JP6988113B2 - 圧電アクチュエータ、及び液体吐出装置 - Google Patents

圧電アクチュエータ、及び液体吐出装置 Download PDF

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Description

本発明は、圧電アクチュエータ、及び、圧電アクチュエータを備えた液体吐出装置に関する。
特許文献１の圧電アクチュエータでは、３枚の圧電層が積層され、中央の圧電層と下側の圧電層との間、上側の圧電層と中央の圧電層との間、及び、上側の圧電層の上面に、それぞれ、第１導電部、第２導電部、及び個別電極が、各圧力室に対して個別に配置されている。第１導電部は、圧力室の紙送り方向の外側の端部と対向する。また、各圧力室に対応する第１導電部同士は、第１共通配線によって互いに接続されており、グランド電位に保持されている。第２導電部は、圧力室の中央部と対向する。また、各圧力室に対応する第２導電部同士は、第２共通配線によって互いに接続されており、所定の駆動電位に保持されている。個別電極は圧力室のほぼ全体にわたって延び、第１導電部及び第２導電部と対向する。個別電極には、グランド電位及び上記駆動電位のいずれかが選択的に付与される。
特開2011-212865号公報
特許文献１において、個別電極をグランド電位と駆動電位との間で切り換えて圧電アクチュエータを駆動すると、第１、第２導電部に電流が流れる。ここで、特許文献１の圧電アクチュエータでは、個別電極と第２導電部との距離が、個別電極と第１導電部との距離よりも小さいため、個別電極及び第２導電部と、圧電層のこれらの電極に挟まれた部分の静電容量は、個別電極及び第１導電部と、圧電層のこれらの電極に挟まれた部分の静電容量よりも大きい。そのため、圧電アクチュエータの駆動時には、第２導電部には第１導電部よりも大きな電流が流れる。第２導電部に電流が流れるときには、第２共通配線から第１導電部に電荷が供給されるが、第２共通配線の面積が小さいと、電荷の供給に遅れが生じる虞がある。電荷の供給遅れが生じると、圧電アクチュエータの駆動特性が変わってしまう虞がある。ここで、第２共通配線の面積を大きくすることも考えられるが、その場合には、上記面積を大きくする分、圧電アクチュエータが面方向に大型化してしまう虞がある。
本発明の目的は、装置の大型化を抑えつつ、電荷の供給が遅れてしまうのを防止することが可能な圧電アクチュエータ、及び、圧電アクチュエータを備えた液体吐出装置を提供することである。
本発明の液体吐出装置は、互いに接合された第１圧電層と第２圧電層とを含む積層体と、前記第１圧電層の前記第２圧電層と反対側の面に配置された複数の個別電極と、前記第１圧電層と前記第２圧電層との間に配置され、前記複数の個別電極の一部分と対向する複数の電極部と、前記複数の電極部を互いに接続させる接続部とを有し、所定の第１電位に保持される第１導電部と、前記第２圧電層の前記第１圧電層と反対側の面に配置され、前記複数の個別電極の前記一部分とは別の部分と対向し、前記第１電位とは異なる第２電位に保持される第２導電部と、前記積層体の、前記第１圧電層と前記第２圧電層との間とは異なる部分に、前記接続部と対向するように配置され、前記接続部と接続された補助電極と、前記複数の個別電極が所定の配列方向に沿って配列されることによって形成された個別電極列と、前記複数の電極部が前記配列方向に沿って配列されることによって形成された、前記個別電極列に対応する電極部列と、を備えている。そして、前記接続部は、前記配列方向に延びて前記電極部同士を接続する第１接続部と、前記第１接続部の前記配列方向の一方側の端部と接続された第２接続部と、を有し、前記第１圧電層の前記第２接続部と対向する部分に、前記接続部を前記第１圧電層の前記第２圧電層と反対側に引き出すための第２スルーホールが形成され、前記第１接続部と対向する前記補助電極を備え、前記第１接続部の前記第２接続部側の端部が、前記補助電極に接続されている。
第１実施形態に係るプリンタ１の概略構成図である。 図１のインクジェットヘッド３の平面図である。 （ａ）は第１実施形態の圧電アクチュエータ２４の第１圧電層５１の上面の図であり、（ｂ）は第１実施形態の圧電アクチュエータ２４の第２圧電層５２の上面の図である。 第１実施形態圧電アクチュエータ２４の絶縁層５３の上面の図である。 図２のＶ−Ｖ線断面図である。 図２のVI−VI線断面図である。 （ａ）は図２のVIIａ−VIIａ線断面図であり、（ｂ）は図２のVIIｂ−VIIｂ線断面図である。 （ａ）は第２実施形態の圧電アクチュエータ１００の第１圧電層５１の上面の図であり、（ｂ）は第２実施形態の圧電アクチュエータ１００の第２圧電層５２の上面の図である。 第２実施形態の圧電アクチュエータ１００の絶縁層５３の上面の図である。 第２実施形態の圧電アクチュエータ１００において、第１接続部５５ｂと補助電極１０１との間に電荷が蓄えられていることを説明するための図である。 （ａ）は第３実施形態の圧電アクチュエータ１１０の第１圧電層５１の上面の図であり、（ｂ）は第３実施形態の圧電アクチュエータ１１０の第２圧電層５２の上面の図である。 （ａ）は第３実施形態の圧電アクチュエータ１１０の絶縁層５３の上面の図であり、（ｂ）は第３実施形態の圧電アクチュエータ１１０の絶縁層１１１の上面の図である。 第３実施形態の圧電アクチュエータ１１０を有するインクジェットヘッドの図７（ｂ）に対応する断面図である。 （ａ）は変形例１の圧電アクチュエータ１１５を有するインクジェットヘッドの図６に対応する断面図であり、（ｂ）は変形例１の圧電アクチュエータ１１５を有するインクジェットヘッドの図７（ｂ）に対応する断面図である。 変形例２の圧電アクチュエータ１２０の絶縁層５３の上面の図である。 変形例３の圧電アクチュエータ１２５の絶縁層５３の上面の図である。
［第１実施形態］
以下、本発明の好適な第１実施形態について説明する。
＜プリンタの全体構成＞
図１に示すように、プリンタ１は、キャリッジ２、インクジェットヘッド３（本発明の「液体吐出装置」）、プラテン４、搬送ローラ５、６などを備えている。
キャリッジ２は、走査方向に延びた２本のガイドレール１１、１２に支持され、ガイドレール１１、１２に沿って走査方向に移動する。なお、以下では、図１に示すように走査方向の右側及び左側を定義して説明を行う。インクジェットヘッド３は、キャリッジ２に搭載されており、その下面に形成された複数のノズル４５からインクを吐出させる。プラテン４は、インクジェットヘッド３の下方に位置しており、記録用紙Ｐを下方から支持する。搬送ローラ５、６は、それぞれ、走査方向と直交する搬送方向（本発明の「配列方向」）におけるプラテン４よりも上流側及び下流側に配置され、記録用紙Ｐを搬送方向に搬送する。
そして、プリンタ１では、搬送ローラ５、６により記録用紙Ｐを所定距離ずつ搬送し、記録用紙Ｐを搬送する毎に、キャリッジ２を走査方向に移動させつつ、複数のノズル４５からインクを吐出させることによって、記録用紙Ｐに印刷を行う。
