JP6969181B2 - 光源用反射体、光源及び光源用反射体の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は光源用反射体、光源及び光源用反射体の製造方法に関し、例えば紙幣のような紙葉状の媒体を投入して所望の取引を行う自動取引装置（ＡＴＭ：Automatic Teller Machine）等に適用して好適なものである。

従来、金融機関等で使用される自動取引装置は、顧客との取引内容に応じて、例えば顧客に紙幣や硬貨等の現金を入金させる入金取引や、顧客へ現金を出金する出金取引等の各種取引を行う。この自動取引装置には、例えばキャッシュカードを取り扱うカード処理装置や、紙幣を取り扱う紙幣入出金機等が組み込まれている。

この紙幣入出金機には、紙幣を搬送する搬送部や、入金された紙幣の金種、真偽、或いは損傷の程度等を鑑別する鑑別部が組み込まれている。この鑑別部には、搬送される紙幣の紙面に光を照射して撮像し画像を生成する光学センサユニット等が設けられている。さらに光学センサユニットは、紙幣の搬送方向と直交する幅方向に沿って線状に光を照射する線状光源や、この線状光源と平行に配置された線状のイメージセンサ等が設けられている。鑑別部やこれを制御する制御部では、複数種類のセンサユニットからそれぞれ得られた検出結果や画像等を総合的に判断することにより、各紙幣の金種や真偽等を適切に鑑別することができる。この線状光源では、例えばＬＥＤ（Light Emitting Diode）でなる発光素子から発光された光を、光を反射するリフレクタにより反射するものがある（例えば、特許文献１参照）。線状光源は、リフレクタに実装された発光素子から紙幣の各部分に光を照射する。

そのようなリフレクタは、ウェットエッチングにより、図２８に示す平面形状の周囲面７０から凹む凹部６４が形成される。この凹部６４は、発光素子が実装される平面形状の発光素子実装領域が形成された底面６５と、該底面６５側から離れるに連れて発光素子群の光軸から遠ざかるような平面形状の傾斜面６７とを有している。リフレクタ１０４０（図２７）は、傾斜面６７と周囲面７０とを含む全面に、光を反射する例えばアルミニウムでなる反射膜６８が成膜されている。このリフレクタ１０４０は、発光素子が発光した光を傾斜面６７の反射膜６８で反射することにより、光を効率良く照射する。

またリフレクタ１０４０は、図２７に示す複数リフレクタ板１０８０のように、凹部６４がシリコン基板７９にウェットエッチングで形成された上で反射膜６８が蒸着された複数のリフレクタ１０４０が作成された上で、隣接するリフレクタ１０４０同士の間において反射膜６８が形成された周囲面７０を図２８に示すダイシングブレードＢＤにより板厚方向に沿ってダイシングされ、個別のリフレクタ１０４０に分割して切り出される。

特開２００８−５３０６８号公報

しかしながら、そのような複数リフレクタ板１０８０においては、隣接するリフレクタ１０４０同士の間における反射膜６８が形成された周囲面７０をダイシングされる際に、周囲面７０の反射膜６８がシリコン基板７９から剥がれ、周囲面７０において剥がれた反射膜６８とつながっている傾斜面６７の反射膜６８まで剥がれてしまう可能性があった。

本発明は以上の点を考慮してなされたもので、信頼性を向上させ得る光源用反射体、光源及び光源用反射体の製造方法を提案しようとするものである。

かかる課題を解決するため本発明の光源用反射体においては、内側の空間の四方を囲う形状であり、シリコンによって構成された基部に、光を反射する反射膜が形成された周囲面と、周囲面に囲まれ周囲面に対し内側に傾斜し、基部に反射膜が形成された傾斜面と、周囲面の外縁において第１方向に沿う第１方向反射膜剥がれ抑止部と、周囲面の外縁において第１方向に直交する第２方向に沿う第２方向反射膜剥がれ抑止部とを有し、周囲面の外縁の四隅の角部においてそれぞれの角部を形成する外縁の２辺のうち少なくとも１辺を除いて形成され、周囲面に対し外側に傾斜し反射膜が形成された反射膜剥がれ抑止部傾斜面と、反射膜剥がれ抑止部傾斜面と周囲面との間に形成され互いに異なる方向に沿う平面同士の境界であり反射膜が形成された稜線部とを有する反射膜剥がれ抑止部とを設け、傾斜面及び反射膜剥がれ抑止部傾斜面は、シリコンの結晶方位における［１１１］面で形成されるようにした。

また本発明の光源においては、前述の光源用反射体と、光源用反射体に固定され光を発光する発光素子とを設けるようにした。

さらに本発明の光源用反射体の製造方法においては、シリコンによって構成された基板をエッチングすることにより、内側の空間の四方を囲う形状である周囲面に囲まれ周囲面に対し傾斜する傾斜面と、傾斜面を囲う切断部と周囲面との間において形成され互いに異なる方向に沿う平面同士の境界である稜線部が形成された反射膜剥がれ抑止部とを、シリコンの結晶方位における［１１１］面をエッチングする異方性エッチングにより形成するエッチング工程と、エッチング工程の後に、光を反射する反射膜を周囲面、反射膜剥がれ抑止部及び傾斜面に形成することにより、複数の光源用反射体が形成された複数光源用反射体板を形成する反射膜形成工程と、反射膜形成工程の後に、複数光源用反射体板における切断部を板厚方向に切断して、複数光源用反射体板を個別の光源用反射体に分割する切断工程とを設け、反射膜剥がれ抑止部は、切断部を含む位置において切断領域の幅よりも広く形成された、少なくとも１方向の断面がＶ字形状の溝であり、エッチング工程において、複数光源用反射体板において傾斜面と同一工程の異方性エッチングにより形成され、切断工程後に周囲面の外縁の四隅の角部となる領域のそれぞれの角部を形成する外縁となる２辺のうち少なくとも１辺を除いて形成されるようにした。

本発明は、切断部における反射膜の剥がれを第２稜線部で食い止めることにより、傾斜面の反射膜まで剥がれないようにすることができる。

本発明によれば、信頼性を向上させ得る光源用反射体、光源及び光源用反射体の製造方法を実現できる。

自動取引装置の構成を示すブロック図である。 鑑別部の構成を示す左側面図である。 光学センサユニットの構成を示す底面図である。 光学センサ部の構成を示す断面図である。 発光素子モジュールの構成（１）を示す斜視図である。 発光素子モジュールの構成（２）を示す分解斜視図である。 第１の実施の形態による発光素子モジュールの構成を示し、図６におけるＡ−Ａ矢視断面図である。 第１の実施の形態によるリフレクタの構成（１）を示し、図７における部分拡大図である。 第１の実施の形態によるリフレクタの構成（２）を示す右側面図である。 第１の実施の形態による複数リフレクタ板の構成を示す平面図である。 第１の実施の形態による剥がれ抑止パターンの構成を示し、図１０におけるＡ−Ａ矢視断面図である。 第１の実施の形態によるリフレクタの製造方法を示す断面図である。 第２の実施の形態によるリフレクタの構成を示す右側面図である。 第２の実施の形態による複数リフレクタ板の構成を示す平面図である。 第３の実施の形態によるリフレクタの構成を示す右側面図である。 第３の実施の形態による複数リフレクタ板の構成を示す平面図である。 第３の実施の形態による剥がれ抑止パターン（１）の構成を示し、図１６における領域ＡＲの拡大図である。 第３の実施の形態による剥がれ抑止パターン（２）の構成を示し、図１７におけるＡ−Ａ矢視断面図である。 第４の実施の形態によるリフレクタの構成を示す右側面図である。 第４の実施の形態による複数リフレクタ板の構成を示す平面図である。 第４の実施の形態による剥がれ抑止パターンの構成（１）を示し、図２０における領域ＡＲの拡大図である。 第４の実施の形態による剥がれ抑止パターンの構成（２）を示し、図２１におけるＡ−Ａ矢視断面図である。 第５の実施の形態によるリフレクタの構成を示す右側面図である。 第５の実施の形態による複数リフレクタ板の構成を示す平面図である。 他の実施の形態による発光素子モジュールの構成（１）を示す断面図である。 他の実施の形態による発光素子モジュールの構成（２）を示す断面図である。 従来の複数リフレクタ板の構成を示す平面図である。 従来のリフレクタ板の構成を示し、図２７におけるＡ−Ａ矢視断面図である。

以下、発明を実施するための形態（以下実施の形態とする）について、図面を用いて説明する。

［１．第１の実施の形態］
［１−１．自動取引装置及び紙幣取扱部の構成］
図１に模式的なブロック図を示すように、第１の実施の形態による自動取引装置１は、全体を統括的に制御する制御装置２に対し、電源部３、表示操作部４、紙幣取扱部５、硬貨取扱部６、カード取扱部７及び明細票取扱部８がそれぞれ接続された構成となっている。この自動取引装置１は、例えば金融機関の支店や商業施設等に設置されており、使用者（すなわち金融機関や商業施設の顧客）との間で、入金取引や出金取引等のような現金に関する種々の取引を行う。

制御装置２は、図示しないＣＰＵ（Central Processing Unit）を中心に構成されており、図示しないＲＯＭやフラッシュメモリ等から所定のプログラムを読み出して実行することにより、入金処理や出金処理等の種々の処理を行う。また制御装置２は、内部にＲＡＭ（Random Access Memory）、ハードディスクドライブやフラッシュメモリ等でなる記憶部（図示せず）を有しており、この記憶部に種々の情報を記憶させる。

