である。

図１に戻り、圧電体３において、各内部個別電極４と内部コモン電極５とに挟まれた複数の部位は、両者間に電圧を印加した時に伸縮動作（変位）する圧電活性部（個別変位部）３ａであり、この圧電活性部３ａ以外の部位は、内部個別電極４と内部コモン電極５との間に電圧を印加しても変位しない圧電不活性部３ｂである。

積層体２においてＸ軸方向に隣り合う各内部個別電極４間の圧電不活性部３ｂには、積層体２の上面２ａに開口する凹状のスリット１３が形成されている。このスリット１３は、積層体２のＸ軸方向の最も端に位置する各内部個別電極４の外側にも形成されている。スリット１３は、積層体２の上面２ａから下方に向けて最下層の圧電体３まで延びている。

圧電活性部３ａの長さ（Ｙ軸方向寸法）は、例えば１．８ｍｍ程度であり、圧電活性部３ｂの幅（Ｘ軸方向寸法）は、例えば１５０μｍ程度である。また、スリット１３の長さ（Ｙ軸方向寸法）は、例えば圧電活性部３ａの長さと同じ１．８ｍｍ程度であり、スリット１３の幅（Ｘ軸方向寸法）は、例えば５０μｍ程度である。

電極付き圧電体８は、図３に示すように、基体である上記の圧電体３と、この圧電体３の上面に形成され、上記の内部個別電極４を形成する複数の個別電極パターン１４及びコモン電極中継パターン１５とを有している。例えば複数の個別電極パターン１４は、Ｘ軸方向に７５個、Ｙ軸方向に４個といった７５行４列に配列されている。Ｙ軸方向に隣り合う各個別電極パターン１４は、ほぼ個別電極パターン１４の幅分だけＸ軸方向にずれている。つまり、個別電極パターン１４は、Ｙ軸方向に対しては互い違いに配列されている。コモン電極中継パターン１５は、圧電体３の一端部に形成されている。また、電極付き圧電体８には、各個別電極パターン１４と電気的に接続された複数のスルーホール１６と、コモン電極中継パターン１５と電気的に接続されたスルーホール１７とが設けられている。

さらに、電極付き圧電体８において、Ｘ軸方向に隣り合う各個別電極パターン１４の間には、上記のスリット１３の一部を作り出すためのスリット孔１８がそれぞれ設けられている。このスリット孔１８は、Ｘ軸方向の最も端に位置する各個別電極パターン１４の外側にも設けられている。スリット孔１８は、個別電極パターン１４の長手方向に沿ってＹ軸方向に延在する開口を有している。Ｙ軸方向に隣り合う各スリット孔１８は、個別電極パターン１４に対応してＸ軸方向にずれている。つまり、スリット孔１８は、Ｙ軸方向に対しては互い違いに配列されている。

電極付き圧電体９は、図４に示すように、圧電体３と、この圧電体３の上面に形成され、上記の内部個別電極４を形成する複数の個別電極パターン１９及びコモン電極中継パターン２０とを有している。個別電極パターン１９は、電極付き圧電体８の個別電極パターン１４と対応するように２次元的に配列されている。コモン電極中継パターン２０は、電極付き圧電体８のコモン電極中継パターン１５と対応する位置に形成されている。また、電極付き圧電体９には、コモン電極中継パターン２０と電気的に接続されたスルーホール２１が設けられている。

さらに、電極付き圧電体９には、上記のスリット１３の一部を作り出すための複数のスリット孔２２が設けられている。このスリット孔２２は、電極付き圧電体８のスリット孔１８と対応するように２次元的に配列されている。

電極付き圧電体１０は、図５に示すように、圧電体３と、この圧電体３の上面に形成され、上記の内部コモン電極５を形成するコモン電極パターン２３と複数の個別電極中継パターン２４とを有している。コモン電極パターン２３は、電極付き圧電体８の各個別電極パターン１４に対応する位置に形成された複数の電極パターン部２３ａと、電極付き圧電体８のコモン電極パターン１５に対応する位置に形成された電極パターン部２３ｂとを含んでいる。個別電極中継パターン２４は、個別電極パターン１４に対応する位置において電極パターン部２３ａとＹ軸方向に隣接するように形成されている。また、電極付き圧電体１０には、各個別電極中継パターン２４と電気的に接続された複数のスルーホール２５と、コモン電極パターン２３と電気的に接続されたスルーホール２６とが設けられている。スルーホール２６は、電極パターン部２３ｂの領域内に形成されている。

