WO2023095565A1 - 電波反射板 - Google Patents

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WO2023095565A1
WO2023095565A1 PCT/JP2022/040674 JP2022040674W WO2023095565A1 WO 2023095565 A1 WO2023095565 A1 WO 2023095565A1 JP 2022040674 W JP2022040674 W JP 2022040674W WO 2023095565 A1 WO2023095565 A1 WO 2023095565A1
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WO
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linear
region
electrodes
axis
shaped
Prior art date
Application number
PCT/JP2022/040674
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English (en)
French (fr)
Inventor
大一 鈴木
真一郎 岡
盛右 新木
光隆 沖田
Original Assignee
株式会社ジャパンディスプレイ
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Publication date
Application filed by 株式会社ジャパンディスプレイ filed Critical 株式会社ジャパンディスプレイ
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01Q—ANTENNAS, i.e. RADIO AERIALS
    • H01Q15/00—Devices for reflection, refraction, diffraction or polarisation of waves radiated from an antenna, e.g. quasi-optical devices
    • H01Q15/14—Reflecting surfaces; Equivalent structures
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01Q—ANTENNAS, i.e. RADIO AERIALS
    • H01Q3/00—Arrangements for changing or varying the orientation or the shape of the directional pattern of the waves radiated from an antenna or antenna system
    • H01Q3/44—Arrangements for changing or varying the orientation or the shape of the directional pattern of the waves radiated from an antenna or antenna system varying the electric or magnetic characteristics of reflecting, refracting, or diffracting devices associated with the radiating element
    • H01Q3/46—Active lenses or reflecting arrays

Definitions

  • Embodiments of the present invention relate to radio wave reflectors.
  • a radio wave reflector that can control the direction of radio wave reflection using liquid crystal is being studied.
  • reflection controllers having reflective electrodes are arranged one-dimensionally (or two-dimensionally).
  • This embodiment provides a radio wave reflector with excellent light transparency.
  • a radio wave reflector includes: A plurality of individual regions arranged in a matrix along each of the X-axis and the Y-axis orthogonal to each other, wherein each of the individual regions includes a first region and one or more second regions other than the first region.
  • a connection region located between the plurality of individual regions and having a grid-like shape and connected to the plurality of individual regions; a first substrate having a plurality of patch electrodes, each patch electrode being positioned in the first region of a corresponding one of the plurality of discrete regions; A second substrate having a common electrode, wherein the common electrode is located in the first region and the connection region of each of the individual regions and extends in a direction parallel to the Z-axis orthogonal to the X-axis and the Y-axis. the second substrate facing the plurality of patch electrodes at a liquid crystal layer held between the first substrate and the second substrate and facing the plurality of patch electrodes.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view showing a radio wave reflector according to the first embodiment.
  • FIG. 2 is a plan view showing a radio wave reflector according to Example 1 of the first embodiment.
  • FIG. 3 is an enlarged plan view showing a part of the radio wave reflector according to the first embodiment, showing a plurality of individual areas, connection areas, and peripheral areas.
  • FIG. 4 is an enlarged plan view showing a plurality of patch electrodes and a plurality of connection wirings according to the first embodiment.
  • FIG. 5 is an enlarged plan view showing part of the common electrode according to the first embodiment.
  • FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view showing a part of the radio wave reflector according to the first embodiment, showing a single reflection control section.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view showing a radio wave reflector according to the first embodiment.
  • FIG. 2 is a plan view showing a radio wave reflector according to Example 1 of the first embodiment.
  • FIG. 3 is an enlarged plan view showing
  • FIG. 7 is an enlarged cross-sectional view showing a part of the radio wave reflector according to the first embodiment, showing a plurality of reflection control units.
  • FIG. 8 is a timing chart showing changes in the voltage applied to the patch electrode for each period in the method for driving the radio wave reflector according to the first embodiment.
  • FIG. 9 is an enlarged plan view showing a part of the radio wave reflector according to Example 2 of the first embodiment, showing a plurality of individual areas, connection areas, and peripheral areas.
  • FIG. 10 is an enlarged plan view showing a plurality of patch electrodes and a plurality of connection wirings according to the second embodiment.
  • FIG. 11 is an enlarged plan view showing part of the common electrode according to the second embodiment.
  • FIG. 12 is an enlarged plan view showing a part of the radio wave reflector according to Example 5 of the first embodiment, showing a plurality of individual regions, connection regions, and peripheral regions.
  • FIG. 13 is an enlarged plan view showing a plurality of patch electrodes and a plurality of connection wirings according to the fifth embodiment.
  • FIG. 14 is an enlarged plan view showing part of the common electrode according to the fifth embodiment.
  • FIG. 15 is an enlarged plan view showing a part of the radio wave reflector according to the modified example of the first embodiment, showing a plurality of individual areas, connection areas, and peripheral areas.
  • FIG. 16 is an enlarged plan view showing a plurality of patch electrodes and a plurality of connection wirings according to the modification.
  • FIG. 17 is an enlarged plan view showing part of the common electrode according to the modification.
  • FIG. 18 is a plan view showing a radio wave reflector according to the second embodiment.
  • FIG. 19 is an enlarged cross-sectional view showing part of the radio wave reflector according to the second embodiment.
  • FIG. 20 is an enlarged plan view showing a plurality of patch electrodes according to the second embodiment, and is a diagram for explaining an example of voltages applied to the plurality of patch electrodes in the method of driving the radio wave reflector.
  • FIG. 21 is an enlarged plan view showing a plurality of patch electrodes according to the second embodiment, and is a diagram for explaining another example of voltages applied to the plurality of patch electrodes in the method of driving the radio wave reflector. be.
  • FIG. 22 is an enlarged plan view showing a plurality of patch electrodes of the radio wave reflector according to the modification of the second embodiment.
  • FIG. 23 is an enlarged plan view showing a part of the common electrode of the radio wave reflector according to the modified example of the second embodiment.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view showing a radio wave reflector RE according to the first embodiment.
  • the radio wave reflector RE can reflect radio waves and functions as a relay device for radio waves.
  • the radio wave reflector RE includes a first substrate SUB1, a second substrate SUB2, and a liquid crystal layer LC.
  • the first substrate SUB1 has an electrically insulating base material 1, a plurality of patch electrodes PE, and an alignment film AL1.
  • the substrate 1 is formed in a flat plate shape and extends along the XY plane including the mutually orthogonal X-axis and Y-axis.
  • the alignment film AL1 covers the plurality of patch electrodes PE.
  • the second substrate SUB2 is opposed to the first substrate SUB1 with a predetermined gap.
  • the second substrate SUB2 has an electrically insulating base material 2, a common electrode CE, and an alignment film AL2.
  • the substrate 2 is formed in a flat plate shape and extends along the XY plane.
  • the common electrode CE faces the plurality of patch electrodes PE in a direction parallel to the Z-axis orthogonal to each of the X-axis and Y-axis.
  • the alignment film AL2 covers the common electrode CE.
  • each of the alignment film AL1 and the alignment film AL2 is a horizontal alignment film.
  • the first substrate SUB1 and the second substrate SUB2 are joined by a sealing material SE arranged on their respective peripheral portions.
  • the liquid crystal layer LC is provided in a space surrounded by the first substrate SUB1, the second substrate SUB2, and the sealing material SE.
  • the liquid crystal layer LC is held between the first substrate SUB1 and the second substrate SUB2.
  • the liquid crystal layer LC faces the plurality of patch electrodes PE on the one hand and the common electrode CE on the other hand.
  • the thickness (cell gap) of the liquid crystal layer LC is assumed to be dl .
  • the thickness dl is greater than the thickness of the liquid crystal layer of a normal liquid crystal display panel.
  • the thickness dl is 50 ⁇ m.
  • the thickness dl may be less than 50 ⁇ m as long as the reflection phase of radio waves can be sufficiently adjusted.
  • the thickness dl may exceed 50 ⁇ m in order to increase the reflection angle of radio waves.
  • the liquid crystal material used for the liquid crystal layer LC of the radio wave reflector RE is different from the liquid crystal material used for ordinary liquid crystal display panels.
  • a common voltage is applied to the common electrode CE, and the potential of the common electrode CE is fixed.
  • the common voltage is 0V.
  • a voltage is also applied to the patch electrode PE.
  • the patch electrodes PE are AC-driven.
  • the liquid crystal layer LC is driven by a so-called vertical electric field.
  • a voltage applied between the patch electrode PE and the common electrode CE acts on the liquid crystal layer LC, thereby changing the dielectric constant of the liquid crystal layer LC.
  • the absolute value of the voltage applied to the liquid crystal layer LC is 10 V or less. This is because the dielectric constant of the liquid crystal layer LC is saturated at 10V. However, depending on the dielectric constant of the liquid crystal layer LC, the voltage at which the liquid crystal layer LC is saturated varies, so the absolute value of the voltage acting on the liquid crystal layer LC may exceed 10V.
  • the first substrate SUB1 has an incident surface Sa on the side opposite to the side facing the second substrate SUB2.
  • an incident wave w1 is a radio wave incident on the radio wave reflector RE
  • a reflected wave w2 is a radio wave reflected by the radio wave reflector RE.
  • 28 GHz is assumed as the frequency band of the incident wave w1.
  • FIG. 2 is a plan view showing the radio wave reflector RE according to the first embodiment.
  • the plurality of patch electrodes PE are arranged in a matrix at intervals along each of the X-axis and the Y-axis. In the XY plane, the patch electrodes PE have the same shape and size.
  • the plurality of patch electrodes PE are arranged at equal intervals along the X-axis and at equal intervals along the Y-axis.
  • a plurality of patch electrodes PE are included in a plurality of patch electrode groups GP extending along the Y-axis and arranged along the X-axis.
  • the multiple patch electrode groups GP include a first patch electrode group GP1 to an eighth patch electrode group GP8.
  • the first patch electrode group GP1 has a plurality of first patch electrodes PE1, the second patch electrode group GP2 has a plurality of second patch electrodes PE2, and the third patch electrode group GP3 has a plurality of third patch electrodes PE3.
  • the fourth patch electrode group GP4 has a plurality of fourth patch electrodes PE4, the fifth patch electrode group GP5 has a plurality of fifth patch electrodes PE5, and the sixth patch electrode group GP6 has a plurality of the It has six patch electrodes PE6, a seventh patch electrode group GP7 has a plurality of seventh patch electrodes PE7, and an eighth patch electrode group GP8 has a plurality of eighth patch electrodes PE8.
  • the second patch electrode PE2 is located between the first patch electrode PE1 and the third patch electrode PE3 in the direction along the X-axis.
  • Each patch electrode group GP includes a plurality of patch electrodes PE arranged along the Y-axis and electrically connected to each other.
  • the plurality of patch electrodes PE of each patch electrode group GP are electrically connected by connection lines L.
  • the first substrate SUB1 has a plurality of connection wirings L extending along the Y-axis and arranged along the X-axis.
  • the connection wiring L extends to a region of the base material 1 that is not opposed to the second substrate SUB2. Note that, unlike the first embodiment, the plurality of connection wirings L may be connected to the plurality of patch electrodes PE one-to-one.
  • the plurality of patch electrodes PE arranged along the Y-axis and the connection wiring L are integrally formed of the same conductor.
  • the plurality of patch electrodes PE and the connection lines L may be formed of conductors different from each other.
  • the patch electrodes PE, the connection lines L, and the common electrode CE are made of metal or a conductor similar to metal.
  • the connection wiring L may be connected to an outer lead bonding (OLB) pad (not shown).
  • the connection wiring L is a fine wire, and the width of the connection wiring L is sufficiently smaller than the length Px1, which will be described later.
  • the width of the connection line L is several ⁇ m, and is on the order of ⁇ m. In Example 1, the width of the connection line L is 5 ⁇ m.
  • the connection wiring L is required to have sufficient conductivity to transmit the control signal (voltage) to be applied to the patch electrode PE. It is desirable that the width of the connection wiring L is as small as possible.
  • the width of the connection wiring L is desirably as small as possible, for example, 1 to 2 ⁇ m. Further, if the width of the connection wiring L is made too large, it is not desirable because the sensitivity to the frequency component of the radio wave changes.
  • the sealing material SE is arranged in a peripheral edge portion (a rectangular frame-shaped peripheral area PA) of the area where the first substrate SUB1 and the second substrate SUB2 face each other.
  • FIG. 2 shows an example in which eight patch electrodes PE are arranged in the direction along the X-axis and in the direction along the Y-axis.
  • the number of patch electrodes PE can be variously modified.
  • 100 patch electrodes PE may be arranged in the direction along the X-axis, and a plurality (eg, 100) of patch electrodes PE may be arranged in the direction along the Y-axis.
  • the length of the radio wave reflector RE (first substrate SUB1) in the X-axis direction is, for example, 40 to 80 cm.
  • FIG. 3 is an enlarged plan view showing a part of the radio wave reflector RE according to the first embodiment, showing a plurality of individual areas IA, connection area CA, and peripheral area PA.
  • the area where the first substrate SUB1 and the second substrate SUB2 face each other includes a plurality of individual areas IA, a connection area CA, and a peripheral area PA.
  • a plurality of individual areas IA and connection areas CA are areas surrounded by the peripheral area PA.
  • a plurality of individual areas IA are arranged in a matrix along each of the X axis and the Y axis.
  • Each individual area IA has a first area A1 and one or more second areas A2 other than the first area A1.
  • the connection area CA is located between the plurality of individual areas IA, has a lattice shape, and is connected to the plurality of individual areas IA.
  • the first area A1 is a frame-shaped area and has a square outer peripheral edge and a square inner peripheral edge. In the first region A1, the center of gravity of the outer peripheral edge and the center of gravity of the inner peripheral edge are the same in plan view.
  • Each individual area IA has one second area A2.
  • the second area A2 is an area surrounded by the first area A1 and has a square shape.
  • the individual area IA has a length Px1 along the X-axis and a length Py1 along the Y-axis.
  • a region of the connection region CA between a pair of individual regions IA adjacent in the direction along the X-axis has a length Px2 in the direction along the X-axis.
  • a region of the connection region CA between a pair of individual regions IA adjacent in the direction along the Y-axis has a length Py2 in the direction along the Y-axis.
  • the first area A1 has a length Pxa along the X-axis and a length Pya along the Y-axis.
  • the length Pxa is the distance between the outer peripheral edge and the inner peripheral edge facing each other in each region of the first region A1 that is adjacent to the second region A2 in the direction along the X-axis and extends in the direction along the Y-axis.
  • the length Pya is defined by the distance between the outer peripheral edge and the inner peripheral edge facing each other in each region of the first region A1 adjacent to the second region A2 in the direction along the Y-axis and extending in the direction along the X-axis. corresponds to the distance between
  • the second regions A2 each have a length Pxb along the X-axis and a length Pyb along the Y-axis.
  • the plurality of individual areas IA are arranged at a first pitch in the direction along the X-axis and arranged at a second pitch in the direction along the Y-axis. In Example 1, the first pitch and the second pitch are each 1.55 mm.
  • FIG. 4 is an enlarged plan view showing a plurality of patch electrodes PE and a plurality of connection wirings L according to the first embodiment.
  • each patch electrode PE has a frame-like shape and is located in the first area A1 of one corresponding individual area IA among the plurality of individual areas IA.
  • each patch electrode PE is located in the entire first area A1 of one corresponding individual area IA, and is not located in the second area A2.
  • the patch electrode PE has a first opening OP1 in the second area A2.
  • the connection wiring L is located in the connection area CA.
  • each patch electrode PE is 90° rotationally symmetrical in plan view.
  • the outline of the shape of the patch electrode PE is square.
  • the outline of the shape of the patch electrode PE (individual area IA) is not limited to the square shape of the first embodiment, but a square shape, perfect circle shape, or the like is desirable. Focusing on the external shape of the patch electrode PE, it is desirable to have a shape with a vertical and horizontal aspect ratio of 1:1. This is because a 90° rotationally symmetrical structure is desirable to accommodate horizontal and vertical polarizations.
  • FIG. 5 is an enlarged plan view showing part of the common electrode CE according to the first embodiment.
  • the common electrode CE is located in the plurality of individual areas IA, the connection area CA, and the peripheral area PA, and is continuously provided in the plurality of individual areas IA, the connection area CA, and the peripheral area PA.
  • the common electrode CE is positioned over the entire connection area CA.
  • a portion of the common electrode CE located in each individual area IA has a frame shape, is located in the entire first area A1, and is not located in the second area A2.
  • a portion of the common electrode CE located in each individual area IA has a second opening OP2 in the second area A2.
  • the shape of the portion of the common electrode CE located in each individual area IA is rotationally symmetrical by 90° in plan view.
