JP6992185B2 - 液晶アンテナ及びその製造方法 - Google Patents
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Description
前記第1金属膜層及び第2金属膜層の金属膜層の厚さは、表皮深さδの3倍~5倍である。
第1基板を提供し、膜めっきにより前記第1基板上に第1金属膜層を形成するステップと、
第2基板を提供し、膜めっきにより前記第2基板上に第2金属膜層を形成するステップと、
第1金属膜層及び/又は第2金属膜層にパターニング処理を行うステップと、を含み、
膜めっきにより基板上に金属膜層を形成する前に、基板の表面にシード層を製造する。
化学堆積法によってシード層の表面に化学堆積層をめっきするステップを含む。
化学堆積法によってシード層の表面に化学堆積層をめっきするステップと、
電気めっきプロセスによって、化学堆積層の表面に電気めっき金属層をめっきするステップと、を含む。
図1には本発明の実施例1が示されており、本特定実施例は液晶アンテナを提供する。液晶アンテナは、対向設置される第1基板11と第2基板21、及び第1基板11と第2基板21との間に位置する液晶層30を備える。
式中、μは金属材料の透磁率、σは導体の導電率、fは液晶アンテナが送受信する信号は周波数を表す。
実施例1に対する改良形態として、実施例1に比べて、本実施例では、まず、対応する基板のシード層24に化学堆積層131を製造し、次に、電気めっきプロセスによって化学堆積層131上に電気めっき金属層132を製造する。つまり、化学堆積法と電気めっきを組み合わせた方法で金属膜層を基板にめっきする。この電気めっきプロセスは、化学堆積法に比べて、電解反応であり、基板キャリアに電力を印加する必要があるという点が異なる。化学堆積法、たとえば、化学銅堆積法は、酸化還元反応であり、基板キャリアに電力を印加する必要がない。
本特定実施例は、実施例2に記載の液晶アンテナの製造方法を提供する。液晶アンテナの製造方法は、
第1基板11を提供し、前記第1基板11上にシード層24を製造し、膜めっきによりシード層24上に第1金属膜層13を形成するステップS1と、
第2基板21を提供し、前記第2基板21上にシード層24を製造し、膜めっきによりシード層24上に第2金属膜層22を形成するステップS2と、
第1金属膜層13及び/又は第2金属膜層22にパターニング処理を行うステップS3と、を含む。
ステップS3では、金属膜層にパターニング処理を行った後、液晶アンテナの製造方法は、
第1導電層が形成された第1基板11上に第1配向層14を形成し、第2導電層が形成された第2基板21上に第2配向層23を形成するステップS4をさらに含む。
前記第1基板11及び第2基板21を位置合わせして貼り合わせて液晶セルを形成し、液晶層30を製造するステップS5をさらに含む。
(a)基板上の埃/汚れによるシード層24と基板との粘着力及び均一性の低下を回避するために、対応する基板の表面をクリーニングし、クリーニングには、洗浄と乾燥処理を含む。
(b)ディップコーティングプロセスによって、基板の表面に、金属膜層と基板との間の粘着力を大幅に向上させ得るシード層24を形成する。
(c)シード層24を活性化処理し、つまり、シード層24上に触媒活性のある金属粒子(たとえば、パラジウム)を吸着させることで、基板の表面に化学堆積層131又は電気めっき方法で金属層を順調に製造する。
(d)化学堆積法によって、シード層24の表面に化学堆積層131をめっきする。
(e)電気めっきプロセスで、化学堆積層131の表面に電気めっき金属層132をめっきする。電気めっき金属層132の厚さについては、液晶アンテナの性能を確保する必要がある。
本特定実施例は、実施例1に記載の液晶アンテナの製造方法を提供する。実施例3に比べて、金属膜層は、対応する基板のシード層24上に積層される化学堆積層131だけを備え、電気めっき金属層132を備えないという点が異なる。
(a)基板上の埃/汚れによるシード層24と基板との粘着力及び均一性の低下を回避するために、対応する基板の表面をクリーニングし、クリーニングには、洗浄と乾燥処理を含む。
(b)ディップコーティングプロセスによって、基板の表面に、金属膜層と基板との間の粘着力を大幅に向上させ得るシード層24を形成する。
(c)シード層24を活性化処理し、つまり、シード層24上に触媒活性のある金属粒子(たとえば、パラジウム)を吸着させることで、基板の表面に化学堆積層131又は電気めっき方法で金属層を順調に製造する。
(d)化学堆積法によって、シード層24の表面に化学堆積層131をめっきする。
Claims (10)
- 対向設置される第1基板と第2基板、及び前記第1基板と第2基板との間に位置する液晶層を備え、前記第2基板に向かう第1基板の一側には第1金属膜層が設けられ、前記第1基板に向かう第2基板の一側には第2金属膜層が設けられ、前記第1基板及び第2基板はガラス基板であり、前記第1基板と第1金属膜層との間にシード層を有し、前記第2基板と第2金属膜層との間にシード層を有し、
前記第1金属膜層及び第2金属膜層の構造は、すべて対応する基板のシード層上に順次積層される化学堆積層、電気めっき金属層である
ことを特徴とする液晶アンテナ。 - 前記第1金属膜層及び第2金属膜層の金属材料は、導電率σ、透磁率μであり、液晶アンテナが送受信する信号は周波数f、表皮深さδ=(1/πfμσ)1/2であり、
前記第1金属膜層及び第2金属膜層の金属膜層の厚さは、表皮深さδの3倍~5倍であり、
前記第1金属膜層及び第2金属膜層の金属膜層の材料は、銅であり、金属膜層の厚さはすべて2.0μm以上である、
ことを特徴とする請求項1に記載の液晶アンテナ。 - 前記シード層は、材料が金属酸化物であり、厚さが50nm未満である、