＜インクジェットヘッド＞
次に、インクジェットヘッド３について説明する。図２〜図７に示すように、インクジェットヘッド３は、流路ユニット２１と圧電アクチュエータ２２とを備えている。流路ユニット２１は、７枚のプレート３１〜３７が互いに積層されることによって形成されており、その内部に、インク供給口３０からインクが供給されるマニホールド流路４１、及び、マニホールド流路４１の出口から絞り流路４２を経て圧力室４０に至り、さらに、圧力室４０からディセンダ流路４４を経てノズル４５に至る複数の個別インク流路が形成されている。
複数の圧力室４０は、それぞれ、走査方向を長手方向とする略楕円の平面形状を有している。また、複数の圧力室４０は、搬送方向に配列されることによって圧力室列３９を形成している。また、インクジェットヘッド３は、走査方向に並んだ４つの圧力室列３９を有している。また、複数のノズル４５は、４つの圧力室列３９に対応する複数のノズル列３８を形成している。複数のノズル４５からは、右側のノズル列３８を形成するものから順に、ブラック、イエロー、シアン、マゼンタのインクが吐出される。なお、流路ユニット２１内のインク流路の構成は、従来と同様であるので、ここでは、これ以上の詳細な説明を省略する。
圧電アクチュエータ２２は、複数の圧力室４０を覆うように流路ユニット２１の上面に配置されている。圧電アクチュエータ２２は、第１圧電層５１、第２圧電層５２、絶縁層５３、複数の個別電極５４、第１導電部５５、第２導電部５６、及び、４つの補助電極５７を備えている。第１圧電層５１は、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との混晶であるチタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電材料からなる。第２圧電層５２は、第１圧電層５１と同様の圧電材料からなり、第１圧電層５１の下面に接合されている。絶縁層５３は、圧電材料、合成樹脂材料等の絶縁材料からなり、第２圧電層５２の下面に接合されている。絶縁層５３は、振動板として機能するものである。なお、圧電層５１、５２と絶縁層５３とを合わせたものが、本発明の「積層体」に相当する。
図３（ａ）、図５、図６に示すように、複数の個別電極５４は、第１圧電層５１の上面（第２圧電層５２と反対側の面）に配置されている。複数の個別電極５４は、複数の圧力室４０に対して個別に設けられており、対応する圧力室４０のほぼ全域と対向している。これにより、第１圧電層５１の上面には、複数の個別電極５４が搬送方向に配列されることよって形成された個別電極列４９が、走査方向に４列に並んでいる。また、各個別電極５４の左端部には、圧力室４０と対向しない位置まで引き出された個別接点５４ａが設けられている。
図３（ｂ）、図５、図６に示すように、第１導電部５５は、第１圧電層５１と第２圧電層５２との間に配置されている。第１導電部５５は、複数の電極部５５ａと、４つの第１接続部５５ｂと、１つの第２接続部５５ｃとを有している。複数の電極部５５ａは、複数の圧力室４０に対して個別に設けられており、対応する圧力室４０の中央部と対向している。これにより、電極部５５ａは、個別電極５４の搬送方向の中央部（本発明の「一部分」）と対向する。また、複数の電極部５５ａがこのように配置されることにより、第１圧電層５１と第２圧電層５２との間には、複数の電極部５５ａが搬送方向に配列されることによって形成された電極部列４８が、走査方向に４列に並んでいる。
４つの第１接続部５５ｂは、４つの電極部列４８に対応して設けられており、搬送方向に延びて、各電極部列４８に対応する複数の電極部５５ａの左端部同士を接続する。第２接続部５５ｃは、走査方向に延びて４つの第１接続部５５ｂの搬送方向の下流側の端部同士を接続する。また、第２接続部５５ｃには、走査方向の両端部に、それぞれ、搬送方向の上流側に折れ曲がって延びた引出部５５ｄが設けられている。また、図３（ａ）、（ｂ）、図７（ａ）に示すように、第１圧電層５１の上面には、各引出部５５ｄと対向する部分に、それぞれ、表面電極６１が配置され、第１圧電層５１の引出部５５ｄと表面電極６１とに挟まれた部分には、搬送方向に並んだ３つの第２スルーホール６２が形成されている。これにより、引出部５５ｄは、第２スルーホール６２を介して第１圧電層５１の上面まで引き出されて表面電極６１と接続されている。
図４〜図６に示すように、第２導電部５６は、第２圧電層５２と絶縁層５３との間（第２圧電層５２の第１圧電層５１と反対側の面）に配置されている。第２導電部５６は、複数の電極部５６ａと、４つの第３接続部５６ｂと、１つの第４接続部５６ｃとを有する。複数の電極部５６ａは、複数の圧力室４０に対して設けられており、圧力室４０の搬送方向の両端部と対向している。これにより、電極部５６ａは、個別電極５４の搬送方向の両端部（本発明の「一部分とは別の部分」）と対向する。また、複数の電極部５６ａがこのように配置されることにより、第２圧電層５２と絶縁層５３との間には、複数の電極部５６ａが搬送方向に配列されることによって形成された電極部列４７が、走査方向に４列に並んでいる。
４つの第３接続部５６ｂは、４つの電極部列４７に対応して設けられたものであり、搬送方向に延びて各電極部列４７に対応する複数の電極部５６ａの右端部同士を接続する。第４接続部５６ｃは、走査方向に延びて４つの第３接続部５６ｂの搬送方向の上流側の端部同士を接続する。また、第４接続部５６ｃには、走査方向の両端部に、それぞれ、搬送方向の下流側に折れ曲がって延びた引出部５６ｄが設けられている。また、図３（ａ）、（ｂ）、図４、図７（ｂ）に示すように、第１圧電層５１の上面には、各引出部５６ｄと対向する部分に、それぞれ、表面電極６３が配置され、圧電層５１、５２の引出部５６ｄと表面電極６３とに挟まれた部分には、搬送方向に並んだ３つのスルーホール６４が形成されている。これにより、引出部５６ｄは、スルーホール６４を介して第１圧電層５１の上面まで引き出されて表面電極６３と接続されている。
図４、図５に示すように、４つの補助電極５７は、第２圧電層５２と絶縁層５３の間に配置されている。すなわち、第１実施形態では、４つの補助電極５７は、第２導電部５６と同じ面上に配置されている。４つの補助電極５７は、４つの第１接続部５５ｂに対応しており、搬送方向に延び、第１接続部５５ｂと対向している。補助電極５７は、対応する第１接続部５５ｂとほぼ同じ平面形状を有し、第１接続部５５ｂとほぼ完全に上下方向に重なる。ここで、図３（ｂ）に示すように、第１接続部５５ｂの電極部５５ａとの接続部分は、圧力室４０の走査方向における左端部と対向している。これにより、補助電極５７は、圧力室４０の第１接続部５５ｂと対向する部分と対向する。なお、補助電極５７は、電極部５５ａとは対向しない。