  • the outline of the shape of the portion of the common electrode CE located in each individual area IA is a square.
  • the outline of the shape of the portion of the common electrode CE located in each individual area IA is not limited to the square shape of the first embodiment.
  • the contour of the shape of the patch electrode PE (individual area IA) is a perfect circle
  • the contour of the portion of the common electrode CE located in each individual area IA should also be a perfect circle.
  • the shape of the portion of the common electrode CE located in each individual area IA is preferably a shape with an aspect ratio of 1:1.
  • the shapes of the portions of the patch electrodes PE and the common electrodes CE located in the respective individual regions IA are rotationally symmetrical by 90° in plan view.
  • One is preferable. It is desirable that the shape of the portion of the common electrode CE located in each individual area IA be the same as the shape of each patch electrode PE. It is desirable that a portion of the common electrode CE located in each individual area IA overlap with one corresponding one of the plurality of patch electrodes PE in plan view.
  • the patch electrode PE, the connection line L, and the common electrode CE are each formed of metal such as TAT, and have light shielding properties.
  • the above TAT has a three-layer laminated structure (Ti-based/Al-based/Ti-based), and includes a lower layer made of a metal material mainly composed of Ti such as Ti (titanium), an alloy containing Ti, and Al (aluminum) , an alloy containing Al as a main component, and an upper layer consisting of a metal material containing Ti as a main component, such as an alloy containing Ti and Ti.
  • the areas through which the plurality of patch electrodes PE and the common electrode CE allow the transmission of light are the plurality of second areas A2, in other words, the first openings OP1 of the patch electrodes PE. and the second openings OP2 of the common electrode CE are a plurality of first light transmission regions overlapping with each other.
  • the aperture ratio is substantially 44%.
  • a plurality of portions of the common electrode CE located in a plurality of individual areas IA may be electrically connected to each other. Therefore, the common electrode CE does not have to be positioned over the entire connection area CA, and may have a plurality of third openings in the connection area CA. In that case, inside the peripheral area PA, the areas where the plurality of patch electrodes PE and the common electrode CE allow light transmission are the plurality of first light transmission areas and the plurality of light transmission areas overlapping the plurality of third openings. This is the second light transmission area.
  • FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view showing a part of the radio wave reflector RE according to the first embodiment, showing a single reflection control section RH.
  • illustration of the base material 1 and the like is omitted.
  • the thickness d l (cell gap) of the liquid crystal layer LC is maintained by a plurality of spacers SS.
  • the spacer SS is a columnar spacer, formed on the second substrate SUB2, and projected toward the first substrate SUB1.
  • the cross-sectional diameter of the spacer SS in the direction parallel to the X-axis is 10 to 20 ⁇ m. While the length of the patch electrode PE in the direction parallel to the X-axis and the length of the patch electrode PE in the direction parallel to the Y-axis are each on the order of mm, the cross-sectional diameter of the spacer SS in the X direction is on the order of ⁇ m. . Therefore, it is necessary to make a plurality of spacers SS exist irrespective of whether or not the region faces the patch electrode PE. In addition, the ratio of the regions in which a plurality of spacers SS are present in the individual regions IA is about 1%.
  • the spacer SS may be formed on the first substrate SUB1 and protrude toward the second substrate SUB2.
  • the spacers SS may be spherical spacers.
  • the radio wave reflector RE is equipped with a plurality of reflection control units RH.
  • Each reflection control part RH is present in one patch electrode PE among the plurality of patch electrodes PE, a portion of the common electrode CE facing the one patch electrode PE, and an individual region IA of the liquid crystal layer LC. and a region.
  • the liquid crystal layer LC exists in at least the entire first region A1.
  • the dielectric constant in the first area A1 of the liquid crystal layer LC and the dielectric constant in the second area A2 of the liquid crystal layer LC are the same.
  • the dielectric constant in the second area A2 of the liquid crystal layer LC does not substantially change, but the dielectric constant in the first area A1 of the liquid crystal layer LC changes. do.
  • the dielectric constant in the first region A1 of the liquid crystal layer LC is proportional to the voltage applied between the patch electrode PE and the common electrode CE.
  • the dielectric constant in the first region A1 of the liquid crystal layer LC and the dielectric constant in the second region A2 of the liquid crystal layer LC are different from each other. different.
  • FIG. 7 is an enlarged cross-sectional view showing a part of the radio wave reflector RE according to the first embodiment, showing a plurality of reflection control units RH.
  • each reflection control unit RH adjusts the phase of the radio wave (incident wave w1) incident from the incident surface Sa side according to the voltage applied to the patch electrode PE, and transmits the radio wave to the incident surface. It functions to reflect to the Sa side and form a reflected wave w2.
  • the reflected wave w2 is a composite wave of the radio wave reflected by the patch electrode PE and the radio wave reflected by the common electrode CE.
  • the patch electrodes PE are arranged at equal intervals in the direction along the X-axis.
  • dk be the length between adjacent patch electrodes PE.
  • the length dk corresponds to the distance from the geometric center of one patch electrode PE to the geometric center of the adjacent patch electrode PE.
  • the reflected waves w2 have the same phase in the first reflection direction d1.
  • the first reflection direction d1 is a direction forming a first angle ⁇ 1 with the Z axis.
  • the first reflection direction d1 is parallel to the XZ plane.
  • the phases of the radio waves be aligned on the linear two-dot chain line.
  • the phase of the reflected wave w2 at the point Q1b and the phase of the reflected wave w2 at the point Q2a should be aligned.
  • a physical linear distance from the point Q1a to the point Q1b of the first patch electrode PE1 is d k ⁇ sin ⁇ 1.
  • phase amount ⁇ 1 dk ⁇ sin ⁇ 1 ⁇ 2 ⁇ / ⁇
  • FIG. 8 is a timing chart showing changes in the voltage applied to the patch electrode PE for each period in the method for driving the radio wave reflector RE according to the first embodiment.
  • FIG. 8 shows a first period Pd1 to a fifth period Pd5 of the driving period of the radio wave reflector RE.
  • a voltage V is applied to the plurality of patch electrodes PE such that For example, a first voltage V1 is applied to the first patch electrode PE1, a second voltage V2 is applied to the second patch electrode PE2, a third voltage V3 is applied to the third patch electrode PE3, and a third voltage V3 is applied to the fourth patch electrode PE4.
  • a fourth voltage V4 is applied.
  • the absolute value of the voltage V applied to each patch electrode PE is the same over the entire period Pd.
  • the polarity of the voltage applied to each patch electrode PE is periodically reversed.
  • the patch electrode PE is driven with a driving frequency of 60 Hz.
  • the patch electrodes PE are AC driven.
  • the radio waves reflected in the first reflection direction d1 by one reflection control part RH and the radio waves reflected in the first reflection direction d1 by the adjacent reflection control part RH and the phase amount .delta.1 are maintained.
  • the phase amount ⁇ 1 is 30°. Therefore, the radio wave reflected in the first reflection direction d1 by the first reflection control part RH1 including the first patch electrode PE1 and the radio wave reflected in the first reflection direction d1 by the eighth reflection control part RH8 including the eighth patch electrode PE8 A phase difference of 210° is given between the reflected radio wave and the reflected radio wave.
  • the radio wave reflecting plate RE is composed of a radio wave reflected in the first reflection direction d1 by one reflection control part RH and a radio wave reflected in the first reflection direction d1 by another reflection control part RH. , can be given a maximum phase difference of 240° between .
  • the amount of attenuation of the amplitude of the reflected wave was investigated.
  • the amplitude attenuation of the reflected wave was suppressed to a maximum of -9 dB. It is 0 dB when the radio wave is totally reflected by the radio wave reflector RE.
  • FIG. 9 is an enlarged plan view showing a part of the radio wave reflector RE according to the second embodiment, showing a plurality of individual areas IA, connection area CA, and peripheral area PA.
  • the radio wave reflector RE of Example 2 differs from Example 1 in the shape and size of the first region A1 and the shape, size, and number of the second regions A2.
  • the first area A1 is a square lattice-shaped area, and has a frame-shaped area A1a and a lattice-shaped area A1b surrounded by the frame-shaped area A1a and connected to the frame-shaped area A1a.
  • the frame-shaped region A1a has a square outer peripheral edge and a square inner peripheral edge. In the frame-shaped region A1a, the center of gravity of the outer peripheral edge and the center of gravity of the inner peripheral edge are the same in plan view.
  • the grid area A1b has a plurality of first linear areas A1c and a plurality of second linear areas A1d.
  • the plurality of first linear regions A1c extend in the direction parallel to the X-axis and are arranged at intervals in the direction parallel to the Y-axis.
  • the plurality of second linear regions A1d extend in the direction parallel to the Y-axis, are arranged at intervals in the direction parallel to the X-axis, and cross the plurality of first linear regions A1c.
  • Each individual area IA has a plurality of second areas A2.
  • the multiple second regions A2 are regions surrounded by the frame-shaped region A1a, the multiple first linear regions A1c, and the multiple second linear regions A1d, each having a square shape.
  • the frame-shaped area A1a has a length Pxa1 along the X-axis and a length Pya1 along the Y-axis.
  • the length Pxa1 corresponds to the distance between the outer peripheral edge and the inner peripheral edge facing each other in each area extending in the direction along the Y-axis in the frame-shaped area A1a.
  • the length Pya1 corresponds to the distance between the outer peripheral edge and the inner peripheral edge facing each other in each area extending in the direction along the X-axis in the frame-shaped area A1a.
  • Each second linear region A1d has a length Pxa2 along the X-axis
  • each first linear region A1c has a length Pya2 along the Y-axis
  • Each second region A2 has a length Pxb1 along the X-axis and a length Pyb1 along the Y-axis.
  • the lengths Pxa1 and Pya1 are the same and can be selected within a range of 50 to 70 ⁇ m, for example.
  • the plurality of individual areas IA are arranged at a first pitch in the direction along the X-axis and arranged at a second pitch in the direction along the Y-axis. In Example 2, the first pitch and the second pitch are each 2.5 mm.
  • each individual region IA actually has more than 5 first linear areas A1c and more than 5 second linear areas A1d.
  • FIG. 10 is an enlarged plan view showing a plurality of patch electrodes PE and a plurality of connection wirings L according to the second embodiment.
  • each patch electrode PE has a square lattice shape and is positioned in a first area A1 of one corresponding individual area IA among the plurality of individual areas IA.
  • each patch electrode PE is located in the entire first area A1 of the corresponding individual area IA, and is not located in the plurality of second areas A2.
  • the patch electrode PE has a first opening OP1 in each second area A2.
  • the connection wiring L is located in the connection area CA.
  • each patch electrode PE has a first frame-shaped electrode PEa, a plurality of first linear electrodes PEb, and a plurality of second linear electrodes PEc.
  • the first frame-shaped electrode PEa is located in the frame-shaped region A1a and has a frame-shaped shape.
  • the plurality of first linear electrodes PEb are positioned one-to-one in the plurality of first linear regions A1c and extend in a direction parallel to the X-axis.
  • the plurality of second linear electrodes PEc are positioned one-to-one in the plurality of second linear regions A1d, extend in a direction parallel to the Y-axis, intersect with the plurality of first linear electrodes PEb, and form the first frame.
  • the shape of each patch electrode PE is 90° rotationally symmetrical in plan view.
  • the outline of the shape of the patch electrode PE is square.
  • FIG. 11 is an enlarged plan view showing part of the common electrode CE according to the second embodiment.
  • the portion of the common electrode CE located in each individual area IA has a square lattice shape, is located in the entire first area A1, and is located in the second area A2. do not have.
  • a portion of the common electrode CE located in each individual area IA has a second opening OP2 in each second area A2.
  • portions of the common electrode CE located in the respective individual regions IA include a second frame-shaped electrode CEa, a plurality of third linear electrodes CEb, and a plurality of fourth linear electrodes CEb. and an electrode CEc.
  • the second frame-shaped electrode CEa is located in the frame-shaped region A1a and extends parallel to the first frame-shaped electrode PEa.
  • the plurality of third linear electrodes CEb are positioned one-to-one in the plurality of first linear regions A1c and extend in parallel to the plurality of first linear electrodes PEb.
  • the plurality of fourth linear electrodes CEc are positioned one-to-one in the plurality of second linear regions A1d, extend in parallel to the plurality of second linear electrodes PEc, and cross the plurality of third linear electrodes CEb. , the second frame-shaped electrode CEa and the plurality of third linear electrodes CEb.
  • the shape of the portion of the common electrode CE located in each individual area IA is rotationally symmetrical by 90° in plan view.
  • the outline of the shape of the portion of the common electrode CE located in each individual area IA is a square.
  • the areas in which the plurality of patch electrodes PE and the common electrode CE allow the transmission of light are the plurality of second areas A2.
  • the plurality of first openings OP1 of the patch electrode PE and the plurality of second openings OP2 of the common electrode CE are the plurality of first light transmissive regions that overlap with each other.
  • the aperture ratio is substantially 40%.
  • the radio wave reflecting plate RE is composed of a radio wave reflected in the first reflection direction d1 by one reflection control part RH and a radio wave reflected in the first reflection direction d1 by another reflection control part RH. , can be given a phase difference of 290° at maximum. Further, the amount of attenuation of the amplitude of the reflected wave was examined for the radio wave reflector RE of Example 2. FIG. As a result of investigation, the amplitude attenuation of the reflected wave was suppressed to a maximum of -9 dB.
  • Example 3 of the first embodiment differs from Example 2 in terms of the shape and dimensions of the individual area IA.
  • the lengths Pxa1 and Pya1 are the same and can be selected within a range of 50 to 70 ⁇ m, for example.
  • the plurality of individual areas IA are arranged at a first pitch in the direction along the X-axis and arranged at a second pitch in the direction along the Y-axis.
  • the first pitch and the second pitch are each 2.2 mm.
  • the aperture ratio is substantially 60%.
  • the radio wave reflector RE is composed of a radio wave reflected in the first reflection direction d1 by one reflection control part RH and a radio wave reflected in the first reflection direction d1 by another reflection control part RH. , can be given a phase difference of 270° at maximum. Further, the amount of attenuation of the amplitude of the reflected wave was examined for the radio wave reflector RE of Example 3. FIG. As a result of investigation, the amplitude attenuation of the reflected wave was suppressed to a maximum of -9 dB.
  • Example 4 of the first embodiment differs from Example 2 in terms of the shape and dimensions of the individual areas IA.
  • the lengths Pxa1 and Pya1 are the same and can be selected within a range of 50 to 70 ⁇ m, for example.
  • the plurality of individual areas IA are arranged at a first pitch in the direction along the X-axis and arranged at a second pitch in the direction along the Y-axis. In Example 3, the first pitch and the second pitch are each 2.6 mm.
  • the aperture ratio is substantially 23%.
  • the radio wave reflector RE is composed of a radio wave reflected in the first reflection direction d1 by one reflection control part RH and a radio wave reflected in the first reflection direction d1 by another reflection control part RH. , can be given a phase difference of 180° at maximum. Further, the amount of attenuation of the amplitude of the reflected wave was examined for the radio wave reflector RE of Example 4. FIG. As a result of investigation, the amplitude attenuation of the reflected wave was suppressed to a maximum of -2.5 dB.
  • FIG. 12 is an enlarged plan view showing a part of the radio wave reflector RE according to the fifth embodiment, showing a plurality of individual areas IA, connection area CA, and peripheral area PA.
  • the radio wave reflector RE of Example 5 differs from Example 1 in the shape and size of the first region A1 and the shape, size, and number of the second regions A2.
  • the first area A1 is a cross-shaped area and has a first linear area A1c and a second linear area A1d.
  • the first linear region A1c extends in a direction parallel to the X-axis.
  • the second linear region A1d extends in a direction parallel to the Y-axis and intersects the first linear region A1c.
  • Each individual area IA has a plurality of second areas A2.
  • the plurality of second areas A2 are areas surrounded by the first area A1 and the connection area CA, or areas surrounded by the first area A1, the connection area CA, and the peripheral area PA, each having a square shape. ing.
  • the second linear region A1d has a length Pxa2 along the X-axis
  • the first linear region A1c has a length Pya2 along the Y-axis
  • Each second region A2 has a length Pxb1 along the X-axis and a length Pyb1 along the Y-axis.
  • the plurality of individual areas IA are arranged at a first pitch in the direction along the X-axis and arranged at a second pitch in the direction along the Y-axis. In Example 5, the first pitch and the second pitch are each 3.05 mm.
  • FIG. 13 is an enlarged plan view showing a plurality of patch electrodes PE and a plurality of connection wirings L according to the fifth embodiment.