ことを特徴とする請求項1に記載の液晶アンテナ。 - 対向設置される第1基板と第2基板、及び前記第1基板と第2基板との間に位置する液晶層を備え、前記第2基板に向かう第1基板の一側には第1金属膜層が設けられ、前記第1基板に向かう第2基板の一側には第2金属膜層が設けられ、前記第1基板及び第2基板はガラス基板であり、前記第1基板と第1金属膜層との間にシード層を有し、前記第2基板と第2金属膜層との間にシード層を有することを特徴とする液晶アンテナを製造することに用いられる液晶アンテナの製造方法であって、
第1基板を提供し、膜めっきにより前記第1基板上に第1金属膜層を形成するステップと、
第2基板を提供し、膜めっきにより前記第2基板上に第2金属膜層を形成するステップと、
第1金属膜層及び/又は第2金属膜層にパターニング処理を行うステップと、を含み、
膜めっきにより基板上に金属膜層を形成する前に、基板の表面にシード層を製造し、
基板上への膜めっきの方法は、
化学堆積法によってシード層の表面に化学堆積層をめっきするステップと、
電気めっきプロセスによって、化学堆積層の表面に電気めっき金属層をめっきするステップと、を含むことを特徴とする液晶アンテナの製造方法。 - 請求項1~3のいずれか一項に記載の液晶アンテナを製造することに用いられる液晶アンテナの製造方法であって、
第1基板を提供し、膜めっきにより前記第1基板上に第1金属膜層を形成するステップと、
第2基板を提供し、膜めっきにより前記第2基板上に第2金属膜層を形成するステップと、
第1金属膜層及び/又は第2金属膜層にパターニング処理を行うステップと、を含み、
膜めっきにより基板上に金属膜層を形成する前に、基板の表面にシード層を製造し、
基板上への膜めっきの方法は、
化学堆積法によってシード層の表面に化学堆積層をめっきするステップと、
電気めっきプロセスによって、化学堆積層の表面に電気めっき金属層をめっきするステップと、を含むことを特徴とする液晶アンテナの製造方法。 - 前記シード層の製造方法は、ディップコーティング方法を用いて、基板を調製された金属酸化物溶液に浸漬し、次に基板を溶液から引き上げ、金属酸化物を基板上に付着させることである、
ことを特徴とする請求項4又は5 に記載の液晶アンテナの製造方法。 - シード層を形成した後、1回目のベーク処理を行う、
ことを特徴とする請求項4又は5に記載の液晶アンテナの製造方法。 - シード層の表面に化学堆積層をめっきする前に、シード層を活性化処理し、シード層上に触媒活性のある粒子を吸着させる、
ことを特徴とする請求項4又は5に記載の液晶アンテナの製造方法。 - 化学堆積層をめっきした後、且つ金属層を電気めっきする前に、まず化学堆積層をきれいに洗浄し、次に2回目のベーク処理を行う、
ことを特徴とする請求項4又は5に記載の液晶アンテナの製造方法。 - 金属層の電気めっき後、洗浄ステップ及び3回目のベーク処理ステップをさらに含む、
ことを特徴とする請求項9に記載の液晶アンテナの製造方法。
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TWI788156B (zh) * | 2021-09-07 | 2022-12-21 | 稜研科技股份有限公司 | 電磁波傳輸結構 |
CN114388996B (zh) * | 2020-10-22 | 2023-04-07 | 上海天马微电子有限公司 | 液晶移相器及其制作方法、液晶天线 |
CN112688037B (zh) * | 2020-12-31 | 2022-05-20 | 成都天马微电子有限公司 | 一种液晶移相器及其制备方法、液晶天线 |
CN112909560B (zh) * | 2021-01-15 | 2022-08-02 | 成都天马微电子有限公司 | 液晶天线及其制作方法 |
CN114914695B (zh) * | 2021-02-07 | 2024-06-25 | 上海天马微电子有限公司 | 一种天线基板及天线 |
US11990680B2 (en) * | 2021-03-18 | 2024-05-21 | Seoul National University R&Db Foundation | Array antenna system capable of beam steering and impedance control using active radiation layer |
CN115117609B (zh) | 2021-03-23 | 2024-07-05 | 京东方科技集团股份有限公司 | 天线单元及其制备方法、电子设备 |
WO2022259896A1 (ja) * | 2021-06-08 | 2022-12-15 | Agc株式会社 | 高周波デバイス用基板 |
CN113905518A (zh) * | 2021-09-10 | 2022-01-07 | 北京华镁钛科技有限公司 | 一种液晶天线面板及其制造工艺 |
WO2023095565A1 (ja) * | 2021-11-25 | 2023-06-01 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 電波反射板 |
CN116711156A (zh) * | 2021-12-17 | 2023-09-05 | 京东方科技集团股份有限公司 | 相控阵天线及其扫描方法、天线系统 |
CN114284714B (zh) * | 2021-12-31 | 2023-12-15 | 成都天马微电子有限公司 | 液晶天线及其制备方法 |
WO2024029170A1 (ja) * | 2022-08-01 | 2024-02-08 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 電波反射装置の検査方法 |