また、図３（ｂ）、図４、図７（ａ）、（ｂ）に示すように、補助電極５７の搬送方向の両端部と重なる部分には、それぞれ、第１スルーホール６５が形成されている。これにより、補助電極５７の搬送方向の両端部が、第１スルーホール６５を介して第１接続部５５ｂと接続されている。
また、圧電アクチュエータ２２では、第１圧電層５１の個別電極５４と電極部５５ａとに挟まれた部分が、電極部５５ａから個別電極５４に向かう方向に分極された活性部Ｒ１となっている。また、圧電層５１、５２の、個別電極５４と電極部５６ａとに挟まれた部分が、個別電極５４から電極部５６ａに向かう方向に分極された活性部Ｒ２となっている。
なお、第１実施形態では、個別電極５４、第１導電部５５、第２導電部５６及び補助電極５７の厚みがほぼ同じとなっている。
圧電アクチュエータ２２の上面にはＣＯＦ（Chip On Film）７０が接合されている。２つの表面電極６１及び２つの表面電極６３は、ＣＯＦ７０に形成された図示しない配線を介して、図示しない電源などに接続されている。そして、表面電極６１及び第１導電部５５は、例えば２０Ｖ程度の駆動電位（本発明の「第１電位」）に保持されている。一方、表面電極６３及び第２導電部５６は、グランド電位（本発明の「第２電位」）に保持されている。また、複数の個別接点５４ａは、ＣＯＦ７０に形成された図示しない配線を介して、ＣＯＦ７０上に実装された図示しないドライバＩＣに接続されている。そして、各個別電極５４は、ドライバＩＣにより個別に、駆動電位とグランド電位との間で電位が切り換えられる。
ここで、圧電アクチュエータ２２の動作について説明する。圧電アクチュエータ２２では、上述したように、第１導電部５５が駆動電位に保持され、第２導電部５６がグランド電位に保持されている。また、プリンタ１において印刷を行っていない待機状態において、圧電アクチュエータ２２は、全ての個別電極５４がグランド電位に保持された状態となっている。
この状態では、個別電極５４と電極部５５ａとの間の電位差により、活性部Ｒ１に分極方向と平行な方向の電界が発生する。これにより、活性部Ｒ１がこの電界と直交する面方向に収縮し、圧電層５１、５２及び絶縁層５３の各圧力室４０と対向する部分が、それぞれ圧力室４０側に凸となるように変形する。この状態では、圧電層５１、５２及び絶縁層５３が変形していない場合と比較して、圧力室４０の容積が小さくなっている。
そして、あるノズル４５からインクを吐出させるためには、このノズル４５に対応する個別電極５４の電位を、一旦、駆動電位に切り替え、所定時間経過後、グランド電位に戻す。個別電極５４の電位を駆動電位に切り替えると、個別電極５４と第１導電部５５とが同電位となることで、活性部Ｒ１が収縮前の状態まで伸長する。また、個別電極５４と電極部５６ａとの間の電位差により、活性部Ｒ２に分極方向と平行な方向の電界が発生するし、活性部Ｒ２が面方向に収縮する。これにより、圧電層５１、５２及び絶縁層５３の圧力室４０と対向する部分が、圧力室４０と反対側に凸となるように変形し、圧力室４０の容積が増加する。このとき、圧力室４０内のインクの圧力が低下することで、絞り流路４２を介してマニホールド流路４１から圧力室４０にインクが流れ込む。
この後、個別電極５４の電位をグランド電位に戻すと、個別電極５４と第２導電部５６とが同電位となることで、活性部Ｒ２が収縮前の状態まで面方向に伸長する。また、個別電極５４と第１導電部５５との電位差により、活性部Ｒ１がその面方向に収縮する。これにより、上述したのと同様、圧電層５１、５２及び絶縁層５３の圧力室４０と対向する部分が圧力室４０側に凸となるように変形し、圧力室４０の容積が小さくなる。これにより、圧力室４０内のインクの圧力が上昇し、圧力室４０に連通するノズル４５からインクが吐出される。
また、圧電アクチュエータ２２をこのように駆動した場合には、個別電極５４の電位をグランド電位から駆動電位に切り換えたときに、活性部Ｒ１の伸長と活性部Ｒ２の収縮とが互いに吸収し合う。また、個別電極５４の電位を駆動電位からグランド電位に切り換えたときに、活性部Ｒ１の収縮と活性部Ｒ２の伸長とが互いに吸収し合う。これにより、
圧電層５１、５２及び絶縁層５３のある圧力室４０と対向する部分の変形が、別の圧力室４０と対向する部分に伝達して、当該部分の変形に影響を与えるいわゆるクロストークを防止することができる。
ここで、上述したように、圧電アクチュエータ２２を駆動するために、個別電極５４の電位をグランド電位から駆動電位に切り換えたとき、及び、駆動電位からグランド電位に切り換えたときには、対応する電極部５５ａ、５６ａに電流が流れる。このとき、第１接続部５５ｂから電極部５５ａに電荷が供給され、第３接続部５６ｂから電極部５６ａに電荷が供給される。ここで、第１実施形態では、個別電極５４と電極部５５ａとの距離が、個別電極５４と電極部５６ａとの距離よりも小さいため、活性部Ｒ１の静電容量が活性部Ｒ２の静電容量よりも大きい。そのため、上述したように個別電極５４の電位を切り換えたときに電極部５５ａに電極部５６ａよりも大きな電流が流れ、第１接続部５５ｂから電極部５５ａに供給される電荷が、第３接続部５６ｂから電極部５６ａに供給される電荷よりも多くなる。このとき、例えば、多数のノズル４５から同時にインクを吐出させるために多数の個別電極５４の電位を一度に切り換えると、少なくとも一部の電極部５５ａにおいて第１接続部５５ｂからの電荷の供給が遅れる虞がある。電極部５５ａへの電荷の供給が遅れると、ノズル４５からのインクの吐出不良が生じる虞がある。第１接続部５５ｂの面積を大きくすれば、第１接続部５５ｂから電極部５５ａに供給可能な電荷を増やすことはできるが、この場合には、第１接続部５５ｂの面積を大きくする分、圧電アクチュエータ２２が大型化してしまう虞がある。
これに対して、第１実施形態では、第１接続部５５ｂと対向する補助電極５７を設け、第１スルーホール６５を介して第１接続部５５ｂと補助電極５７とを導通させている。これにより、電極部５５ａに電流が流れるときには、第１接続部５５ｂ内の電荷と補助電極５７内の電荷とが電極部５５ａに供給される。したがって、電極部５５ａへの電荷の供給が遅れてしまうのを防止することができる。また、第１実施形態では、補助電極５７が第１接続部５５ｂと対向するように配置されるため、補助電極５７を設けることによって、圧電アクチュエータ２２が走査方向及び搬送方向に大型化することもない。
また、第１実施形態の場合、第２接続部５５ｃが４つの第１接続部５５ｂの搬送方向の下流側の端部同士を接続しているのに対して、補助電極５７が、第１接続部５５ｂの補助電極５７の搬送方向の下流側（第２接続部５５ｃ側）の端部に、第１スルーホール６５を介して接続している。これにより、補助電極５７が、第１接続部５５ｂの第２接続部５５ｃに近い部分と接続されるため、電源から補助電極５７に電荷が供給されやすい。したがって、補助電極５７から電極部５５ａへ効率よく電荷を供給することができる。その結果、第１接続部５５ｂの電極部５５ａへの電荷の供給が遅れてしまうのを効果的に防止することができる。