  • each patch electrode PE has a cross shape and is located in the first area A1 of one corresponding individual area IA among the plurality of individual areas IA.
  • each patch electrode PE is located in the entire first area A1 of the corresponding individual area IA, and is not located in the plurality of second areas A2.
  • each patch electrode PE has a first linear electrode PEb and a second linear electrode PEc.
  • the first linear electrode PEb is located in the first linear region A1c and extends in a direction parallel to the X-axis.
  • the second linear electrode PEc is located in the second linear region A1d, extends in a direction parallel to the Y-axis, intersects the first linear electrode PEb, and is formed integrally with the first linear electrode PEb.
  • the shape of each patch electrode PE is 90° rotationally symmetrical in plan view.
  • FIG. 14 is an enlarged plan view showing part of the common electrode CE according to the fifth embodiment. As shown in FIG. 14, the portion of the common electrode CE located in each individual area IA has a cross shape, is located in the entire first area A1, and is not located in the second area A2. .
  • the portion of the common electrode CE located in each individual area IA has a third linear electrode CEb and a fourth linear electrode CEc.
  • the third linear electrode CEb is located in the first linear region A1c and extends parallel to the plurality of first linear electrodes PEb.
  • the fourth linear electrodes CEc are located in the plurality of second linear regions A1d, extend parallel to the second linear electrodes PEc, intersect the third linear electrodes CEb, and are integrated with the third linear electrodes CEb. is formed in The shape of the portion of the common electrode CE located in each individual area IA is rotationally symmetrical by 90° in plan view.
  • the plurality of third linear electrodes CEb arranged in the direction parallel to the X-axis are connected in the connection area CA and formed integrally.
  • a plurality of fourth linear electrodes CEc arranged in a direction parallel to the Y-axis are connected and integrally formed in the connection area CA.
  • the areas through which the plurality of patch electrodes PE and the common electrode CE allow light (visible light) to pass are the plurality of second areas A2 and the connection area A2. and a region of CA where the common electrode CE is not formed.
  • the aperture ratio is substantially 44%.
  • the radio wave reflecting plate RE is composed of a radio wave reflected in the first reflection direction d1 by one reflection control part RH and a radio wave reflected in the first reflection direction d1 by another reflection control part RH. , can be given a maximum phase difference of 240° between . Further, the amplitude attenuation of the reflected wave was examined for the radio wave reflector RE of Example 5. FIG. As a result of investigation, the amplitude attenuation of the reflected wave was suppressed to a maximum of -9 dB.
  • the radio wave reflector RE includes a plurality of reflection control units RH. Since radio waves in the 28 GHz band used in 5G (fifth generation mobile communication system) travel in a straight line, the communication environment deteriorates when there is a shield (coverage hole). Therefore, as a countermeasure, it is possible to use the reflected wave w2 by arranging the radio wave reflector RE. Since the radio wave reflector RE can control the direction of the reflected wave w2, it can cope with changes in the radio wave environment.
  • Each reflection controller RH has an area that permits transmission of light (visible light) in the individual area IA.
  • the individual area IA has an area where neither the patch electrode PE nor the common electrode CE are formed.
  • the radio wave reflector RE can transmit visible light in the second area A2.
  • the radio wave reflector RE can be blended into the scenery. For example, a person looking at the radio wave reflector RE can visually recognize the background of the radio wave reflector RE through the radio wave reflector RE. From the above, it is possible to obtain a radio wave reflector RE having excellent light transmittance.
  • Example 1 is the example in which the pitch of the plurality of individual areas IA is the smallest. Therefore, the first embodiment described above is advantageous in increasing the definition of the plurality of reflection control units RH.
  • Example 5 the example in which the pitch of the plurality of individual areas IA is the largest is Example 5 above. Therefore, the fifth embodiment is advantageous in increasing the size of the radio wave reflector RE.
  • FIG. 15 is an enlarged plan view showing a part of the radio wave reflector RE according to this modification, showing a plurality of individual areas IA, connection area CA, and peripheral area PA.
  • the radio wave reflector RE of this modification differs from that of the second embodiment in terms of the shape of the first regions A1 and the number of the second regions A2.
  • the first area A1 has a frame-shaped area A1a, one first linear area A1c, and one second linear area A1d.
  • the multiple second regions A2 are regions surrounded by the frame-shaped region A1a, the first linear region A1c, and the second linear region A1d, and each have a square shape.
  • FIG. 16 is an enlarged plan view showing a plurality of patch electrodes PE and a plurality of connection wirings L according to this modified example.
  • each patch electrode PE is located in the first area A1 of one corresponding individual area IA among the plurality of individual areas IA.
  • each patch electrode PE is positioned in the entire frame-shaped region A1a of one corresponding individual region IA, is positioned in part of the first linear region A1c, and is positioned in the second linear region A1d. It is located in part and is not located in the plurality of second areas A2.
  • each patch electrode PE has a first frame-shaped electrode PEa, a plurality of first linear electrodes PEb, and a plurality of second linear electrodes PEc. .
  • each patch electrode PE has three first linear electrodes PEb and three second linear electrodes PEc.
  • the plurality of first linear electrodes PEb are located in the first linear region A1c, extend in the direction parallel to the X-axis, and are arranged at intervals in the direction parallel to the Y-axis.
  • the plurality of second linear electrodes PEc are located in the second linear region A1d, extend in a direction parallel to the Y-axis, are arranged at intervals in a direction parallel to the X-axis, and form a plurality of first linear electrodes PEc. It intersects with the electrode PEb and is formed integrally with the first frame-shaped electrode PEa and the plurality of first linear electrodes PEb.
  • the shape of each patch electrode PE is 90° rotationally symmetrical in plan view.
  • the outline of the shape of the patch electrode PE is square.
  • FIG. 17 is an enlarged plan view showing part of the common electrode CE according to this modification.
  • the portion of the common electrode CE located in each individual area IA is located in the entire frame-shaped area A1a, is located in part of the first linear area A1c, and is located in the second linear area A1c. It is located in part of the area A1d and is not located in the plurality of second areas A2.
  • portions of the common electrode CE located in the respective individual regions IA include a second frame-shaped electrode CEa, a plurality of third linear electrodes CEb, and a plurality of fourth linear electrodes CEb. and an electrode CEc.
  • portions of the common electrode CE located in each individual area IA have three third linear electrodes CEb and three fourth linear electrodes CEc.
  • the plurality of third linear electrodes CEb are located in the first linear region A1c and extend parallel to the plurality of first linear electrodes PEb. In plan view, each third linear electrode CEb overlaps the corresponding first linear electrode PEb.
  • the plurality of fourth linear electrodes CEc are located in the plurality of second linear regions A1d, extend in parallel to the plurality of second linear electrodes PEc, intersect with the plurality of third linear electrodes CEb, and form the second linear regions A1d. It is formed integrally with the frame-shaped electrode CEa and the plurality of third linear electrodes CEb. In plan view, each fourth linear electrode CEc overlaps the corresponding second linear electrode PEc.
  • the shape of the portion of the common electrode CE located in each individual area IA is rotationally symmetrical by 90° in plan view.
  • the areas in which the plurality of patch electrodes PE and the common electrode CE allow the transmission of light are the plurality of second areas A2 and each of the a region of the first region A1 where the plurality of first linear electrodes PEb, the plurality of second linear electrodes PEc, the plurality of third linear electrodes CEb, and the plurality of fourth linear electrodes CEc are not formed; is. Also in this modified example, the same effect as in the first embodiment can be obtained.
  • FIG. 18 is a plan view showing the radio wave reflector RE according to this embodiment.
  • the sealing material SE is marked with a dot pattern
  • the plurality of patch electrodes PE are marked with oblique lines.
  • the first substrate SUB1 includes a plurality of signal wirings SL, a plurality of control wirings GL, a plurality of switching elements SW, a driving circuit DR, a driving circuit DC, and It has a plurality of lead wires LE.
  • a plurality of signal wirings SL extend along the Y-axis and are arranged in a direction along the X-axis.
  • the signal wiring SL is connected to the drive circuit DC.
  • a plurality of control lines GL extend along the X-axis and are arranged in a direction along the Y-axis.
  • the signal wiring SL and the control wiring GL extend in an area surrounded by the peripheral area PA.
  • the drive circuit DR is located in the peripheral area PA.
  • a plurality of control lines GL are connected to the drive circuit DR.
  • the switching element SW is provided near the intersection of one signal wiring SL and one control wiring GL, and is electrically connected to one signal wiring SL and one control wiring GL.
  • a plurality of lead lines LE are connected to the drive circuit DR on one side and to the pad p of the OLB on the other side.
  • the lead LE may be connected to the drive circuit DC.
  • FIG. 19 is an enlarged cross-sectional view showing part of the radio wave reflector RE according to the second embodiment.
  • an insulating layer 11, an insulating layer 12, an insulating layer 13, an insulating layer 14, an insulating layer 15, an insulating layer 16, an insulating layer 17, and an alignment film AL1 are sequentially formed on a substrate 1.
  • the insulating layers 11 to 17 are inorganic insulating layers or organic insulating layers, respectively.
  • the insulating layer 16 is an organic insulating layer and is made of resin, for example.
  • the insulating layers 11 to 15 and 17 are inorganic insulating layers.
  • the insulating layer 11 is made of SiO (silicon oxide).
  • the insulating layer 12 has a lower layer made of SiN (silicon nitride) and an upper layer made of SiO.
  • the insulating layer 13 is made of SiO.
  • the insulating layer 14 is made of SiN.
  • the insulating layer 15 is made of SiO or SiN.
  • the insulating layer 17 is made of SiN.
  • the control wiring GL and the conductive layer CO1 are provided on the insulating layer 11 and covered with the insulating layer 12 .
  • a semiconductor layer SMC is provided on the insulating layer 12 .
  • the semiconductor layer SMC is overlaid on the control wiring GL.
  • the semiconductor layer SMC is formed of an oxide semiconductor (OS), which is a transparent semiconductor.
  • oxide semiconductors include indium gallium zinc oxide (InGaZnO), indium gallium oxide (InGaO), indium zinc oxide (InZnO), zinc tin oxide (ZnSnO), and zinc oxide. (ZnO), transparent amorphous oxide semiconductor (TAOS), and the like.
  • the semiconductor layer SMC is not limited to an oxide semiconductor, and may be formed of low-temperature polycrystalline silicon as amorphous silicon or polycrystalline silicon.
  • the conductive layer CO2 and the connection wiring layer CL1 are provided on the insulating layer 12 and the semiconductor layer SMC and covered with the insulating layer 13.
  • the connection wiring layer CL1 is in contact with the conductive layer CO1 through a contact hole formed in the insulating layer 12. As shown in FIG.
  • the conductive layer CO2 and the connection wiring layer CL1 are in contact with and electrically connected to the semiconductor layer SMC.
  • the semiconductor layer SMC has a channel region between the source region and the drain region.
  • the gate electrode GE is provided on the insulating layer 13 and covered with the insulating layer 14 .
  • the gate electrode GE is electrically connected to the control line GL.
  • the gate electrode GE overlaps at least the channel region of the semiconductor layer SMC.
  • the control wiring GL, the semiconductor layer SMC, the gate electrode GE, and the like constitute a switching element SW as a TFT (thin film transistor).
  • the switching element SW is a dual-gate TFT.
  • the switching element SW may be a bottom-gate type TFT or a top-gate type TFT.
  • the conductive layer CO3 and the connection wiring layer CL2 are provided on the insulating layer 14 and covered with the insulating layer 15 .
  • the conductive layer CO3 is in contact with the gate electrode GE through a contact hole formed in the insulating layer .
  • the connection wiring layer CL2 is in contact with the connection wiring layer CL1 through contact holes formed in the insulating layers 13 and 14 .
  • the insulating layer 16 and the insulating layer 17 are provided on the insulating layer 15 in this order.
  • the patch electrode PE is provided on the insulating layer 17 and covered with an alignment film AL1.
  • the patch electrode PE is in contact with the connection wiring layer CL2 through contact holes formed in the insulating layers 15, 16 and 17. FIG.
  • a common electrode CE and an alignment film AL2 are provided in this order on the surface of the substrate 2 facing the first substrate SUB1.
  • the control wiring GL, the conductive layers CO1, CO2, CO3, the connection wiring layers CL1, CL2, and the gate electrode GE are made of metal as a low-resistance conductive material.
  • the control wiring GL and the gate electrode GE may be made of Mo (molybdenum), W (tungsten), or an alloy thereof.
  • the connection wiring layers CL1 and CL2 may be formed of TAT or MAM.
  • the above MAM has a three-layer laminated structure (Mo-based/Al-based/Mo-based), and includes a lower layer made of a metal material mainly composed of Mo such as an alloy containing Mo and Mo, and an alloy containing Al and Al. It has an intermediate layer made of a metal material containing Al as a main component, and an upper layer made of a metal material containing Mo as a main component such as Mo or an alloy containing Mo.
  • a plurality of patch electrodes PE can be individually driven by active matrix driving. Therefore, a plurality of patch electrodes PE can be driven independently.
  • the direction of the reflected wave w2 reflected by the radio wave reflector RE can be parallel to the YZ plane.
  • the direction of the reflected wave w2 reflected by the radio wave reflector RE can be set parallel to a third plane other than the XZ plane and the YZ plane.
  • the third plane is a plane defined by the Z-axis and the third axis other than the X-axis and the Y-axis in the XY plane.
  • FIG. 20 is an enlarged plan view showing a plurality of patch electrodes PE according to the second embodiment, and is a diagram for explaining an example of voltages applied to the plurality of patch electrodes PE in the method of driving the radio wave reflector RE. is.
  • the reflection direction d of the reflected wave w2 reflected by the radio wave reflecting plate RE can be tilted to the lower right by 45°.
  • the voltages V applied to the patch electrodes PE are the first voltage V1, the second voltage V2, . . . the seventh voltage V7.
  • FIG. 21 is an enlarged plan view showing a plurality of patch electrodes PE according to the second embodiment, for explaining another example of voltages applied to the plurality of patch electrodes PE in the method of driving the radio wave reflector RE.
  • the voltages V applied to the patch electrodes PE are the first voltage V1, the second voltage V2, . . . the seventh voltage V7.
  • each patch electrode PE can be driven independently, the degree of freedom of the reflection direction d of the reflected wave w2 reflected by the radio wave reflector RE can be increased.
  • FIG. 22 is an enlarged plan view showing a plurality of patch electrodes PE of the radio wave reflector RE according to this modification.
  • the first area A1 is a cross-shaped area, and includes a first linear area A1c extending in a direction parallel to the X axis and a first line extending in a direction parallel to the Y axis. and a second linear region A1d that intersects the linear region A1c.
  • Each patch electrode PE has a plurality of first linear electrodes PEb and a plurality of second linear electrodes PEc.
  • the plurality of first linear electrodes PEb are located in the first linear region A1c, extend in the direction parallel to the X-axis, and are arranged at intervals in the direction parallel to the Y-axis.
  • the plurality of second linear electrodes PEc are located in the second linear region A1d, extend in a direction parallel to the Y-axis, are arranged at intervals in a direction parallel to the X-axis, and form a plurality of first linear electrodes PEc. It crosses the electrode PEb and is formed integrally with the plurality of first linear electrodes PEb.
  • FIG. 23 is an enlarged plan view showing part of the common electrode CE of the radio wave reflector RE according to this modification. As shown in FIG. 23, the portion of the common electrode CE located in each individual area IA has a plurality of third linear electrodes CEb and a plurality of fourth linear electrodes CEc.
  • the plurality of third linear electrodes CEb are located in the first linear region A1c and extend parallel to the plurality of first linear electrodes PEb. In plan view, each third linear electrode CEb overlaps the corresponding first linear electrode PEb.
  • the plurality of fourth linear electrodes CEc are located in the second linear region A1d, extend in parallel to the plurality of second linear electrodes PEc, intersect with the plurality of third linear electrodes CEb, and extend in parallel with the plurality of third linear electrodes CEb. It is formed integrally with the linear electrode CEb. In plan view, each fourth linear electrode CEc overlaps the corresponding second linear electrode PEc.
  • a portion of the common electrode CE located in each individual area IA has a third linear electrode CEb and a fourth linear electrode CEc.
  • the third linear electrode CEb is located in the first linear region A1c and extends parallel to the plurality of first linear electrodes PEb.
  • the fourth linear electrodes CEc are located in the plurality of second linear regions A1d, extend parallel to the second linear electrodes PEc, intersect the third linear electrodes CEb, and are integrated with the third linear electrodes CEb. is formed in The shape of the portion of the common electrode CE located in each individual area IA is rotationally symmetrical by 90° in plan view.
