JP6984964B1 - 表面形状検査装置及び表面形状検査方法 - Google Patents

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Abstract

対象物の微細な表面形状の異常を検出可能な表面形状検査装置及び表面形状検査方法を提供する。表面形状検査装置100は、対象物200に対してラインレーザ1011a,1011bを照射するレーザ照射器101a,101bと、対象物200におけるラインレーザ1011a,1011bの反射光による反射パターンが投影されるスクリーン102と、スクリーン102に投影された反射パターンPの画像を含む少なくとも一つの検査画像を取得するカメラ103と、少なくとも一つの検査画像に基づいて、対象物200の表面形状の異常を判定する異常判定部1044と、を備える。

Description

本発明は、表面形状検査装置及び表面形状検査方法に関する。
製品の製造時に、製品の品質検査が行われる。品質検査の一つに、製造過程で製品の表面に生じる凹凸を検出して、その製品が良品であるか不良品であるかを判定する検査がある。検査対象となる製品は、例えばセラミック材料あるいは金属材料を使用した製品をはじめ種々の製品である。
凹凸異常の特徴として、製品の色自体の異常がないという点がある。したがって、通常の光学カメラによっては、凹凸異常を検知することが困難である。また、凹凸の凹部の深さあるいは凸部の高さは、検査の対象物の大きさに比して小さい場合がある。さらに、凹凸が発生する表面の範囲も、対象物の大きさに比して狭くなる場合がある。
微細な凹凸異常の検出の手法としては、対象物における光の反射の状態を検査員が目視して検出する方法や、検査員が対象物を触った際の触感の変化により検出する方法がある。対象物における光の反射に基づく検査では、検査員の目視によらず、反射状態を撮像装置により撮影し、撮影された画像を画像処理することによって、凹凸が検出されるようにもできる。
特許文献1には、光学的な表面形状検査の手法として、鋼板の製造プロセスにおいて発生する凹凸性の疵を検出するために、鋼板表面に所定の波長の光を照射する光源と、鋼板表面により反射された光を投影するスクリーン及び当該スクリーン上の光強度分布を測定する受光器を有する検出系とを有する表面検査装置が示される。特許文献1に記載の表面検査装置は、鋼板表面の微小凹凸疵で反射された光の集束及び発散によって得られる明暗パターンに基づいて微小欠陥を検出する。
特開2010−133967号公報
特許文献1の場合においては、検査対象は鋼板すなわち平坦な形状の製品である。平坦形状の表面は、平面又は曲面である。このような平坦形状における凹凸を検出する他の方法として、所定のパターンを有する照射光を対象物に照射するラインパターン照明を用いる方法も存在する。ラインパターン照明を用いる方法では、対象物に反射したラインパターンの反射模様によって、凹凸が検出される。
ラインパターン照明を用いる場合、対象物が十分な鏡面反射を行い得ること及び対象物の形状は平坦な形状であることが求められる。例えばセラミック製品のように、対象物の表面に材料の性質に基づく微小な粗さが存在する場合、照射光が十分に鏡面反射せず、良品と不良品との区別が難しくなる。また、対象物が、曲率が大きく変化する曲面を有しており、形状が平坦ではない場合は、ラインパターン照明による模様が圧縮されてしまい、不良品であることを示すパターンの異常がわずかにしか現れなくなる。したがって、十分な鏡面反射が得られない対象物や、曲率が大きく変化する曲面を有する対象物において、微細な凹凸、疵又は欠けを含む表面形状の異常を検出することが難しくなる。その結果、良品と不良品との区別が難しくなる。
そこで、本発明は、対象物の微細な表面形状の異常を検出可能な表面形状検査装置及び表面形状検査方法を提供することを目的とする。
本発明の一態様に係る表面形状検査装置は、対象物に対して、対象物の表面における第1方向に沿って照射される第1ラインレーザと、表面において第1方向と異なる第2方向に沿って照射される第2ラインレーザとを照射する照射部と、対象物における第1ラインレーザの第1反射光による第1反射パターン及び第2ラインレーザの第2反射光による第2反射パターンが投影される投影部と、投影部に投影された第1反射パターン及び第2反射パターンの画像を含む少なくとも一つの検査画像を取得する撮像部と、少なくとも一つの検査画像に基づいて、対象物の表面形状の異常を判定する異常判定部と、を備える。
この態様によれば、ラインレーザは対象物のある部分の表面形状の異常に応じて、当該部分に表面形状の異常がない良品の場合とは異なる位置で対象物に照射される。照射位置が変化することによって、ラインレーザの反射光の反射方向が変化し、反射光による反射パターンが良品の場合と比べて変化する。反射パターンは投影部に投影される。撮像部は、投影部に投影された反射光が投影部にて散乱されて撮像部に届く散乱光に基づく反射パターンの画像を検査画像として取得する。状態取得部は、表面形状の異常に応じて形状が変化し得る反射パターンの画像を含む検査画像に基づいて、対象物の表面形状の異常の状態を判定することができる。
さらに、上記態様によれば、第1方向に沿うように存在する表面形状の異常があること等によって、第1ラインレーザに基づく検査画像では表面形状の異常が検出できない場合であっても、第2方向に沿うように照射される第2ラインレーザに基づく検査画像を用いて表面形状の異常を検出可能とできる。したがって、より正確に表面形状の異常の検出が可能となる。
上記態様において、異常判定部は、検査画像と、対象物の表面形状に異常がない場合の第1反射光及び第2反射光による基準反射パターンの画像である基準画像とに基づいて、対象物の表面形状の異常を判定してもよい。
この態様によれば、検査画像の反射パターンと基準反射パターンとの差異を比較すること等により、対象物の表面形状の異常の有無を判定することができる。
上記態様において、異常判定部は、第1反射パターンと、第2反射パターンと、基準反射パターンとに基づいて、表面形状の異常の大きさを算出してもよい。
この態様によれば、反射パターンの基準反射パターンに対する変化の程度が、表面形状の異常の大きさに基づいて変化することを利用して表面形状の異常の大きさを算出することが可能となる。これにより、例えば、良品・不良品判定のための閾値を、表面形状の異常の大きさに応じた、反射パターンの基準反射パターンからの変化量に基づく値として設定することが可能となる。したがって、より正確に良品・不良品の区別を行うことが可能となる。