さらに、第１実施形態では、補助電極５７が、第１接続部５５ｂの搬送方向の上流側（第２接続部５５ｃと反対側）の端部に、第１スルーホール６５を介して接続している。これにより、補助電極５７から電極部５５ａにさらに電荷が供給されやすくなり、電極部５５ａへの電荷の供給の遅れをより効果的に防止することができる。
また、第１実施形態では、絶縁層５３の、第１接続部５５ｂと補助電極５７とに挟まれた部分に第１スルーホール６５を設けることにより、第１接続部５５ｂと補助電極５７とを容易に接続することができる。
また、第１実施形態では、第１導電部５５が４つの第１接続部５５ｂを有しているのに対して、４つの第１接続部５５ｂに対応する４つの補助電極５７を設けている。これにより、各第１接続部５５ｂに接続された電極部５５ａへの電荷の供給が遅れてしまうのを効果的に防止することができる。第１実施形態の場合、第２接続部５５ｃの走査方向の両端部が第２スルーホール６２を介して表面電極６１と接続されているため、走査方向の中央に位置する第１接続部５５ｂに接続された電極部５５ａほど電荷の供給の遅れが生じやすい。したがって、第１実施形態では、走査方向の中央に位置する第１接続部５５ｂに対して補助電極５７を設けることは、電極部５５ａへの電荷の供給の遅れを防止する効果が特に高い。
また、第１実施形態では、第２導電部５６と補助電極５７とが、第２圧電層５２と絶縁層５３との間に配置されている。これにより、第２導電部５６と補助電極５７とを同一のプロセスで形成することができ、圧電アクチュエータ２２の製造工程を簡単にすることができる。
また、第１実施形態では、補助電極５７が、圧力室４０の第１接続部５５ｂと対向する部分と対向している。これにより、圧電アクチュエータ２２の圧力室４０と対向する部分の強度を高くすることができる。一方で、補助電極５７は、電極部５５ａとは対向しない。これにより、圧電アクチュエータ２２を駆動したときの圧電層５１、５２及び絶縁層５３の変形を極力阻害しないようにすることができる。
［第２実施形態］
次に、本発明の好適な第２実施形態について説明する。第２実施形態では、補助電極の配置等が第１実施形態と異なるだけであるので、以下では、主に第１実施形態と異なる部分について説明する。
第２実施形態では、図８、図９に示すように、圧電アクチュエータ１００において、第２圧電層５２と絶縁層５３との間に補助電極１０１が配置されている。補助電極１０１は、４つの対向部１０１ａと、接続部１０１ｂとを有する。４つの対向部１０１ａは、第１導電部５５の４つの第１接続部５５ｂに対応しており、搬送方向に延びて第１接続部５５ｂと対向している。対向部１０１ａは、対応する第１接続部５５ｂとほぼ同じ平面形状を有し、第１接続部５５ｂとほぼ完全に上下方向に重なる。これにより、対向部１０１ａは、圧力室４０の第１接続部５５ｂと対向する部分と対向する。なお、対向部１０１ａは、電極部５５ａとは対向しない。
接続部１０１ｂは、走査方向に延びて、４つの対向部１０１ａの搬送方向の下流側の端部同士を接続している。また、接続部１０１ｂの走査方向の両端部には、それぞれ、搬送方向の上流側に折れ曲がって、搬送方向における表面電極６１と表面電極６３との間の位置まで延びた引出部１０１ｃが設けられている。なお、第２実施形態では、第１実施形態とは異なり、補助電極１０１は、第１導電部５５とは接続されていない。
また、引出部１０１ｃに対応して、第１圧電層５１の上面には、搬送方向における表面電極６１と表面電極６３との間に位置する部分に、引出部１０１ｃと対向する表面電極１０２が配置されている。圧電層５１、５２の表面電極１０２と引出部１０１ｃとに挟まれた部分には、それぞれ、搬送方向に並んだ３つのスルーホール１０３が形成されており、これにより、補助電極１０１と表面電極１０２とがスルーホール１０３を介して接続されている。また、表面電極１０２は、ＣＯＦ７０と接続されており、ＣＯＦ７０に形成された図示しない配線を介して、図示しない電源などに接続されている。そして、補助電極１０１は、例えば１０Ｖ程度の、駆動電位とグランド電位との間の電位（本発明の「第３電位」）に保持されている。
ここで、第２実施形態でも、第１実施形態と同様、圧電アクチュエータ１００を駆動するために、個別電極５４の電位を切り換えたときに、第１接続部５５ｂから電極部５５ａへの電荷の供給が遅れる虞がある。
これに対して、第２実施形態では、第１接続部５５ｂと対向する補助電極１０１を設け、補助電極１０１を、駆動電位とグランド電位との間の第３電位に保持している。これにより、駆動電位に保持された第１接続部５５ｂと、第３電位に保持された補助電極１０１との電位差により、図１０に示すように、第１接続部５５ｂと接続部１０１ａとの間に電荷が蓄えられる。なお、図１０では、「Ｖ１」が駆動電位（第１電位）を示しており、「Ｖ３」が第３電位を示している。そして、電極部５５ａに電流が流れるときには、第１接続部５５ｂ内の電荷と、第１接続部５５ｂと補助電極１０１との間に蓄えられた電荷とが電極部５５ａに供給される。したがって、電極部５５ａへの電荷の供給が遅れてしまうのを防止することができる。また、第２実施形態でも、補助電極１０１の対向部１０１ａが第１接続部５５ｂと対向するように配置されるため、補助電極１０１を設けることによって、圧電アクチュエータが走査方向及び搬送方向に大型化することもない。
ここで、第２実施形態と異なり、第１導電部５５と補助電極１０１との電位差が大きすぎると、絶縁層５３にクラックが生じたときに、第１接続部５５ｂと補助電極１０１とがショートしてしまう虞がある。より詳細に説明すると、絶縁層５３に、駆動電位に保持された第１導電部５５とグランド電位に保持された第２導電部５６とをショートさせることのない程度の小さなクラックが生じたときに、第１導電部５５と補助電極１０１との電位差が、第１導電部５５と第２導電部５６との電位差よりも大きいと、第１接続部５５ｂと補助電極１０１とがショートしてしまう虞がある。これに対して、第２実施形態では、補助電極１０１を駆動電位とグランド電位との間の電位としている。これにより、絶縁層５３にクラックが生じたときに第１接続部５５ｂと補助電極１０１とがショートしてしまうのを防止することができる。
また、第２実施形態では、第１導電部５５が４つの第１接続部５５ｂを有しているのに対して、補助電極１０１が、４つの第１接続部５５ｂに対応する４つの対向部１０１ａを有している。これにより、各第１接続部５５ｂに接続された電極部５５ａへの電荷の供給が遅れてしまうのを防止することができる。また、第２実施形態の場合にも、走査方向の中央に位置する第１接続部５５ｂに対して補助電極１０１の対向部１０１ａを設けることは、電極部５５ａへの電荷の供給の遅れを防止する効果が特に高い。
また、第２実施形態では、対向部１０１ａが、圧力室４０の第１接続部５５ｂと対向する部分と対向している。これにより、圧電アクチュエータの圧力室４０と対向する部分の強度を高くすることができる。一方で、対向部１０１ａは、電極部５５ａとは対向しない。これにより、圧電アクチュエータを駆動したときの圧電層５１、５２及び絶縁層５３の変形を極力阻害しないようにすることができる。
