JP6984964B1 - 表面形状検査装置及び表面形状検査方法 - Google Patents
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- 対象物に対して、前記対象物の表面における第1方向に沿って照射される第1ラインレーザと、前記表面において前記第1方向と異なる第2方向に沿って照射される第2ラインレーザとを照射する照射部と、
前記対象物における前記第1ラインレーザの第1反射光による第1反射パターン及び前記第2ラインレーザの第2反射光による第2反射パターンが投影される投影部と、
前記投影部に投影された前記第1反射パターン及び前記第2反射パターンの画像を含む少なくとも一つの検査画像を取得する撮像部と、
前記少なくとも一つの検査画像に基づいて、前記対象物の表面形状の異常を判定する異常判定部と、
前記検査画像に基づいて、前記第1反射パターンの特徴量を算出する特徴量算出部と、を備え、
前記照射部は、第1タイミングにて、前記照射部に対して所定の相対速度で移動する前記対象物の第1検査領域に前記第1ラインレーザを照射し、前記第1タイミングより後の第2タイミングにて、前記照射部に対して前記所定の相対速度で移動する前記対象物の第2検査領域に前記第1ラインレーザを照射し、
前記撮像部は、前記第1タイミングにおける前記第1反射パターンの画像を含む第1検査画像と、前記第2タイミングにおける前記第1反射パターンの画像を含む第2検査画像とを取得し、
前記特徴量算出部は、前記第1検査画像に基づく前記第1反射パターンの第1特徴量と、前記第2検査画像に基づく前記第1反射パターンの第2特徴量とを算出し、
前記異常判定部は、前記第2特徴量の前記第1特徴量に対する変化率と、前記対象物の前記表面形状に異常がない場合の前記変化率である基準変化率とに基づいて、前記対象物の前記表面形状の異常を判定する、表面形状検査装置。 - 請求項1に記載の表面形状検査装置であって、
前記異常判定部は、
前記検査画像と、前記対象物の前記表面形状に異常がない場合の前記第1反射光及び前記第2反射光による基準反射パターンの画像である基準画像とに基づいて、前記対象物の前記表面形状の前記異常を判定する、表面形状検査装置。 - 請求項2に記載の表面形状検査装置であって、
前記異常判定部は、
前記第1反射パターンと、前記第2反射パターンと、前記基準反射パターンとに基づいて、前記表面形状の前記異常の大きさを算出する、表面形状検査装置。 - 請求項1から3のいずれか一項に記載の表面形状検査装置であって、
前記照射部を前記対象物に対して所定の相対速度で移動させる移動制御部、をさらに備える、表面形状検査装置。 - 請求項1から4のいずれか一項に記載の表面形状検査装置であって、
前記照射部は、可視光域の周波数を有する、前記第1ラインレーザ及び前記第2ラインレーザを照射する、表面形状検査装置。 - 請求項1から5のいずれか一項に記載の表面形状検査装置であって、
前記第1ラインレーザと前記第2ラインレーザとは異なる色である、表面形状検査装置。 - 請求項1から6のいずれか一項に記載の表面形状検査装置であって、
前記投影部は、前記撮像部に対して凹面である投影面を有する、表面形状検査装置。 - 対象物に対して、前記対象物の表面における第1方向に沿って照射される第1ラインレーザと、前記表面において前記第1方向と異なる第2方向に沿って照射される第2ラインレーザとを照射する照射ステップと、
前記対象物における前記第1ラインレーザの第1反射光による第1反射パターン及び前記第2ラインレーザの第2反射光による第2反射パターンが投影される投影ステップと、
投影された前記第1反射パターン及び前記第2反射パターンを含む少なくとも一つの検査画像を取得する撮像ステップと、
前記少なくとも一つの検査画像に基づいて、前記対象物の表面形状の異常を判定する異常判定ステップと、
前記検査画像に基づいて、前記第1反射パターンの特徴量を算出する特徴量算出ステップと、を含み、
前記照射ステップは、第1タイミングにて、前記対象物の第1検査領域に前記第1ラインレーザを照射し、前記第1タイミングより後の第2タイミングにて、前記対象物の第2検査領域に前記第1ラインレーザを照射し、
前記撮像ステップは、前記第1タイミングにおける前記第1反射パターンの画像を含む第1検査画像と、前記第2タイミングにおける前記第1反射パターンの画像を含む第2検査画像とを取得し、
前記特徴量算出ステップは、前記第1検査画像に基づく前記第1反射パターンの第1特徴量と、前記第2検査画像に基づく前記第1反射パターンの第2特徴量とを算出し、
前記異常判定ステップは、前記第2特徴量の前記第1特徴量に対する変化率と、前記対象物の前記表面形状に異常がない場合の前記変化率である基準変化率とに基づいて、前記対象物の前記表面形状の異常を判定する、表面形状検査方法。
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