上記態様において、表面形状検査装置は、検査画像に基づいて、第1反射パターンの特徴量を算出する特徴量算出部、をさらに備え、照射部は、第1タイミングにて、対象物の第1検査領域に第1ラインレーザを照射し、第1タイミングより後の第2タイミングにて、対象物の第2検査領域に第1ラインレーザを照射し、撮像部は、第1タイミングにおける第1反射パターンの画像を含む第1検査画像と、第2タイミングにおける第1反射パターンの画像を含む第2検査画像とを取得し、特徴量算出部は、第1検査画像に基づく第1反射パターンの第1特徴量と、第2検査画像に基づく第1反射パターンの第2特徴量とを算出し、異常判定部は、第1特徴量と第2特徴量とに基づいて、対象物の表面形状の異常を判定してもよい。
この態様によれば、特徴量算出部は、第1タイミングにおける第1反射パターンの第1特徴量と、第2タイミングにおける第1反射パターンの第2特徴量とを算出する。異常判定部は、タイミングが異なる第1特徴量及び第2特徴量に基づいて、異常を判定できる。これにより、基準画像との比較等を行わずに表面形状の異常を判定することができるので、基準画像に基づく検査では検出されない表面形状の異常の判定が可能となる。
上記態様において、照射部は、照射部に対して所定の相対速度で移動する対象物に対して第1ラインレーザを照射し、異常判定部は、第2特徴量の第1特徴量に対する変化率と、対象物の表面形状に異常がない場合の変化率である所定の基準変化率とに基づいて、対象物の表面形状の異常を判定してもよい。
対象物と照射部とは、所定の相対速度で相対移動をする。この場合、対象物の表面形状に異常がなければ、第2特徴量の第1特徴量に対する変化率は、所定の基準変化率となる。このとき、対象物のある表面において形状の異常が存在している場合、当該表面付近で、変化率が大きく変化する。異常判定部は、変化率の変化に基づいて、表面形状の異常を判定する。これにより、基準画像との直接比較を行わずに、表面形状の異常を検出することが可能となる。
上記態様において、表面形状検査装置は、照射部を対象物に対して所定の相対速度で移動させる移動制御部、をさらに備えてもよい。これにより、対象物と表面形状検査装置とは、所定の相対速度で相対移動することが可能となる。
上記態様において、照射部は、可視光域の周波数を有する、第1ラインレーザ及び第2ラインレーザを照射してもよい。これにより、例えば赤外域の周波数を有するレーザによっては、波長が長いことにより検出できない表面形状の異常を検出することができる。
上記態様において、第1ラインレーザと第2ラインレーザとは異なる色であってもよい。
この態様によれば、互いに異なる方向にラインレーザを同時に照射した場合の検査画像を、色別にフィルタすることによって、第1ラインレーザに基づく反射パターンの検査画像と、第2ラインレーザに基づく反射パターンの検査画像とに分けることが可能となる。これにより、表面形状検査装置が、第1ラインレーザ及び第2ラインレーザを同時に照射しつつ、表面形状の異常を正確に検出することが可能となる。
上記態様において、投影部は、撮像部に対して凹面である投影面を有してもよい。対象物の形状が複雑であることにより、表面形状の異常検出のために広範に及ぶ反射光を投影する必要が生じる場合がある。投影面が平面である場合、大きな投影面の面積が必要となる。一方、投影面を凹面とすることで、反射光を適切に投影することを可能としつつ、投影面が平面である場合より投影面の面積を小さくすることができる。したがって、表面形状検査装置の小型化が可能となる。
本発明の他の態様に係る表面形状検査方法は、表面形状検査装置が、対象物に対して、対象物の表面における第1方向に沿って照射される第1ラインレーザと、表面において第1方向と異なる第2方向に沿って照射される第2ラインレーザとを照射する照射ステップと、対象物における第1ラインレーザの第1反射光による第1反射パターン及び第2ラインレーザの第2反射光による第2反射パターンが投影される投影ステップと、投影された第1反射パターン及び第2反射パターンを含む少なくとも一つの検査画像を取得する撮像ステップと、少なくとも一つの検査画像に基づいて、対象物の表面形状の異常を判定する異常判定ステップと、を含む。
上記態様に係る方法は、表面形状検査装置が、対象物に対して所定の相対速度で移動する移動ステップ、をさらに含み、照射ステップは、第1タイミングにて、対象物の第1検査領域に第1ラインレーザを照射し、第1タイミングより後の第2タイミングにて、対象物の第2検査領域に第1ラインレーザを照射し、撮像ステップは、第1タイミングにおける第1反射パターンの画像を含む第1検査画像と、第2タイミングにおける第1反射パターンの画像を含む第2検査画像とを取得してもよい。
この態様によれば、ラインレーザの照射位置を移動させることができるので、ラインレーザを対象物の各検査領域に適切に照射することができる。これにより、ラインレーザを用いることによる検査領域の狭さを補いつつ、対象物の必要な部分の検査を行うことが可能となる。
本発明によれば、対象物の微細な表面形状の異常を検出可能な表面形状検査装置及び表面形状検査方法を提供することができる。
第1実施形態に係る表面形状検査システムの模式図である。 良品の基準画像を説明する図である。 平坦部に不良が発生した不良品の検査画像を説明する図である。 エッジ部に不良が発生した他の不良品の検査画像を説明する図である。 角部に不良が発生した他の不良品の検査画像を説明する図である。 平坦部に他の不良が発生した不良品の検査画像を説明する図である。 平坦部に他の不良が発生した不良品の検査画像を説明する図である。 第1実施形態に係る表面形状検査装置でのラインレーザの照射状態を詳しく説明する図である。 図8における対象物の断面図である。 図8における対象物の断面図である。 第1実施形態に係る表面形状検査システムにおける第1反射パターンの画像を説明する図である。 第1実施形態に係る表面形状検査システムにおける第2反射パターンの画像を説明する図である。 第1実施形態に係る表面形状検査装置と検査の対象物との位置関係を説明する図である。 図13における表面形状検査装置及び対象物の断面図である。 第1実施形態に係る表面形状検査システムにおける表面形状検査処理のフローチャートである。 第1実施形態の変形例に係る表面形状検査システムにおける表面形状検査処理のフローチャートである。 第2実施形態に係る表面形状検査システムの模式図である。 第2実施形態に係る表面形状検査システムにおける表面形状検査装置及び対象物の断面図である。 第2実施形態に係る表面形状検査システムにおける第1検査画像の変化を説明する図である。 第2実施形態に係る表面形状検査システムにおける表面形状検査処理のフローチャートである。 第3実施形態に係る表面形状検査システムにおける表面形状検査装置の模式図である。 第3実施形態に係る表面形状検査システムにおける表面形状検査装置及び対象物の断面図である。 第4実施形態に係る表面形状検査システムにおける表面形状検査装置及び対象物の模式図である。
添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について説明する。なお、各図において、同一の符号を付したものは、同一又は同様の構成を有する。