また、第２実施形態では、第２導電部５６と補助電極１０１とが、第２圧電層５２と絶縁層５３との間に配置されている。これにより、第２導電部５６と補助電極１０１とを同一のプロセスで形成することができ、圧電アクチュエータの製造工程を簡単にすることができる。
［第３実施形態］
次に、本発明の好適な第３実施形態について説明する。第３実施形態では、補助電極の配置等が第１、第２実施形態と異なるだけであるので、以下では、主に第１、第２実施形態と異なる部分について説明する。
第３実施形態では、図１１〜図１３に示すように、圧電アクチュエータ１１０が、第１、第２実施形態と同様の圧電層５１、５２及び絶縁層５３に加えて、絶縁層５３と流路ユニット２１との間に配置された絶縁層１１１を備えている。なお、絶縁層１１１は、絶縁層５３と同様の絶縁性材料からなるものである。また、第３実施形態では、圧電層５１、５２と絶縁層５３、１１１を合わせたものが、本発明の「積層体」に相当する。
そして、第３実施形態では、絶縁層５３と絶縁層１１１との間（絶縁層５３の第２圧電層５２と反対側の面）に、補助電極１１２が配置されている。補助電極１１２は、４つの対向部１１２ａと接続部１１２ｂとを有する。４つの対向部１１２ａは、第１導電部５５の４つの第１接続部５５ｂに対応しており、第１接続部５５ｂと対向している。対向部１１２ａは、対応する第１接続部５５ｂとほぼ同じ平面形状を有し、第１接続部５５ｂとほぼ完全に上下方向に重なる。これにより、対向部１１２ａは、圧力室４０の第１接続部５５ｂと対向する部分と対向する。なお、対向部１１２ａは、電極部５５ａとは対向しない。
接続部１１２ｂは、走査方向に延びて４つの対向部１１２ａの搬送方向における上流側の端部同士を接続している。また、接続部１１２ｂの走査方向の両端部には、それぞれ、搬送方向の下流側に折れ曲がって延びた引出部１１２ｃが設けられている。これにより、接続部１１２ｂは、第２導電部５６の接続部５６ｃのほぼ全体と対向している。なお、第３実施形態では、第１実施形態とは異なり、補助電極１１２は、第１導電部５５とは接続されていない。
圧電層５１、５２及び絶縁層５３の、各引出部５６ｄ、引出部１１２ｃ、及び、表面電極６３と重なる部分には、搬送方向に並んだ３つのスルーホール１１３が形成されており、これにより、補助電極１１２がスルーホール１１３を介して第２導電部５６及び表面電極６３と接続され、グランド電位に保持される。
ここで、第１、第２実施形態と同様、圧電アクチュエータ１１０を駆動するために、個別電極５４の電位を切り換えたときに、電極部５５ａにおいて第１接続部５５ｂからの電荷の供給が遅れる虞がある。
これに対して、第３実施形態では、第１接続部５５ｂと対向する補助電極１１２を設け、補助電極１１２を、グランド電位に保持している。これにより、第１接続部５５ｂと補助電極１１２との電位差により、第１接続部５５ｂと補助電極１１２との間に電荷が蓄えられる。そして、電極部５５ａに電流が流れるときには、第１接続部５５ｂ内の電荷と、第１接続部５５ｂと補助電極１１２との間に蓄えられた電荷とが電極部５５ａに供給される。したがって、電極部５５ａへの電荷の供給が遅れてしまうのを防止することができる。また、第３実施形態でも、補助電極１１２の対向部１１２ａが第１接続部５５ｂと対向するように配置されるため、補助電極１１２を設けることによって、圧電アクチュエータ１１０が走査方向及び搬送方向に大型化することもない。
ここで、第３実施形態では、第１導電部５５と補助電極１１２との電位差が、第１導電部５５と第２導電部５６との電位差と同じである。そのため、第１接続部５５ｂと補助電極１１２との距離が、第１導電部５５と第２導電部５６との距離よりも小さいと、第２圧電層５２や絶縁層５３にクラックが生じたときに、第１接続部５５ｂと補助電極１１２とがショートしてしまう虞がある。これに対して、第３実施形態では、補助電極１１２を、第２導電部５６よりも第１導電部５５から離れた絶縁層５３と絶縁層１１１との間に配置している。これにより、第２圧電層５２や絶縁層５３にクラックが生じたときに、第１接続部５５ｂと補助電極１１２とがショートしてしまうのを防止することができる。
また、第３実施形態では、第１導電部５５が４つの第１接続部５５ｂを有しているのに対して、補助電極１１２が４つの第１接続部５５ｂに対応する４つの対向部１１２ａを有している。これにより、各第１接続部５５ｂに接続された電極部５５ａへの電荷の供給が遅れてしまうのを確実に防止することができる。また、第３実施形態の場合にも、第１、第２実施形態の場合と同様、走査方向の中央に位置する第１接続部５５ｂに対して補助電極１１２の対向部１１２ａを設けることは、電極部５５ａへの電荷の供給の遅れを防止する効果が特に高い。
また、第３実施形態では、対向部１１２ａが、圧力室４０の第１接続部５５ｂと対向する部分と対向している。これにより、圧電アクチュエータ１１０の圧力室４０と対向する部分の強度を高くすることができる。一方で、対向部１１２ａは、電極部５５ａとは対向しない。これにより、圧電アクチュエータ１１０を駆動したときの圧電層５１、５２及び絶縁層５３、１１１の変形を極力阻害しないようにすることができる。
次に、第１〜第３実施形態に種々の変形を加えた変形例について説明する。
第１実施形態では、個別電極５４、第１導電部５５、第２導電部５６及び補助電極５７の厚みが全て同じであったが、これには限られない。変形例１では、図１４（ａ）、（ｂ）に示すように、圧電アクチュエータ１１５において、第１導電部１１６の厚みＤ１及び補助電極１１７の厚みＤ３が、第２導電部１１８の厚みＤ２の半分程度となっており、厚みＤ１と厚みＤ３との合計が、厚みＤ２とほぼ同じとなっている。なお、個別電極１１９の厚みは、例えば、第１導電部１１６の厚みＤ１や補助電極１１７の厚みＤ３と同じである。
変形例１では、第１導電部１１６の電極部１１６ａの厚みＤ１を薄くすることで、圧電アクチュエータの圧力室４０の中央部と対向する部分の剛性を小さくすることができる。これにより、圧電アクチュエータ１１５を駆動したときの圧電層５１、５２及び絶縁層５３の変形量を大きくすることができる。
ここで、第１導電部１１６の厚みＤ１を薄くすると、第１導電部１１６内の電荷の量が少なくなり、第１接続部１１６ｂから電極部１１６ａに供給可能な電荷の量が少なくなる。しかしながら、変形例１では、第１接続部１１６ｂに補助電極１１７が接続されており、第１接続部１１６ｂ内の電荷と補助電極５７内の電荷とを電極部１１６ａに供給することができるため、電極部１１６ａへの電荷の供給が遅れてしまうのを防止することができる。
