JP2018087761A - 3次元形状測定装置 - Google Patents
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Abstract
Description
(1)被測定物の表面形状を測定するための3次元形状測定装置であって、
前記被測定物の表面に第1のライン光を照射する第1の光照射部と、
前記被測定物の表面に第2のライン光を照射する第2の光照射部と、
前記被測定物の表面に照射された前記第1のライン光及び前記第2のライン光の像をそれぞれ撮像する撮像部と、を備え、
前記第1のライン光は、前記被測定物の表面に第1の方向に沿って照射され、
前記第2のライン光は、前記被測定物の表面に前記第1の方向とは異なる第2の方向に沿って照射される、3次元形状測定装置。
図1〜3に示すように、3次元形状測定装置10は、第1の光照射部12と、第2の光照射部14と、ビームスプリッタ16と、結像光学系18と、撮像部20とを備えている。これら第1の光照射部12、第2の光照射部14、ビームスプリッタ16、結像光学系18、及び撮像部20は、互いの位置関係が変化しないように、不図示の筐体などに固定されてもよい。
図3〜図5に示すように、表面に半球状の凸部M1を有する被測定物Mに第1のライン光L1及び第2のライン光L2を照射した場合、被測定物Mの表面形状に応じた曲線状の像IMG1及び像IMG2がそれぞれ得られる。これらの像IMG1、IMG2は、撮像部20によってそれぞれ撮像される。そして、これら第1のライン光L1の像IMG1及び第2のライン光L2の像IMG2のデータを計算処理することによって、被測定物Mの表面の3次元形状を得ることができる。必要に応じて、被測定物Mの表面の3次元形状を表すデータを、他の装置に送信することができる。また、被測定物Mの表面の3次元形状を表すデータを利用して、モニタ等に被測定物Mの3次元形状を表示することもできる。
12 第1の光照射部
14 第2の光照射部
16 ビームスプリッタ
18 結像光学系
20 撮像部
22 撮像面
L1 第1のライン光
L2 第2のライン光
M 被測定物
Claims (6)
- 被測定物の表面形状を測定するための3次元形状測定装置であって、
前記被測定物の表面に第1のライン光を照射する第1の光照射部と、
前記被測定物の表面に第2のライン光を照射する第2の光照射部と、
前記被測定物の表面に照射された前記第1のライン光及び前記第2のライン光の像をそれぞれ撮像する撮像部と、を備え、
前記第1のライン光は、前記被測定物の表面に第1の方向に沿って照射され、
前記第2のライン光は、前記被測定物の表面に前記第1の方向とは異なる第2の方向に沿って照射される、3次元形状測定装置。 - 前記撮像部が1つである、請求項1に記載の3次元形状測定装置。
- 前記第1のライン光と前記第2のライン光が交差する角度が90度である、請求項1または請求項2に記載の3次元形状測定装置。
- 前記第1のライン光と前記第2のライン光が、前記被測定物の表面に異なった時間に照射される、請求項1から請求項3のうちいずれか1項に記載の3次元形状測定装置。
- 前記第1のライン光と前記第2のライン光が、前記被測定物の表面に交互に照射される、請求項4に記載の3次元形状測定装置。
- 前記撮像部によって撮像された前記第1のライン光及び前記第2のライン光の像の画像データを処理することによって、前記被測定物の表面の3次元形状を計算する処理部を有する、請求項1から請求項5のうちいずれか1項に記載の3次元形状測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016231411A JP2018087761A (ja) | 2016-11-29 | 2016-11-29 | 3次元形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2016231411A JP2018087761A (ja) | 2016-11-29 | 2016-11-29 | 3次元形状測定装置 |
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JP2016231411A Pending JP2018087761A (ja) | 2016-11-29 | 2016-11-29 | 3次元形状測定装置 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP2018087761A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022129355A (ja) * | 2021-02-24 | 2022-09-05 | 株式会社Rist | 表面形状検査装置及び表面形状検査方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04158205A (ja) * | 1990-10-23 | 1992-06-01 | Toshiba Corp | 形状計測内視鏡装置 |
JPH07234113A (ja) * | 1994-02-24 | 1995-09-05 | Mazda Motor Corp | 形状検出方法及びその装置 |
-
2016
- 2016-11-29 JP JP2016231411A patent/JP2018087761A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH04158205A (ja) * | 1990-10-23 | 1992-06-01 | Toshiba Corp | 形状計測内視鏡装置 |
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JP2022129355A (ja) * | 2021-02-24 | 2022-09-05 | 株式会社Rist | 表面形状検査装置及び表面形状検査方法 |
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