電源部３は、図示しない商用電源に接続されており、制御装置２や紙幣取扱部５等の各部に所定の電源を供給する。表示操作部４は、例えばタッチパネルや操作ボタン（図示せず）等により構成されており、使用者に向けて所定の表示画面を表示する他、該使用者からの操作入力を受け付ける。

紙幣取扱部５は、使用者との間で取引される現金のうち、長方形に形成された紙葉状の媒体である紙幣を取り扱う。紙幣は、表面及び裏面にそれぞれ特有の絵柄が印刷されており、また透かし等の加工が施されている。この紙幣取扱部５は、全体を制御する紙幣制御部１１や、使用者との間で紙幣を受け渡す入出部としての入出金部１２、紙幣を鑑別する鑑別部１３、及び紙幣を収納する紙幣収納庫１４等を有している。

具体的に紙幣取扱部５は、例えば入金取引において入出金部１２を介して使用者から紙幣を受け取ると、この紙幣を１枚ずつに分離して搬送し、鑑別部１３により金種や真偽、或いは走行状態等を鑑別し、金種ごとに紙幣収納庫１４に収納する。また紙幣取扱部５は、例えば出金取引において使用者から出金額が指定されると、この出金額に応じた金種及び枚数の紙幣を紙幣収納庫１４から順次繰り出して搬送し、鑑別部１３により各紙幣の金種や搬送状態等を鑑別し、入出金部１２内で集積した上で使用者に引き渡す。

硬貨取扱部６は、使用者との間で取引される現金のうち、扁平な円板状に形成された金属の媒体である硬貨を取り扱う。カード取扱部７は、例えば使用者からキャッシュカードを受け取り、記録されている磁気情報を読み取ることにより該使用者の口座番号等を読み取る。明細票取扱部８は、使用者との間で取引が行われると、所定の用紙に取引の日時や内容等を印刷することにより明細票を発行し、これを使用者に受け取らせる。

［１−２．鑑別部の構成］
鑑別部１３は、図２に模式的な側面図を示すように、中空の直方体状に形成された筐体２０の内部に、全体を制御する鑑別制御部２１が設けられており、また紙幣を搬送すると共に鑑別するための複数の部品が設けられている。鑑別制御部２１は、紙幣制御部１１（図１）と同様、図示しないＣＰＵを中心に構成されており、図示しないＲＯＭやフラッシュメモリ等から所定のプログラムを読み出して実行することにより、画像生成処理や鑑別処理等の種々の処理を行う。また鑑別制御部２１は、内部にＲＡＭやフラッシュメモリ等でなる記憶部（図示せず）を有しており、この記憶部に種々の情報を記憶させる他、鑑別処理に必要な情報を予め記憶している。

筐体２０の内部における上下方向の中央付近には、それぞれ上下方向に薄い板状に形成された上搬送ガイド２２Ｕ及び下搬送ガイド２２Ｌが、上下方向に所定の間隔を隔てて配置されている。上搬送ガイド２２Ｕ及び下搬送ガイド２２Ｌの間は、紙幣ＢＬが搬送される経路である搬送路Ｗとなっている。また筐体２０内には、搬送路Ｗに沿って、前後方向に離散的な複数の箇所に搬送ローラ対２３がそれぞれ設けられ、さらに搬送ローラ対２３同士の間やその前後に、磁気センサ部２４、光学センサ部２６及び厚みセンサ部２８がそれぞれ設けられている。

搬送ローラ対２３は、搬送路Ｗの上側及び下側にそれぞれ搬送ローラが設けられており、そのうち一方（例えば下側）の搬送ローラに所定のモータ（図示せず）から駆動力が伝達され、他方の搬送ローラが下方へ押し付けられている。この各搬送ローラ対２３は、モータ（図示せず）から駆動力が伝達されて回転すると、紙幣ＢＬを搬送ローラ同士の間に挟持して駆動力を伝達することにより、搬送路Ｗに沿って前方向又は後方向へ搬送する。

磁気センサ部２４は、搬送路Ｗの上側に配置された磁気ヘッド２５Ａと、該搬送路Ｗの下側に配置された押付ローラ２５Ｂとにより構成されている。この磁気センサ部２４は、搬送路Ｗに沿って搬送されてくる紙幣ＢＬを押付ローラ２５Ｂにより磁気ヘッド２５Ａへ押し付け、該磁気ヘッド２５Ａにより紙幣ＢＬから磁気を検出し、得られた検出結果を鑑別制御部２１へ送信する。

光学センサ部２６は、搬送路Ｗの上側に配置された上光学センサユニット２７Ｕと該搬送路Ｗの下側に配置された下光学センサユニット２７Ｌとにより構成されている。説明の都合上、以下では上光学センサユニット２７Ｕ及び下光学センサユニット２７Ｌをまとめて光学センサユニット２７とも呼ぶ。また下光学センサユニット２７Ｌは、上光学センサユニット２７Ｕを上下に反転させた構成となっている。このため以下では、主に上光学センサユニット２７Ｕについて説明する。

光学センサユニット２７は、大きく分けて、左右方向に沿った線状の光を搬送路Ｗへ向けて発光する発光部３２（図４）と、左右方向に沿った線状の撮像範囲において該搬送路Ｗから進行してくる光を受光して撮像する受光部３３（図４）とにより構成されている（詳しくは後述する）。光学センサ部２６の各光学センサユニット２７は、搬送路Ｗに沿って搬送されてくる紙幣ＢＬの上面及び下面に対して、それぞれ線状の光を照射しながら線状の撮像範囲を撮像し、得られた線状の画像を鑑別制御部２１へ供給する動作を繰り返す。これに応じて鑑別制御部２１では、順次得られる線状の画像を順次連結させることにより、紙幣ＢＬの両紙面をそれぞれ表す画像を生成し、これを金種や真偽等の鑑別処理に用いる。

また紙幣ＢＬは、偽造対策等の目的により、所定部分に特殊な蛍光インクが用いられている。この蛍光インクは、紫外光が照射されると蛍光を発光する性質を有する。このため光学センサユニット２７は、紙幣ＢＬに可視光を照射して線状の画像を生成すると共に、該紙幣ＢＬに紫外光を照射して線状の蛍光画像を生成し、それぞれを鑑別制御部２１へ供給して画像を生成させる。

厚みセンサ部２８は、搬送路Ｗの上側に配置された変位ユニット２９Ａと、該搬送路Ｗの下側に配置された基準ローラ２９Ｂとにより構成されている。変位ユニット２９Ａは、回転するローラが組み込まれ、上下方向へ変位し得るように構成されると共に下方向へ付勢されており、さらに該ローラ等における上下方向の変位量を検出する。一方、基準ローラ２９Ｂは、上下方向の位置が固定されており、自在に回転する。この厚みセンサ部２８は、紙幣ＢＬが搬送されてくると、各ローラを適宜回転させながらその間に該紙幣ＢＬを挟持し、該紙幣ＢＬの厚みに応じて変位ユニット２９Ａを上下方向へ変位させると共にその変位量を検出して、得られた検出結果を鑑別制御部２１へ供給する。

鑑別制御部２１は、磁気センサ部２４、光学センサ部２６及び厚みセンサ部２８からそれぞれ得られた検出結果や画像等を基に所定の鑑別処理を行うことにより、紙幣ＢＬの金種、真偽、搬送状態（２枚以上が重なっているか否か等）及び損傷の程度等を鑑別し、これを紙幣制御部１１（図１）へ送信する。これに応じて紙幣制御部１１は、制御装置２（図１）と適宜連携しながら、各種取引処理を実行する。

［１−３．光学センサユニットの構成］
次に、上側の上光学センサユニット２７Ｕ（図２）を例として、光学センサユニット２７の構成について説明する。光学センサユニット２７は、下側から見上げた模式的な平面図を図３に示すと共に、模式的な断面図を図４に示すように、周囲を囲む筐体３１の内部に発光部３２が設けられ、さらにこの発光部３２に周囲を囲まれるようにして受光部３３が設けられている。

因みに上搬送ガイド２２Ｕ（図４）には、上光学センサユニット２７Ｕの真下となる箇所に、ガラス板２２ＵＧが嵌め込まれており、光を透過させると共に紙幣ＢＬを搬送路Ｗに沿って案内する。これと同様に下搬送ガイド２２Ｌには、下光学センサユニット２７Ｌの真上となる箇所に、ガラス板２２ＬＧが嵌め込まれている。

発光部３２（図３）は、右側及び左側にそれぞれホルダ４１が配置されており、また各ホルダ４１の左右両外側に、カバー板４２、ＦＰＣ（Flexible Printed Circuits）４３及びベース板４４がそれぞれ順次重なるように配置されている。このうち各ＦＰＣ４３の内側面には、前後に１箇所ずつ設けられた発光素子取付領域４３Ａに、リフレクタ３９又は４０（図７）を介してそれぞれ複数の発光素子が取り付けられている（詳しくは後述する）。また説明の都合上、以下では、リフレクタ３９、リフレクタ４０、カバー板４２、ＦＰＣ４３及びベース板４４をまとめて発光素子モジュール４５と呼ぶ。