第1実施形態について説明する。図1から図3を参照して、表面形状検査システム10の概略及び表面形状の異常の判定方法について説明する。表面形状の異常は、例えば、疵、凹み、欠け、膨らみ等がある。以降の実施形態では、検査対象に凹み等の凹凸の異常がある場合を例に説明する。図1には、第1実施形態に係る表面形状検査システム10の模式図が示される。表面形状検査システム10は、表面形状検査装置100及び対象物200を有する。
表面形状検査装置100は、レーザ照射器101a,101b、スクリーン102、カメラ103及び制御装置104を有する。
対象物200は、例えば、セラミック材料の物体である。図1では対象物200は直方体状に描かれているが、形状はこれに限られず、例えば曲面を有していてもよい。対象物200は、表面201及び凹部202を有する。表面201にラインレーザ1011a及びラインレーザ1011bが照射されることで、凹凸状態の判定が行われる。図1では、表面201上にあり、凹部202を含むような検査領域A1aに対して、ラインレーザ1011aが照射される。また、検査領域A1bに対して、ラインレーザ1011bが照射される。
表面形状検査システム10では、レーザ照射器101a,101bが対象物200に照射したラインレーザ1011a,1011bの反射光が、スクリーン102の撮像領域1021に反射パターンPa,Pbとして投影される。反射パターンとは、光の形状であり、例えば、スクリーン102上に周囲と識別可能な明るさを有する。カメラ103は、反射パターンPa,Pbを含む撮像領域1021の検査画像を撮影する。なお、本実施形態において画像とは、複数の画面の画像を組み合わせて構成される動画も含むものとする。制御装置104の異常判定部1044は、撮影された検査画像に基づいて対象物200の凹凸状態を判定する。表面形状検査装置100の各部については後述する。
図2及び図3を参照して、表面形状検査システム10における表面形状検査について説明する。ここでは、1つのラインレーザ1011aによる表面形状検査について説明する。ラインレーザ1011a及びラインレーザ1011bを用いる場合については後述する。図2は、凹凸の異常のない対象物200Aにラインレーザ1011aが照射された際に、カメラ103によって撮影された基準画像I0及びラインレーザ1011aの照射状況を示す図である。
図3は、平坦部2011の一部に異常領域D1を有する対象物200Bにラインレーザ1011aが照射された際に、カメラ103によって撮影された検査画像I1及びラインレーザ1011aの照射状況を示す図である。
図2,図3では、カメラ103側から、スクリーン102を見た場合の様子が示される。ラインレーザ1011aは、紙面手前側から対象物200A及び200Bそれぞれに照射される。紙面奥側に位置するスクリーン102に反射光が投影された状態を撮影したものが基準画像I0及び検査画像I1である。
図2の基準画像I0における基準反射パターンP0は、対象物200Aの平坦部2011,エッジ部2012及び角部2013におけるそれぞれの反射光に対応するパターンP01,P02及びP03を有する。図3の検査画像I1における反射パターンP1も同様にパターンP11,P12及びP13を有する。
図3の異常領域D1において対象物200Bに凹みが生じていると、パターンP11の一部が凹みに応じて変化する。よって、検査画像I1の反射パターンP1は、図2の基準反射パターンP0とは異なる形状となる。図3では相違箇所に対応する部分が点線で示される。
制御装置104の異常判定部1044は、検査画像I1と基準画像I0とを比較することで、対象物200Bに凹凸の異常が発生していることを検出することができる。
表面形状検査装置100及び対象物200の各部の詳細について図1を参照して説明する。
レーザ照射器101aは、ある面において線を描くようなラインレーザ1011aを照射可能な光源である。レーザ照射器101aは、対象物200の表面201上の検査領域A1aに向かってラインレーザ1011aを照射する。レーザ照射器101aは、対象物200の表面201における第1方向DR1に沿ってラインレーザ1011aを照射する。
レーザ照射器101bは、101aと同様の光源である。レーザ照射器101bは、対象物200の表面201上の検査領域A1bに向かってラインレーザ1011bを照射する。レーザ照射器101bは、対象物200の表面201における第2方向DR2に沿ってラインレーザ1011bを照射する。
第1方向DR1と第2方向DR2とは異なる方向である。ラインレーザ1011aとラインレーザ1011bとは、異なる色の光である。ラインレーザ1011a及びラインレーザ1011bは、例えば、可視光域の周波数を有するレーザである。ラインレーザ1011aが赤色の可視光線レーザ、ラインレーザ1011bが緑色の可視光線レーザである。
スクリーン(投影部)102は、対象物200において反射されたラインレーザ1011a,1011bの反射光が投影される部材である。スクリーン102は、反射光が明瞭に映るように平面が一様に着色されている。当該平面の撮像領域1021にラインレーザ1011aの反射光(第1反射光)及びラインレーザ1011bの反射光(第2反射光)が投影される。ラインレーザ1011aが表面201において反射することで、スクリーン102の撮像領域1021に反射パターンPaが投影される。
ラインレーザ1011bが表面201において反射することで、スクリーン102の撮像領域1021に反射パターンPbが投影される。なお、スクリーン102は複数の投影面を有するものであってもよい。この場合、各投影面をまとめてスクリーン102と呼ぶ。
反射パターンPa,Pbは、対象物200の凹凸形状に応じて形状が変化し得る。例えば、対象物200に、凹部202が存在するような場合、レーザ照射器101aからのラインレーザ1011aが反射する位置が、z軸マイナス方向に変位する。そのため、同一の照射方向である照射光による反射光の反射経路もz軸マイナス方向に変位する。この結果、反射パターンPaは、撮像領域1021においてz軸マイナス方向に変化する。凹部202がなく、表面201が平坦な面である場合には、反射パターンPaはほぼ歪みを有しない。
カメラ103は、撮像領域1021における反射パターンPa,Pbを撮像する撮像装置である。カメラ103は、可視光を撮影可能なカメラであればよい。カメラ103は、表面形状検査装置100の対象物200に応じて適宜選択されてもよい。カメラ103は、動画を撮影可能であってもよい。
制御装置104は、表面形状検査装置100による表面形状検査の各種制御を行う装置である。制御装置104は、物理的構成として、制御に必要な処理を行うCPU(Central Processing Unit)、記憶領域としてのRAM(Random Access Memory)あるいはROM(Read Only Memory)、各種通信を行う通信装置を備える。
