JP7005453B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既に説明したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
以下の説明及び図面において、n+、n、n-及びp+、pの表記は、各導電形における不純物濃度の相対的な高低を表す。すなわち、「+」が付されている表記は、「+」及び「-」のいずれも付されていない表記よりも不純物濃度が相対的に高く、「-」が付されている表記は、いずれも付されていない表記よりも不純物濃度が相対的に低いことを示す。これらの表記は、それぞれの領域にp形不純物とn形不純物の両方が含まれている場合には、それらの不純物が補償しあった後の正味の不純物濃度の相対的な高低を表す。
以下で説明する各実施形態について、各半導体領域のp形とn形を反転させてもよい。
図1は、第1実施形態に係る半導体装置の一部を表す斜視断面図である。
図1に表した第1実施形態に係る半導体装置100は、MOSFETである。半導体装置100は、n-形(第1導電形)ドリフト領域1(第1半導体領域)、p形(第2導電形)ベース領域2(第2半導体領域)、n+形ソース領域3(第3半導体領域)、p+形コンタクト領域4(第4半導体領域)、n+形ドレイン領域5、ゲート電極10、導電部20、ドレイン電極31(第1電極)、及びソース電極32(第2電極)を有する。
なお、図1では、半導体装置100の上面の構造を示すために、ソース電極32を透過して表している。
ソース電極32に対してドレイン電極31に正の電圧が印加された状態で、ゲート電極10に閾値以上の電圧が印加される。これにより、p形ベース領域2のゲート絶縁部15近傍にチャネル(反転層)が形成され、半導体装置がオン状態となる。電子は、このチャネルを通ってソース電極32からドレイン電極31へ流れる。
図2~図4は、第1実施形態に係る半導体装置の製造工程を表す斜視断面図である。
第1実施形態に係る半導体装置100において、ゲート電極10は、第1部分11及び第2部分12を有する。第2部分12の下端は、n-形ドリフト領域1とp形ベース領域2のpn接合面よりも上方に位置する。すなわち、第2部分12は、X方向においてn-形ドリフト領域1と対向していない。これにより、第2部分12とn-形ドリフト領域1との間に発生する容量を低減できる。この結果、ゲート電極10とドレイン電極31との間の容量CGDを低減できる。容量CGDが低下すると、帰還容量Crssが低下する。帰還容量Crssが低下すると、半導体装置100をスイッチングした際のドレイン電流の立ち上がり時間及び立ち下がり時間を短縮できる。これにより、半導体装置100のスイッチング損失を低減できる。
図5(a)は、ゲート電極10を表す模式図である。図5(b)は、第1実施形態に係る半導体装置の特性を示すグラフである。
例えば、n-形ドリフト領域1とp形ベース領域2の界面から、p形ベース領域2とn+形ソース領域3の界面までのZ方向における距離は、1.0μmに設定される。ゲート電極10の下端のZ方向における位置には、0.1μm程度のばらつきが存在する。また、n-形ドリフト領域1とp形ベース領域2の界面のZ方向における位置には、0.05μm程度のばらつきが存在する。これらのばらつきを考慮して、第2部分12の下端と、n-形ドリフト領域1とp形ベース領域2の界面と、の間のZ方向における距離は、0.15μm以上に設定されることが望ましい。第1部分11の下端と、n-形ドリフト領域1とp形ベース領域2の界面と、の間のZ方向における距離は、0.15μm以上に設定されることが望ましい。
また、第2部分12の下端は、p形ベース領域2とn+形ソース領域3の界面よりも下方に位置することが望ましい。第2部分12の下端が当該界面よりも上方に位置すると、シリコン表面でのリークを抑制できなくなる。第2部分12の下端が当該界面よりも下方に位置することで、リーク電流を抑制できる。
図6は、第1実施形態の第1変形例に係る半導体装置の一部を表す斜視断面図である。
図7は、第1実施形態の第1変形例に係る半導体装置の一部を表す平面図である。
第1変形例に係る半導体装置110では、図6に表したように、それぞれのp形ベース領域2の上において、複数のn+形ソース領域3と複数のp+形コンタクト領域4がY方向に交互に設けられている。
図8(a)は、図1に表した半導体装置100の動作を表す。図8(b)は、図6及び図7に表した半導体装置110の動作を表す。
図9は、第1実施形態の第2変形例に係る半導体装置の一部を表す斜視断面図である。
第2変形例に係る半導体装置120では、ゲート電極10及び導電部20の構造が、半導体装置100及び110と異なる。
図10は、第2実施形態に係る半導体装置の一部を表す斜視断面図である。
第2実施形態に係る半導体装置200は、図10に表したように、ゲート電極10の構造が第1実施形態に係る半導体装置100~120と異なる。
図11は、第2実施形態の第1変形例に係る半導体装置の一部を表す斜視断面図である。
第2実施形態の第1変形例に係る半導体装置210では、図11に表したように、それぞれのp形ベース領域2の上において、複数のn+形ソース領域3と複数のp+形コンタクト領域4がY方向に交互に設けられている。
図12は、第2実施形態の第2変形例に係る半導体装置の一部を表す斜視断面図である。