左右のホルダ４１の間には、比較的前側及び比較的後側であって、左右それぞれのＦＰＣ４３における各発光素子取付領域４３Ａに挟まれた位置に、導光体４６がそれぞれ配置されている。この導光体４６は、光の透過率が比較的高い材料によって構成されており、その断面が楕円形状に形成されている（図４）。

さらに前側の導光体４６は、外形を表す楕円における長軸の延長線を後ろ斜め下方向に向けており、搬送路Ｗ上において照射箇所Ｐを通過するように、その取付位置や取付角度が調整されている。後側の導光体４６は、前側の導光体４６と前後対称となるように、その取付位置や取付角度が調整されている。因みに照射箇所Ｐは、上搬送ガイド２２Ｕ及び下搬送ガイド２２Ｌのほぼ中間であって、且つ前側の導光体４６及び後側の導光体４６のほぼ中間に位置しており、左右方向に細長い線状の部分となっている。

この導光体４６は、例えば左側のＦＰＣ４３（図３）に取り付けられた発光素子（詳しくは後述する）から右方向へ向けて出射された光が入射されると、この光の一部分を斜め下方向にある照射箇所Ｐ（図４）へ向けて出射させ、残りの部分を右方向へ進行させる。また導光体４６は、左側のＦＰＣ４３（図３）にリフレクタ３９又は４０（図７）を介して取り付けられた発光素子から左方向へ向けて出射された光についても、同様に左方向へ進行させながら、その一部を照射箇所Ｐへ向けて出射させる。

また導光体４６は、光学設計が適切になされており、左右それぞれの発光素子から入射された光を、左右方向の全範囲に渡ってほぼ一様な光量となるように導光し、照射箇所Ｐへ照射することができる。このため発光部３２は、左右方向に細長い照射箇所Ｐに対して、前斜め上側及び後斜め上側から、左右方向にほぼ一様な光量でなる線状の光をそれぞれ照射することができる。説明の都合上、以下では発光部３２を線状光源とも呼ぶ。

一方、受光部３３（図３）は、左右方向に関して各ホルダ４１の間であり、且つ前後方向に関して各導光体４６の間となる箇所に位置しており、受光基板４８と、ロッドレンズアレイ４９とにより構成されている。因みに光学センサユニット２７では、左右のホルダ４１により、２本の導光体４６、受光基板４８及びロッドレンズアレイ４９における左右の両端近傍をそれぞれ支持し、それぞれの位置を固定している。

受光基板４８（図４）の下面には、ロッドレンズアレイ４９の真上となる箇所に、左右方向に細長い受光センサ４８Ｓが取り付けられている。ロッドレンズアレイ４９は、照射箇所Ｐの真上に位置しており、その内部において、光軸を上下方向に沿わせた微小なレンズが左右方向に沿って複数整列されている。このためロッドレンズアレイ４９は、該照射箇所Ｐから上方向へ進行してくる光を集光して、受光センサ４８Ｓに照射することができる。これにより受光部３３は、照射箇所Ｐから得られる光に応じた、線状の画像を生成することができる。

［１−４．発光素子モジュールの構成］
次に、光源としての発光素子モジュール４５の構成について説明する。因みに光学センサユニット２７には、左右に１組ずつ設けられた発光素子モジュール４５が、互いに左右対称に構成されている。このため以下では、右方向へ向けて光を出射させる左側の発光素子モジュール４５を例に説明する。

図５及び図６に斜視図を示すように、発光素子モジュール４５は、右側から左側へ向けてカバー板４２、ＦＰＣ４３及びベース板４４が順次重ねられた構成となっている。ＦＰＣ４３は、左右方向に薄い平板状ないしフィルム状の配線基板であり、下端近傍が前後方向に長く、これ以外の部分が前後方向に短く形成されており、左右方向から見て英文字の「Ｔ」を上下に反転させたような形状となっている。また上述したように、ＦＰＣ４３のうち下寄りの部分、すなわち前後方向に長い部分の右側面には、前側及び後側の２箇所に、概ね円形の領域である発光素子取付領域４３Ａがそれぞれ設けられている。因みにＦＰＣ４３の上端近傍には、金属部分が露出された複数の端子が形成されており、鑑別制御部２１（図２）と電気的に接続される。

カバー板４２は、左右方向に薄い板状の部材であり、ＦＰＣ４３の右側面のうち上端近傍及び２箇所の発光素子取付領域４３Ａを除いた部分を覆っている。このためカバー板４２には、２箇所の発光素子取付領域４３Ａとそれぞれ対応する２箇所に、ほぼ円形の孔部４２Ｈがそれぞれ穿設されている。

ベース板４４は、カバー板４２よりも厚い、すなわち左右方向に長い板状の部材であり、ＦＰＣ４３の左側面のうち下寄りの前後方向に長い部分、すなわち２箇所の発光素子取付領域４３Ａの左側を含む部分を覆っている。このベース板４４は、例えばアルミニウム等の金属材料によって構成されており、ＦＰＣ４３の形状を維持すると共に、後述する発光素子において発生する熱を周囲の空気中へ放熱する。

各発光素子取付領域４３Ａには、何れもＬＥＤ（Light Emitting Diode）でなる青色発光素子５１、緑色発光素子５２及び赤色発光素子５３（これらをまとめて可視光発光素子群５４と呼ぶ）と、紫外光発光素子５６とがそれぞれ取り付けられている。可視光発光素子群５４の各発光素子並びに紫外光発光素子５６は、それぞれの光軸を右方向に向けた状態でＦＰＣ４３の右側面に取り付けられると共に、図７に示すように、電極パッド７５がボンディングワイヤ５８により該ＦＰＣ４３の電極パッド７６と電気的に接続されている。また発光素子取付領域４３Ａ（図６）では、可視光発光素子群５４の各発光素子が互いに近接するように配置されているのに対し、紫外光発光素子５６がこの可視光発光素子群５４からやや離れた箇所に配置されている。

因みに青色発光素子５１は、例えばＧａＮやＡｌＩｎＧａＮ、或いはＩｎＧａＮ等の化合物を有する半導体のＬＥＤチップであり、波長が約４５０〜４７０［ｎｍ］である青色の光を発光する。緑色発光素子５２は、例えばＧａＮやＡｌＩｎＧａＮ、或いはＩｎＧａＮ等の化合物を有する半導体のＬＥＤチップであり、波長が約５２０〜５５０［ｎｍ］である緑色の光を発光する。赤色発光素子５３は、例えばＡｌＩｎＧａＰ系やＧａＡｓ系の化合物を有する半導体のＬＥＤチップであり、波長が約６２５〜６６０［ｎｍ］である赤色の光を発光する。また紫外光発光素子５６は、例えばＧａＮやＡｌＩｎＧａＮ、或いはＩｎＧａＮ等の化合物を有する、サファイア等の絶縁性の基板を利用したＧａＮ系化合物半導体のＬＥＤチップであり、波長が約３７０〜３８０［ｎｍ］である紫外光を発光する。

そのうえ発光素子取付領域４３Ａでは、可視光発光素子群５４及び紫外光発光素子５６が、ボンディングワイヤ５８と共に、第１樹脂６１及び第２樹脂６２によりそれぞれ封止されている。第１樹脂６１及び第２樹脂６２は、例えば熱硬化性の樹脂であり、また可視光、赤外光及び紫外光の何れについても、比較的高い透過率で透過させる性質を有している。

［１−５．リフレクタの構成］
図７に示すように可視光発光素子群５４側のリフレクタ４０と、紫外光発光素子５６側のリフレクタ３９とはほぼ同一に形成されているため、以下では可視光発光素子群５４側のリフレクタ４０について説明する。図８及び図９に示すようにリフレクタ４０は、例えばシリコンによって構成されたシリコン基部３８に対して導電性を有する反射膜６８が重ねられており、ＦＰＣ４３の表面（すなわち右側面）にダイボンペースト７７により取り付けられている。このリフレクタ４０は、全体として可視光発光素子群５４よりも一回り大きい直方体状に構成されており、右側（すなわちＦＰＣ４３と反対側）の側面における中央部分に、左方向へ凹んだ凹部６４が形成されている。換言すれば、リフレクタ４０は、中空の直方体における一の側面が開放され、この開放された側面をＦＰＣ４３の反対側に向けた姿勢で、該ＦＰＣ４３に取り付けられている。

凹部６４の平面形状の底面６５、すなわちＦＰＣ４３の表面と平行な内側面である発光素子実装領域６６には、可視光発光素子群５４がダイボンペースト７８により取り付けられている。また凹部６４における底面６５以外の内側面は、該底面６５側から離れるに連れて可視光発光素子群５４の光軸ＸＩＲから遠ざかるような平面形状の傾斜面６７となっている。このリフレクタ４０は、傾斜面６７が底面６５との間に形成する傾斜角θ１が、シリコンの結晶構造に起因した角度である５４．７４［°］となっている。さらに凹部６４の内側面（底面６５及び傾斜面６７）には、アルミニウムの薄膜である反射膜６８が表面に設けられており、光の反射率が高められている。この反射膜６８は、凹部６４の底面６５及び傾斜面６７と、周囲面７０（後述する）と、抑止パターン傾斜面７１（後述する）との全ての表面に形成されている。