制御装置104は、機能的構成として、記憶部1041、照射制御部1042、撮像制御部1043、異常判定部1044及び移動制御部1045を備える。これらの各部は、例えば、RAMやROM等の記憶領域を用いたり、記憶領域に記憶されたプログラムをCPUが実行したりすることにより実現される。
記憶部1041は、制御装置104における各種処理に必要なプログラムや情報が記憶される領域である。
照射制御部1042は、レーザ照射器101a,101bによるレーザ光の照射を制御する。照射制御部1042は、照射タイミング,照射時間又は照射強度等を示す情報を、レーザ照射器101a,101bに送信する。照射制御部1042は、例えば、ラインレーザ1011a及びラインレーザ1011bを同じタイミングで照射する。あるいは、照射制御部1042は、ラインレーザ1011a及びラインレーザ1011bを互いに異なるタイミングで照射してもよい。レーザ照射器101a,レーザ照射器101b及び照射制御部1042を含むように照射部が構成される。なお、照射部には、より多くのレーザ照射器が含まれてもよい。
撮像制御部1043は、照射制御部1042によるレーザ照射制御と連動して、カメラ103による検査画像の撮影を制御する。撮像制御部1043は、所定のタイミングにて、カメラ103に撮影を指示する情報を送信し、カメラ103から検査画像を取得する。カメラ103が動画を撮影する場合、撮像制御部1043は、撮影の開始と終了を指示する情報をカメラ103に送信し、カメラ103から動画として検査画像を取得できる。撮像制御部1043は取得した検査画像を記憶部1041に記憶してもよい。カメラ103及び撮像制御部1043を含むように撮像部が構成される。
異常判定部1044は、撮像制御部1043が取得した検査画像に基づいて、対象物200の表面形状の異常を判定する。上述の概略で説明したとおり、異常判定部1044は、基準画像と検査画像とに基づいて、対象物200の凹凸の状態を判定する。凹凸の状態のバリエーションについては後述する。
移動制御部1045は、表面形状検査装置100の対象物200に対する移動を制御する。移動制御部1045は、対象物200に対する表面形状検査装置100の位置を記録し、対象物200の検査領域に、表面形状検査装置100を移動させるような制御を行う。例えば、移動制御部1045は、表面形状検査装置100がロボットアームに設けられて対象物200の周囲を移動する場合に、移動指示を出すなどして、表面形状検査装置100の移動制御を行う。この場合、移動制御部1045が、ロボットアームと通信することで、移動制御がなされる。
あるいは、移動制御部1045は、例えば、表面形状検査システム10に設けられる検査用のガイドを移動することで、対象物200の周囲を自走する場合の移動制御を行ってもよい。この場合も移動制御部1045は、表面形状検査装置100の対象物200に対する位置を記録しつつ移動制御を行う。
異常判定部1044による表面形状の異常の判定について図2から図7を参照しつつ説明する。
表面形状の異常の判定には、一例として、学習モデルを用いることができる。学習モデルは、対象物のある検査領域と、当該検査領域における基準反射パターンとの組を教師データとして学習され、入力される検査画像の反射パターンと、基準反射パターンとの合致度を出力するモデルである。学習モデルは、例えば記憶部1041に記憶されていてもよく、表面形状検査装置100の外部の装置に記憶されていてもよい。外部に学習モデルが記憶される場合、制御装置104は、ネットワークを通じて学習モデルと通信を行う。また、学習モデルは、検査画像に基づいて、表面形状の異常の大きさを出力するように学習されてもよい。以降は表面形状の異常を凹凸として説明する。
異常判定部1044は、カメラ103が撮影した検査画像を撮像制御部1043から取得し、当該検査画像が撮影された際の表面形状検査装置100の対象物200に対する位置を、移動制御部1045から取得する。異常判定部1044は、取得した当該位置に基づいて、検査画像の検査領域を算出する。異常判定部1044は、算出した検査領域と検査画像とを、学習モデルに入力して、凹凸の状態を判定する。異常判定部1044は、学習モデルから、凹凸の大きさを取得するようにしてもよい。
異常判定部1044は、凹凸異常が検出された場合に、検査領域と検査画像とを凹凸異常があるというラベルを付けて記憶部1041に記憶してもよい。これにより、例えば、検査員が異常箇所を目視等によって確認する場合に、制御装置104が、検査領域及び検査画像を検査員に表示することが可能となり、利便性が向上する。
また、異常判定部1044が用いる他の学習モデルとして、対象物のある検査領域において、凹凸の異常がないとラベル付けられた基準反射パターンと、凹凸の異常があるとラベル付けられた反射パターンとを教師データとして機械学習された学習モデルが用いられてもよい。この学習モデルは、ある検査領域における検査画像を入力として、対象物に凹凸異常があること又は凹凸異常がないことを出力する。
また、異常判定部1044は、学習モデルを用いずに、基準画像の基準反射パターンと検査画像の反射パターンとを対比することによって、凹凸の状態を判定してもよい。
図2には、表面形状検査装置100によって撮影された、凹凸異常のない対象物200Aの基準画像I0が示される。図3には、表面形状検査装置100によって撮影された、平坦部2011の異常領域D1に凹みがあるような対象物200Bの検査画像I1が示される。異常判定部1044は、検査画像I1と基準画像I0との合致度を学習モデルを用いて算出し、凹凸の状態を判定する。
図4には、表面形状検査装置100によって撮影された、エッジ部2012の異常領域D2に凹みがあるような対象物200Cの検査画像I2が示される。検査画像I2における反射パターンP2は、エッジ部2012の凹みを反映したパターンP22の部分が、基準反射パターンP0と異なっている。
図5には、表面形状検査装置100によって撮影された、角部2013の異常領域D3に凹みがあるような対象物200Dの検査画像I3が示される。検査画像I2における反射パターンP3は、角部2013の凹みを反映したパターンP33の部分が、基準反射パターンP0と異なっている。
図6には、表面形状検査装置100によって撮影された、平坦部2011の異常領域D4に凸部があるような対象物200Eの検査画像I4が示される。検査画像I4における反射パターンP4は、平坦部2011の凸部を反映したパターンP41の部分が、基準反射パターンP0と異なっている。パターンP41は、図3における凹みのある場合のパターンP31とは逆方向にパターンが変化している。
図7には、表面形状検査装置100によって撮影された、平坦部2011の異常領域D5に穴があるような対象物200Fの検査画像I5が示される。検査画像I5における反射パターンP5は、平坦部2011の穴を反映したパターンP51の部分が、基準反射パターンP0と異なっている。