  • the plurality of third linear electrodes CEb arranged in the direction parallel to the X-axis are connected and integrally formed in the connection area CA.
  • a plurality of fourth linear electrodes CEc arranged in a direction parallel to the Y-axis are connected and integrally formed in the connection area CA. Also in this modified example, the same effects as those of the second embodiment can be obtained.
  • the patch electrodes PE and common electrodes CE according to the examples and modifications of the first embodiment may be applied to the radio wave reflector RE of the second embodiment.
  • the patch electrode PE and the common electrode CE according to the modified example of the second embodiment may be applied to the radio wave reflector RE of the first embodiment.
  • the lines for connecting the plurality of patch electrodes PE are not limited to the connection wirings L in the same layer as the patch electrodes PE.
  • a line for connecting adjacent patch electrodes PE may be a bridge wiring in a layer different from that of the patch electrodes PE.
  • the bridge wiring is connected to one patch electrode PE through a contact hole, and is connected to the other patch electrode PE through another contact hole.
  • the liquid crystal mode used for the radio wave reflector RE may be any mode that can apply a vertical electric field to the liquid crystal layer LC. Therefore, TN (Twisted Nematic) mode, ECB (Electrically Controlled Birefringence) mode, or ⁇ cell can be applied to the radio wave reflector RE.
  • TN Transmission Nematic
  • ECB Electro Mechanical Controlled Birefringence

Landscapes

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Abstract

光透過性に優れた電波反射板を提供する。　電波反射板は、マトリクス状に並べられた複数の個別領域であって、各々の前記個別領域は第１領域と前記第１領域以外の一以上の第２領域とを有する、前記複数の個別領域と、前記複数の個別領域の間隙に位置し格子状の形状を有し前記複数の個別領域につながった接続領域と、複数のパッチ電極を有する第１基板であって、各々のパッチ電極は前記複数の個別領域のうち対応する一の個別領域の前記第１領域に位置している、前記第１基板と、共通電極を有する第２基板であって、前記共通電極は前記各々の個別領域の前記第１領域及び前記接続領域に位置し前記複数のパッチ電極と対向している、前記第２基板と、前記第１基板と前記第２基板との間に保持され、前記複数のパッチ電極と対向した液晶層と、を備える。

Description

電波反射板
　本発明の実施形態は、電波反射板に関する。
　液晶を利用して電波の反射方向を制御できる電波反射板の検討が行われている。この電波反射板において、反射電極を有する反射制御部が１次元(又は２次元)に並べられている。電波反射板において、反射される電波の位相差が隣り合う反射制御部間で一定となるよう、液晶の誘電率を調整する必要がある。
特開平１１－１０３２０１号公報 特表２０１９－５３０３８７号公報
　本実施形態は、光透過性に優れた電波反射板を提供する。
　一実施形態に係る電波反射板は、
　互いに直交するＸ軸及びＹ軸のそれぞれに沿ってマトリクス状に並べられた複数の個別領域であって、各々の前記個別領域は第１領域と前記第１領域以外の一以上の第２領域とを有する、前記複数の個別領域と、
　前記複数の個別領域の間隙に位置し格子状の形状を有し前記複数の個別領域につながった接続領域と、
　複数のパッチ電極を有する第１基板であって、各々のパッチ電極は前記複数の個別領域のうち対応する一の個別領域の前記第１領域に位置している、前記第１基板と、
　共通電極を有する第２基板であって、前記共通電極は前記各々の個別領域の前記第１領域及び前記接続領域に位置し前記Ｘ軸及び前記Ｙ軸のそれぞれに直交するＺ軸に平行な方向にて前記複数のパッチ電極と対向している、前記第２基板と、
　前記第１基板と前記第２基板との間に保持され、前記複数のパッチ電極と対向した液晶層と、を備える。
図１は、第１の実施形態に係る電波反射板を示す断面図である。 図２は、上記第１の実施形態の実施例１に係る電波反射板を示す平面図である。 図３は、上記実施例１に係る電波反射板の一部を示す拡大平面図であり、複数の個別領域、接続領域、及び周辺領域を示す図である。 図４は、上記実施例１に係る複数のパッチ電極及び複数の接続配線を示す拡大平面図である。 図５は、上記実施例１に係る共通電極の一部を示す拡大平面図である。 図６は、上記実施例１に係る電波反射板の一部を示す拡大断面図であり、単一の反射制御部を示す図である。 図７は、上記実施例１に係る電波反射板の一部を示す拡大断面図であり、複数の反射制御部を示す図である。 図８は、上記実施例１に係る電波反射板の駆動方法において、期間毎にパッチ電極に印加する電圧の変化を示すタイミングチャートである。 図９は、上記第１の実施形態の実施例２に係る電波反射板の一部を示す拡大平面図であり、複数の個別領域、接続領域、及び周辺領域を示す図である。 図１０は、上記実施例２に係る複数のパッチ電極及び複数の接続配線を示す拡大平面図である。 図１１は、上記実施例２に係る共通電極の一部を示す拡大平面図である。 図１２は、上記第１の実施形態の実施例５に係る電波反射板の一部を示す拡大平面図であり、複数の個別領域、接続領域、及び周辺領域を示す図である。 図１３は、上記実施例５に係る複数のパッチ電極及び複数の接続配線を示す拡大平面図である。 図１４は、上記実施例５に係る共通電極の一部を示す拡大平面図である。 図１５は、上記第１の実施形態の変形例に係る電波反射板の一部を示す拡大平面図であり、複数の個別領域、接続領域、及び周辺領域を示す図である。 図１６は、上記変形例に係る複数のパッチ電極及び複数の接続配線を示す拡大平面図である。 図１７は、上記変形例に係る共通電極の一部を示す拡大平面図である。 図１８は、第２の実施形態に係る電波反射板を示す平面図である。 図１９は、上記第２の実施形態に係る電波反射板の一部を示す拡大断面図である。 図２０は、上記第２の実施形態に係る複数のパッチ電極を示す拡大平面図であり、電波反射板の駆動方法において複数のパッチ電極に印加する電圧の例を説明するための図である。 図２１は、上記第２の実施形態に係る複数のパッチ電極を示す拡大平面図であり、電波反射板の駆動方法において複数のパッチ電極に印加する電圧の他の例を説明するための図である。 図２２は、上記第２の実施形態の変形例に係る電波反射板の複数のパッチ電極を示す拡大平面図である。 図２３は、上記第２の実施形態の変形例に係る電波反射板の共通電極の一部を示す拡大平面図である。
　以下に、本発明の各実施形態について、図面を参照しつつ説明する。なお、開示はあくまで一例にすぎず、当業者において、発明の主旨を保っての適宜変更について容易に想到し得るものについては、当然に本発明の範囲に含有されるものである。また、図面は説明をより明確にするため、実際の態様に比べ、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。また、本明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には、同一の符号を付して、詳細な説明を適宜省略することがある。
　（第１の実施形態）
　まず、第１の実施形態について説明する。図１は、本第１の実施形態に係る電波反射板ＲＥを示す断面図である。電波反射板ＲＥは、電波を反射させることができ、電波のための中継装置として機能している。
　図１に示すように、電波反射板ＲＥは、第１基板ＳＵＢ１と、第２基板ＳＵＢ２と、液晶層ＬＣと、を備えている。第１基板ＳＵＢ１は、電気絶縁性の基材１と、複数のパッチ電極ＰＥと、配向膜ＡＬ１と、有している。基材１は、平板状に形成され、互いに直交するＸ軸及びＹ軸を含むＸ－Ｙ平面に沿って延在している。配向膜ＡＬ１は、複数のパッチ電極ＰＥを覆っている。
　第２基板ＳＵＢ２は、第１基板ＳＵＢ１に所定の隙間を空けて対向配置されている。第２基板ＳＵＢ２は、電気絶縁性の基材２と、共通電極ＣＥと、配向膜ＡＬ２と、を有している。基材２は、平板状に形成され、Ｘ－Ｙ平面に沿って延在している。共通電極ＣＥは、Ｘ軸及びＹ軸のそれぞれに直交するＺ軸に平行な方向にて複数のパッチ電極ＰＥと対向している。配向膜ＡＬ２は、共通電極ＣＥを覆っている。本実施形態において、配向膜ＡＬ１及び配向膜ＡＬ２は、それぞれ水平配向膜である。
　第１基板ＳＵＢ１及び第２基板ＳＵＢ２は、それぞれの周縁部に配置されたシール材ＳＥにより接合されている。液晶層ＬＣは、第１基板ＳＵＢ１、第２基板ＳＵＢ２、及びシール材ＳＥで囲まれた空間に設けられている。液晶層ＬＣは、第１基板ＳＵＢ１と第２基板ＳＵＢ２との間に保持されている。液晶層ＬＣは、一方で複数のパッチ電極ＰＥと対向し、他方で共通電極ＣＥと対向している。
　ここで、液晶層ＬＣの厚み（セルギャップ）をｄｌとする。厚みｄｌは、通常の液晶表示パネルの液晶層の厚みより大きい。本実施形態において、厚みｄｌは５０μｍである。但し、電波の反射位相を十分に調整できるのであれば、厚みｄｌは、５０μｍ未満であってもよい。又は、電波の反射角を大きくするため、厚みｄｌは、５０μｍを超えてもよい。電波反射板ＲＥの液晶層ＬＣに使用する液晶材料は、通常の液晶表示パネルに使用する液晶材料と異なっている。
　共通電極ＣＥにはコモン電圧が印加され、共通電極ＣＥの電位は固定される。本実施形態において、コモン電圧は０Ｖである。パッチ電極ＰＥにも電圧が印加される。本実施形態において、パッチ電極ＰＥは、交流駆動される。液晶層ＬＣは、いわゆる縦電界により駆動される。パッチ電極ＰＥと共通電極ＣＥとの間に印加される電圧が液晶層ＬＣに作用することで、液晶層ＬＣの誘電率は変化する。
　液晶層ＬＣの誘電率が変わると、液晶層ＬＣにおける電波の伝搬速度も変わる。そのため、液晶層ＬＣに作用させる電圧を調整することで、電波の反射位相を調整することができる。ひいては、電波の反射方向を調整することができる。本実施形態において、液晶層ＬＣに作用させる電圧の絶対値は、１０Ｖ以下である。１０Ｖで液晶層ＬＣの誘電率が飽和状態となるためである。但し、液晶層ＬＣの誘電率によっては、その飽和状態となる電圧は異なってくるため、液晶層ＬＣに作用させる電圧の絶対値は、１０Ｖを超えてもよい。例えば、液晶の応答速度の向上が求められる場合、１０Ｖを超える電圧を液晶層ＬＣに作用させた後、１０Ｖ以下の電圧を液晶層ＬＣに作用させてもよい。
　第１基板ＳＵＢ１は、第２基板ＳＵＢ２と対向する側とは反対側に入射面Ｓａを有している。なお、図中、入射波ｗ１は電波反射板ＲＥに入射される電波であり、反射波ｗ２は電波反射板ＲＥで反射された電波である。本第１の実施形態において、入射波ｗ１の周波数帯として、２８ＧＨｚを想定している。
　次に、第１の実施形態の複数の実施例について説明する。
　（第１の実施形態の実施例１）
　まず、第１の実施形態の実施例１について説明する。図２は、本実施例１に係る電波反射板ＲＥを示す平面図である。
　図２に示すように、複数のパッチ電極ＰＥは、Ｘ軸及びＹ軸のそれぞれに沿って間隔を置いてマトリクス状に並べられている。Ｘ－Ｙ平面において、複数のパッチ電極ＰＥは、同一形状及び同一サイズを有している。
　複数のパッチ電極ＰＥは、Ｘ軸に沿って等間隔に並べられ、Ｙ軸に沿って等間隔に並べられている。複数のパッチ電極ＰＥは、Ｙ軸に沿って延在しＸ軸に沿って並べられた複数のパッチ電極群ＧＰに含まれている。複数のパッチ電極群ＧＰは、第１パッチ電極群ＧＰ１乃至第８パッチ電極群ＧＰ８を有している。
　第１パッチ電極群ＧＰ１は複数の第１パッチ電極ＰＥ１を有し、第２パッチ電極群ＧＰ２は複数の第２パッチ電極ＰＥ２を有し、第３パッチ電極群ＧＰ３は複数の第３パッチ電極ＰＥ３を有し、第４パッチ電極群ＧＰ４は複数の第４パッチ電極ＰＥ４を有し、第５パッチ電極群ＧＰ５は複数の第５パッチ電極ＰＥ５を有し、第６パッチ電極群ＧＰ６は複数の第６パッチ電極ＰＥ６を有し、第７パッチ電極群ＧＰ７は複数の第７パッチ電極ＰＥ７を有し、第８パッチ電極群ＧＰ８は複数の第８パッチ電極ＰＥ８を有している。例えば、第２パッチ電極ＰＥ２は、Ｘ軸に沿った方向において、第１パッチ電極ＰＥ１と第３パッチ電極ＰＥ３との間に位置している。
　各々のパッチ電極群ＧＰは、Ｙ軸に沿って並べられ互いに電気的に接続された複数のパッチ電極ＰＥを含んでいる。本実施例１において、各々のパッチ電極群ＧＰの複数のパッチ電極ＰＥは、接続配線Ｌにより電気的に接続されている。なお、第１基板ＳＵＢ１は、Ｙ軸に沿って延在し、Ｘ軸に沿って並べられた複数の接続配線Ｌを有している。接続配線Ｌは、基材１のうち第２基板ＳＵＢ２と対向していない領域まで延在している。なお、本実施例１と異なり、複数の接続配線Ｌは、複数のパッチ電極ＰＥと一対一で接続されてもよい。