さらに、電極付き圧電体１０には、上記のスリット１３の一部を作り出すための複数のスリット孔２７が設けられている。このスリット孔２７は、電極付き圧電体８のスリット孔１８と対応するように２次元的に配列されている。

電極付き圧電体１１は、図６に示すように、圧電体３と、この圧電体３の上面に形成され、上記の内部コモン電極５を形成するコモン電極パターン２８とを有している。コモン電極パターン２８は、電極付き圧電体１０の各電極パターン部２３ａに対応する位置に形成された複数の電極パターン部２８ａと、電極パターン部２３ｂに対応する位置に形成された電極パターン部２８ｂとを含んでいる。

電極付き圧電体１２は、図７に示すように、圧電体３と、この圧電体３の上面に形成された上記の複数の個別端子電極６及び上記のコモン端子電極７とを有している。各個別端子電極６は、電極付き圧電体１０の各個別電極中継パターン２４に対応する位置に形成されている。コモン端子電極７は、電極付き圧電体８のコモン電極中継パターン１５に対応する位置に形成されている。また、電極付き圧電体１２には、各個別端子電極６と電気的に接続された複数のスルーホール２９と、コモン端子電極７と電気的に接続されたスルーホール３０とが設けられている。

さらに、電極付き圧電体１２には、上記のスリット１３の一部を作り出すための複数のスリット孔３１が設けられている。このスリット孔３１は、電極付き圧電体８のスリット孔１８と対応するように２次元的に配列されている。

積層型圧電素子１は、図２に示すように、上から順に電極付き圧電体１２、電極付き圧電体１０、電極付き圧電体８、電極付き圧電体１０…電極付き圧電体８、電極付き圧電体１０、電極付き圧電体９及び電極付き圧電体１１を重ねた構造をなしている。このとき、圧電体３において、個別電極パターン１４と電極パターン部２３ａとに挟まれる部位、個別電極パターン１９と電極パターン部２３ａとに挟まれる部位、個別電極パターン１９と電極パターン部２８ａとに挟まれる部位が、上記の圧電活性部３ａ（図１参照）を構成している。また、スリット孔１８，２２，２７，３１によって、内部個別電極４に沿って延びる開口を有する上記の凹状スリット１３が形成される。

最上層の電極付き圧電体１２に設けられた個別端子電極６は、スルーホール２９、個別電極中継パターン２４、スルーホール２５、個別電極パターン１４及びスルーホール１６を介して、下から２層目の電極付き圧電体９に設けられた個別電極パターン１９と電気的に接続される。また、最上層の電極付き圧電体１２に設けられたコモン端子電極７は、スルーホール３０、コモン電極パターン２３、スルーホール２６、コモン電極中継パターン１５、スルーホール１７、コモン電極中継パターン２０及びスルーホール２１を介して、最下層の電極付き圧電体１１に設けられたコモン電極パターン２８と電気的に接続される。

次に、上述した積層型圧電素子１を製造する方法について説明する。まず、例えばＰＺＴ（粉体密度8000kg/m³）を主成分とした圧電セラミックを用意し、これに有機バインダ・有機溶剤等を混合したペーストを作製する。そして、例えばドクターブレード法によって上記ペーストをＰＥＴフィルム等のキャリアフィルム上に塗布することで、上記の圧電体３となるセラミックグリーンシートを形成する。

続いて、グリーンシートにＹＡＧレーザの第３次高調波（波長３５５ｎｍ）のレーザ光を照射することで、グリーンシートに複数のスリット孔を形成する。レーザ光を用いることにより、幅狭のスリット孔を容易に且つ精度良く形成することができる。また、上記と同様にＹＡＧレーザのレーザ光を照射して、グリーンシートにスルーホールを形成する。このとき、スルーホールを、例えば上径が５０μｍ、下径が４０μｍのテーパー状となるように形成する。なお、最下層の電極付き圧電体１１を形成するためのグリーンシートについては、スリット孔及びスルーホールの形成を行う必要はない。