このように発光素子モジュール４５では、リフレクタ４０の凹部６４内における底面６５に可視光発光素子群５４を取り付けたため、可視光発光素子群５４から出射される可視光のうち、光軸ＸＩＲから外れて反射膜６８へ向けて進行した部分を高い割合で反射させることができる。

傾斜面６７の外側には、底面６５と平行な平面形状の周囲面７０が該傾斜面６７を前後上下の四方から囲うように形成されている。このため周囲面７０と傾斜面６７との間には、後述するダイシングラインＬＤと平行に延びる稜線である第１稜線部ＲＬ１が形成されている。

周囲面７０の外縁部には、四隅の角部７２を除いて平面形状の反射膜剥がれ抑止部傾斜面としての抑止パターン傾斜面７１が傾斜面６７を前後上下の四方から囲うように形成されている。抑止パターン傾斜面７１は、抑止パターン傾斜面７１ｘ及び抑止パターン傾斜面７１ｙにより構成されている。抑止パターン傾斜面７１は、周囲面７０からリフレクタ４０の外側の端面７３までにかけて、周囲面７０からＦＰＣ４３へ向かうに連れて端面７３へ向かうように周囲面７０から凹設された、すなわちリフレクタ４０の右端部の角部が面取りされたような平面形状となっている。また抑止パターン傾斜面７１は、リフレクタ４０の前後上下方向の外側を向く方向と、シリコン基部３８に対し反射膜６８が配される方向である右方とを含む方向に法線ベクトルＮＬが向いている。このリフレクタ４０は、周囲面７０と平行な面に対する、抑止パターン傾斜面７１のなす傾斜角θ２（図８）が、傾斜面６７の場合と同様に５４．７４［°］となっている。

図９に示すように抑止パターン傾斜面７１ｘは、周囲面７０におけるｙ方向の両端の外縁部において、リフレクタ４０における四隅である角部７２を除いてｘ方向の一端から他端までに亘ってｘ方向に沿って連続的に形成されている。なお図９においてはリフレクタ４０以外を図示せず省略する。抑止パターン傾斜面７１ｙは、周囲面７０におけるｘ方向の両端の外縁部において、角部７２を除いてｙ方向の一端から他端までに亘ってｙ方向に沿って連続的に形成されている。このため周囲面７０と抑止パターン傾斜面７１との間には、後述するダイシングラインＬＤと平行に延びる稜線である第２稜線部ＲＬ２が形成されている。このように抑止パターン傾斜面７１は、第２稜線部ＲＬ２よりも傾斜面６７から離隔する側に設けられている。この抑止パターン傾斜面７１は、角部７２を除いて、周囲面７０において途切れることなく連続的に後述するダイシングラインＬＤ上に形成されている。

［１−６．リフレクタの製造工程］
ところでリフレクタ４０は、その製造過程において、図１２（Ａ）に示すシリコン基板７９上にフォトマスク等でパターニングが行われた後、例えば水酸化カリウム等で結晶方位を利用した異方性のウェットエッチング（すなわち異方性エッチング）が行われることにより、図１２（Ｂ）に示すように剥がれ抑止パターン８１及び凹部６４が形成される（エッチング工程）。

このエッチング工程により、シリコン基板７９においてフォトマスクでマスクされることによりエッチングされずに残った面である周囲面７０に囲まれ周囲面７０に対し傾斜して該周囲面７０との間に第１稜線部ＲＬ１が形成された傾斜面６７が形成される。このときシリコン基板７９は、底面６５に実装される発光素子の厚さ及び大きさに応じて、凹部６４においてエッチングされる深さが調整され、発光素子実装領域６６が形成される。

またこのエッチング工程により、傾斜面６７を囲うダイシングラインＬＤ（図１０及び図１１）と傾斜面６７との間に少なくとも１つの第２稜線部ＲＬ２が形成された剥がれ抑止パターン８１が形成される。この剥がれ抑止パターン８１は、シリコン基板７９においてフォトマスクでマスクされることによりエッチングされずに残った面である周囲面７０から、横断面Ｖ字形状の溝として凹設される。この剥がれ抑止パターン８１は、分割後のリフレクタ４０の外周の四辺において、四面分の傾斜面６７を四方から囲うように配される（図９）。

またこのとき、結晶方位を利用したウェットエッチングが行われるため、剥がれ抑止パターン８１は、抑止パターン傾斜面７１となる［１１１］面でＶ溝が形成されるとそれ以降のエッチングがほぼストップされる。このため剥がれ抑止パターン８１と凹部６４とは、同時に加工されることができる。さらにこのとき、結晶方位によって底面６５となる［１００］面と抑止パターン傾斜面７１となる［１１１］面とのエッチングレートの差が１００分の１程度であり、それぞれの方位が交差する時の角度が５４．７４［°］であるため、図１１に示すように底面６５に対し傾斜角θ１が５４．７４［°］となる傾斜面６７が形成される。

次にシリコン基板７９の一方側の面における周囲面７０、剥がれ抑止パターン８１及び傾斜面６７を含む全面にアルミニウムが全面蒸着されることにより、図１２（Ｃ）に示すように傾斜面６７及び周囲面７０を含む全面に反射膜６８が形成され、複数リフレクタ板８０（図１０）が形成される（反射膜形成工程）。

これにより複数リフレクタ板８０は、図１０に示すように、隣接するリフレクタ４０同士の間に、個別のリフレクタ４０となる箇所の角部７２（図９）を除いて、断続的にｘ方向に延びる横断面Ｖ字形状の溝である剥がれ抑止パターン８１ｘとｙ方向に延びる横断面Ｖ字形状の溝である剥がれ抑止パターン８１ｙとが形成される。このため複数リフレクタ板８０は、個別のリフレクタ４０となる箇所の角部７２となる箇所である抑止パターン間隙間部８２において剥がれ抑止パターン８１ｘと剥がれ抑止パターン８１ｙとが形成されていない。

次に、反射膜製膜後の複数リフレクタ板８０を複数のリフレクタ４０に分割し小片化することにより、１個のリフレクタ４０が作成される（切断工程）。この切断工程では、反射膜製膜後の複数リフレクタ板８０が、図１１及び図１２（Ｄ）に示すようにダイシングラインＬＤ（図１０）において周囲面７０と対向する側からシリコン基部３８の板厚方向に沿うブレード移動方向ＤＢＤへ移動するダイシングブレードＢＤにより、板厚方向の下面まで研削され、図１２（Ｅ）に示すように１個のリフレクタ４０が切り出される。ここで、図１１に示すように、剥がれ抑止パターン８１の幅である抑止パターン幅Ｗ１は、ダイシングブレードＢＤの幅であるブレード幅ＷＢＤよりも十分に広く形成されている。因みにリフレクタ４０は、１辺が１．２ｍｍ程度であり、６インチのウェハである複数リフレクタ板８０から８６００個程度が切り出される。

［１−７．効果等］
以上の構成においてリフレクタ４０は、反射膜形成工程において、アルミニウムを複数リフレクタ板８０の一方側の面に全面蒸着させ反射膜６８を成膜させるようにした。これによりリフレクタ４０は、製造工程を簡略化し製造コストを低廉させることができる。しかしながらその場合、ダイシングラインＬＤ上にもアルミニウムが成膜されてしまう。このため、図２７及び図２８に示したように、剥がれ抑止パターン８１が形成されておらずダイシングブレードＢＤの移動方向（板厚方向）に直交する周囲面７０におけるダイシングラインＬＤ上のアルミニウムを切断工程においてダイシングブレードＢＤで研削される際、アルミニウムが剥がれて反射膜剥がれが発生しやすくなってしまう。すなわち、ダイシングブレードＢＤの移動方向と垂直な平面に金属膜が形成されていると、該金属膜をダイシングする際に、複数リフレクタ板１０８０のシリコン基部３８が欠けるチッピングが発生しやすくなる。チッピングが発生しシリコン基部３８が欠けると、そこから金属膜の剥がれが発生しやすくなる。ダイシングラインＬＤ上で反射膜剥がれが発生すると、そこで剥がれた反射膜６８とつながっている、ダイシングラインＬＤに近接するリフレクタ４０における傾斜面６７の反射膜６８まで剥がれてしまう可能性がある。

また、ダイシングラインＬＤ上で反射膜剥がれが発生しても、リフレクタ４０の傾斜面６７の反射膜６８まで剥がれてしまわないように、複数リフレクタ板１０８０において隣り合うリフレクタ１０４０の間のマージン、すなわちリフレクタ１０４０のｘ方向及びｙ方向の外側のマージンを大きくすることも考えられる。しかしながらその場合、１枚の複数リフレクタ板１０８０から切り出されるリフレクタ１０４０の取れ高が減少してしまう。

これに対しリフレクタ４０は、ダイシングラインＬＤを含むように剥がれ抑止パターン８１を形成するようにした。このためリフレクタ４０は、ダイシングラインＬＤと傾斜面６７との間に互いに異なる方向に沿う平面同士の境界である第２稜線部ＲＬ２を形成することができる。このためリフレクタ４０は、ダイシングラインＬＤにおいて反射膜６８が剥がれて、抑止パターン傾斜面７１に沿って剥がれが進行したとしても、その剥がれの進行方向を、第２稜線部ＲＬ２において周囲面７０に沿う方向へ変更させることができる。これによりリフレクタ４０は、ダイシングラインＬＤにおいて反射膜６８が剥がれたとしても、その剥がれを第２稜線部ＲＬ２で食い止めることにより反射膜剥がれが伝搬することを防ぎ、剥がれ抑止パターン８１内に留めることができる。