　本実施例１において、Ｙ軸に沿って並んだ複数のパッチ電極ＰＥと、接続配線Ｌとは、同一の導体で一体に形成されている。なお、複数のパッチ電極ＰＥと、接続配線Ｌとは、互いに異なる導体で形成されてもよい。パッチ電極ＰＥ、接続配線Ｌ、及び上記共通電極ＣＥは、金属、又は金属に準ずる導体で形成されている。接続配線Ｌは、図示しないアウターリードボンディング（ＯＬＢ）のパッドに接続されてもよい。
　接続配線Ｌは細線であり、接続配線Ｌの幅は後述する長さＰｘ１と比べて十分に小さい。接続配線Ｌの幅は、数μｍであり、μｍオーダーである。本実施例１において、接続配線Ｌの幅は、５μｍである。接続配線Ｌに、パッチ電極ＰＥに与える制御信号（電圧）が十分に伝わるだけの導電性が求められるが、接続配線Ｌの幅が太いと反射波ｗ２の反射率の低下につながってしまう。接続配線Ｌの幅はできるだけ小さい方が望ましい。接続配線Ｌをフォトリソグラフィ法を用いて形成する場合、接続配線Ｌの幅は、限界まで小さくした方が望ましく、例えば１乃至２μｍである。また、接続配線Ｌの幅を大きくし過ぎると、電波の周波数成分の感度が変わってしまうため望ましくない。
　シール材ＳＥは、第１基板ＳＵＢ１と第２基板ＳＵＢ２とが対向した領域の周縁部（四角枠状の周辺領域ＰＡ）に配置されている。
　図２には、Ｘ軸に沿った方向及びＹ軸に沿った方向にそれぞれ８個のパッチ電極ＰＥが並べられた例を示した。但し、パッチ電極ＰＥの個数は、種々変形可能である。例示すると、パッチ電極ＰＥは、Ｘ軸に沿った方向に１００個並べられ、Ｙ軸に沿った方向に複数個（例えば１００個）並べられてもよい。電波反射板ＲＥ（第１基板ＳＵＢ１）のＸ軸に沿った方向の長さは、例えば４０乃至８０ｃｍである。
　図３は、上記実施例１に係る電波反射板ＲＥの一部を示す拡大平面図であり、複数の個別領域ＩＡ、接続領域ＣＡ、及び周辺領域ＰＡを示す図である。
　図３に示すように、第１基板ＳＵＢ１と第２基板ＳＵＢ２とが対向した領域は、複数の個別領域ＩＡ、接続領域ＣＡ、及び周辺領域ＰＡを備えている。複数の個別領域ＩＡ及び接続領域ＣＡは、周辺領域ＰＡで囲まれた領域である。
　複数の個別領域ＩＡは、Ｘ軸及びＹ軸のそれぞれに沿ってマトリクス状に並べられている。各々の個別領域ＩＡは、第１領域Ａ１と、第１領域Ａ１以外の一以上の第２領域Ａ２と、を有している。接続領域ＣＡは、複数の個別領域ＩＡの間隙に位置し、格子状の形状を有し、複数の個別領域ＩＡにつながっている。
　詳しくは、第１領域Ａ１は、枠状の領域であり、正方形の外周縁と、正方形の内周縁と、を有している。第１領域Ａ１において、上記外周縁の重心と、上記内周縁の重心とは、平面視にて同一である。各々の個別領域ＩＡは、一の第２領域Ａ２を有している。第２領域Ａ２は、第１領域Ａ１で囲まれた領域であり、正方形の形状を持っている。
　個別領域ＩＡは、Ｘ軸に沿った方向に長さＰｘ１を有し、Ｙ軸に沿った方向に長さＰｙ１を有している。接続領域ＣＡのうち、Ｘ軸に沿った方向に隣合う一対の個別領域ＩＡの間の領域は、Ｘ軸に沿った方向に長さＰｘ２を有している。接続領域ＣＡのうち、Ｙ軸に沿った方向に隣合う一対の個別領域ＩＡの間の領域は、Ｙ軸に沿った方向に長さＰｙ２を有している。
　第１領域Ａ１は、Ｘ軸に沿った方向にそれぞれ長さＰｘａを有し、Ｙ軸に沿った方向にそれぞれ長さＰｙａを有している。長さＰｘａは、第１領域Ａ１のうちＸ軸に沿った方向に第２領域Ａ２に隣合いＹ軸に沿った方向に延出した各々の領域において、互いに対向した外周縁と内周縁との間の距離に相当している。長さＰｙａは、第１領域Ａ１のうちＹ軸に沿った方向に第２領域Ａ２に隣合いＸ軸に沿った方向に延出した各々の領域において、互いに対向した外周縁と内周縁との間の距離に相当している。第２領域Ａ２は、Ｘ軸に沿った方向にそれぞれ長さＰｘｂを有し、Ｙ軸に沿った方向にそれぞれ長さＰｙｂを有している。
　本実施例１において、長さＰｘａ及び長さＰｙａはそれぞれ２５０μｍであり（Ｐｘａ＝Ｐｙａ＝２５０μｍ）、長さＰｘｂ及び長さＰｙｂはそれぞれ１０００μｍである（Ｐｘｂ＝Ｐｙｂ＝１０００μｍ）。上記のことから、長さＰｘ１及び長さＰｙ１はそれぞれ１．５０ｍｍである（Ｐｘ１＝Ｐｙ１＝１．５０ｍｍ）。
　また、長さＰｘ２及び長さＰｙ２はそれぞれ５０μｍである（Ｐｘ２＝Ｐｙ２＝５０μｍ）。複数の個別領域ＩＡは、Ｘ軸に沿った方向に第１ピッチで並べられ、Ｙ軸に沿った方向に第２ピッチで並べられている。本実施例１において、第１ピッチ及び第２ピッチは、それぞれ１．５５ｍｍである。
　図４は、本実施例１に係る複数のパッチ電極ＰＥ及び複数の接続配線Ｌを示す拡大平面図である。
　図４に示すように、各々のパッチ電極ＰＥは、枠状の形状を有し、複数の個別領域ＩＡのうち対応する一の個別領域ＩＡの第１領域Ａ１に位置している。本実施例１において、各々のパッチ電極ＰＥは、対応する一の個別領域ＩＡの第１領域Ａ１の全体に位置し、第２領域Ａ２に位置していない。パッチ電極ＰＥは、第２領域Ａ２に第１開口ＯＰ１を有している。なお、周辺領域ＰＡの内側の領域において、接続配線Ｌは、接続領域ＣＡに位置している。
　各々のパッチ電極ＰＥの形状は、平面視において、９０°回転対称である。パッチ電極ＰＥの形状の輪郭は、正方形である。なお、パッチ電極ＰＥ（個別領域ＩＡ）の形状の輪郭は本実施例１の正方形に限定されるものではないが、正方形、真円等の形状が望ましい。パッチ電極ＰＥの外形に注目すると、縦横のアスペクト比が１：１となる形状が望ましい。なぜなら、横偏波及び縦偏波に対応するためには９０°の回転対称構造が望ましいためである。
　図５は、本実施例１に係る共通電極ＣＥの一部を示す拡大平面図である。図５に示すように、共通電極ＣＥは、複数の個別領域ＩＡ、接続領域ＣＡ、及び周辺領域ＰＡに位置し、複数の個別領域ＩＡ、接続領域ＣＡ、及び周辺領域ＰＡに連続的に設けられている。本実施例１において、共通電極ＣＥは、接続領域ＣＡの全体に位置している。共通電極ＣＥのうち各々の個別領域ＩＡに位置する部分は、枠状の形状を有し、第１領域Ａ１の全体に位置し、第２領域Ａ２に位置していない。共通電極ＣＥのうち各々の個別領域ＩＡに位置する部分は、第２領域Ａ２に第２開口ＯＰ２を有している。
　共通電極ＣＥのうち各々の個別領域ＩＡに位置する部分の形状は、平面視において、９０°回転対称である。本実施例１において、共通電極ＣＥのうち各々の個別領域ＩＡに位置する部分の形状の輪郭は正方形である。なお、共通電極ＣＥのうち各々の個別領域ＩＡに位置する部分の形状の輪郭は本実施例１の正方形に限定されるものではない。例えば、パッチ電極ＰＥ（個別領域ＩＡ）の形状の輪郭が真円である場合、共通電極ＣＥのうち各々の個別領域ＩＡに位置する部分の形状の輪郭も真円であればよい。
　また、共通電極ＣＥのうち各々の個別領域ＩＡに位置する部分の形状に関しても、縦横のアスペクト比が１：１となる形状が望ましい。
　図３乃至図５に示すように、上述したように、各々のパッチ電極ＰＥ及び共通電極ＣＥのうち各々の個別領域ＩＡに位置する部分のそれぞれの形状は、平面視において、９０°回転対称である方が望ましい。共通電極ＣＥのうち各々の個別領域ＩＡに位置する部分の形状は、各々のパッチ電極ＰＥの形状と同一である方が望ましい。共通電極ＣＥのうち各々の個別領域ＩＡに位置する部分は、平面視にて複数のパッチ電極ＰＥのうち対応する一のパッチ電極ＰＥに重なっている方が望ましい。
　本実施例１において、パッチ電極ＰＥ、接続配線Ｌ、及び共通電極ＣＥは、それぞれ、金属として、例えばＴＡＴで形成され、遮光性を持っている。上記ＴＡＴとは、三層積層構造（Ｔｉ系／Ａｌ系／Ｔｉ系）を有し、Ｔｉ（チタン）、Ｔｉを含む合金などＴｉを主成分とする金属材料からなる下層と、Ａｌ（アルミニウム）、Ａｌを含む合金などＡｌを主成分とする金属材料からなる中間層と、Ｔｉ、Ｔｉを含む合金などＴｉを主成分とする金属材料からなる上層と、を有している。周辺領域ＰＡの内側において、複数のパッチ電極ＰＥ及び共通電極ＣＥが光（可視光）の透過を許可する領域は、複数の第２領域Ａ２であり、言い換えると、パッチ電極ＰＥの第１開口ＯＰ１と共通電極ＣＥの第２開口ＯＰ２とがそれぞれ重なった複数の第１光透過領域である。
　本実施例１の各々の個別領域ＩＡにおいて、開口率は実質的に４４％である。
　共通電極ＣＥのうち複数の個別領域ＩＡに位置する複数の部分は、互いに電気的に接続されていればよい。そのため、共通電極ＣＥは、接続領域ＣＡの全体に位置していなくともよく、接続領域ＣＡに複数の第３の開口を有してもよい。その場合、周辺領域ＰＡの内側において、複数のパッチ電極ＰＥ及び共通電極ＣＥが光の透過を許可する領域は、上記複数の第１光透過領域、及び複数の第３の開口に重なった複数の第２光透過領域である。
　図６は、本実施例１に係る電波反射板ＲＥの一部を示す拡大断面図であり、単一の反射制御部ＲＨを示す図である。図６において、基材１等の図示を省略している。
　図６に示すように、液晶層ＬＣの厚みｄｌ（セルギャップ）は、複数のスペーサＳＳにより保持されている。本実施例１において、スペーサＳＳは、柱状スペーサであり、第２基板ＳＵＢ２に形成され、第１基板ＳＵＢ１側に突出している。
　スペーサＳＳのＸ軸に平行な方向の断面径は１０乃至２０μｍである。パッチ電極ＰＥのＸ軸に平行な方向の長さ及びパッチ電極ＰＥのＹ軸に平行な方向の長さがそれぞれｍｍオーダーであるのに対し、スペーサＳＳのＸ方向の断面径はμｍオーダーである。そのため、パッチ電極ＰＥと対向する領域であるのかどうかを問わずに複数のスペーサＳＳを存在させる必要がある。また、個別領域ＩＡのうち、複数のスペーサＳＳが存在する領域の割合は１％程度である。
　そのため、第１領域Ａ１にスペーサＳＳが存在しても、スペーサＳＳが反射波ｗ２に及ぼす影響は僅かである。なお、スペーサＳＳは、第１基板ＳＵＢ１に形成され、第２基板ＳＵＢ２側に突出してもよい。又は、スペーサＳＳは球状スペーサであってもよい。
　電波反射板ＲＥは、複数の反射制御部ＲＨを備えている。各々の反射制御部ＲＨは、複数のパッチ電極ＰＥのうち一のパッチ電極ＰＥと、共通電極ＣＥのうち上記一のパッチ電極ＰＥと対向した部分と、液晶層ＬＣのうち個別領域ＩＡに存在する領域と、を有している。なお、各々の反射制御部ＲＨにおいて、液晶層ＬＣは、少なくとも第１領域Ａ１の全体に存在している。
　パッチ電極ＰＥと共通電極ＣＥとの間に電圧が印加されていない状態において、液晶層ＬＣの第１領域Ａ１における誘電率と、液晶層ＬＣの第２領域Ａ２における誘電率とは、同一である。パッチ電極ＰＥと共通電極ＣＥとの間に電圧が印加されると、液晶層ＬＣの第２領域Ａ２における誘電率は実質的に変化しないが、液晶層ＬＣの第１領域Ａ１における誘電率は変化する。なお、液晶層ＬＣの第１領域Ａ１における誘電率は、パッチ電極ＰＥと共通電極ＣＥとの間に印加される電圧に比例している。そのため、パッチ電極ＰＥと共通電極ＣＥとの間に電圧が印加されている状態において、液晶層ＬＣの第１領域Ａ１における誘電率と、液晶層ＬＣの第２領域Ａ２における誘電率とは、互いに異なっている。
　図７は、本実施例１に係る電波反射板ＲＥの一部を示す拡大断面図であり、複数の反射制御部ＲＨを示す図である。図７において、スペーサＳＳ等の図示を省略している。
　図７に示すように、各々の反射制御部ＲＨは、パッチ電極ＰＥに印加される電圧に応じて入射面Ｓａ側から入射される電波（入射波ｗ１）の位相を調整し、電波を入射面Ｓａ側に反射させ、反射波ｗ２とするように機能する。各々の反射制御部ＲＨにおいて、反射波ｗ２は、パッチ電極ＰＥで反射した電波と共通電極ＣＥで反射した電波との合成波である。
　Ｘ軸に沿った方向において、パッチ電極ＰＥは等間隔に並べられている。隣り合うパッチ電極ＰＥ間の長さをｄｋとする。長さｄｋは、一のパッチ電極ＰＥの幾何学中心から、隣のパッチ電極ＰＥの幾何学中心までの距離に相当している。本実施例１において、反射波ｗ２を第１反射方向ｄ１において同位相とするものとして説明する。図７のＸ－Ｚ平面において、第１反射方向ｄ１は、Ｚ軸との間に第１角度θ１を成す方向である。第１反射方向ｄ１は、Ｘ－Ｚ平面に平行である。
　複数の反射制御部ＲＨで反射される電波が第１反射方向ｄ１で位相を揃えるには、直線状の二点鎖線上で電波の位相が揃っていればよいことになる。例えば、点Ｑ１ｂでの反射波ｗ２の位相と、点Ｑ２ａでの反射波ｗ２の位相とが、揃っていればよい。第１パッチ電極ＰＥ１の点Ｑ１ａから点Ｑ１ｂまでの物理的な直線距離はｄｋ×ｓｉｎθ１である。そのため、第１反射制御部ＲＨ１と第２反射制御部ＲＨ２とに注目すると、第２反射制御部ＲＨ２からの反射波ｗ２の位相を第１反射制御部ＲＨ１からの反射波ｗ２の位相より、位相量δ１だけ遅らせればよい。ここで、位相量δ１は次の式で表される。
δ１＝ｄｋ×ｓｉｎθ１×２π／λ
　次に、電波反射板ＲＥの駆動方法について説明する。図８は、本実施例１に係る電波反射板ＲＥの駆動方法において、期間毎にパッチ電極ＰＥに印加する電圧の変化を示すタイミングチャートである。図８において、電波反射板ＲＥの駆動期間のうち、第１期間Ｐｄ１乃至第５期間Ｐｄ５を示している。
　図７及び図８に示すように、電波反射板ＲＥの駆動が開始されると、第１期間Ｐｄ１に、複数の反射制御部ＲＨにて反射される電波が第１反射方向ｄ１において同位相となるように、複数のパッチ電極ＰＥに電圧Ｖを印加する。例えば、第１パッチ電極ＰＥ１に第１電圧Ｖ１を印加し、第２パッチ電極ＰＥ２に第２電圧Ｖ２を印加し、第３パッチ電極ＰＥ３に第３電圧Ｖ３を印加し、第４パッチ電極ＰＥ４に第４電圧Ｖ４を印加する。各々のパッチ電極ＰＥに印加される電圧Ｖの絶対値は、全ての期間Ｐｄにわたって同一である。
　共通電極ＣＥの電位を基準とすると、各々のパッチ電極ＰＥに印加される電圧の極性は、定期的に反転される。例えば、パッチ電極ＰＥは６０Ｈｚの駆動周波数で駆動される。上記のように、パッチ電極ＰＥは交流駆動される。
　期間Ｐｄが別の期間Ｐｄに変わっても、一の反射制御部ＲＨにて第１反射方向ｄ１に反射される電波と、隣の反射制御部ＲＨにて第１反射方向ｄ１に反射される電波との位相量δ１は維持されている。本実施形態において、位相量δ１は３０°である。そのため、第１パッチ電極ＰＥ１を含む第１反射制御部ＲＨ１にて第１反射方向ｄ１に反射される電波と、第８パッチ電極ＰＥ８を含む第８反射制御部ＲＨ８にて第１反射方向ｄ１に反射される電波と、の間に２１０°の位相差を与えている。