そして、例えばＡｇ：Ｐｄ＝７：３の比率で構成された導電材料と有機バインダ・有機溶剤等とを混合したペーストを作製し、例えばスクリーン印刷法によりスルーホール内に導電ペーストを充填する。続いて、例えば同様の導電ペーストを用いて、例えばスクリーン印刷法によりグリーンシートの上面に内部電極パターンを形成する。

続いて、内部電極パターンやスリット孔が形成された複数種類のグリーンシートを所定の枚数だけ所定の順序で積層する。そして、そのグリーン積層体に対し、例えば６０℃程度の熱を加えながら１００ＭＰａ程度の圧力でプレス加工を行い、各層のグリーンシートを圧着させる。その後、グリーン積層体を所定の寸法に切断する。

続いて、グリーン積層体をセッターに載せ、グリーン積層体の脱脂（脱バインダ）を例えば４００℃前後の温度で１０時間程度行う。その後、グリーン積層体が載置されたセッターを密閉こう鉢内に入れ、グリーン積層体の焼成を例えば１１００℃程度の温度で２時間程度行い、焼結体としての積層体２を得る。

続いて、焼成後の積層体２の上面２ａに、例えばＡｇからなる複数の個別端子電極６及びコモン端子電極７を形成する。この端子電極の形成手法としては、焼付け、スパッタリング、無電解メッキ法などが用いられる。そして、例えば温度１２０℃の環境下で、圧電体３の厚みに対する電界強度が３ｋＶ／ｍｍとなるように所定の電圧を例えば３分間印加することにより、分極処理を行う。これにより、圧電アクチュエータとしての積層型圧電素子１が完成する。

なお、凹状のスリット１３の形成手法としては、上記のようなグリーンシートにレーザ光を照射してスリット孔を形成することの他に、グリーンシートの状態で又は積層体の作製後に、研磨加工やパンチング加工等を用いて行っても良い。

このような積層型圧電素子１において、任意の個別端子電極６とコモン端子電極７との間に電圧を印加すると、選択された個別端子電極６の直下に位置する内部個別電極４と内部コモン電極５との間にも電圧が印加されることになる。これにより、圧電体３における該当する内部個別電極４と内部コモン電極５とに挟まれる圧電活性部３ａに電界が生じ、この圧電活性部３ａが積層体２の積層方向（Ｚ軸方向）に変位するようになる。

このとき、積層体２においてＸ軸方向に隣り合う各内部個別電極４の間には、凹状のスリット１３が形成されているので、Ｘ軸方向に隣り合う各圧電活性部３ａ間の部分が空間を介して切り離されることになる。これにより、Ｘ軸方向に隣り合う圧電活性部３ａ同士の変位による機械的干渉や電界強度等の電気的干渉といったクロストークが抑えられる。

また、積層体２においてＹ軸方向に隣り合う各内部個別電極４は、Ｙ軸方向に対して垂直なＸ軸方向にずれている。つまり、Ｙ軸方向に沿った各内部個別電極４の真横位置には隣の内部個別電極４が存在せず、その隣の内部個別電極４はＹ軸方向に対して斜め位置に存在することになる。このため、Ｙ軸方向に隣り合う２つの内部個別電極４間の距離は、その分だけ長くなる。しかも、Ｙ軸方向に沿った各内部個別電極４の真横位置には、スリット１３が形成されている。これにより、Ｙ軸方向に隣り合う圧電活性部３ａ同士の変位によるクロストークも十分抑えられる。

さらに、Ｘ軸方向に沿った各内部個別電極４の真横位置とＹ軸方向に沿った各内部個別電極４の真横位置とには、上記のようにスリット１３が存在しているので、圧電活性部３ａの変位が圧電不活性部３ｂに拘束されることが十分抑制される。これにより、圧電活性部３ａの変位量を増大させることができる。

従って、積層型圧電素子１の小型化及び高集積化に対処すべく、本実施形態のように内部個別電極４を２次元的に高密度に配列した場合であっても、圧電活性部３ａの所望な変位が得られるようになるため、各圧電活性部３ａを高精度に制御することが可能となる。