また、変形例１では、厚みＤ１と厚みＤ３との合計が、厚みＤ２とほぼ同じとなるようにしている。これにより、補助電極１１７がなく、厚みＤ１が厚みＤ２とほぼ同じであるとした場合に、第１接続部１１６ｂから電極部１１６ａに供給可能な電荷と同程度の電荷を、第１接続部１１６ｂ及び補助電極１１７から電極部１１６ａに供給することができる。
また、変形例１では、第１導電部１１６及び補助電極１１７の厚みＤ１、Ｄ３が、いずれも第２導電部１１８の厚みＤ２の半分程度となっていたが、これには限られない。例えば、厚みＤ１と厚みＤ３とが異なっており、厚みＤ１と厚みＤ３との合計が厚みＤ２とほぼ同じとなっていてもよい。このとき、厚みＤ１を薄くし、厚みＤ３を厚くすると、圧電アクチュエータ１１５の圧力室４０と対向する部分の剛性が小さくなるため、圧電アクチュエータ１１５を駆動したときの圧電層５１、５２及び絶縁層５３の変形量を大きくすることができる。一方、厚みＤ１を厚くして厚みＤ３を薄くすると、補助電極１１７よりも電極部１１６ａに近い第１接続部１１６ｂから電極部１１６ａに供給可能な電荷の量を多くすることができる。これにより、電極部１１６ａへの電荷の供給が遅れてしまうのを防止することができる。
さらには、第１導電部１１６の厚みＤ１と補助電極１１７の厚みＤ３との合計は、第２導電部１１８の厚みＤ２と異なっていてもよい。この場合でも、第１導電部１１６の厚みＤ１を第２導電部１１８の厚みＤ２よりも薄くすれば、圧電アクチュエータの圧力室４０と対向する部分の剛性が小さくなるため、圧電アクチュエータを駆動したときの圧電層５１、５２及び絶縁層５３の変形量を大きくすることができる。また、補助電極１１７を設けることにより、第１接続部１１６ｂと補助電極１１７からの電極部１１６ａに電荷を供給することができるため、電極部１１６ａへの電荷の供給が遅れてしまうのを防止することができる。
また、ここでは第１実施形態に対応する第１導電部、第２導電部及び補助電極の厚みの関係について説明したが、第２実施形態及び第３実施形態における第１導電部、第２導電部及び補助電極の厚みの関係についても同様である。
また、第１実施形態では、第１導電部５５が４つの第１接続部５５ｂを有しているのに対して、各第１接続部５５ｂに対して個別に補助電極５７を設けたが、これには限られない。例えば、４つの第１接続部５５ｂのうち、第２スルーホール６２から離れた、走査方向の中央に位置する２つの第１接続部５５ｂに対してのみ、補助電極５７を設けてもよい。同様に、第２、第３実施形態において、例えば、４つの第１接続部５５ｂのうち、第２スルーホール６２から離れた、走査方向の中央に位置する２つの第１接続部５５ｂに対してのみ、補助電極１０１、１１２の対向部１０１ａ、１１２ａを設けてもよい。
また、第１実施形態と異なり、例えば、第２接続部５５ｃが走査方向の一方の端部においてのみ第２スルーホール６２と接続されている場合に、４つの第１接続部５５ｂのうち、第２スルーホール６２から離れた、走査方向の他方側の一部の第１接続部５５ｂに対してのみ、補助電極５７を設けてもよい。同様に、第２、第３実施形態において、例えば、第２接続部５５ｃが走査方向の一方の端部においてのみ第２スルーホール６２と接続されている場合に、４つの第１接続部５５ｂのうち、第２スルーホール６２から離れた、走査方向の他方側の一部の第１接続部５５ｂに対してのみ、補助電極１０１、１１２の対向部１０１ａ、１１２ａを設けてもよい。
また、第１実施形態では、補助電極５７が、第１接続部５５ｂの搬送方向の両端部と、第１スルーホール６５を介して接続されていたが、これには限られない。例えば、補助電極５７は、第１接続部５５ｂの搬送方向の下流側（第２接続部５５ｃ側）の端部においてのみ、第１スルーホール６５を介して接続されていてもよい。この場合でも、補助電極５７が、第１接続部５５ｂの第２接続部５５ｃに近い部分と接続されているため、電源から補助電極５７に電荷が供給されやすい。したがって、補助電極５７から電極部５５ａへ効率よく電荷を供給することができる。これにより、第１接続部５５ｂの電極部５５ａへの電荷の供給が遅れてしまうのを効果的に防止することができる。
あるいは、第１接続部５５ｂは、第２接続部５５ｃと接続されているのと反対側の、搬送方向の上流側の端部においてのみ、第１スルーホール６５を介して補助電極５７と接続されていてもよい。さらには、第１接続部５５ｂの搬送方向の中央部など、搬送方向の端部以外の部分が第１スルーホールを介して第１接続部５５ｂと補助電極５７とが接続されていてもよい。
さらには、第１接続部５５ｂと補助電極５７とは第１スルーホールを介して接続されていることにも限られない。例えば、絶縁層５３の側面に導電部を設け、この導電部を介して第１接続部５５ｂの搬送方向における端部と補助電極５７とを接続してもよい。
また、第２実施形態では、補助電極１０１の電位を、駆動電位とグランド電位との間の電位としたが、これには限られない。補助電極１０１の電位を駆動電位よりも高い電位としてもよいし、グランド電位よりも低い電位としてもよい。
また、第１〜第３実施形態では、第１導電部５５を駆動電位に保持し、第２導電部５６をグランド電位に保持したが、これには限られない。例えば、第１導電部５５をグランド電位に保持し、第２導電部５６を駆動電位に保持するなど、第１導電部５５を第１〜第３実施形態とは別の第１電位に保持し、第２導電部５６を第１〜第３実施形態とは別の電位であって、第１電位とは異なる第２電位に保持してもよい。
この場合、第２実施形態において、補助電極１０１の電位を第１電位と第２電位との間の電位とすれば、第２実施形態において説明したのと同様、補助電極１０１と第１接続部５５ｂとがショートしてしまうのを防止することができる。あるいは、この場合、第２実施形態において、補助電極１０１の電位を第１電位、第２電位、及び、第１電位と第２電位との間の電位のいずれとも異なる電位に保持してもよい。
また、第１、第２実施形態では、補助電極５７、１０１を、第２導電部５６と同じ面に配置したが、補助電極５７、１０１を第２導電部５６は異なる面に配置されていてもよい。例えば、補助電極５７、１０１を、第１圧電層５１の上面に配置してもよい。
また、第３実施形態では、補助電極１１２が、第２導電部５６よりも下方の、絶縁層５３と絶縁層１１１との間に配置されていたが、補助電極１１２はこれとは別の面に配置されていてもよい。例えば、補助電極１１２は、第１圧電層５１の上面に配置されていてもよい。
また、第１導電部５５と補助電極５７、１０１、１１２との位置関係は、第１〜第３実施形態で説明したものには限られない。変形例２の圧電アクチュエータ１２０では、図１５に示すように、第１実施形態において、補助電極１２１が、第１導電部５５の接続部５５ｂ、５５ｃ（図３（ｂ）参照）を合わせたものとほぼ同じ平面形状を有し、接続部５５ｂ、５５ｃと補助電極１２１とが完全に重なる。