また複数リフレクタ板８０は複数リフレクタ板１０８０（図２７及び図２８）と比較して、ダイシングラインＬＤから傾斜面６７までの距離、すなわちダイシングラインＬＤから傾斜面６７までの反射膜６８の表面積を増加させることができる。このため複数リフレクタ板８０は、ダイシングラインＬＤにおいて反射膜６８が剥がれたとしても、その剥がれを傾斜面６７まで到達させにくくすることができる。

またリフレクタ４０は、ブレード移動方向ＤＢＤに対向する方向と、ダイシングブレードＢＤの回転側面に対向する方向（すなわちダイシングラインＬＤに対向する方向）とを含む方向に抑止パターン傾斜面７１の法線ベクトルＮＬが向くようにした。このためリフレクタ４０は、ダイシングブレードＢＤの移動方向と垂直な周囲面７０に形成された反射膜６８をダイシングする場合と比較して、周囲面７０に対し垂直な方向に対するブレード移動方向ＤＢＤの角度よりも、抑止パターン傾斜面７１に対し垂直な方向に対するブレード移動方向ＤＢＤの角度の方を大きくすることができ、リフレクタ４０のシリコン基部３８が欠けるチッピングを低減させることができる。

またダイシングラインＬＤを含むように剥がれ抑止パターン８１を形成することにより、反射膜６８をダイシングしてもチッピングの影響を低減させることができるため、リフレクタ４０は、複数リフレクタ板８０において隣り合うリフレクタ４０の間のマージン、すなわちリフレクタ４０の外側のマージンを小さくできる。このためリフレクタ４０は、１枚の複数リフレクタ板８０から切り出されるリフレクタ４０の取れ高を増加させることができる。

またリフレクタ４０は、エッチング工程において、結晶方位を利用したウェットエッチングが行われるため、剥がれ抑止パターン８１は、［１１１］面でＶ字形状の溝が形成させるとそれ以降のエッチングがほぼストップされる。このため剥がれ抑止パターン８１と凹部６４とは、同時に加工されることができる。

以上の構成によれば、第１の実施の形態による自動取引装置１の紙幣取扱部５に組み込まれる鑑別部１３の各光学センサユニット２７の発光部３２におけるリフレクタ４０は、複数のリフレクタ４０が形成された複数光源用反射体板としての複数リフレクタ板８０から切断部としてのダイシングラインＬＤにおいて切断され個別に分割されるリフレクタ４０において、光を反射する反射膜６８が形成された周囲面７０と、周囲面７０に囲まれ周囲面７０に対し傾斜して周囲面７０との間に第１稜線部ＲＬ１が形成され、光を反射する反射膜６８が周囲面７０における反射膜６８と連続的に形成された傾斜面６７と、ダイシングラインＬＤと傾斜面６７との間に少なくとも１つの第２稜線部ＲＬ２が形成された抑止パターン傾斜面７１とを設けるようにした。このためリフレクタ４０は、ダイシングラインＬＤにおける反射膜６８の剥がれを第２稜線部ＲＬ２で食い止めることにより、傾斜面６７の反射膜６８まで剥がれないようにすることができる。

［２．第２の実施の形態］
［２−１．自動取引装置及び紙幣取扱部の構成］
第２の実施の形態による自動取引装置１０１（図１）は、第１の実施の形態による自動取引装置１と比較して、紙幣取扱部５に代わる紙幣取扱部１０５を有する点において相違するものの、他の点については同様に構成されている。紙幣取扱部１０５は、第１の実施の形態による紙幣取扱部５（図１）と比較して、鑑別部１３に代わる鑑別部１１３を有する点において相違するものの、他の点については同様に構成されている。

［２−２．鑑別部の構成］
鑑別部１１３（図２）は、第１の実施の形態による鑑別部１３と比較して、光学センサ部２６に代わる光学センサ部１２６を有する点において相違するものの、他の点については同様に構成されている。光学センサ部１２６は、光学センサ部２６と比較して、光学センサユニット２７（上光学センサユニット２７Ｕ及び下光学センサユニット２７Ｌ）に代わる光学センサユニット１２７（上光学センサユニット１２７Ｕ及び下光学センサユニット１２７Ｌ）を有する点において相違するものの、他の点については同様に構成されている。

［２−３．光学センサユニット及び発光素子モジュールの構成］
光学センサユニット１２７（図３及び図４）は、第１の実施の形態による光学センサユニット２７と比較して、発光素子モジュール４５に代わる発光素子モジュール１４５を有する点において相違するものの、他の点については同様に構成されている。発光素子モジュール１４５（図５及び図６）は、第１の実施の形態による発光素子モジュール４５と比較して、リフレクタ４０に代わるリフレクタ１４０を有する点において相違するものの、他の点については同様に構成されている。

［２−４．リフレクタの構成］
リフレクタ１４０は、それぞれ図９と対応する図１３と、図１０と対応する図１４とに示すように、第１の実施の形態によるリフレクタ４０と比較して、抑止パターン傾斜面７１に代わる抑止パターン傾斜面１７１を有する点において相違するものの、他の点については同様に構成されている。抑止パターン傾斜面１７１は、抑止パターン傾斜面１７１ｘ及び抑止パターン傾斜面１７１ｙにより構成されている。リフレクタ１４０は、周囲面７０におけるｙ方向の両端の外縁部において、リフレクタ４０の抑止パターン傾斜面７１（図９）と同様の抑止パターン傾斜面１７１ｘが形成されている。またリフレクタ１４０は、周囲面７０におけるｘ方向の両端の外縁部において、四隅の角部７２を含んでｙ方向の一端から他端までに亘って連続的に抑止パターン傾斜面１７１ｙが形成されている。このようにリフレクタ１４０は、周囲面７０の外縁における一端から他端までに亘って、周囲面７０に沿う方向のうち第１方向としてのｙ方向に沿って連続的な第１方向反射膜剥がれ抑止部としての抑止パターン傾斜面１７１ｙと、隣接する抑止パターン傾斜面１７１ｙ同士の間において周囲面７０の外縁における一端近傍から他端近傍までに亘って、ｙ方向に直交する第２方向としてのｘ方向に沿って連続的な第２方向反射膜剥がれ抑止部としての抑止パターン傾斜面１７１ｘとを形成するようにした。

［２−５．複数リフレクタ板の構成］
図１４に示すように、複数のリフレクタ１４０が形成されており製造工程における切断工程において分割され個別のリフレクタ１４０が切り出される複数リフレクタ板１８０は、隣接するリフレクタ１４０同士の間に、ｙ方向の一端から他端までに亘って連続的にｙ方向に延びる剥がれ抑止パターン１８１ｙと、ｘ方向に隣接する剥がれ抑止パターン１８１ｙ同士の間において、剥がれ抑止パターン１８１ｙと交差する箇所は除いて、ｘ方向の一端から他端までに亘って断続的にｘ方向に延びる剥がれ抑止パターン１８１ｘとが形成されている。以下では剥がれ抑止パターン１８１ｘ及び１８１ｙをまとめて剥がれ抑止パターン１８１とも呼ぶ。

［２−６．効果等］
ここで、剥がれ抑止パターン１８１は結晶方位を利用したウェットエッチングで形成されているため、複数リフレクタ板１８０は、剥がれ抑止パターン１８１ｘと剥がれ抑止パターン１８１ｙとを交差させることができない。このため複数リフレクタ板８０（図１０）においては、リフレクタ４０の角部７２、すなわち複数リフレクタ板８０の抑止パターン間隙間部８２を除いて、剥がれ抑止パターン８１ｘと剥がれ抑止パターン８１ｙとを断続的に形成することにより、剥がれ抑止パターン８１ｘと剥がれ抑止パターン８１ｙとを交差させないようにしていた。しかしながらその場合、抑止パターン間隙間部８２においては、剥がれ抑止パターン８１が形成されていない箇所をダイシングされることとなるため、該抑止パターン間隙間部８２においては反射膜剥がれが発生しやすくなる可能性がある。

これに対し複数リフレクタ板１８０は、剥がれ抑止パターン１８１ｙを、剥がれ抑止パターン８１ｙをｙ方向に連結させたような形状とし、ｙ方向の一端から他端までに亘って連続的にｙ方向に延びるようにした。このため複数リフレクタ板１８０は、ｙ方向に沿ってダイシングされる際は、ダイシングラインＬＤ上の全ての箇所において剥がれ抑止パターン１８１ｙが存在するようにできる。これにより複数リフレクタ板１８０は、異方性エッチングを利用するために剥がれ抑止パターン１８１ｘと剥がれ抑止パターン１８１ｙとを交差させることができないという制約がある中で、剥がれ抑止パターン１８１がダイシングラインＬＤ上に存在しない領域を最小限に抑えることができる。