図4から図7のいずれの場合であっても、異常判定部1044は、各検査画像と基準画像I0との合致度を学習モデルを用いて算出し、凹凸の状態を判定する。また、異常判定部1044は他の方法によって、凹凸の状態の判定を行ってもよい。
図2の基準反射パターンP0及び図3から図7における各反射パターンP1からP5は、それぞれ平坦部2011、エッジ部2012及び角部2013に対応するパターンを有しているが、それぞれの部分の全てに対応するパターンが含まれる必要は必ずしもない。つまり、平坦部2011、エッジ部2012、角部2013のいずれか一部あるいはその中から組み合わせられた部分にラインレーザ1011が照射されることによる反射パターンと対応する基準反射パターンとに基づいて凹凸の状態が判断されてもよい。また、対象物200の形状は、図2から図7の例に限られない。
図8から図12を参照して、2つのレーザ照射器101a及びレーザ照射器101bを用いる場合の表面形状の異常の検出について説明する。
図8では、表面形状検査システム10のうち、対象物200及びスクリーン102を示して説明を行う。
図8では、対象物200は凹部202Aを有する。凹部202Aは、図9及び図10で示される対象物200の断面図にあるように、yz平面におけるy方向に長径が、xz平面におけるx方向に短径があるような楕円形状の凹みである。
図8では、ラインレーザ1011aが凹部202Aの短径方向に沿う方向に照射され、ラインレーザ1011bが凹部202Aの長径方向に沿う方向に照射される。
この場合、ラインレーザ1011aによる反射パターンPaは、短径方向に沿う凹部202Aの曲率の大きい凹面に対応して変化する。一方、ラインレーザ1011bによる反射パターンPbは、長径方向に沿う曲率の小さな凹面に対応して変化する。
反射パターンPa及び反射パターンPbを含む検査画像が、カメラ103によって撮影される。撮像制御部1043は、カメラ103が撮影した検査画像において、ラインレーザ1011a又はラインレーザ1011bの周波数に対応する画像を抽出する画像処理を行う。例えば、両ラインレーザの色が異なる場合、撮像制御部1043は、色の抽出を行い、反射パターンPaと反射パターンPbとを切り分けて新たな検査画像を生成できる。
図11には、反射パターンPaに対応する基準反射パターンP6を含む基準画像I6と、反射パターンPaが抽出されて生成された検査画像I7とが示される。異常判定部1044は、基準画像I6に対する検査画像I7の合致度に基づいて、対象物200の凹凸の状態を判定する。図12の場合、反射パターンPaと基準反射パターンP6との差異が大きいため、異常判定部1044は凹部202Aによる凹みを検出できる。
図12には、反射パターンPbに対応する基準反射パターンP7を含む基準画像I8と、反射パターンPbが抽出されて生成された検査画像I9とが示される。異常判定部1044は、基準画像I8に対する検査画像I9の合致度に基づいて、対象物200の凹凸の状態を判定する。例えば、図12の場合、基準反射パターンP7の形状と反射パターンPbの形状とが近いため、異常判定部1044が凹凸の存在を検出できない場合もあり得る。
同一の凹部202Aが照射された場合であっても、反射パターンの形状は、各ラインレーザの照射方向に応じて変化する。このような場合、図11のように、図12の場合とは異なる方向からラインレーザを照射して凹凸の状態を判断することで、誤検出や検出漏れを抑制し、対象物200の凹凸をより適切に検出することが可能となる。
図13を参照して、表面形状検査装置100と対象物200の位置関係について説明する。図1で示した表面形状検査装置100の各部は、筐体1300の内部に収容される。筐体1300は、暗室部1301及び装置格納部1302を有する。
暗室部1301は、レーザ照射器101a,101bの一部及びスクリーン102が収容される空間である。暗室部1301は、ラインレーザ1011a,1011bが外部の光による影響を受けないように、矩形状の壁で囲まれている。暗室部1301には、照射されるラインレーザ1011a,1011b及びラインレーザ1011a,1011bが対象物200の表面において反射した反射光が通過する開口部1303が設けられる。光は開口部1303の開口面13031を通じて、表面形状検査装置100から対象物200へ又は対象物200から表面形状検査装置100へと伝搬する。
装置格納部1302には、カメラ103及び制御装置104(不図示)が格納される。
表面形状検査装置100は、例えば、対象物200から一定の距離dだけ離れた位置を移動して、対象物200の表面の凹凸を検出する。なお、表面形状検査装置100と対象物200との距離は、検査の必要に応じて調整されてもよい。
例えば、表面形状検査装置100は、表面形状検査装置100が対象物200の天面を検査する場合は、開口面13031がxy平面に対向するように移動する。
また、表面形状検査装置100は、対象物200の側面Sの表面形状の異常を検出するように移動することもできる。例えば、表面形状検査装置100は曲線Lに沿って移動することで、側面Sの表面形状の異常を検出する。
また、表面形状検査装置100は、対象物200の頂点に位置する角部Cや、各辺に位置するエッジ部Eの表面形状の異常を検出するように移動することもできる。
図14を参照して、表面形状検査装置100の内部について説明する。図14は、図13のXIV−XIV断面の断面図である。ここでは、レーザ照射器101aを図示して説明を行うが、レーザ照射器101bの場合も同様である。
レーザ照射器101aは、暗室部1301に設けられる開口部1401を通って暗室部1301に設置される。また、スクリーン102は、暗室部1301の内面1402に設置される。スクリーン102とカメラ103とは対向するように設けられる。
表面形状検査装置100は、レーザ照射器101aを用いて対象物200の検査領域A1aを検査した後、対象物200の検査領域A2a、A3aを順に検査するように方向M1に沿って、距離dを保ちつつ移動する。
図15を参照して、表面形状検査の処理について説明する。ステップS1501において、対象物200の所定の検査領域を照射可能となるように、表面形状検査装置100が移動させられるもしくは設置される。表面形状検査装置100の移動は、移動制御部1045による制御に基づいて行われてもよい。
ステップS1502において、照射制御部1042が、対象物200にラインレーザ1011a,1011bを照射する。ステップS1503において、撮像制御部1043が、スクリーン102における反射パターンPa,Pbを撮影する。
ステップS1504において、撮像制御部1043が、検査画像の画像処理を行う。
ステップS1505において、異常判定部1044が、撮像制御部1043から画像処理後のラインレーザの色別の検査画像を取得する。