また、変形例２では、補助電極１２１のうち、各第１接続部５５ｂに対応する部分１２１ａの搬送方向の両端部が、第２圧電層５２に形成された第１スルーホール１２２ａを介して第１接続部５５ｂと接続されている。また、補助電極１２１のうち、各引出部５５ｄと対向する部分１２１ｂが、第２圧電層５２に形成された第１スルーホール１２２ｂを介して引出部５５ｄと接続されている。変形例２の場合には、補助電極１２１の面積が、接続部５５ｂ、５５ｃの面積の合計とほぼ同じとなり、第１接続部５５ｂ及び補助電極１２１から電極部５５ａに十分な電荷を供給することができる。
また、変形例３の圧電アクチュエータ１２５では、図１６に示すように、第１実施形態において、補助電極１２６は、第１導電部５５の各第１接続部５５ｂ（図３（ｂ）参照）に対応する部分が、変形例２の補助電極１２１よりも若干大きい。そして、補助電極１２６の各第１接続部５５ｂに対応する部分１２６ａは、それぞれ、第１接続部５５ｂと対向する位置よりも走査方向の左側まで延びている。なお、部分１２６ａは、第１接続部５５ｂと対向する位置よりも走査方向の右側には延びておらず、電極部５５ａとは対向しない。なお、補助電極１２６の部分１２６ａ以外の部分については、補助電極１２１と同様である。また、図１６では、補助電極１２６と第１導電部５５との位置関係をわかりやすくするために、第１導電部５５の位置を二点鎖線で示している。
また、変形例３では、補助電極１２６のうち、各第１接続部５５ｂに対応する部分１２６ａの搬送方向の両端部が、第２圧電層５２に形成された第１スルーホール１２７ａを介して第１接続部５５ｂと接続されている。また、補助電極１２６のうち、各引出部５５ｄと対向する部分１２６ｂが、第２圧電層５２に形成された第１スルーホール１２７ｂを介して引出部５５ｄと接続されている。変形例３の場合には、補助電極１２６の面積が、第１接続部５５ｂ、５５ｃの面積の合計よりも大きくなり、第１接続部５５ｂ及び補助電極１２６から電極部５５ａに、変形例２の場合よりもさらに十分な電荷を供給することができる。
また、第２、第３実施形態においても、変形例２と同様に、補助電極が接続部５５ｂ、５５ｃと完全に重なっていてもよいし、変形例３と同様に、補助電極が第１接続部５５ｂに対応する部分が、第１接続部５５ｂよりも外側まで延びていてもよい。
また、第１〜第３実施形態では、ノズル列３８が走査方向に４列に配列されているのに対応して、個別電極列４９及び電極部列４８、４７が、走査方向に４列に配列されていたが、これには限られない。インクジェットヘッド３においてノズル列３８が１〜３列、あるいは５列以上に配列され、これに対応して、個別電極列４９及び電極部列４８、４７が、走査方向に１〜３列あるいは５列以上に配列されていてもよい。この場合には、電極部列４８の数合わせて、補助電極５７や、補助電極１０１、１１２の対向部１０１ａ、１１２ａを設ければよい。
また、第１〜第３実施形態では、補助電極５７や、補助電極１０１、１１２の対向部１０１ａ、１１２ａが、圧力室４０の第１接続部５５ｂと対向する部分と対向し、且つ、電極部５５ａとは対向しないように配置されていたが、これには限られない。例えば、補助電極５７や、補助電極１０１、１１２の対向部１０１ａ、１１２ａが、電極部５５ａの第１接続部５５ｂ近傍の一部分と対向していてもよい。あるいは、補助電極５７や、補助電極１０１、１１２の対向部１０１ａ、１１２ａは、圧力室４０と対向しない位置にのみ配置されていてもよい。
また、以上の例では、第１導電部５５の電極部５５ａが個別電極５４の搬送方向の中央部と対向し、第２導電部５６の電極部５６ａが個別電極５４の搬送方向の両端部と対向していたが、これには限られない。第１導電部の電極部が個別電極の搬送方向の中央部以外の部分と対向し、第２導電部の電極部が個別電極の搬送方向の両端部以外の部分と対向していてもよい。例えば、第１〜第３実施形態とは逆に、第１導電部の電極部が個別電極５４の搬送方向の両端部と対向し、第２導電部の電極部が個別電極５４の搬送方向の中央部と対向していてもよい。
また、以上では、ノズルからインクを吐出するインクジェットヘッドに本発明を適用した例について説明したが、これには限られない。ノズルからインク以外の液体を吐出するインクジェットヘッド以外の液体吐出装置や、インクジェットヘッド以外の液体吐出装置に用いられる圧電アクチュエータに本発明を適用することも可能である。さらには、液体吐出装置以外の装置に用いられる圧電アクチュエータに本発明を適用することも可能である。
２１ 流路ユニット
２２ 圧電アクチュエータ
４０ 圧力室
４５ ノズル
４８ 電極部列
４９ 個別電極列
５１ 第１圧電層
５２ 第２圧電層
５３ 絶縁層
５４ 個別電極
５５ 第１導電部
５５ａ 電極部
５５ｂ 第１接続部
５５ｃ 第２接続部
５６ 第２導電部
５７ 補助電極
６３ 第２スルーホール
６５ 第１スルーホール
１００ 圧電アクチュエータ
１０１ 補助電極
１１０ 圧電アクチュエータ
１１２ 補助電極
１１５、１２０、１２５ 圧電アクチュエータ
１１６ 第１導電部
１１７ 補助電極
１１８ 第２導電部
１１９ 個別電極
１２１ 補助電極
１２２ａ、１２２ｂ 第１スルーホール
１２６ 補助電極
１２７ａ、１２７ｂ 第１スルーホール

Claims (19)

  1. 互いに接合された第１圧電層と第２圧電層とを含む積層体と、
    前記第１圧電層の前記第２圧電層と反対側の面に配置された複数の個別電極と、
    前記第１圧電層と前記第２圧電層との間に配置され、前記複数の個別電極の一部分と対向する複数の電極部と、前記複数の電極部を互いに接続させる接続部とを有し、所定の第１電位に保持される第１導電部と、
    前記第２圧電層の前記第１圧電層と反対側の面に配置され、前記複数の個別電極の前記一部分とは別の部分と対向し、前記第１電位とは異なる第２電位に保持される第２導電部と、
    前記積層体の、前記第１圧電層と前記第２圧電層との間とは異なる部分に、前記接続部と対向するように配置され、前記接続部と接続された補助電極と、
    前記複数の個別電極が所定の配列方向に沿って配列されることによって形成された個別電極列と、
    前記複数の電極部が前記配列方向に沿って配列されることによって形成された、前記個別電極列に対応する電極部列と、を備えており、
    前記接続部は、
    前記配列方向に延びて前記電極部同士を接続する第１接続部と、
    前記第１接続部の前記配列方向の一方側の端部と接続された第２接続部と、を有し、
    前記第１圧電層の前記第２接続部と対向する部分に、前記接続部を前記第１圧電層の前記第２圧電層と反対側に引き出すための第２スルーホールが形成され、
    前記第１接続部と対向する前記補助電極を備え、
    前記第１接続部の前記第２接続部側の端部が、前記補助電極に接続されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
  2. 前記接続部と前記補助電極とが、前記積層体の前記接続部と前記補助電極とに挟まれた部分に形成された第１スルーホールを介して接続されていることを特徴とする請求項１に記載の圧電アクチュエータ。