また、スリット１３は積層体２の上面２ａのみに開口する凹部構造であるため、例えば積層体の側面に開放端をもったスリットを有する構造に比べて、積層体２の圧電活性部３ａの機械的強度が高くなる。このため、積層型圧電素子１を駆動させる時の取り扱いが容易になると共に、積層型圧電素子１の耐久性及び信頼性を向上させることができる。このとき、積層体２においてスリット１３が形成されない層は最下層だけであるため、圧電活性部３ａの変位の阻害による影響は最小限に抑えられる。

なお、スリット孔の無い最下層の電極付き圧電体としては、上記の電極付き圧電体１１（図６参照）の代わりに、図８に示すように、圧電体３の上面にベタ状のコモン電極パターン３２を形成してなる電極付き圧電体３３を用いても良い。また、コモン電極パターン及びスリット孔を有する電極付き圧電体についても、特に図示はしないが、圧電体３の上面にベタ状のコモン電極パターンを形成してなるものを用いても良い。この場合には、電極付き圧電体におけるコモン電極パターンの領域内にスリット孔を形成する。

図９は、上述した積層型圧電素子１を備えた圧電ユニットを示す部分断面図である。同図において、圧電ユニット４０は、積層型圧電素子１における積層体２の下面（変位伝達面）２ｂに固定された液体流通部４１を備えている。

液体流通部４１は、圧電体３の変位が伝達される液体を収容するための複数の液室４２を形成する壁部４３を有している。各液室４２は、内部個別電極４に対応する位置に設けられている。液体流通部４１の底部には、圧電体３の変位が液室４２内の液体に伝わった時に液室４２内から液体を流出させるための液体流出口４４が設けられている。なお、壁部４３は、クロム合金鋼やニッケル合金鋼等の金属系材料、樹脂、セラミック等で形成されている。また、液室４２に貯めておく液体としては、例えば純水を主成分とし、グリセリンとノンイオン系の界面活性剤とを混合したものを使用する。

液体流通部４１の各液室４２には予め液体が入っており、その液体が積層体２の変位伝達面２ｂに接触している。その状態で、何れかの個別端子電極４とコモン端子電極５との間に所定の電圧を印加すると、当該個別端子電極４に対応する圧電活性部３ａが積層体２の積層方向に変位する。これにより、その変位が対応する液室４２内に入っている液体に伝えられ、その液体が液体流出口４４から出るようになる。

このような圧電ユニット４０を作製するときは、各液室４２が各内部個別電極４の真下に位置するように液体流通部４１を積層型圧電素子１に対して位置決めした状態で、壁部４３を積層体２の下面２ｂに接着して貼り付ける。このとき、積層体２に形成されたスリット１３は、積層体２の下面２ｂに開放端の無い凹部である。このため、壁部４３を積層体２の下面２ｂに接着固定する際に、スリット１３が障害になることは無い。従って、圧電ユニット４０の作製が容易に且つ安価に行えると共に、積層体２と液体流通部４１との接着力を高くすることができる。

図１０は、本発明に係わる圧電素子の他の実施形態を示す断面図である。図中、上述した実施形態と同一または同等の部材には同じ符号を付し、その説明を省略する。

同図において、本実施形態の積層型圧電素子５０は、圧電体３、複数の内部個別電極４及び内部コモン電極５を有する積層体５１を備えている。積層体５１には、上記実施形態における凹状のスリット１３に代えて、積層体５１を積層方向（Ｚ軸方向）に貫通するスリット５２が形成されている。

積層型圧電素子５０は、図１１に示すように、上記実施形態における電極付き圧電体１１に代えて電極付き圧電体５３を最下層に設けた構造を有している。つまり、積層型圧電素子５０は、電極付き圧電体８〜１０，１２，５３を所定の数だけ重ねた構造を有している。

電極付き圧電体５３は、図１２に示すように、上記実施形態における電極付き圧電体１１と同じ構成のコモン電極パターン２８を有している。また、電極付き圧電体５３には、上記のスリット５２の一部を作り出すための複数のスリット孔５４が形成されている。このスリット孔５４は、電極付き圧電体８のスリット孔１８と対応するように２次元的に配列されている。具体的には、スリット孔５４は、Ｘ軸方向に隣り合う各電極パターン部２８ａ間の部位と、Ｘ軸方向の最も端に位置する各電極パターン部２８ａの外側部位とに形成されている。そして、Ｙ軸方向に隣り合う各スリット孔５４は、互いにＸ軸方向にずれている。