ステップS1506において、異常判定部1044が、対象物200の表面形状の異常を判定する。判定結果は検査領域に関連付けられて記憶部1041に記録される。
表面形状検査装置100は、対象物200の必要な検査領域の全てを検査し終えるまで、上記動作を繰り返す。
第1実施形態の変形例について説明する。この変形例では、レーザ照射器101aとレーザ照射器101bとが、2種類の色のラインレーザを用いずに、同色のレーザを2方向から照射することで検査が行われる。
この変形例に係る表面形状検査装置では、第1ラインレーザと前記第2ラインレーザとは同じ色であり、第1ラインレーザは、第1タイミングにて照射され、第2ラインレーザは、第1タイミングとは異なる第2タイミングにて照射され、少なくとも一つの検査画像として、第1タイミングにおける第1検査画像と、第2タイミングにおける第2検査画像が含まれる。
この変形例における処理を図16を参照して説明する。ステップS1601において、対象物200の所定の検査領域を照射可能となるように、表面形状検査装置が移動させられるもしくは設置される。表面形状検査装置の移動は、移動制御部1045による制御に基づいて行われてもよい。
ステップS1602において、照射制御部1042が、対象物200に第1ラインレーザを照射する。
ステップS1603において、撮像制御部1043が、スクリーン102における反射パターンを撮影する。
ステップS1604において、異常判定部1044が、第1ラインレーザが照射された場合の検査画像として第1検査画像を取得する。
ステップS1605において、照射制御部1042が、対象物200に第2ラインレーザを照射する
ステップS1606において、撮像制御部1043が、スクリーン102における反射パターンを撮影する。
ステップS1607において、異常判定部1044が、第2ラインレーザが照射された場合の検査画像として第2検査画像を取得する。
ステップS1608において、異常判定部1044が、対象物200の表面形状の異常を判定する。判定結果は検査領域に関連付けられて記憶部1041に記録される。
表面形状検査装置は、対象物200の必要な検査領域の全てを検査し終えるまで、上記動作を繰り返す。このような動作を行うことによって、同色のラインレーザを用いつつ、複数方向からラインレーザを照射して凹凸の検出が行われる。
第2実施形態について説明する。第2実施形態では第1実施形態と共通の事柄についての記述を省略し、異なる点についてのみ説明する。図17には、第2実施形態に係る表面形状検査システム10Aの模式図が示される。表面形状検査装置100Aは、特徴量算出部1701を有する点で、第1実施形態に係る表面形状検査装置100と異なる。
特徴量算出部1701は、カメラ103が取得した検査画像に基づいて、反射パターンの特徴量を算出する。特徴量は例えば、反射パターンの長さ、曲率、反射パターンの接線の傾きが変動する範囲等の反射パターンを適切に区別可能な数値である。
図18には、第2実施形態に係る表面形状検査装置100A及び対象物200Gの断面図が示される。対象物200Gは、検査領域A6aに表面形状の異常を有している。図17でも、図14と同様に、レーザ照射器101aによる照射について説明する。
図18では、レーザ照射器101aが、検査領域A4a,A5a,A6a,A7aに対して順番にラインレーザ1011aを照射する。レーザ照射器101aがこのようにラインレーザ1011aを照射可能なように、移動制御部1045は、レーザ照射器101aを前記対象物に対して所定の相対速度で移動させるような制御を行う。
例えば、移動制御部1045は、表面形状検査装置100Aがロボットアームに設けられて対象物200Gの周囲を移動する場合に、ロボットアームと通信することで、移動制御を行う。対象物200Gがコンベア等によって、ある速度で移動している場合、移動制御部1045は対象物200の移動速度を取得し、当該移動速度に基づいて、表面形状検査装置100Aの移動速度を制御してもよい。
移動制御部1045によりレーザ照射器101Aを対象物200Gに対して等速移動させることで、レーザ照射器101aが、所定の移動間隔を保ちつつラインレーザ1011aを照射できる。
図18及び図19を参照して、表面形状検査装置100Aにおける表面形状の以上の判定について説明する。図18には、時刻t=T0において検査領域A4aにラインレーザ1011aが照射された場合の検査画像I10及び、時間間隔Tをあけて、検査領域A5a,A6a,A7aにラインレーザ1011aが照射された場合の検査画像I11,I12,I13が示される。
検査画像I10には、反射パターンP101が示される。ここでは、例えば図17に図示されない部分において、対象物200Gがyz平面において湾曲するような曲面を有することによって、反射パターンP101が曲線となっている。
時刻t=T0+Tにおいてレーザ照射器101Aが検査領域A5aを照射した場合の検査画像I11には、反射パターンP111の画像が示される。検査領域A5aには、表面形状の異常がないため、反射パターンP111は、反射パターンP101と同様の形状となる。表面形状検査装置100Aは、対象物200Gに対して等速で移動しているため、反射パターンP101と反射パターンP111との間での形状の変化は緩やかとなる。
時刻t=T0+2Tにおいて、レーザ照射器101aが検査領域A5aを照射した場合の検査画像I12には、反射パターンP121が示される。検査領域A6aは、表面形状の異常を有するため、反射パターンP121は、反射パターンP101及び反射パターンP111と異なる形状となる。具体的には、対象物200Gの異常により、パターンP1211の部分が特徴的に変化している。
時刻t=T0+3Tにおいてレーザ照射器101aが検査領域A7aを照射した場合の検査画像I13には、反射パターンP131の画像が示される。検査領域A7aには、表面形状の異常がないため、反射パターンP131は、反射パターンP101,P111と同様の形状となる。
図19には、表面形状検査装置100Aにおける処理のフローチャートが示される。ステップステップS2001において、対象物200Gの第1検査領域を照射可能となるように、表面形状検査装置が移動させられる。なお、対象物200Gが、静止している表面形状検査装置100Aに対して移動するようにしてもよい。第1検査領域は例えば、検査領域A4aである。
ステップS2002において、照射制御部1042が、対象物200Gに第1ラインレーザを照射する。第1ラインレーザは例えば、ラインレーザ1011aである。
ステップS2003において、撮像制御部1043が、スクリーン102における第1反射パターンを撮影する。第1反射パターンは例えば、反射パターンP101である。
ステップS2004において、特徴量算出部1701が、第1ラインレーザが照射された場合の第1検査画像として検査画像を取得する。検査画像は例えば、検査画像I10である。