  3. 前記配列方向と直交する方向に並ぶ複数の前記個別電極列と、
    前記配列方向と直交する方向に並ぶ複数の前記電極部列と、を備え、
    前記接続部が、
    前記配列方向と直交する方向に並ぶ複数の前記第１接続部と、
    前記配列方向と直交する方向に延びて、複数の前記第１接続部の前記配列方向の前記一方側の端部同士を接続する前記第２接続部と、を有し、
    複数の前記第１接続部と対向する複数の前記補助電極を備え、
    各第１接続部の前記第２接続部側の端部が、前記補助電極に接続されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の圧電アクチュエータ。
  4. 前記第１接続部の前記配列方向の両端部が、それぞれ、前記補助電極に接続されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
  5. 互いに接合された第１圧電層と第２圧電層とを含む積層体と、
    前記第１圧電層の前記第２圧電層と反対側の面に配置された複数の個別電極と、
    前記第１圧電層と前記第２圧電層との間に配置され、前記複数の個別電極の一部分と対向する複数の電極部と、前記複数の電極部を互いに接続させる接続部とを有し、所定の第１電位に保持される第１導電部と、
    前記第２圧電層の前記第１圧電層と反対側の面に配置され、前記複数の個別電極の前記一部分とは別の部分と対向し、前記第１電位とは異なる第２電位に保持される第２導電部と、
    前記積層体の、前記第１圧電層と前記第２圧電層との間とは異なる部分に前記接続部と対向するように配置され、前記第１電位及び前記第２電位のいずれとも異なる第３電位に保持される補助電極と、を備えていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
  6. 前記第３電位は、前記第１電位と前記第２電位との間の電位であることを特徴とする請求項５に記載の圧電アクチュエータ。
  7. 前記補助電極は、前記第２圧電層の前記第１圧電層と反対側の面に配置されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
  8. 互いに接合された第１圧電層と第２圧電層とを含む積層体と、
    前記第１圧電層の前記第２圧電層と反対側の面に配置された複数の個別電極と、
    前記第１圧電層と前記第２圧電層との間に配置され、前記複数の個別電極の一部分と対向する複数の電極部と、前記複数の電極部を互いに接続させる接続部とを有し、所定の第１電位に保持される第１導電部と、
    前記第２圧電層の前記第１圧電層と反対側の面に配置され、前記複数の個別電極の前記一部分とは別の部分と対向し、前記第１電位とは異なる第２電位に保持される第２導電部と、
    前記積層体の、前記第１圧電層と前記第２圧電層との間、及び、前記第２圧電層の前記第１圧電層と反対側の面のいずれとも異なる部分に、前記接続部と対向するように配置され、前記第２導電部と接続された補助電極と、を備えていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
  9. 前記積層体が、前記第２圧電層の前記第１圧電層と反対側の面に接合された絶縁層、をさらに含み、
    前記補助電極は、前記絶縁層の前記第２圧電層と反対側の面に配置されていることを特徴とする請求項８に記載の圧電アクチュエータ。
  10. 前記第１導電部は、前記第２導電部及び前記補助電極のうち少なくとも片方よりも薄いことを特徴とする請求項１〜９のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
  11. 前記第１導電部及び補助電極は、前記第２導電部よりも薄いことを特徴とする請求項１０に記載の圧電アクチュエータ。
  12. 前記第２導電部の厚みが、前記第１導電部の厚みと前記補助電極の厚みとを合わせた厚みであることを特徴とする請求項１１に記載の圧電アクチュエータ。
  13. 前記第１圧電層に、前記接続部を前記第１圧電層の前記第２圧電層と反対側に引き出すための第２スルーホールが形成され、
    前記補助電極は、前記接続部のうち、前記第２スルーホールとの接続部分から離れた部分と対向することを特徴とする請求項１〜１２のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
  14. 前記複数の個別電極が所定の配列方向に沿って配列されることによってそれぞれ形成され、前記配列方向と直交する方向に並んだ複数の個別電極列と、
    前記複数の電極部が前記配列方向に沿って配列されることによってそれぞれ形成され、前記配列方向と直交する方向に並んだ、前記複数の個別電極列に対応する複数の電極部列と、を備え、
    前記接続部は、
    それぞれが前記配列方向に延びて前記電極部同士を接続し、前記配列方向と直交する方向に並んだ複数の第１接続部と、
    前記配列方向と直交する方向に延びて、前記複数の第１接続部同士を接続する第２接続部と、を有し、
    前記補助電極は、前記複数の第１接続部のうち、前記第２スルーホールとの接続部分から離れた第１接続部と対向することを特徴とする請求項１３に記載の圧電アクチュエータ。
  15. 前記第１圧電層の、前記第２接続部の前記配列方向と直交する方向の両端部と対向する部分に、それぞれ、前記第２スルーホールが形成され、
    前記補助電極は、前記複数の第１接続部のうち、少なくとも、前記配列方向と直交する方向の中央に位置する前記第１接続部と対向することを特徴とする請求項１４に記載の圧電アクチュエータ。
  16. 前記補助電極は、前記接続部の全体と対向することを特徴とする請求項１〜１５のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
  17. 前記補助電極は、前記接続部と対向する位置よりも外側の位置まで延びていることを特徴とする請求項１６に記載の圧電アクチュエータ。
  18. 複数のノズルと、前記複数のノズルに連通する複数の圧力室を有する流路ユニットと、
    前記複数の圧力室内の液体に圧力を付与する、請求項１〜１７のいずれかに記載の圧電アクチュエータと、を備え、
    前記圧電アクチュエータは、
    前記個別電極と前記電極部とが対向する部分、前記個別電極と前記第２導電部とが対向する部分、及び、前記接続部の前記電極部との接続部分が、前記圧力室と対向しており、
    前記補助電極が、前記圧力室の前記接続部と対向する部分と対向することを特徴とする液体吐出装置。
  19. 前記補助電極が、前記電極部とは対向しないことを特徴とする請求項１８に記載の液体吐出装置。
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