　本実施例１において、電波反射板ＲＥは、一の反射制御部ＲＨにて第１反射方向ｄ１に反射される電波と、別の反射制御部ＲＨにて第１反射方向ｄ１に反射される電波と、の間に最大で２４０°の位相差を与えることができる。
　また、本実施例１の電波反射板ＲＥについて、反射波の振幅の減衰量を調査した。調査したところ、反射波の振幅の減衰量は、抑えられ、最大で－９ｄＢであった。なお、電波反射板ＲＥにて電波を全反射する場合が０ｄＢである。
　（第１の実施形態の実施例２）
　次に、第１の実施形態の実施例２について説明する。図９は、本実施例２に係る電波反射板ＲＥの一部を示す拡大平面図であり、複数の個別領域ＩＡ、接続領域ＣＡ、及び周辺領域ＰＡを示す図である。
　図９に示すように、本実施例２の電波反射板ＲＥは、第１領域Ａ１の形状及び寸法、並びに第２領域Ａ２の形状、寸法、及び個数のそれぞれに関し、上記実施例１と異なっている。
　第１領域Ａ１は、升格子状の領域であり、枠状領域Ａ１ａと、枠状領域Ａ１ａで囲まれ枠状領域Ａ１ａにつながった格子状領域Ａ１ｂと、を有している。枠状領域Ａ１ａは、正方形の外周縁と、正方形の内周縁と、を有している。枠状領域Ａ１ａにおいて、上記外周縁の重心と、上記内周縁の重心とは、平面視にて同一である。
　格子状領域Ａ１ｂは、複数の第１線状領域Ａ１ｃと、複数の第２線状領域Ａ１ｄと、を有している。複数の第１線状領域Ａ１ｃは、Ｘ軸に平行な方向に延出し、Ｙ軸に平行な方向に間隔を置いて並べられている。複数の第２線状領域Ａ１ｄは、Ｙ軸に平行な方向に延出し、Ｘ軸に平行な方向に間隔を置いて並べられ、複数の第１線状領域Ａ１ｃに交差している。
　各々の個別領域ＩＡは、複数の第２領域Ａ２を有している。複数の第２領域Ａ２は、枠状領域Ａ１ａ、複数の第１線状領域Ａ１ｃ、及び複数の第２線状領域Ａ１ｄで囲まれた領域であり、それぞれ正方形の形状を持っている。
　枠状領域Ａ１ａは、Ｘ軸に沿った方向にそれぞれ長さＰｘａ１を有し、Ｙ軸に沿った方向にそれぞれ長さＰｙａ１を有している。長さＰｘａ１は、枠状領域Ａ１ａのうちＹ軸に沿った方向に延出した各々の領域において、互いに対向した外周縁と内周縁との間の距離に相当している。長さＰｙａ１は、枠状領域Ａ１ａのうちＸ軸に沿った方向に延出した各々の領域において、互いに対向した外周縁と内周縁との間の距離に相当している。
　各々の第２線状領域Ａ１ｄは、Ｘ軸に沿った方向に長さＰｘａ２を有し、各々の第１線状領域Ａ１ｃは、Ｙ軸に沿った方向に長さＰｙａ２を有している。
　各々の第２領域Ａ２は、Ｘ軸に沿った方向にそれぞれ長さＰｘｂ１を有し、Ｙ軸に沿った方向にそれぞれ長さＰｙｂ１を有している。
　本実施例２において、長さＰｘａ１及び長さＰｙａ１はそれぞれ５０μｍである（Ｐｘａ１＝Ｐｙａ１＝５０μｍ）。なお、長さＰｘａ１，Ｐｙａ１は、互いに同一であり、例えば５０乃至７０μｍの範囲内で選択され得る。長さＰｘａ２及び長さＰｙａ２はそれぞれ２５μｍである（Ｐｘａ２＝Ｐｙａ２＝２５μｍ）。長さＰｘｂ１及び長さＰｙｂ１はそれぞれ５０μｍである（Ｐｘｂ１＝Ｐｙｂ１＝５０μｍ）。長さＰｘ１及び長さＰｙ１はそれぞれ２．４５ｍｍである（Ｐｘ１＝Ｐｙ１＝２．４５ｍｍ）。
　また、長さＰｘ２及び長さＰｙ２はそれぞれ５０μｍである（Ｐｘ２＝Ｐｙ２＝５０μｍ）。複数の個別領域ＩＡは、Ｘ軸に沿った方向に第１ピッチで並べられ、Ｙ軸に沿った方向に第２ピッチで並べられている。本実施例２において、第１ピッチ及び第２ピッチは、それぞれ２．５ｍｍである。
　なお、図９において、各々の個別領域ＩＡ内の区域を分かり易くするため、便宜的に、各々の個別領域ＩＡに５つの第１線状領域Ａ１ｃ及び５つの第２線状領域Ａ１ｄを示した。但し、上記寸法の値から分かるように、実際、各々の個別領域ＩＡは、５を超える第１線状領域Ａ１ｃ及び５を超える第２線状領域Ａ１ｄを有している。
　図１０は、本実施例２に係る複数のパッチ電極ＰＥ及び複数の接続配線Ｌを示す拡大平面図である。
　図１０に示すように、各々のパッチ電極ＰＥは、升格子状の形状を有し、複数の個別領域ＩＡのうち対応する一の個別領域ＩＡの第１領域Ａ１に位置している。本実施例２において、各々のパッチ電極ＰＥは、対応する一の個別領域ＩＡの第１領域Ａ１の全体に位置し、複数の第２領域Ａ２に位置していない。パッチ電極ＰＥは、各々の第２領域Ａ２に第１開口ＯＰ１を有している。なお、周辺領域ＰＡの内側の領域において、接続配線Ｌは、接続領域ＣＡに位置している。
　図１０及び図９に示すように、各々のパッチ電極ＰＥは、第１枠状電極ＰＥａと、複数の第１線状電極ＰＥｂと、複数の第２線状電極ＰＥｃと、を有している。第１枠状電極ＰＥａは、枠状領域Ａ１ａに位置し、枠状の形状を有している。複数の第１線状電極ＰＥｂは、複数の第１線状領域Ａ１ｃに一対一で位置し、Ｘ軸に平行な方向に延出している。複数の第２線状電極ＰＥｃは、複数の第２線状領域Ａ１ｄに一対一で位置し、Ｙ軸に平行な方向に延出し、複数の第１線状電極ＰＥｂと交差し、第１枠状電極ＰＥａ及び複数の第１線状電極ＰＥｂと一体に形成されている。
　各々のパッチ電極ＰＥの形状は、平面視において、９０°回転対称である。パッチ電極ＰＥの形状の輪郭は、正方形である。
　図１１は、本実施例２に係る共通電極ＣＥの一部を示す拡大平面図である。図１１に示すように、共通電極ＣＥのうち各々の個別領域ＩＡに位置する部分は、升格子状の形状を有し、第１領域Ａ１の全体に位置し、第２領域Ａ２に位置していない。共通電極ＣＥのうち各々の個別領域ＩＡに位置する部分は、各々の第２領域Ａ２に第２開口ＯＰ２を有している。
　図１１及び図９に示すように、共通電極ＣＥのうち各々の個別領域ＩＡに位置する部分は、第２枠状電極ＣＥａと、複数の第３線状電極ＣＥｂと、複数の第４線状電極ＣＥｃと、を有している。第２枠状電極ＣＥａは、枠状領域Ａ１ａに位置し、第１枠状電極ＰＥａに並行に延出している。複数の第３線状電極ＣＥｂは、複数の第１線状領域Ａ１ｃに一対一で位置し、複数の第１線状電極ＰＥｂに並行に延出している。複数の第４線状電極ＣＥｃは、複数の第２線状領域Ａ１ｄに一対一で位置し、複数の第２線状電極ＰＥｃに並行に延出し、複数の第３線状電極ＣＥｂと交差し、第２枠状電極ＣＥａ及び複数の第３線状電極ＣＥｂと一体に形成されている。
　共通電極ＣＥのうち各々の個別領域ＩＡに位置する部分の形状は、平面視において、９０°回転対称である。本実施例２において、共通電極ＣＥのうち各々の個別領域ＩＡに位置する部分の形状の輪郭は正方形である。
　図９乃至図１１に示すように、周辺領域ＰＡの内側において、複数のパッチ電極ＰＥ及び共通電極ＣＥが光（可視光）の透過を許可する領域は、複数の第２領域Ａ２であり、言い換えると、パッチ電極ＰＥの複数の第１開口ＯＰ１と共通電極ＣＥの複数の第２開口ＯＰ２とがそれぞれ重なった複数の第１光透過領域である。
　本実施例２の各々の個別領域ＩＡにおいて、開口率は実質的に４０％である。
　本実施例２において、電波反射板ＲＥは、一の反射制御部ＲＨにて第１反射方向ｄ１に反射される電波と、別の反射制御部ＲＨにて第１反射方向ｄ１に反射される電波と、の間に最大で２９０°の位相差を与えることができる。
　また、本実施例２の電波反射板ＲＥについて、反射波の振幅の減衰量を調査した。調査したところ、反射波の振幅の減衰量は、抑えられ、最大で－９ｄＢであった。
　（第１の実施形態の実施例３）
　次に、第１の実施形態の実施例３について説明する。本実施例３の電波反射板ＲＥは、個別領域ＩＡの形状及び寸法に関し、上記実施例２と異なっている。
　図９に示すように、本実施例３において、長さＰｘａ１及び長さＰｙａ１はそれぞれ５０μｍである（Ｐｘａ１＝Ｐｙａ１＝５０μｍ）。なお、長さＰｘａ１，Ｐｙａ１は、互いに同一であり、例えば５０乃至７０μｍの範囲内で選択され得る。長さＰｘａ２及び長さＰｙａ２はそれぞれ３０μｍである（Ｐｘａ２＝Ｐｙａ２＝３０μｍ）。長さＰｘｂ１及び長さＰｙｂ１はそれぞれ１５０μｍである（Ｐｘｂ１＝Ｐｙｂ１＝１５０μｍ）。長さＰｘ１及び長さＰｙ１はそれぞれ２．１５ｍｍである（Ｐｘ１＝Ｐｙ１＝２．１５ｍｍ）。
　また、長さＰｘ２及び長さＰｙ２はそれぞれ５０μｍである（Ｐｘ２＝Ｐｙ２＝５０μｍ）。複数の個別領域ＩＡは、Ｘ軸に沿った方向に第１ピッチで並べられ、Ｙ軸に沿った方向に第２ピッチで並べられている。本実施例３において、第１ピッチ及び第２ピッチは、それぞれ２．２ｍｍである。
　本実施例３の各々の個別領域ＩＡにおいて、開口率は実質的に６０％である。
　本実施例３において、電波反射板ＲＥは、一の反射制御部ＲＨにて第１反射方向ｄ１に反射される電波と、別の反射制御部ＲＨにて第１反射方向ｄ１に反射される電波と、の間に最大で２７０°の位相差を与えることができる。
　また、本実施例３の電波反射板ＲＥについて、反射波の振幅の減衰量を調査した。調査したところ、反射波の振幅の減衰量は、抑えられ、最大で－９ｄＢであった。
　（第１の実施形態の実施例４）
　次に、第１の実施形態の実施例４について説明する。本実施例４の電波反射板ＲＥは、個別領域ＩＡの形状及び寸法に関し、上記実施例２と異なっている。
　図９に示すように、本実施例４において、長さＰｘａ１及び長さＰｙａ１はそれぞれ５０μｍである（Ｐｘａ１＝Ｐｙａ１＝５０μｍ）。なお、長さＰｘａ１，Ｐｙａ１は、互いに同一であり、例えば５０乃至７０μｍの範囲内で選択され得る。長さＰｘａ２及び長さＰｙａ２はそれぞれ２５μｍである（Ｐｘａ２＝Ｐｙａ２＝２５μｍ）。長さＰｘｂ１及び長さＰｙｂ１はそれぞれ２５μｍである（Ｐｘｂ１＝Ｐｙｂ１＝２５μｍ）。長さＰｘ１及び長さＰｙ１はそれぞれ２．５５ｍｍである（Ｐｘ１＝Ｐｙ１＝２．５５ｍｍ）。
　また、長さＰｘ２及び長さＰｙ２はそれぞれ５０μｍである（Ｐｘ２＝Ｐｙ２＝５０μｍ）。複数の個別領域ＩＡは、Ｘ軸に沿った方向に第１ピッチで並べられ、Ｙ軸に沿った方向に第２ピッチで並べられている。本実施例３において、第１ピッチ及び第２ピッチは、それぞれ２．６ｍｍである。
　本実施例４の各々の個別領域ＩＡにおいて、開口率は実質的に２３％である。
　本実施例４において、電波反射板ＲＥは、一の反射制御部ＲＨにて第１反射方向ｄ１に反射される電波と、別の反射制御部ＲＨにて第１反射方向ｄ１に反射される電波と、の間に最大で１８０°の位相差を与えることができる。
　また、本実施例４の電波反射板ＲＥについて、反射波の振幅の減衰量を調査した。調査したところ、反射波の振幅の減衰量は、抑えられ、最大で－２．５ｄＢであった。
　（第１の実施形態の実施例５）
　次に、第１の実施形態の実施例５について説明する。図１２は、本実施例５に係る電波反射板ＲＥの一部を示す拡大平面図であり、複数の個別領域ＩＡ、接続領域ＣＡ、及び周辺領域ＰＡを示す図である。
　図１２に示すように、本実施例５の電波反射板ＲＥは、第１領域Ａ１の形状及び寸法、並びに第２領域Ａ２の形状、寸法、及び個数のそれぞれに関し、上記実施例１と異なっている。第１領域Ａ１は、十字状の領域であり、第１線状領域Ａ１ｃと、第２線状領域Ａ１ｄと、を有している。第１線状領域Ａ１ｃは、Ｘ軸に平行な方向に延出している。第２線状領域Ａ１ｄは、Ｙ軸に平行な方向に延出し、第１線状領域Ａ１ｃに交差している。
　各々の個別領域ＩＡは、複数の第２領域Ａ２を有している。複数の第２領域Ａ２は、第１領域Ａ１及び接続領域ＣＡで囲まれた領域、又は第１領域Ａ１、接続領域ＣＡ、及び周辺領域ＰＡで囲まれた領域であり、それぞれ正方形の形状を持っている。
　第２線状領域Ａ１ｄは、Ｘ軸に沿った方向に長さＰｘａ２を有し、第１線状領域Ａ１ｃは、Ｙ軸に沿った方向に長さＰｙａ２を有している。
　各々の第２領域Ａ２は、Ｘ軸に沿った方向にそれぞれ長さＰｘｂ１を有し、Ｙ軸に沿った方向にそれぞれ長さＰｙｂ１を有している。
　本実施例５において、長さＰｘａ２及び長さＰｙａ２はそれぞれ１０００μｍである（Ｐｘａ２＝Ｐｙａ２＝１０００μｍ）。長さＰｘｂ１及び長さＰｙｂ１はそれぞれ１０００μｍである（Ｐｘｂ１＝Ｐｙｂ１＝１０００μｍ）。長さＰｘ１及び長さＰｙ１はそれぞれ３．０ｍｍである（Ｐｘ１＝Ｐｙ１＝３．０ｍｍ）。
　また、長さＰｘ２及び長さＰｙ２はそれぞれ５０μｍである（Ｐｘ２＝Ｐｙ２＝５０μｍ）。複数の個別領域ＩＡは、Ｘ軸に沿った方向に第１ピッチで並べられ、Ｙ軸に沿った方向に第２ピッチで並べられている。本実施例５において、第１ピッチ及び第２ピッチは、それぞれ３．０５ｍｍである。
　図１３は、本実施例５に係る複数のパッチ電極ＰＥ及び複数の接続配線Ｌを示す拡大平面図である。
　図１３に示すように、各々のパッチ電極ＰＥは、十字状の形状を有し、複数の個別領域ＩＡのうち対応する一の個別領域ＩＡの第１領域Ａ１に位置している。本実施例５において、各々のパッチ電極ＰＥは、対応する一の個別領域ＩＡの第１領域Ａ１の全体に位置し、複数の第２領域Ａ２に位置していない。
　図１３及び図１２に示すように、各々のパッチ電極ＰＥは、第１線状電極ＰＥｂと、第２線状電極ＰＥｃと、を有している。第１線状電極ＰＥｂは、第１線状領域Ａ１ｃに位置し、Ｘ軸に平行な方向に延出している。第２線状電極ＰＥｃは、第２線状領域Ａ１ｄに位置し、Ｙ軸に平行な方向に延出し、第１線状電極ＰＥｂと交差し、第１線状電極ＰＥｂと一体に形成されている。
　各々のパッチ電極ＰＥの形状は、平面視において、９０°回転対称である。
　図１４は、本実施例５に係る共通電極ＣＥの一部を示す拡大平面図である。図１４に示すように、共通電極ＣＥのうち各々の個別領域ＩＡに位置する部分は、十字状の形状を有し、第１領域Ａ１の全体に位置し、第２領域Ａ２に位置していない。
　図１４及び図１２に示すように、共通電極ＣＥのうち各々の個別領域ＩＡに位置する部分は、第３線状電極ＣＥｂと、第４線状電極ＣＥｃと、を有している。第３線状電極ＣＥｂは、第１線状領域Ａ１ｃに位置し、複数の第１線状電極ＰＥｂに並行に延出している。第４線状電極ＣＥｃは、複数の第２線状領域Ａ１ｄに位置し、第２線状電極ＰＥｃに並行に延出し、第３線状電極ＣＥｂと交差し、第３線状電極ＣＥｂと一体に形成されている。共通電極ＣＥのうち各々の個別領域ＩＡに位置する部分の形状は、平面視において、９０°回転対称である。
　本実施例５において、Ｘ軸に平行な方向に並べられた複数の第３線状電極ＣＥｂは、接続領域ＣＡにおいて接続され、一体に形成されている。Ｙ軸に平行な方向に並べられた複数の第４線状電極ＣＥｃは、接続領域ＣＡにおいて接続され、一体に形成されている。
　図１２乃至図１４に示すように、周辺領域ＰＡの内側において、複数のパッチ電極ＰＥ及び共通電極ＣＥが光（可視光）の透過を許可する領域は、複数の第２領域Ａ２と、接続領域ＣＡのうち共通電極ＣＥが形成されていない領域と、である。言い換えると、複数の第２領域Ａ２に重なった複数の第１光透過領域と、接続領域ＣＡのうち共通電極ＣＥが形成されていない複数の第２光透過領域と、である。
　本実施例５の各々の個別領域ＩＡにおいて、開口率は実質的に４４％である。