ステップS2005において、対象物200の第2検査領域を照射可能となるように、移動制御部1045が、表面形状検査装置100を移動させる。第2検査領域は例えば、検査領域A5aである。
ステップS2006において、照射制御部1042が、対象物200に第1ラインレーザを照射する。第1ラインレーザは例えば、ラインレーザ1011aである。
ステップS2007において、撮像制御部1043が、スクリーン102における反射パターンを撮影する。第1反射パターンは例えば、反射パターンP111である。
ステップS2008において、特徴量算出部1701が、第1ラインレーザが照射された場合の検査画像として第2検査画像を取得する。検査画像は例えば、検査画像I11である。
ステップS2009において、特徴量算出部1701が、第1反射パターンの第1特徴量及び、第2反射パターンの第2特徴量を算出する。例えば、特徴量算出部1701は、検査画像I10に基づく第1特徴量として、特徴量F1を算出し、検査画像I11に基づく第1特徴量として、特徴量F2を算出する。特徴量算出部1701が算出した特徴量は、例えば、制御装置104の各部が読み出し可能に記憶部1041に記憶される。
ステップS2010において、異常判定部1044は、第1特徴量及び第2特徴量に基づいて表面形状の異常を判定する。
例えば、異常判定部1044は、特徴量F1と特徴量F2に基づいて表面形状の異常を判定する場合、特徴量F2の特徴量F1に対する変化率を算出する。変化率は、所定の時間間隔における変化率であってもよく、所定の移動間隔における変化率であってもよい。例えば、変化率は、特徴量F2と特徴量F1との差分を、時間間隔で割って算出されてもよい。
異常判定部1044は、算出した変化率と、例えば記憶部1041に記憶される基準変化率とを比較して表面形状の異常を判定する。基準変化率は、対象物に表面形状の異常がない場合における変化率である。基準変化率は、例えば検査領域A4aと検査領域A5aとを検査した場合の正常な変化率のように、表面形状検査装置100Aの検査対象の範囲及び対象の形状等に応じて、複数の基準変化率が1041に記憶される。
異常判定部1044は、例えば、特徴量F2の特徴量F1に対する変化率が基準変化率より大きい値である場合に、表面形状に異常があると判定する。検査画像I10と検査画像I11とに基づく場合、特徴量F2の特徴量F1に対する変化率は反射パターンの形状が同様であるので、小さい値となる。よって、異常判定部1044は、対象物200Gの表面形状に異常がないものと判定する。
表面形状検査装置100Aは、対象物200Gの必要な検査領域の全てを検査し終えるまで、上記動作を繰り返す。
表面形状検査装置100Aが、ステップS2004までの処理によって、検査領域A5aの検査画像を取得し、検査領域A6aを検査する場合を考える。ステップS2005では、移動制御部1045が、検査領域A6aが照射されるような位置に表面形状検査装置100Aを移動させる。
ステップS2006において、レーザ照射器101が第1ラインレーザを照射する。ステップS2007において、カメラ103が反射パターンP121を撮影する。ステップS2008において、図19のt=T+2Tにおけるような検査画像I12を取得する。
ステップS2009において、特徴量算出部1701は、検査画像I12における反射パターンP121の特徴量として特徴量F3を算出する。
ステップS2010において、異常判定部1044は、特徴量F2と特徴量F3とに基づいて、対象物200Gの表面形状の異常を判定する。検査画像I11と検査画像I12とに基づく場合、特徴量F3の特徴量F2に対する変化率は、反射パターンP121のパターンP1211によって、大きい値となるものとする。この場合、異常判定部1044は、対象物200Gの表面形状に異常があるものと判定する。
表面形状検査装置100Aは、各フレームにおける反射パターンの特徴量を算出し、当該特徴量及び特徴量の変化に基づいて、表面形状の異常を判定する。したがって、異常判定部1044が、基準画像との直接比較を行わずに、表面形状の異常を検出することが可能となる。
第3実施形態について説明する。図21には、第3実施形態に係る表面形状検査装置100Bの模式図が示される。表面形状検査装置100Bは、スクリーン102Aを有する点で、表面形状検査装置100と異なる。
図22には、表面形状検査装置100Bが対象物200Hの表面形状を検査する場合の、表面形状検査装置100Bの断面図が示される。ここではレーザ照射器101aによる照射を図示している。
スクリーン102Aは、筐体1300の内面1402及び上面2201に接するように設けられる。スクリーン102Aは、カメラ103に対して凹面となるような投影面を有する。対象物200Hの形状及び表面形状検査装置100Bの姿勢が、図22に示されるようになっている場合、レーザ照射器101aからのレーザの反射方向は、上面2201に向かう方向になる。
図13の表面形状検査装置100におけるようなスクリーン102の形状の場合、反射光はスクリーン102に入射しない。よって、表面形状の異常を判定できなくなる。
一方、表面形状検査装置100Bでは、スクリーン102Aが、カメラ103に対して凹面となるような投影面を有しているため、反射光はスクリーン102Aに入射する。
投影面を凹面とすることで、反射光を適切に投影することを可能としつつ、投影面が平面である場合より投影面の面積を小さくすることができる。したがって、表面形状検査装置の小型化が可能となる。
第4実施形態について説明する。図23には、第4実施形態に係る表面形状検査装置100Cの模式図が示される。表面形状検査装置100Cは、スクリーン102Bの形状がスクリーン102Aと異なっている。
図23には、対象物200Iの表面形状を検査する場合の、表面形状検査装置100C及び対象物200Iの模式図が示される。ここではレーザ照射器101bによる照射を図示している。
スクリーン102Bは、筐体1300の内面1402、側面2301、及び側面2302に接するように設けられる。スクリーン102Bは、カメラ103に対して凹面となるような投影面を有する。
図23に示されるように、対象物200Iは、z軸正方向に凸となるような表面を有する。レーザ照射器101bからのラインレーザ1011bは、対象物200Iの表面に沿って照射される。対象物200Iの表面で反射されたラインレーザ1011bの反射光は、対象物200Iの表面が凸面であることにより、y軸方向に沿って拡がるように反射する。すなわち、ラインレーザ1011bの反射光は、筐体1300の側面にも到達するように反射する。
この場合、図13の表面形状検査装置100におけるようなスクリーン102の形状の場合、反射光の一部がスクリーン102に入射しない。よって、反射光のパターンは、例えば、両端が欠落したようなパターンとなる。