上記のスリット５２は、電極付き圧電体８〜１０，１２，５３に設けられたスリット孔１８，２２，２７，３１，５４によって形成される。これにより、スリット５２は、内部個別電極４の長手方向に沿って延在する開口を有することとなる。

このような積層型圧電素子５０においても、圧電体３におけるＸ軸方向及びＹ軸方向に隣り合う圧電活性部３ａ同士の変位によるクロストークを防止することができる。また、スリット５２は積層体５１の積層方向に貫通しているので、圧電活性部３ａの変位が圧電不活性部３ｂに拘束されることが更に抑制される。これにより、圧電活性部３ａの変位量を十分増大させることができる。

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態の圧電素子は、複数層の圧電体３を有する積層型圧電素子であるが、特に大きな変位を必要としない場合には、圧電体３を単層構造としても良い。

また、上記実施形態では、圧電素子を液体制御用の圧電ユニット４０に適用したが、本発明の圧電素子は、圧電体３の変位を伝達させる対象物が液体ではなく流動性を有する固体や気体のものにも適用可能である。

本発明に係わる圧電素子の一実施形態を示す断面図である。 図１に示した圧電素子の分解斜視図である。 図２に示した電極付き圧電体の一つを示す平面図である。 図２に示した電極付き圧電体の他の一つを示す平面図である。 図２に示した電極付き圧電体の更に他の一つを示す平面図である。 図２に示した電極付き圧電体の更に他の一つを示す平面図である。 図２に示した電極付き圧電体の更に他の一つを示す平面図である。 図６に示した最下層の電極付き圧電体の変形例を示す平面図である。 図１に示した圧電素子を備えた圧電ユニットを示す部分拡大断面図である。 本発明に係わる圧電素子の他の実施形態を示す断面図である。 図１０に示した圧電素子の分解斜視図である。 図１１に示した最下層の電極付き圧電体を示す平面図である。

符号の説明

１…積層型圧電素子、２…積層体（素子本体）、３…圧電体、４…内部個別電極、５…内部コモン電極、１３…スリット、５０…積層型圧電素子、５１…積層体（素子本体）、５２…スリット。

Claims (4)

1. 圧電体を挟んで対向する複数の個別電極及びコモン電極を有する素子本体を備えた圧電素子であって、
   前記複数の個別電極は、前記コモン電極と対向する方向に直交する第１の方向及び第２の方向に２次元的に配列されており、
   前記コモン電極は、前記個別電極の各々に対応する位置に形成された複数の電極パターン部と、前記個別電極の各々に対応する位置において前記電極パターン部と前記第２の方向に隣接するように形成され前記個別電極の各々に電気的に接続された複数の個別電極中継パターンとを有し、
   前記素子本体において前記第１の方向に隣り合う前記各個別電極の間及び前記電極パターン部の間には、前記個別電極及び前記電極パターン部に沿って延びる開口を有するスリットが設けられており、
   前記第２の方向に隣り合う前記各個別電極は、前記第１の方向にずれており、
   前記圧電体は、前記個別電極と前記コモン電極の前記電極パターン部とに挟まれた個別変位部と、前記個別変位部以外の圧電不活性部とを含み、
   前記スリットは、前記第１及び第２の方向に直交する方向からみて、前記個別電極及び前記電極パターン部の長手方向に沿って延在すると共に前記個別電極中継パターン間まで至らないように前記圧電不活性部に設けられている、ことを特徴とする圧電素子。
2. 前記第２の方向に隣り合う前記各スリットは、前記個別電極に対応して前記第１の方向にずれていることを特徴とする請求項１記載の圧電素子。
3. 前記スリットは、前記素子本体における前記個別電極と前記コモン電極との対向方向に交差する一面に開口するように凹状をなしていることを特徴とする請求項１または２記載の圧電素子。
4. 前記スリットは、前記素子本体を前記個別電極と前記コモン電極との対向方向に貫通するように形成されていることを特徴とする請求項１または２記載の圧電素子。

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