JP6976101B2 - 結晶シリコン系太陽電池 - Google Patents
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Description
前記p型シリコン系薄膜と前記第一の透明電極層とが直接接しており、
前記n型シリコン系薄膜と前記第二の透明電極層とが直接接しており、
前記第一の透明電極層の膜厚d1と前記第二の透明電極層の膜厚d2の比d1/d2が0.080〜0.800である、結晶シリコン系太陽電池、である。
前記p型シリコン系薄膜と前記第一の透明電極層とが直接接しており、
前記n型シリコン系薄膜と前記第二の透明電極層とが直接接しており、
前記第一の透明電極層の膜厚d1と前記第二の透明電極層の膜厚d2の比d1/d2が0.080〜0.800である、結晶シリコン系太陽電池、である。
(膜厚)
透明電極の膜厚は、SEM(フィールドエミッション型走査型電子顕微鏡S4800、日立ハイテクノロジーズ社製)を用い、10万倍の倍率で観察して求めた。
透明電極層61、62まで製膜が完了した太陽電池セルの第一透明電極層の表面を4探針法(三菱ケミカルアナリテック製、ロレスタ MCP−T700)で測定した。
ソーラーシミュレータにより、AM1.5の光を100mW/cm2の光量で照射して、開放端電圧(Voc)、短絡電流密度(Jsc)、曲線因子(FF)および変換効率(Eff)を測定した。
太陽電池セルを、第一透明電極層が上になるようにして平面に置き、端部の浮上がっている高さの最大量を定規で測定した。この時端部が浮上がっている状態を正、中央部が浮上がっている状態を負とした。
実施例1では、図1に模式的に示すヘテロ接合太陽電池が作製された。
が6nmの膜厚で製膜された。その上に、n型非晶質シリコン系薄膜が10nmの膜厚で製膜された。n型非晶質シリコン系薄膜の製膜条件は、基板温度が150℃、圧力が60Pa、SiH4/希釈PH3流量比が1/2、高周波パワー密度が0.011W/cm2であった。上記希釈PH3ガスとしては、H2によりPH3濃度が5000ppmまで希釈されたガスが用いられた。
実施例1の第一の透明電極層および第二の透明電極層の形成において、製膜条件(ターゲット中の酸化錫含有量、基板温度、圧力、パワー密度、ガス導入量)が表1に示すように変更された。それ以外は実施例1と同様にして、ヘテロ接合太陽電池が作製された。比較例1〜2では、第一・第二透明電極層の膜厚を同じとすることで反りのない太陽電池を作製した。
導電性の添加剤として、酸化チタン、酸化タングステン、酸化亜鉛をそれぞれ用いて、表1に示す膜厚、製膜条件で第一・第二の透明電極層を形成し、それ以外は実施例1と同様にしてヘテロ接合太陽電池が作製された。
比べると、第一透明電極の膜厚は同じであるが、曲線因子FFが高くなっている影響により太陽電池性能が高い結果となった。加えて、短絡電流密度もわずかながら実施例3の方が高い結果となった。これは、基板が反ることで第一透明電極を通して入射した光の閉じ込め効果が高くなった為と考えられる。
21,22 : 真性シリコン系薄膜
41 : p型シリコン系薄膜、導電型シリコン系薄膜
42 : n型シリコン系薄膜、導電型シリコン系薄膜
421 : n型非晶質シリコン系薄膜
422 : n型微結晶シリコン系薄膜
61,62 : 透明電極層
71,72 : 集電極
Claims (3)
- 導電型単結晶シリコン基板の一方の面に、p型シリコン系薄膜および第一の透明電極層をこの順に有し、前記導電型単結晶シリコン基板の他方の面にn型シリコン系薄膜および第二の透明電極層をこの順に有する結晶シリコン系太陽電池であって、
前記p型シリコン系薄膜と前記第一の透明電極層とが直接接しており、
前記n型シリコン系薄膜と前記第二の透明電極層とが直接接しており、
前記第一の透明電極層の膜厚d1と前記第二の透明電極層の膜厚d2の比d1/d2が0.080〜0.800であり、
第一の透明電極層側を上側にして平面に置いた時に観測される基板端部の浮上がりの最大量h1と、基板の最も長い直線距離の長さL1との比h1/L1が、0.006〜0.028である、結晶シリコン系太陽電池。 - 第一の透明電極層の膜厚が10〜50nmであり、第二の透明電極層の膜厚が40〜120nmである、請求項1に記載の結晶シリコン系太陽電池。
- 第一の透明電極層および第二の透明電極層が、酸化インジウムを主成分とする透明導電性酸化物からなる、請求項1または2に記載の結晶シリコン系太陽電池。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2017154058A JP6976101B2 (ja) | 2017-08-09 | 2017-08-09 | 結晶シリコン系太陽電池 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2017154058A JP6976101B2 (ja) | 2017-08-09 | 2017-08-09 | 結晶シリコン系太陽電池 |
Publications (2)
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JP2019033201A JP2019033201A (ja) | 2019-02-28 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6976101B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110491953A (zh) * | 2019-09-11 | 2019-11-22 | 南京爱通智能科技有限公司 | 一种高效晶硅光伏电池结构及其制备方法 |
CN114649422B (zh) * | 2020-12-17 | 2024-05-10 | 浙江爱旭太阳能科技有限公司 | 一种硅基异质结太阳电池结构及制备方法 |
CN114649438B (zh) * | 2020-12-17 | 2024-05-10 | 浙江爱旭太阳能科技有限公司 | 一种n型hibc太阳电池的制备方法 |
CN113451431A (zh) * | 2021-07-06 | 2021-09-28 | 安徽华晟新能源科技有限公司 | 一种异质结太阳能电池及其制备方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2450961B1 (en) * | 2009-07-03 | 2016-10-05 | Kaneka Corporation | Crystalline silicon type solar cell and process for manufacture thereof |
EP2672522A4 (en) * | 2011-01-31 | 2014-03-19 | Sanyo Electric Co | PHOTOELECTRIC CONVERSION ELEMENT |
EP2905814B1 (en) * | 2012-10-02 | 2020-04-01 | Kaneka Corporation | Method for manufacturing crystalline silicon solar cell, and method for manufacturing solar cell module |
KR101497326B1 (ko) * | 2013-09-26 | 2015-03-03 | 주식회사 테스 | 태양전지모듈의 제조방법 |
KR101821394B1 (ko) * | 2016-01-14 | 2018-01-23 | 엘지전자 주식회사 | 태양전지 |
-
2017
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2019033201A (ja) | 2019-02-28 |
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