その他の点においても、第２の実施の形態によるリフレクタ１４０は、第１の実施の形態によるリフレクタ４０と同様の作用効果を奏し得る。

［３．第３の実施の形態］
［３−１．自動取引装置及び紙幣取扱部の構成］
第３の実施の形態による自動取引装置２０１（図１）は、第１の実施の形態による自動取引装置１と比較して、紙幣取扱部５に代わる紙幣取扱部２０５を有する点において相違するものの、他の点については同様に構成されている。紙幣取扱部２０５は、第１の実施の形態による紙幣取扱部５（図１）と比較して、鑑別部１３に代わる鑑別部２１３を有する点において相違するものの、他の点については同様に構成されている。

［３−２．鑑別部の構成］
鑑別部２１３（図２）は、第１の実施の形態による鑑別部１３と比較して、光学センサ部２６に代わる光学センサ部２２６を有する点において相違するものの、他の点については同様に構成されている。光学センサ部２２６は、光学センサ部２６と比較して、光学センサユニット２７（上光学センサユニット２７Ｕ及び下光学センサユニット２７Ｌ）に代わる光学センサユニット２２７（上光学センサユニット２２７Ｕ及び下光学センサユニット２２７Ｌ）を有する点において相違するものの、他の点については同様に構成されている。

［３−３．光学センサユニット及び発光素子モジュールの構成］
光学センサユニット２２７（図３及び図４）は、第１の実施の形態による光学センサユニット２７と比較して、発光素子モジュール４５に代わる発光素子モジュール２４５を有する点において相違するものの、他の点については同様に構成されている。発光素子モジュール２４５（図５及び図６）は、第１の実施の形態による発光素子モジュール４５と比較して、リフレクタ４０に代わるリフレクタ２４０を有する点において相違するものの、他の点については同様に構成されている。

［３−４．リフレクタの構成］
リフレクタ２４０は、それぞれ図９と対応する図１５と、図１０と対応する図１６と、図１７とに示すように、第１の実施の形態によるリフレクタ４０と比較して、抑止パターン傾斜面７１に加えて剥がれ抑止凹角錐８３を有する点において相違するものの、他の点については同様に構成されている。剥がれ抑止凹角錐８３は、剥がれ抑止凹角錐８３ｘ及び剥がれ抑止凹角錐８３ｙにより構成されている。剥がれ抑止凹角錐８３ｘは、周囲面７０における角部７２のｙ方向の両端の外縁部において、複数個が等間隔に間欠的にｙ方向に沿って整列して形成されている。剥がれ抑止凹角錐８３ｙは、周囲面７０における角部７２のｘ方向の両端の外縁部において、複数個が等間隔に間欠的にｙ方向に沿って整列して形成されている。この剥がれ抑止凹角錐８３は、図１８に一方向の断面図を示すように、周囲面７０に対して左側に、すなわちＦＰＣ４３側に四角錐を形成するように凹んでいると共に、外縁部がダイシングブレードＢＤにより板厚方向に削り取られた形状となっている。

図１８に示すようにこの剥がれ抑止凹角錐８３は、内側面に抑止パターン傾斜面８４が形成されている。抑止パターン傾斜面８４は、抑止パターン内側傾斜面８４ｉ及び抑止パターン外側傾斜面８４ｏにより構成されている。抑止パターン内側傾斜面８４ｉは、周囲面７０における傾斜面６７よりも外側において、周囲面７０からＦＰＣ４３へ向かうに連れて端面７３へ向かうように周囲面７０から凹設された平面形状となっている。この抑止パターン内側傾斜面８４ｉは、リフレクタ２４０の前後上下方向の外側を向く方向と、シリコン基部３８に対し反射膜６８が配される方向である右方とを含む方向に法線ベクトルＮＬが向いている。このため周囲面７０と抑止パターン内側傾斜面８４ｉとの間には、ダイシングラインＬＤと平行に延びる稜線である第３稜線部ＲＬ３が形成されている。

抑止パターン外側傾斜面８４ｏは、抑止パターン内側傾斜面８４ｉよりも傾斜面６７から離隔する外側において、ＦＰＣ４３から離れて右方へ向かうに連れて端面７３へ向かう平面形状となっている。この抑止パターン外側傾斜面８４ｏは、リフレクタ４０の前後上下方向の内側を向く方向と、シリコン基部３８に対し反射膜６８が配される方向である右方とを含む方向に法線ベクトルＮＬが向いている。このため抑止パターン内側傾斜面８４ｉと抑止パターン外側傾斜面８４ｏとの間には、ダイシングラインＬＤと平行に延びる稜線である第４稜線部ＲＬ４が形成されている。この剥がれ抑止凹角錐８３は、周囲面７０と平行な面に対する、内側面である抑止パターン傾斜面８４のなす傾斜角θ３（図１８）が、傾斜面６７の場合と同様に５４．７４［°］となっている。

［３−５．複数リフレクタ板の構成］
図１６に示すように、複数のリフレクタ２４０が形成されており製造工程における切断工程において分割され個別のリフレクタ２４０が切り出される複数リフレクタ板２８０は、抑止パターン間隙間部８２に、ダイシングラインＬＤ内の両脇において複数の剥がれ抑止凹角錐８３ｘが等間隔に間欠的にｘ方向に沿って整列して形成されると共に、ダイシングラインＬＤ内の両脇において複数の剥がれ抑止凹角錐８３ｙが等間隔に間欠的にｙ方向に沿って整列して形成される。この剥がれ抑止凹角錐８３は、図１７に示すように、ダイシングラインＬＤ内に含まれるように配置されている。このため剥がれ抑止凹角錐８３は、切断工程において切断されることにより、リフレクタ２４０において抑止パターン内側傾斜面８４ｉ、抑止パターン外側傾斜面８４ｏ、第３稜線部ＲＬ３及び第４稜線部ＲＬ４が形成される。この剥がれ抑止凹角錐８３は、図１８に一方向の断面図を示すように、周囲面７０に対して左側に、すなわちＦＰＣ４３側に四角錐を形成するように凹んでいる。この剥がれ抑止凹角錐８３は、エッチング工程において、異方性エッチングにより、剥がれ抑止パターン８１及び凹部６４と共に形成される。

［３−６．効果等］
以上の構成においてリフレクタ２４０は、抑止パターン傾斜面７１に加えて、角部７２におけるダイシングラインＬＤ内の両脇において複数の剥がれ抑止凹角錐８３を設けるようにした。このためリフレクタ２４０は、角部７２におけるダイシングラインＬＤと傾斜面６７との間に第３稜線部ＲＬ３及び第４稜線部ＲＬ４を形成することができる。このためリフレクタ２４０は、ダイシングラインＬＤにおいて反射膜６８が剥がれて、剥がれが進行したとしても、その剥がれの進行方向を、第４稜線部ＲＬ４及び第３稜線部ＲＬ３において変更させることができる。これによりリフレクタ２４０は、剥がれ抑止パターン８１を配置しにくい角部７２のダイシングラインＬＤにおいて反射膜６８が剥がれたとしても、その剥がれを第３稜線部ＲＬ３及び第４稜線部ＲＬ４で食い止め、剥がれ抑止凹角錐８３に留めることができる。

上述したように、剥がれ抑止パターン８１は異方性エッチングで形成されているため、複数リフレクタ板２８０は、剥がれ抑止パターン８１ｘと剥がれ抑止パターン８１ｙとを交差させることができない。このため複数リフレクタ板８０（図１０）においては、リフレクタ４０の角部７２、すなわち複数リフレクタ板８０の抑止パターン間隙間部８２を除いて、剥がれ抑止パターン８１ｘと剥がれ抑止パターン８１ｙとを断続的に形成することにより、剥がれ抑止パターン８１ｘと剥がれ抑止パターン８１ｙとを交差させないようにしていた。しかしながらその場合、抑止パターン間隙間部８２においては、剥がれ抑止パターン８１が形成されていない箇所をダイシングされることとなるため、該抑止パターン間隙間部８２においては反射膜剥がれが発生しやすくなる可能性がある。

これに対し複数リフレクタ板２８０は、複数の剥がれ抑止凹角錐８３を、抑止パターン間隙間部８２においてダイシングラインＬＤ内に含まれるように形成した。このため複数リフレクタ板２８０は、ｘ方向に沿ってダイシングされる際とｙ方向に沿ってダイシングされる際との両方において、抑止パターン間隙間部８２においてダイシングラインＬＤ上と傾斜面６７との間に間欠的に第３稜線部ＲＬ３及び第４稜線部ＲＬ４を存在させることができる。これにより複数リフレクタ板２８０は、異方性エッチングを利用するために剥がれ抑止パターン８１ｘと剥がれ抑止パターン８１ｙとを交差させることができないという制約がある中で、ダイシングラインＬＤ上と傾斜面６７との間に稜線部が存在しない領域を最小限に抑えることができる。

その他の点においても、第３の実施の形態によるリフレクタ２４０は、第１の実施の形態によるリフレクタ４０と同様の作用効果を奏し得る。

［４．第４の実施の形態］
［４−１．自動取引装置及び紙幣取扱部の構成］
第４の実施の形態による自動取引装置３０１（図１）は、第３の実施の形態による自動取引装置２０１と比較して、紙幣取扱部２０５に代わる紙幣取扱部３０５を有する点において相違するものの、他の点については同様に構成されている。紙幣取扱部３０５は、第３の実施の形態による紙幣取扱部２０５（図１）と比較して、鑑別部２１３に代わる鑑別部３１３を有する点において相違するものの、他の点については同様に構成されている。