CN118044061A (zh) * | 2022-08-26 | 2024-05-14 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种可调移相器、其制作方法及电子设备 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008297168A (ja) | 2007-05-31 | 2008-12-11 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | ZnOウィスカー膜及びその作製方法 |
JP2010231972A (ja) | 2009-03-26 | 2010-10-14 | Kanagawa Acad Of Sci & Technol | 導電体基板、導電体基板の製造方法、デバイス及び電子機器 |
JP2014531843A (ja) | 2011-09-27 | 2014-11-27 | テヒニッシェ ウニフェルジテート ダルムシュタット | 電子式操縦可能平面位相アレーアンテナ |
JP2016517914A (ja) | 2013-03-27 | 2016-06-20 | アトーテヒ ドイッチュラント ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 無電解銅めっき溶液 |
CN106932933A (zh) | 2017-05-09 | 2017-07-07 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种液晶天线及其制作方法 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02162804A (ja) * | 1988-12-16 | 1990-06-22 | Nissan Motor Co Ltd | 平板型アンテナ |
TW344034B (en) * | 1996-12-06 | 1998-11-01 | Nat Science Council | Process for fabricating an optical filter polarizer |
CN102463130A (zh) | 2010-11-19 | 2012-05-23 | 北京佳盛世纪科技有限公司 | 一种溶胶-凝胶法制备改性TiO2涂层的方法 |
CN102683220B (zh) * | 2011-03-08 | 2016-01-20 | 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司 | 一种制作多层有机液晶聚合物基板结构的方法 |
CN202805801U (zh) * | 2012-06-05 | 2013-03-20 | 深圳市五株科技股份有限公司 | 覆铜板和印刷电路板 |
US10957990B2 (en) * | 2016-05-30 | 2021-03-23 | Sharp Kabushiki Kaisha | Scanning antenna |
US10720708B2 (en) * | 2016-07-25 | 2020-07-21 | Innolux Corporation | Antenna device |
CN108321503B (zh) | 2017-01-16 | 2020-05-15 | 群创光电股份有限公司 | 液晶天线装置 |
CN108490706B (zh) * | 2018-04-13 | 2024-04-02 | 京东方科技集团股份有限公司 | 液晶移相器及其制造方法、液晶天线及电子装置 |
CN108963402B (zh) * | 2018-08-16 | 2023-09-26 | 北京华镁钛科技有限公司 | 一种用于制作射频微波器件及天线的传输结构及制作方法 |
-
2019
- 2019-03-12 CN CN201910185803.1A patent/CN109818150A/zh active Pending
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-
2020
- 2020-03-12 TW TW109108209A patent/TWI721822B/zh not_active IP Right Cessation
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008297168A (ja) | 2007-05-31 | 2008-12-11 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | ZnOウィスカー膜及びその作製方法 |
JP2010231972A (ja) | 2009-03-26 | 2010-10-14 | Kanagawa Acad Of Sci & Technol | 導電体基板、導電体基板の製造方法、デバイス及び電子機器 |
JP2014531843A (ja) | 2011-09-27 | 2014-11-27 | テヒニッシェ ウニフェルジテート ダルムシュタット | 電子式操縦可能平面位相アレーアンテナ |
JP2016517914A (ja) | 2013-03-27 | 2016-06-20 | アトーテヒ ドイッチュラント ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 無電解銅めっき溶液 |
CN106932933A (zh) | 2017-05-09 | 2017-07-07 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种液晶天线及其制作方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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