　本実施例５において、電波反射板ＲＥは、一の反射制御部ＲＨにて第１反射方向ｄ１に反射される電波と、別の反射制御部ＲＨにて第１反射方向ｄ１に反射される電波と、の間に最大で２４０°の位相差を与えることができる。
　また、本実施例５の電波反射板ＲＥについて、反射波の振幅の減衰量を調査した。調査したところ、反射波の振幅の減衰量は、抑えられ、最大で－９ｄＢであった。
　上記のように構成された第１の実施形態に係る電波反射板ＲＥによれば、電波反射板ＲＥは、複数の反射制御部ＲＨを備えている。５Ｇ（第５世代移動通信システム）で利用する２８ＧＨｚ帯の電波は直進性が強いため、遮蔽物があると通信環境が悪化する（カバレッジホール）。そのため、対策として、電波反射板ＲＥを配置して反射波ｗ２を利用することができる。電波反射板ＲＥは、反射波ｗ２の方向を制御できるため、電波環境の変化に対応することができる。
　各々の反射制御部ＲＨは、個別領域ＩＡにおいて、光（可視光）の透過を許可する領域を有している。言い換えると、個別領域ＩＡは、パッチ電極ＰＥ及び共通電極ＣＥの両方とも形成されていない領域を有している。電波反射板ＲＥは、第２領域Ａ２において可視光を透過することができる。電波反射板ＲＥを環境に配置した際に、電波反射板ＲＥを景観にとけ込ませることができる。例えば、電波反射板ＲＥをみた者は、電波反射板ＲＥ越しに電波反射板ＲＥの背景を視認することが可能となる。
　上記のことから、光透過性に優れた電波反射板ＲＥを得ることができる。
　入射波ｗ１の周波数帯として２８ＧＨｚを想定した場合において、個別領域ＩＡにおけるパッチ電極ＰＥ及び共通電極ＣＥのそれぞれのパターンは、特定されるものではなく、上記実施例１乃至５に例示的に列挙したように種々変形可能である。例えば、上記実施例１乃至５において、複数の個別領域ＩＡのピッチが最小となる実施例は、上記実施例１である。そのため、上記実施例１は、複数の反射制御部ＲＨの高精細化に有利である。
　一方、上記実施例１乃至５において、複数の個別領域ＩＡのピッチが最大となる実施例は、上記実施例５である。そのため、上記実施例５は、電波反射板ＲＥの大型化に有利である。
　（第１の実施形態の変形例）
　次に、第１の実施形態の変形例について説明する。図１５は、本変形例に係る電波反射板ＲＥの一部を示す拡大平面図であり、複数の個別領域ＩＡ、接続領域ＣＡ、及び周辺領域ＰＡを示す図である。
　図１５に示すように、本変形例の電波反射板ＲＥは、第１領域Ａ１の形状、及び第２領域Ａ２の個数のそれぞれに関し、上記実施例２と異なっている。
　第１領域Ａ１は、枠状領域Ａ１ａと、一の第１線状領域Ａ１ｃと、一の第２線状領域Ａ１ｄと、を有している。複数の第２領域Ａ２は、枠状領域Ａ１ａ、第１線状領域Ａ１ｃ、及び第２線状領域Ａ１ｄで囲まれた領域であり、それぞれ正方形の形状を持っている。
　図１６は、本変形例に係る複数のパッチ電極ＰＥ及び複数の接続配線Ｌを示す拡大平面図である。図１６に示すように、各々のパッチ電極ＰＥは、複数の個別領域ＩＡのうち対応する一の個別領域ＩＡの第１領域Ａ１に位置している。本変形例において、各々のパッチ電極ＰＥは、対応する一の個別領域ＩＡの枠状領域Ａ１ａの全体に位置し、第１線状領域Ａ１ｃの一部に位置し、第２線状領域Ａ１ｄの一部に位置し、複数の第２領域Ａ２に位置していない。
　図１６及び図１５に示すように、各々のパッチ電極ＰＥは、第１枠状電極ＰＥａと、複数の第１線状電極ＰＥｂと、複数の第２線状電極ＰＥｃと、を有している。本変形例において、各々のパッチ電極ＰＥは、３つの第１線状電極ＰＥｂと、３つの第２線状電極ＰＥｃと、を有している。
　複数の第１線状電極ＰＥｂは、第１線状領域Ａ１ｃに位置し、Ｘ軸に平行な方向に延出し、Ｙ軸に平行な方向に間隔を置いて並べられている。複数の第２線状電極ＰＥｃは、第２線状領域Ａ１ｄに位置し、Ｙ軸に平行な方向に延出し、Ｘ軸に平行な方向に間隔を置いて並べられ、複数の第１線状電極ＰＥｂと交差し、第１枠状電極ＰＥａ及び複数の第１線状電極ＰＥｂと一体に形成されている。
　各々のパッチ電極ＰＥの形状は、平面視において、９０°回転対称である。パッチ電極ＰＥの形状の輪郭は、正方形である。
　図１７は、本変形例に係る共通電極ＣＥの一部を示す拡大平面図である。図１７に示すように、共通電極ＣＥのうち各々の個別領域ＩＡに位置する部分は、枠状領域Ａ１ａの全体に位置し、第１線状領域Ａ１ｃの一部に位置し、第２線状領域Ａ１ｄの一部に位置し、複数の第２領域Ａ２に位置していない。
　図１７及び図１５に示すように、共通電極ＣＥのうち各々の個別領域ＩＡに位置する部分は、第２枠状電極ＣＥａと、複数の第３線状電極ＣＥｂと、複数の第４線状電極ＣＥｃと、を有している。本変形例において、共通電極ＣＥのうち各々の個別領域ＩＡに位置する部分は、３つの第３線状電極ＣＥｂと、３つの第４線状電極ＣＥｃと、を有している。
　複数の第３線状電極ＣＥｂは、第１線状領域Ａ１ｃに位置し、複数の第１線状電極ＰＥｂに並行に延出している。平面視において、各々の第３線状電極ＣＥｂは、対応する第１線状電極ＰＥｂに重なっている。
　複数の第４線状電極ＣＥｃは、複数の第２線状領域Ａ１ｄに位置し、複数の第２線状電極ＰＥｃに並行に延出し、複数の第３線状電極ＣＥｂと交差し、第２枠状電極ＣＥａ及び複数の第３線状電極ＣＥｂと一体に形成されている。平面視において、各々の第４線状電極ＣＥｃは、対応する第２線状電極ＰＥｃに重なっている。
　共通電極ＣＥのうち各々の個別領域ＩＡに位置する部分の形状は、平面視において、９０°回転対称である。
　図１５乃至図１７に示すように、周辺領域ＰＡの内側において、複数のパッチ電極ＰＥ及び共通電極ＣＥが光（可視光）の透過を許可する領域は、複数の第２領域Ａ２と、各々の第１領域Ａ１のうち複数の第１線状電極ＰＥｂ、複数の第２線状電極ＰＥｃ、複数の第３線状電極ＣＥｂ、及び複数の第４線状電極ＣＥｃが形成されていない領域と、である。
　本変形例においても、上記第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。
　（第２の実施形態）
　次に、第２の実施形態について説明する。電波反射板ＲＥは、本実施形態で説明する構成以外、上記第１の実施形態の実施例１と同様に構成されている。図１８は、本実施形態に係る電波反射板ＲＥを示す平面図である。図中、シール材ＳＥにドットパターンを付し、複数のパッチ電極ＰＥに斜線を付している。
　図１８に示すように、第１基板ＳＵＢ１は、接続配線Ｌ及び配線ＷＬの替わりに、複数の信号配線ＳＬ、複数の制御配線ＧＬ、複数のスイッチング素子ＳＷ、駆動回路ＤＲ、駆動回路ＤＣ、及び複数のリード線ＬＥを有している。
　複数の信号配線ＳＬは、Ｙ軸に沿って延在し、Ｘ軸に沿った方向に並べられている。信号配線ＳＬは、駆動回路ＤＣに接続されている。複数の制御配線ＧＬは、Ｘ軸に沿って延在しＹ軸に沿った方向に並べられている。信号配線ＳＬ及び制御配線ＧＬは、周辺領域ＰＡで囲まれた領域を延在している。駆動回路ＤＲは、周辺領域ＰＡに位置している。複数の制御配線ＧＬは、駆動回路ＤＲに接続されている。
　スイッチング素子ＳＷは、一の信号配線ＳＬと一の制御配線ＧＬとの交差部近傍に設けられ、一の信号配線ＳＬと一の制御配線ＧＬとに電気的に接続されている。複数のリード線ＬＥは、一方で駆動回路ＤＲに接続され、他方でＯＬＢのパッドｐに接続されている。リード線ＬＥは、駆動回路ＤＣに接続されてもよい。
　図１９は、本第２の実施形態に係る電波反射板ＲＥの一部を示す拡大断面図である。図１９に示すように、基材１の上に、絶縁層１１、絶縁層１２、絶縁層１３、絶縁層１４、絶縁層１５、絶縁層１６、絶縁層１７、及び配向膜ＡＬ１が順に形成されている。絶縁層１１乃至１７は、それぞれ無機絶縁層又は有機絶縁層である。本実施形態において、絶縁層１６は、有機絶縁層であり、例えば樹脂で形成されている。
　絶縁層１１乃至１５及び１７は、それぞれ無機絶縁層である。絶縁層１１はＳｉＯ（シリコン酸化物）で形成されている。絶縁層１２は、ＳｉＮ（シリコン窒化物）で形成された下層と、ＳｉＯで形成された上層と、を有している。絶縁層１３はＳｉＯで形成されている。絶縁層１４はＳｉＮで形成されている。絶縁層１５はＳｉＯ又はＳｉＮで形成されている。絶縁層１７はＳｉＮで形成されている。
　制御配線ＧＬ及び導電層ＣＯ１は、絶縁層１１の上に設けられ、絶縁層１２で覆われている。絶縁層１２の上に半導体層ＳＭＣが設けられている。半導体層ＳＭＣは、制御配線ＧＬに重ねられている。半導体層ＳＭＣは、透明な半導体である酸化物半導体（ＯＳ）で形成されている。酸化物半導体の体表的な例としては、例えば、インジウムガリウム亜鉛酸化物（ＩｎＧａＺｎＯ）、インジウムガリウム酸化物（ＩｎＧａＯ）、インジウム亜鉛酸化物（ＩｎＺｎＯ）、亜鉛スズ酸化物（ＺｎＳｎＯ）、亜鉛酸化物（ＺｎＯ）、透明アモルファス酸化物半導体（ＴＡＯＳ）等が挙げられる。但し、半導体層ＳＭＣは、酸化物半導体に限らず、非晶質シリコン又は多結晶シリコンとしての低温多結晶シリコンで形成されてもよい。
　導電層ＣＯ２及び接続配線層ＣＬ１は、絶縁層１２及び半導体層ＳＭＣの上に設けられ、絶縁層１３で覆われている。接続配線層ＣＬ１は、絶縁層１２に形成されたコンタクトホールを通り導電層ＣＯ１に接触している。導電層ＣＯ２及び接続配線層ＣＬ１は、半導体層ＳＭＣに接触し、電気的に接続されている。半導体層ＳＭＣのうち導電層ＣＯ２が接続された領域と接続配線層ＣＬ１が接続された領域とおいて、一方がソース領域であり、他方がドレイン領域である。そして、半導体層ＳＭＣは、ソース領域とドレイン領域との間にチャネル領域を有している。
　ゲート電極ＧＥは、絶縁層１３の上に設けられ、絶縁層１４で覆われている。ゲート電極ＧＥは、制御配線ＧＬに電気的に接続されている。ゲート電極ＧＥは、半導体層ＳＭＣのうち少なくともチャネル領域に重なっている。制御配線ＧＬ、半導体層ＳＭＣ、ゲート電極ＧＥ等は、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）としてのスイッチング素子ＳＷを構成している。
　制御配線ＧＬのうち半導体層ＳＭＣに重なった領域は、ゲート電極として機能している。そのため、スイッチング素子ＳＷは、デュアルゲート型のＴＦＴである。但し、スイッチング素子ＳＷは、ボトムゲート型のＴＦＴ又はトップゲート型のＴＦＴであってもよい。
　導電層ＣＯ３及び接続配線層ＣＬ２は、絶縁層１４の上に設けられ、絶縁層１５で覆われている。導電層ＣＯ３は、絶縁層１４に形成されたコンタクトホールを通りゲート電極ＧＥに接触している。接続配線層ＣＬ２は、絶縁層１３，１４に形成されたコンタクトホールを通り接続配線層ＣＬ１に接触している。
　絶縁層１６及び絶縁層１７は、絶縁層１５の上に順に設けられている。パッチ電極ＰＥは、絶縁層１７の上に設けられ、配向膜ＡＬ１で覆われている。パッチ電極ＰＥは、絶縁層１５，１６，１７に形成されたコンタクトホールを通り接続配線層ＣＬ２に接触している。
　基材２のうち第１基板ＳＵＢ１と対向する側の面に、共通電極ＣＥ及び配向膜ＡＬ２が順に設けられている。
　制御配線ＧＬ、導電層ＣＯ１，ＣＯ２，ＣＯ３、接続配線層ＣＬ１，ＣＬ２、及びゲート電極ＧＥは、低抵抗の導電材料として金属で形成されている。制御配線ＧＬ及びゲート電極ＧＥは、Ｍｏ（モリブデン）、Ｗ（タングステン）、又はそれらの合金で形成されてもよい。接続配線層ＣＬ１，ＣＬ２は、ＴＡＴやＭＡＭで形成されてもよい。
　上記ＭＡＭとは、三層積層構造（Ｍｏ系／Ａｌ系／Ｍｏ系）を有し、Ｍｏ、Ｍｏを含む合金などＭｏを主成分とする金属材料からなる下層と、Ａｌ、Ａｌを含む合金などＡｌを主成分とする金属材料からなる中間層と、Ｍｏ、Ｍｏを含む合金などＭｏを主成分とする金属材料からなる上層と、を有している。
　図１８及び図１９に示すように、複数のパッチ電極ＰＥをアクティブマトリクス駆動により個別に駆動することができる。そのため、複数のパッチ電極ＰＥを独立して駆動することができる。例えば、電波反射板ＲＥが反射する反射波ｗ２の方向を、Ｙ－Ｚ平面に平行な方向とすることができる。
　又は、電波反射板ＲＥが反射する反射波ｗ２の方向を、Ｘ－Ｚ平面及びＹ－Ｚ平面以外の第３の平面に平行な方向とすることができる。なお、第３の平面は、Ｚ軸と、Ｘ－Ｙ平面のうちＸ軸及びＹ軸以外の第３の軸とで規定される面である。
　図２０は、本第２の実施形態に係る複数のパッチ電極ＰＥを示す拡大平面図であり、電波反射板ＲＥの駆動方法において複数のパッチ電極ＰＥに印加する電圧の例を説明するための図である。図２０に示すように、電波反射板ＲＥが反射する反射波ｗ２の反射方向ｄを、右下４５°に傾斜させることができる。なお、パッチ電極ＰＥへ印加する電圧Ｖは、第１電圧Ｖ１、第２電圧Ｖ２、・・・第７電圧Ｖ７としている。
　図２１は、本第２の実施形態に係る複数のパッチ電極ＰＥを示す拡大平面図であり、電波反射板ＲＥの駆動方法において複数のパッチ電極ＰＥに印加する電圧の他の例を説明するための図である。図２１に示すように、電波反射板ＲＥが反射する反射波ｗ２の反射方向ｄを、左上２２．５°に傾斜させることができる。なお、パッチ電極ＰＥへ印加する電圧Ｖは、第１電圧Ｖ１、第２電圧Ｖ２、・・・第７電圧Ｖ７としている。
　上記のように構成された第２の実施形態に係る電波反射板ＲＥによれば、上記第１の実施形態の実施例１と同様の効果を得ることができる。各々のパッチ電極ＰＥを独立して駆動することができるため、電波反射板ＲＥが反射する反射波ｗ２の反射方向ｄの自由度を高めることができる。
　（第２の実施形態の変形例）
　次に、第２の実施形態の変形例について説明する。本第２の実施形態の変形例は、複数の個別領域ＩＡ、接続領域ＣＡ、及び周辺領域ＰＡに関して上記第１の実施形態の実施例５（図１２）と同様である。
　図２２は、本変形例に係る電波反射板ＲＥの複数のパッチ電極ＰＥを示す拡大平面図である。図２２に示すように、第１領域Ａ１は、十字状の領域であり、Ｘ軸に平行な方向に延出した第１線状領域Ａ１ｃと、Ｙ軸に平行な方向に延出し第１線状領域Ａ１ｃに交差した第２線状領域Ａ１ｄと、を有している。
　各々のパッチ電極ＰＥは、複数の第１線状電極ＰＥｂと、複数の第２線状電極ＰＥｃと、を有している。複数の第１線状電極ＰＥｂは、第１線状領域Ａ１ｃに位置し、Ｘ軸に平行な方向に延出し、Ｙ軸に平行な方向に間隔を置いて並べられている。複数の第２線状電極ＰＥｃは、第２線状領域Ａ１ｄに位置し、Ｙ軸に平行な方向に延出し、Ｘ軸に平行な方向に間隔を置いて並べられ、複数の第１線状電極ＰＥｂと交差し、複数の第１線状電極ＰＥｂと一体に形成されている。
　図２３は、本変形例に係る電波反射板ＲＥの共通電極ＣＥの一部を示す拡大平面図である。図２３に示すように、共通電極ＣＥのうち各々の個別領域ＩＡに位置する部分は、複数の第３線状電極ＣＥｂと、複数の第４線状電極ＣＥｃと、を有している。