第2実施形態の第2変形例に係る半導体装置220では、ゲート電極10の構造が、半導体装置200と異なる。
図13は、第3実施形態に係る半導体装置の一部を表す斜視断面図である。
図13に表した第3実施形態に係る半導体装置300は、IGBTである。半導体装置300は、n+形ドレイン領域5に代えて、p+形コレクタ領域6及びn形バッファ領域7を有する。また、半導体装置300において、ドレイン電極31は、コレクタ電極として機能する。ソース電極32は、エミッタ電極として機能する。
Claims (13)
- 第1電極と、
前記第1電極の上に設けられた第1導電形の第1半導体領域と、
前記第1半導体領域の上に設けられた第2導電形の第2半導体領域と、
前記第2半導体領域の一部の上に設けられた第1導電形の第3半導体領域と、
前記第1半導体領域中に第1絶縁部を介して設けられた第1導電部と、
前記第1電極から前記第1半導体領域に向かう第1方向に垂直な第2方向において、前記第1半導体領域の一部、前記第2半導体領域、及び前記第3半導体領域とゲート絶縁部を介して対向する第1部分と、
前記第1方向及び前記第2方向に垂直な第3方向において前記第1部分と並び、前記第2方向において前記第2半導体領域と前記ゲート絶縁部を介して対向し、下端が前記第1半導体領域と前記第2半導体領域の界面よりも上方に位置する第2部分と、
を有し、前記第1導電部の上に第2絶縁部を介して設けられ、前記第2部分と前記第1導電部との間の距離が前記第1部分と前記第1導電部との間の距離よりも長い、ゲート電極と、
前記第2半導体領域及び前記第3半導体領域の上に設けられ、前記第1導電部、前記第2半導体領域、及び前記第3半導体領域と電気的に接続された第2電極と、
を備えた半導体装置。 - 前記第1部分及び前記第2部分は、それぞれ複数設けられ、
前記複数の第1部分及び前記複数の第2部分は、前記第3方向において交互に設けられた請求項1記載の半導体装置。 - 前記第2半導体領域の別の一部の上に設けられた第2導電形の第4半導体領域をさらに備え、
前記第4半導体領域における第2導電形の不純物濃度は、前記第2半導体領域における第2導電形の不純物濃度よりも高い請求項1又は2に記載の半導体装置。 - 前記第4半導体領域は、前記第3方向において、前記第3半導体領域と並び、
前記第2部分は、前記第2方向において、前記第4半導体領域と前記ゲート絶縁部を介して対向する請求項3記載の半導体装置。 - 前記第2部分の前記第3方向における長さは、前記第1部分の前記第3方向における長さの、0.5倍以上30倍以下である請求項1~4のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 前記第2部分の下端と、前記第1半導体領域と前記第2半導体領域の前記界面と、の間の前記第1方向における距離は、0.15μm以上である請求項1~5のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 前記第1部分の下端と、前記第1半導体領域と前記第2半導体領域の前記界面と、の間の前記第1方向における距離は、0.15μm以上である請求項1~6のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 前記第2絶縁部におけるボロン又はリンの濃度は、前記第1絶縁部におけるボロン又はリンの濃度よりも高い請求項1~7のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 第1電極と、
前記第1電極の上に設けられた第1導電形の第1半導体領域と、
前記第1半導体領域の上に設けられた第2導電形の第2半導体領域と、
前記第2半導体領域の一部の上に設けられた第1導電形の第3半導体領域と、
前記第1電極から前記第1半導体領域に向かう第1方向に垂直な第2方向において、前記第1半導体領域の一部、前記第2半導体領域、及び前記第3半導体領域とゲート絶縁部を介して対向する第1部分と、
前記第1方向及び前記第2方向に垂直な第3方向において前記第1部分と並び、前記第2方向において前記第2半導体領域と前記ゲート絶縁部を介して対向し、上端が前記第1部分の上端よりも下方に位置する第2部分と、
を有するゲート電極と、
前記第2半導体領域及び前記第3半導体領域の上に設けられ、前記第2半導体領域及び前記第3半導体領域と電気的に接続された第2電極と、
を備えた半導体装置。 - 前記第2部分の前記上端は、前記第2半導体領域と前記第3半導体領域の界面よりも下方に位置する請求項9記載の半導体装置。
- 前記第1部分及び前記第2部分は、それぞれ複数設けられ、
前記複数の第1部分及び前記複数の第2部分は、前記第3方向において交互に設けられた請求項9又は10に記載の半導体装置。 - 前記第2半導体領域の別の一部の上に設けられた第2導電形の第4半導体領域をさらに備え、
前記第4半導体領域における第2導電形の不純物濃度は、前記第2半導体領域における第2導電形の不純物濃度よりも高い請求項9~11のいずれか1つに記載の半導体装置。 - 前記第4半導体領域は、前記第3方向において、前記第3半導体領域と並び、
前記第2部分の少なくとも一部の前記第3方向における位置は、前記第4半導体領域の少なくとも一部の前記第3方向における位置と同じである請求項12記載の半導体装置。
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