［４−２．鑑別部の構成］
鑑別部３１３（図２）は、第３の実施の形態による鑑別部２１３と比較して、光学センサ部２２６に代わる光学センサ部３２６を有する点において相違するものの、他の点については同様に構成されている。光学センサ部３２６は、光学センサ部２２６と比較して、光学センサユニット２２７（上光学センサユニット２２７Ｕ及び下光学センサユニット２２７Ｌ）に代わる光学センサユニット３２７（上光学センサユニット３２７Ｕ及び下光学センサユニット３２７Ｌ）を有する点において相違するものの、他の点については同様に構成されている。

［４−３．光学センサユニット及び発光素子モジュールの構成］
光学センサユニット３２７（図３及び図４）は、第３の実施の形態による光学センサユニット２２７と比較して、発光素子モジュール２４５に代わる発光素子モジュール３４５を有する点において相違するものの、他の点については同様に構成されている。発光素子モジュール３４５（図５及び図６）は、第３の実施の形態による発光素子モジュール２４５と比較して、リフレクタ２４０に代わるリフレクタ３４０を有する点において相違するものの、他の点については同様に構成されている。

［４−４．リフレクタの構成］
リフレクタ３４０は、それぞれ図１５と対応する図１９と、図１６と対応する図２０と、図２１とに示すように、第３の実施の形態によるリフレクタ２４０と比較して、剥がれ抑止凹角錐８３に代えて剥がれ抑止凹角錐３８３を有する点において相違するものの、他の点については同様に構成されている。剥がれ抑止凹角錐３８３は、剥がれ抑止凹角錐３８３ｘ及び剥がれ抑止凹角錐３８３ｙにより構成されている。剥がれ抑止凹角錐３８３ｘは、剥がれ抑止凹角錐８３ｘよりも、傾斜面６７に近接する位置に配置されている。剥がれ抑止凹角錐３８３ｙは、剥がれ抑止凹角錐８３ｙよりも、傾斜面６７に近接する位置に配置されている。剥がれ抑止凹角錐３８３の内側面には、剥がれ抑止凹角錐８３（図１８）と同様の抑止パターン傾斜面８４（抑止パターン内側傾斜面８４ｉ及び抑止パターン外側傾斜面８４ｏ）が形成されている。この剥がれ抑止凹角錐３８３は、図２２に一方向の断面図を示すように、外縁部が板厚方向に削り取られていない形状となっている。このためリフレクタ３４０においては、剥がれ抑止凹角錐３８３よりも外周側に、周囲面７０が形成されている。これにより抑止パターン外側傾斜面８４ｏと周囲面７０との間には、ダイシングラインＬＤと平行に延びる稜線である第５稜線部ＲＬ５が形成されている。

［４−５．複数リフレクタ板の構成］
図２０に示すように、複数のリフレクタ３４０が形成されており製造工程における切断工程において分割され個別のリフレクタ３４０が切り出される複数リフレクタ板３８０は、複数リフレクタ板２８０（図１６）よりも、傾斜面６７に近接する位置に剥がれ抑止凹角錐３８３が配置されている。このため剥がれ抑止凹角錐３８３は、図２１に示すように、ダイシングラインＬＤの外側の両脇に配置されていることにより、切断工程において切断されない。これによりリフレクタ３４０は、抑止パターン内側傾斜面８４ｉ、抑止パターン外側傾斜面８４ｏ、第３稜線部ＲＬ３、第４稜線部ＲＬ４及び第５稜線部ＲＬ５が形成される。

［４−６．効果等］
以上の構成においてリフレクタ３４０は、抑止パターン傾斜面７１に加えて、角部７２におけるダイシングラインＬＤの外側の両脇において複数の剥がれ抑止凹角錐３８３を設けるようにした。このためリフレクタ３４０は、角部７２におけるダイシングラインＬＤと傾斜面６７との間に、第３稜線部ＲＬ３及び第４稜線部ＲＬ４に加えて第５稜線部ＲＬ５を形成することができる。このためリフレクタ３４０は、ダイシングラインＬＤにおいて反射膜６８が剥がれて、剥がれが進行したとしても、その剥がれの進行方向を、第４稜線部ＲＬ４及び第３稜線部ＲＬ３に加えて第５稜線部ＲＬ５において変更させることができる。これによりリフレクタ３４０は、剥がれ抑止パターン８１を配置しにくい角部７２のダイシングラインＬＤにおいて反射膜６８が剥がれたとしても、その剥がれを第３稜線部ＲＬ３、第４稜線部ＲＬ４及び第５稜線部ＲＬ５で食い止め、剥がれ抑止凹角錐３８３に留めることができる。

その他の点においても、第４の実施の形態によるリフレクタ３４０は、第３の実施の形態によるリフレクタ２４０と同様の作用効果を奏し得る。

［５．第５の実施の形態］
［５−１．自動取引装置及び紙幣取扱部の構成］
第５の実施の形態による自動取引装置４０１（図１）は、第３の実施の形態による自動取引装置２０１と比較して、紙幣取扱部２０５に代わる紙幣取扱部４０５を有する点において相違するものの、他の点については同様に構成されている。紙幣取扱部４０５は、第３の実施の形態による紙幣取扱部２０５（図１）と比較して、鑑別部２１３に代わる鑑別部４１３を有する点において相違するものの、他の点については同様に構成されている。

［５−２．鑑別部の構成］
鑑別部４１３（図２）は、第３の実施の形態による鑑別部２１３と比較して、光学センサ部２２６に代わる光学センサ部４２６を有する点において相違するものの、他の点については同様に構成されている。光学センサ部４２６は、光学センサ部２２６と比較して、光学センサユニット２２７（上光学センサユニット２２７Ｕ及び下光学センサユニット２２７Ｌ）に代わる光学センサユニット４２７（上光学センサユニット４２７Ｕ及び下光学センサユニット４２７Ｌ）を有する点において相違するものの、他の点については同様に構成されている。

［５−３．光学センサユニット及び発光素子モジュールの構成］
光学センサユニット４２７（図３及び図４）は、第３の実施の形態による光学センサユニット２２７と比較して、発光素子モジュール２４５に代わる発光素子モジュール４４５を有する点において相違するものの、他の点については同様に構成されている。発光素子モジュール４４５（図５及び図６）は、第３の実施の形態による発光素子モジュール２４５と比較して、リフレクタ２４０に代わるリフレクタ４４０を有する点において相違するものの、他の点については同様に構成されている。

［５−４．リフレクタの構成］
リフレクタ４４０は、それぞれ図１５と対応する図２３と、図１６と対応する図２４とに示すように、第３の実施の形態によるリフレクタ２４０と比較して、剥がれ抑止パターン８１に代えて剥がれ抑止凹角錐４８３を有すると共に、剥がれ抑止パターン８１が省略されている点において相違するものの、他の点については同様に構成されている。剥がれ抑止凹角錐４８３は、剥がれ抑止凹角錐４８３ｘ及び剥がれ抑止凹角錐４８３ｙにより構成されている。剥がれ抑止凹角錐４８３ｘは、剥がれ抑止凹角錐８３ｘと同一形状であり、周囲面７０におけるｙ方向の両端の外縁部において、ｘ方向の一端から他端までに亘って複数個が等間隔に間欠的にｘ方向に沿って整列して形成されている。剥がれ抑止凹角錐４８３ｙは、剥がれ抑止凹角錐８３ｙと同一形状であり、周囲面７０におけるｘ方向の両端の外縁部において、ｙ方向の一端から他端までに亘って複数個が等間隔に間欠的にｙ方向に沿って整列して形成されている。

このため複数リフレクタ板４８０は、ｘ方向に沿ってダイシングされる際とｙ方向に沿ってダイシングされる際との両方において、ダイシングラインＬＤ上と傾斜面６７との間に、周囲面７０の外縁部におけるｘ方向の一端から他端までと、ｙ方向の一端から他端までとに亘って間欠的に第３稜線部ＲＬ３及び第４稜線部ＲＬ４（図１８）を存在させることができる。これにより複数リフレクタ板４８０は、異方性エッチングを利用するために剥がれ抑止パターンを交差させることができないという制約がある中で、ダイシングラインＬＤ上と傾斜面６７との間に稜線部を存在させることができる。

その他の点においても、第５の実施の形態によるリフレクタ４４０は、第３の実施の形態によるリフレクタ２４０と同様の作用効果を奏し得る。

［６．他の実施の形態］
なお上述した第１の実施の形態においては、リフレクタ４０（図８）の底面６５に形成された発光素子実装領域６６に可視光発光素子群５４を実装する場合について述べた。本発明はこれに限らず、図２５に示すリフレクタ５４０のように、底面６５をＦＰＣ４３まで貫通させ、該ＦＰＣ４３に形成された発光素子実装領域５６６に可視光発光素子群５４を実装しても良い。リフレクタ３９においても同様である。また第２乃至第５の実施の形態についても同様である。