　複数の第３線状電極ＣＥｂは、第１線状領域Ａ１ｃに位置し、複数の第１線状電極ＰＥｂに並行に延出している。平面視において、各々の第３線状電極ＣＥｂは、対応する第１線状電極ＰＥｂに重なっている。
　複数の第４線状電極ＣＥｃは、第２線状領域Ａ１ｄに位置し、複数の第２線状電極ＰＥｃに並行に延出し、複数の第３線状電極ＣＥｂと交差し、複数の第３線状電極ＣＥｂと一体に形成されている。平面視において、各々の第４線状電極ＣＥｃは、対応する第２線状電極ＰＥｃに重なっている。
　共通電極ＣＥのうち各々の個別領域ＩＡに位置する部分は、第３線状電極ＣＥｂと、第４線状電極ＣＥｃと、を有している。第３線状電極ＣＥｂは、第１線状領域Ａ１ｃに位置し、複数の第１線状電極ＰＥｂに並行に延出している。第４線状電極ＣＥｃは、複数の第２線状領域Ａ１ｄに位置し、第２線状電極ＰＥｃに並行に延出し、第３線状電極ＣＥｂと交差し、第３線状電極ＣＥｂと一体に形成されている。共通電極ＣＥのうち各々の個別領域ＩＡに位置する部分の形状は、平面視において、９０°回転対称である。
　本変形例において、Ｘ軸に平行な方向に並べられた複数の第３線状電極ＣＥｂは、接続領域ＣＡにおいて接続され、一体に形成されている。Ｙ軸に平行な方向に並べられた複数の第４線状電極ＣＥｃは、接続領域ＣＡにおいて接続され、一体に形成されている。
　本変形例においても、上記第２の実施形態と同様の効果を得ることができる。
　本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
　例えば、上記第２の実施形態の電波反射板ＲＥに、上記第１の実施形態の各実施例及び変形例に係るパッチ電極ＰＥ及び共通電極ＣＥを適用してもよい。上記第１の実施形態の電波反射板ＲＥに、上記第２の実施形態の変形例に係るパッチ電極ＰＥ及び共通電極ＣＥを適用してもよい。
　上記第１の実施形態において、複数のパッチ電極ＰＥを接続するための線は、パッチ電極ＰＥと同層の上記接続配線Ｌに限定されるものではない。隣合うパッチ電極ＰＥを接続するための線は、パッチ電極ＰＥと異なる層のブリッジ配線であってもよい。ブリッジ配線は、コンタクトホールを通って一方のパッチ電極ＰＥに接続され、別のコンタクトホールを通って他方のパッチ電極ＰＥに接続されている。
　電波反射板ＲＥに利用する液晶モードは、液晶層ＬＣに縦電界を印加可能なモードであればよい。そのため、ＴＮ（Twisted Nematic）モード、ＥＣＢ（Electrically Controlled Birefringence）モード、又はπセルを電波反射板ＲＥに適用可能である。

Claims (17)

  1. 　互いに直交するＸ軸及びＹ軸のそれぞれに沿ってマトリクス状に並べられた複数の個別領域であって、各々の前記個別領域は第１領域と前記第１領域以外の一以上の第２領域とを有する、前記複数の個別領域と、
    　前記複数の個別領域の間隙に位置し格子状の形状を有し前記複数の個別領域につながった接続領域と、
    　複数のパッチ電極を有する第１基板であって、各々のパッチ電極は前記複数の個別領域のうち対応する一の個別領域の前記第１領域に位置している、前記第１基板と、
    　共通電極を有する第２基板であって、前記共通電極は前記各々の個別領域の前記第１領域及び前記接続領域に位置し前記Ｘ軸及び前記Ｙ軸のそれぞれに直交するＺ軸に平行な方向にて前記複数のパッチ電極と対向している、前記第２基板と、
    　前記第１基板と前記第２基板との間に保持され、前記複数のパッチ電極と対向した液晶層と、を備える、電波反射板。
  2. 　前記複数のパッチ電極及び前記共通電極は、それぞれ金属で形成されている、請求項１に記載の電波反射板。
  3. 　前記第１領域は、十字状の領域であり、前記Ｘ軸に平行な方向に延出した第１線状領域と、前記Ｙ軸に平行な方向に延出し前記第１線状領域に交差した第２線状領域と、を有し、
    　前記各々のパッチ電極は、前記十字状の形状を有し、前記第１領域に位置し、
    　前記共通電極のうち前記各々の個別領域に位置する部分は、前記十字状の形状を有し、前記第１領域に位置している、請求項２に記載の電波反射板。
  4. 　前記第１領域は、十字状の領域であり、前記Ｘ軸に平行な方向に延出した第１線状領域と、前記Ｙ軸に平行な方向に延出し前記第１線状領域に交差した第２線状領域と、を有し、
    　前記各々のパッチ電極は、
    　　前記第１線状領域に位置し前記Ｘ軸に平行な方向に延出し前記Ｙ軸に平行な方向に間隔を置いて並べられた複数の第１線状電極と、
    　　前記第２線状領域に位置し前記Ｙ軸に平行な方向に延出し前記Ｘ軸に平行な方向に間隔を置いて並べられ前記複数の第１線状電極と交差し前記複数の第１線状電極と一体に形成された複数の第２線状電極と、を有し、
    　前記共通電極のうち前記各々の個別領域に位置する部分は、
    　　前記第１線状領域に位置し前記複数の第１線状電極に並行に延出した複数の第３線状電極と、
    　　前記第２線状領域に位置し前記複数の第２線状電極に並行に延出し前記複数の第３線状電極と交差し前記複数の第３線状電極と一体に形成された複数の第４線状電極と、を有する、請求項２に記載の電波反射板。
  5. 　前記第１領域は、枠状の領域であり、
    　前記第２領域は、前記第１領域で囲まれた領域であり、
    　前記各々のパッチ電極は、前記枠状の形状を有し、前記第１領域に位置し、
    　前記共通電極のうち前記各々の個別領域に位置する部分は、前記枠状の形状を有し、前記第１領域に位置している、請求項２に記載の電波反射板。
  6. 　前記第１領域は、升格子状の領域であり、枠状領域と、前記枠状領域で囲まれ前記枠状領域につながった格子状領域と、を有し、
    　前記格子状領域は、前記Ｘ軸に平行な方向に延出し前記Ｙ軸に平行な方向に間隔を置いて並べられた複数の第１線状領域と、前記Ｙ軸に平行な方向に延出し前記Ｘ軸に平行な方向に間隔を置いて並べられ前記複数の第１線状領域に交差した複数の第２線状領域と、を有し、
    　前記各々のパッチ電極は、
    　　前記枠状領域に位置し枠状の形状を有する第１枠状電極と、
    　　前記複数の第１線状領域に一対一で位置し前記Ｘ軸に平行な方向に延出した複数の第１線状電極と、
    　　前記複数の第２線状領域に一対一で位置し前記Ｙ軸に平行な方向に延出し前記複数の第１線状電極と交差し前記第１枠状電極及び前記複数の第１線状電極と一体に形成された複数の第２線状電極と、を有し、
    　前記共通電極のうち前記各々の個別領域に位置する部分は、
    　　前記枠状領域に位置し前記第１枠状電極に並行に延出した第２枠状電極と、
    　　前記複数の第１線状領域に一対一で位置し前記複数の第１線状電極に並行に延出した複数の第３線状電極と、
    　　前記複数の第２線状領域に一対一で位置し前記複数の第２線状電極に並行に延出し前記複数の第３線状電極と交差し前記第２枠状電極及び前記複数の第３線状電極と一体に形成された複数の第４線状電極と、を有する、請求項２に記載の電波反射板。
  7. 　前記共通電極のうち前記各々の個別領域に位置する部分の形状は、前記各々のパッチ電極の形状と同一であり、
    　前記共通電極のうち前記各々の個別領域に位置する部分は、平面視にて前記複数のパッチ電極のうち対応する一のパッチ電極に重なっている、請求項１に記載の電波反射板。
  8. 　前記第１領域は、十字状の領域であり、前記Ｘ軸に平行な方向に延出した第１線状領域と、前記Ｙ軸に平行な方向に延出し前記第１線状領域に交差した第２線状領域と、を有し、
    　前記各々のパッチ電極は、前記十字状の形状を有し、前記第１領域に位置し、
    　前記共通電極のうち前記各々の個別領域に位置する部分は、前記十字状の形状を有し、前記第１領域に位置している、請求項７に記載の電波反射板。
  9. 　前記第１領域は、十字状の領域であり、前記Ｘ軸に平行な方向に延出した第１線状領域と、前記Ｙ軸に平行な方向に延出し前記第１線状領域に交差した第２線状領域と、を有し、
    　前記各々のパッチ電極は、
    　　前記第１線状領域に位置し前記Ｘ軸に平行な方向に延出し前記Ｙ軸に平行な方向に間隔を置いて並べられた複数の第１線状電極と、
    　　前記第２線状領域に位置し前記Ｙ軸に平行な方向に延出し前記Ｘ軸に平行な方向に間隔を置いて並べられ前記複数の第１線状電極と交差し前記複数の第１線状電極と一体に形成された複数の第２線状電極と、を有し、
    　前記共通電極のうち前記各々の個別領域に位置する部分は、
    　　前記第１線状領域に位置し前記複数の第１線状電極に並行に延出した複数の第３線状電極と、
    　　前記第２線状領域に位置し前記複数の第２線状電極に並行に延出し前記複数の第３線状電極と交差し前記複数の第３線状電極と一体に形成された複数の第４線状電極と、を有する、請求項７に記載の電波反射板。
  10. 　前記第１領域は、枠状の領域であり、
    　前記第２領域は、前記第１領域で囲まれた領域であり、
    　前記各々のパッチ電極は、前記枠状の形状を有し、前記第１領域に位置し、
    　前記共通電極のうち前記各々の個別領域に位置する部分は、前記枠状の形状を有し、前記第１領域に位置している、請求項７に記載の電波反射板。
  11. 　前記第１領域は、升格子状の領域であり、枠状領域と、前記枠状領域で囲まれ前記枠状領域につながった格子状領域と、を有し、
    　前記格子状領域は、前記Ｘ軸に平行な方向に延出し前記Ｙ軸に平行な方向に間隔を置いて並べられた複数の第１線状領域と、前記Ｙ軸に平行な方向に延出し前記Ｘ軸に平行な方向に間隔を置いて並べられ前記複数の第１線状領域に交差した複数の第２線状領域と、を有し、
    　前記各々のパッチ電極は、
    　　前記枠状領域に位置し枠状の形状を有する第１枠状電極と、
    　　前記複数の第１線状領域に一対一で位置し前記Ｘ軸に平行な方向に延出した複数の第１線状電極と、
    　　前記複数の第２線状領域に一対一で位置し前記Ｙ軸に平行な方向に延出し前記複数の第１線状電極と交差し前記第１枠状電極及び前記複数の第１線状電極と一体に形成された複数の第２線状電極と、を有し、
    　前記共通電極のうち前記各々の個別領域に位置する部分は、
    　　前記枠状領域に位置し前記第１枠状電極に並行に延出した第２枠状電極と、
    　　前記複数の第１線状領域に一対一で位置し前記複数の第１線状電極に並行に延出した複数の第３線状電極と、
    　　前記複数の第２線状領域に一対一で位置し前記複数の第２線状電極に並行に延出し前記複数の第３線状電極と交差し前記第２枠状電極及び前記複数の第３線状電極と一体に形成された複数の第４線状電極と、を有する、請求項７に記載の電波反射板。
  12. 　前記第１領域は、十字状の領域であり、前記Ｘ軸に平行な方向に延出した第１線状領域と、前記Ｙ軸に平行な方向に延出し前記第１線状領域に交差した第２線状領域と、を有し、
    　前記各々のパッチ電極は、前記十字状の形状を有し、前記第１領域に位置し、
    　前記共通電極のうち前記各々の個別領域に位置する部分は、前記十字状の形状を有し、前記第１領域に位置している、請求項１に記載の電波反射板。
  13. 　前記第１領域は、十字状の領域であり、前記Ｘ軸に平行な方向に延出した第１線状領域と、前記Ｙ軸に平行な方向に延出し前記第１線状領域に交差した第２線状領域と、を有し、
    　前記各々のパッチ電極は、
    　　前記第１線状領域に位置し前記Ｘ軸に平行な方向に延出し前記Ｙ軸に平行な方向に間隔を置いて並べられた複数の第１線状電極と、
    　　前記第２線状領域に位置し前記Ｙ軸に平行な方向に延出し前記Ｘ軸に平行な方向に間隔を置いて並べられ前記複数の第１線状電極と交差し前記複数の第１線状電極と一体に形成された複数の第２線状電極と、を有し、
    　前記共通電極のうち前記各々の個別領域に位置する部分は、
    　　前記第１線状領域に位置し前記複数の第１線状電極に並行に延出した複数の第３線状電極と、
    　　前記第２線状領域に位置し前記複数の第２線状電極に並行に延出し前記複数の第３線状電極と交差し前記複数の第３線状電極と一体に形成された複数の第４線状電極と、を有する、請求項１に記載の電波反射板。
  14. 　前記第１領域は、枠状の領域であり、
    　前記第２領域は、前記第１領域で囲まれた領域であり、
    　前記各々のパッチ電極は、前記枠状の形状を有し、前記第１領域に位置し、
    　前記共通電極のうち前記各々の個別領域に位置する部分は、前記枠状の形状を有し、前記第１領域に位置している、請求項１に記載の電波反射板。
  15. 　前記第１領域は、升格子状の領域であり、枠状領域と、前記枠状領域で囲まれ前記枠状領域につながった格子状領域と、を有し、
    　前記格子状領域は、前記Ｘ軸に平行な方向に延出し前記Ｙ軸に平行な方向に間隔を置いて並べられた複数の第１線状領域と、前記Ｙ軸に平行な方向に延出し前記Ｘ軸に平行な方向に間隔を置いて並べられ前記複数の第１線状領域に交差した複数の第２線状領域と、を有し、
    　前記各々のパッチ電極は、
    　　前記枠状領域に位置し枠状の形状を有する第１枠状電極と、
    　　前記複数の第１線状領域に一対一で位置し前記Ｘ軸に平行な方向に延出した複数の第１線状電極と、
    　　前記複数の第２線状領域に一対一で位置し前記Ｙ軸に平行な方向に延出し前記複数の第１線状電極と交差し前記第１枠状電極及び前記複数の第１線状電極と一体に形成された複数の第２線状電極と、を有し、
    　前記共通電極のうち前記各々の個別領域に位置する部分は、
    　　前記枠状領域に位置し前記第１枠状電極に並行に延出した第２枠状電極と、
    　　前記複数の第１線状領域に一対一で位置し前記複数の第１線状電極に並行に延出した複数の第３線状電極と、
    　　前記複数の第２線状領域に一対一で位置し前記複数の第２線状電極に並行に延出し前記複数の第３線状電極と交差し前記第２枠状電極及び前記複数の第３線状電極と一体に形成された複数の第４線状電極と、を有する、請求項１に記載の電波反射板。
  16. 　各々の前記パッチ電極及び前記共通電極のうち前記各々の個別領域に位置する部分のそれぞれの形状は、平面視において、９０°回転対称である、請求項１に記載の電波反射板。
  17. 　前記形状の輪郭は、正方形である、請求項１６に記載の電波反射板。
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