一方、表面形状検査装置100Cでは、スクリーン102Bが、カメラ103に対して凹面となるような投影面を有しているため、反射光はスクリーン102Bに入射する。図23では、ラインレーザ1011bの反射光が、スクリーン102BにおいてパターンPbとして適切に投影されている場合が示されている。
表面形状検査装置100Cは、投影面を凹面とすることで、反射光を適切に投影することを可能としつつ、投影面が平面である場合より投影面の面積を小さくすることができる。したがって、表面形状検査装置の小型化が可能となる。なお、スクリーン102Bは、側面2301及び側面2302に沿うような形状であるが、他のスクリーンとして、側面2301又は側面2302のいずれかに沿うような形状であってもよい。また、スクリーンの形状は、スクリーン102Aのように上面2201に沿い、かつスクリーン102Bのように側面2301,2302に沿うように設けられてもよい。
以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。実施形態が備える各要素並びにその配置、材料、条件、形状及びサイズ等は、例示したものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。また、異なる実施形態で示した構成同士を部分的に置換し又は組み合わせることが可能である。
10,10A…表面形状検査システム、100,100A,100B,100C…表面形状検査装置、101a,101b…レーザ照射器、102,102A,102B…スクリーン、103…カメラ、104…制御装置、200,200A,200B,200C,200D,200E,200F,200G,200H…対象物、201…表面、202,202A…凹部、1011a,1011b…ラインレーザ、2011…平坦部、2012…エッジ部、2013…角部

Claims (8)

  1. 対象物に対して、前記対象物の表面における第1方向に沿って照射される第1ラインレーザと、前記表面において前記第1方向と異なる第2方向に沿って照射される第2ラインレーザとを照射する照射部と、
    前記対象物における前記第1ラインレーザの第1反射光による第1反射パターン及び前記第2ラインレーザの第2反射光による第2反射パターンが投影される投影部と、
    前記投影部に投影された前記第1反射パターン及び前記第2反射パターンの画像を含む少なくとも一つの検査画像を取得する撮像部と、
    前記少なくとも一つの検査画像に基づいて、前記対象物の表面形状の異常を判定する異常判定部と、
    前記検査画像に基づいて、前記第1反射パターンの特徴量を算出する特徴量算出部と、を備え、
    前記照射部は、第1タイミングにて、前記照射部に対して所定の相対速度で移動する前記対象物の第1検査領域に前記第1ラインレーザを照射し、前記第1タイミングより後の第2タイミングにて、前記照射部に対して前記所定の相対速度で移動する前記対象物の第2検査領域に前記第1ラインレーザを照射し、
    前記撮像部は、前記第1タイミングにおける前記第1反射パターンの画像を含む第1検査画像と、前記第2タイミングにおける前記第1反射パターンの画像を含む第2検査画像とを取得し、
    前記特徴量算出部は、前記第1検査画像に基づく前記第1反射パターンの第1特徴量と、前記第2検査画像に基づく前記第1反射パターンの第2特徴量とを算出し、
    前記異常判定部は、前記第2特徴量の前記第1特徴量に対する変化率と、前記対象物の前記表面形状に異常がない場合の前記変化率である基準変化率とに基づいて、前記対象物の前記表面形状の異常を判定する、表面形状検査装置。
  2. 請求項1に記載の表面形状検査装置であって、
    前記異常判定部は、
    前記検査画像と、前記対象物の前記表面形状に異常がない場合の前記第1反射光及び前記第2反射光による基準反射パターンの画像である基準画像とに基づいて、前記対象物の前記表面形状の前記異常を判定する、表面形状検査装置。
  3. 請求項2に記載の表面形状検査装置であって、
    前記異常判定部は、
    前記第1反射パターンと、前記第2反射パターンと、前記基準反射パターンとに基づいて、前記表面形状の前記異常の大きさを算出する、表面形状検査装置。
  4. 請求項1から3のいずれか一項に記載の表面形状検査装置であって、
    前記照射部を前記対象物に対して所定の相対速度で移動させる移動制御部、をさらに備える、表面形状検査装置。
  5. 請求項1から4のいずれか一項に記載の表面形状検査装置であって、
    前記照射部は、可視光域の周波数を有する、前記第1ラインレーザ及び前記第2ラインレーザを照射する、表面形状検査装置。
  6. 請求項1から5のいずれか一項に記載の表面形状検査装置であって、
    前記第1ラインレーザと前記第2ラインレーザとは異なる色である、表面形状検査装置。
  7. 請求項1から6のいずれか一項に記載の表面形状検査装置であって、
    前記投影部は、前記撮像部に対して凹面である投影面を有する、表面形状検査装置。
  8. 象物に対して、前記対象物の表面における第1方向に沿って照射される第1ラインレーザと、前記表面において前記第1方向と異なる第2方向に沿って照射される第2ラインレーザとを照射する照射ステップと、
    前記対象物における前記第1ラインレーザの第1反射光による第1反射パターン及び前記第2ラインレーザの第2反射光による第2反射パターンが投影される投影ステップと、
    投影された前記第1反射パターン及び前記第2反射パターンを含む少なくとも一つの検査画像を取得する撮像ステップと、
    前記少なくとも一つの検査画像に基づいて、前記対象物の表面形状の異常を判定する異常判定ステップと、
    前記検査画像に基づいて、前記第1反射パターンの特徴量を算出する特徴量算出ステップと、を含み、
    前記照射ステップは、第1タイミングにて、前記対象物の第1検査領域に前記第1ラインレーザを照射し、前記第1タイミングより後の第2タイミングにて、前記対象物の第2検査領域に前記第1ラインレーザを照射し、
    前記撮像ステップは、前記第1タイミングにおける前記第1反射パターンの画像を含む第1検査画像と、前記第2タイミングにおける前記第1反射パターンの画像を含む第2検査画像とを取得し、
    前記特徴量算出ステップは、前記第1検査画像に基づく前記第1反射パターンの第1特徴量と、前記第2検査画像に基づく前記第1反射パターンの第2特徴量とを算出し、
    前記異常判定ステップは、前記第2特徴量の前記第1特徴量に対する変化率と、前記対象物の前記表面形状に異常がない場合の前記変化率である基準変化率とに基づいて、前記対象物の前記表面形状の異常を判定する、表面形状検査方法。
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