また上述した第１の実施の形態においては、可視光発光素子群５４の電極パッド７５とＦＰＣ４３の電極パッド７６とをボンディングワイヤ５８で直接接続する場合について述べた。本発明はこれに限らず、図２６に示すリフレクタ６４０のように、可視光発光素子群５４の電極パッド７５と反射膜６８とをボンディングワイヤ６５８で接続し、該反射膜６８とＦＰＣ４３の電極パッド７６とをボンディングワイヤ５８で接続しても良い。すなわち、反射膜６８を介して可視光発光素子群５４の電極パッド７５とＦＰＣ４３の電極パッド７６とを接続しても良い。リフレクタ３９においても同様である。また第２乃至第５の実施の形態についても同様である。

さらに上述した第１の実施の形態においては、剥がれ抑止パターン８１を横断面Ｖ字形状の凹部とする場合について述べた。本発明はこれに限らず、剥がれ抑止パターン８１を他の種々の形状の凹部としても良い。要は、ダイシングラインＬＤと傾斜面６７との間に、稜線部が形成されれば良い。第２乃至第５の実施の形態についても同様である。

さらに上述した第３の実施の形態においては、剥がれ抑止凹角錐８３を四角錐形状の凹部とする場合について述べた。本発明はこれに限らず、剥がれ抑止凹角錐８３を他の種々の形状の凹部としても良い。要は、ダイシングラインＬＤと傾斜面６７との間に、稜線部が形成されれば良い。第３乃至第５の実施の形態についても同様である。

さらに上述した第１の実施の形態においては、周囲面７０の全面と傾斜面６７の全面とに切れ目なく連続的にアルミニウムを蒸着させる場合について述べた。本発明はこれに限らず、周囲面７０の全面と傾斜面６７の全面とにはアルミニウムが蒸着されていなくても良く、少なくとも周囲面７０におけるダイシングラインＬＤを含む領域にアルミニウムが蒸着されている箇所を切断する場合に本発明の効果を奏する。第２乃至第５の実施の形態についても同様である。

さらに上述した第１の実施の形態においては、傾斜角θ１、θ２及びθ３を５４．７４［°］とする場合について述べた。本発明はこれに限らず、傾斜角θ１、θ２及びθ３を他の種々の角度としても良い。しかしながら、シリコン結晶の結晶方位を利用したエッチングレートの差を利用したウェットエッチング（異方性エッチング）においては、傾斜角θ１、θ２及びθ３が５４．７４［°］であることが好ましい。第２乃至第５の実施の形態についても同様である。

さらに上述した第１の実施の形態においては、ウェットエッチングによりシリコン基板７９にエッチングする場合について述べた。本発明はこれに限らず、ドライエッチング等、他の種々の方法によりシリコン基板７９をエッチングして良い。第２乃至第５の実施の形態についても同様である。

さらに上述した第１の実施の形態においては、リフレクタ４０のシリコン基部３８をシリコンにより構成し、傾斜面６７の表面にアルミニウムの薄膜を設けて反射膜６８を形成する場合について述べた。本発明はこれに限らず、リフレクタ４０の基部を他の種々の材料により構成しても良く、また傾斜面６７の表面に、例えば金属等の他の種々の材料による薄膜を設けて反射膜６８を形成しても良い。第２乃至第５の実施の形態についても同様である。

さらに上述した第１の実施の形態においては、本発明をリフレクタ４０に適用する場合について述べた。本発明はこれに限らず、リフレクタ３９に適用しても良い。第２乃至第５の実施の形態についても同様である。

さらに上述した第１の実施の形態においては、本発明を鑑別部１３に組み込まれる光学センサユニット２７の発光部３２（図３）に適用する場合について述べた。本発明はこれに限らず、他の種々の機器に組み込まれる発光部に適用しても良い。第２乃至第５の実施の形態についても同様である。

さらに上述した第１の実施の形態においては、使用者との間で入金取引等の各種取引を行う自動取引装置１の鑑別部１３に本発明を適用する場合について述べた。本発明はこれに限らず、例えば自動販売機や自動精算機等、紙幣を取り扱う種々の装置に適用しても良い。第２乃至第５の実施の形態についても同様である。

さらに上述した第１の実施の形態においては、媒体としての紙幣を取り扱う自動取引装置１の鑑別部１３に本発明を適用し、紙幣を撮像して通常の画像及び蛍光画像を生成する場合について述べた。本発明はこれに限らず、例えば種々の証券や商品券、或いは入場券等、他の種々の媒体を取り扱う種々の装置において、この媒体を撮像して通常の画像及び蛍光画像を生成する種々の装置に適用しても良い。第２乃至第５の実施の形態についても同様である。

さらに本発明は、上述した各実施の形態及び他の実施の形態に限定されるものではない。すなわち本発明は、上述した各実施の形態と上述した他の実施の形態の一部又は全部を任意に組み合わせた実施の形態や、一部を抽出した実施の形態にもその適用範囲が及ぶものである。

さらに上述した第１の実施の形態においては、周囲面としての周囲面７０と、傾斜面としての傾斜面６７と、反射膜剥がれ抑止部としての剥がれ抑止パターン８１とによって光源用反射体としてのリフレクタ４０を構成する場合について述べた。本発明はこれに限らず、その他種々の構成でなる周囲面と、傾斜面と、反射膜剥がれ抑止部とによって光源用反射体を構成しても良い。

本発明は、例えば使用者との間で紙幣に関する取引を行う自動取引装置に設けられる鑑別部において、光学センサユニットに組み込まれる発光部で利用できる。

１、１０１、２０１、３０１、４０１……自動取引装置、５、１０５、２０５、３０５、４０５……紙幣取扱部、１３、１１３、２１３、３１３、４１３……鑑別部、２６、１２６、２２６、３２６、４２６……光学センサ部、２７、１２７、２２７、３２７、４２７……光学センサユニット、２７Ｌ、１２７Ｌ、２２７Ｌ、３２７Ｌ、４２７Ｌ……下光学センサユニット、２７Ｕ、１２７Ｕ、２２７Ｕ、３２７Ｕ、４２７Ｕ……上光学センサユニット、３２……発光部、３３……受光部、３８……シリコン基部、３９……リフレクタ、４０、１４０、２４０、３４０、４４０、１０４０……リフレクタ、４１……ホルダ、４２……カバー板、４２Ｈ……孔部、４３……ＦＰＣ、４４……ベース板、４３Ａ……発光素子取付領域、４５、１４５、２４５、３４５、４４５……発光素子モジュール、４６……導光体、５１……青色発光素子、５２……緑色発光素子、５３……赤色発光素子、５４……可視光発光素子群、５６……紫外光発光素子、５８……ボンディングワイヤ、６１……第１樹脂、６２……第２樹脂、６４……凹部、６５……底面、６６……発光素子実装領域、６７……傾斜面、６８……反射膜、７０……周囲面、７１、１７１……抑止パターン傾斜面、７２……角部、７３……端面、７５……電極パッド、７６……電極パッド、７７……ダイボンペースト、７８……ダイボンペースト、７９……シリコン基板、８０、１８０、２８０、３８０、４８０……複数リフレクタ板、８１……剥がれ抑止パターン、８２……抑止パターン間隙間部、８３、３８３、４８３……剥がれ抑止凹角錐、８４……抑止パターン傾斜面、８４ｉ……抑止パターン内側傾斜面、８４ｏ……抑止パターン外側傾斜面、ＬＤ……ダイシングライン、Ｗ１……抑止パターン幅、ＢＤ……ダイシングブレード、ＷＢＤ……ブレード幅、ＤＢＤ……ブレード移動方向、θ１、θ２、θ３……傾斜角、ＲＬ１……第１稜線部、ＲＬ２……第２稜線部、ＲＬ３……第３稜線部、ＲＬ４……第４稜線部、ＲＬ５……第５稜線部、ＸＩＲ……光軸、ＢＬ……紙幣、Ｐ……照射箇所、Ｗ……搬送路。

Claims (8)

1. 内側の空間の四方を囲う形状であり、シリコンによって構成された基部に、光を反射する反射膜が形成された周囲面と、
   前記周囲面に囲まれ前記周囲面に対し内側に傾斜し、前記基部に前記反射膜が形成された傾斜面と、
   前記周囲面の外縁において第１方向に沿う第１方向反射膜剥がれ抑止部と、前記周囲面の外縁において前記第１方向に直交する第２方向に沿う第２方向反射膜剥がれ抑止部とを有し、前記周囲面の外縁の四隅の角部においてそれぞれの前記角部を形成する前記外縁の２辺のうち少なくとも１辺を除いて形成され、前記周囲面に対し外側に傾斜し前記反射膜が形成された反射膜剥がれ抑止部傾斜面と、前記反射膜剥がれ抑止部傾斜面と前記周囲面との間に形成され互いに異なる方向に沿う平面同士の境界であり前記反射膜が形成された稜線部とを有する反射膜剥がれ抑止部と
   を具え、
   前記傾斜面及び前記反射膜剥がれ抑止部傾斜面は、前記シリコンの結晶方位における［１１１］面で形成される
   ことを特徴とする光源用反射体。
2. 前記第１方向反射膜剥がれ抑止部は、前記周囲面の外縁における一端から他端までに亘って連続的に形成され、
   前記第２方向反射膜剥がれ抑止部は、隣接する前記第１方向反射膜剥がれ抑止部同士の間において該第１方向反射膜剥がれ抑止部との間に隙間を空けて前記周囲面の外縁における一端近傍から他端近傍までに亘って連続的に形成される
   ことを特徴とする請求項１に記載の光源用反射体。
3. 前記反射膜剥がれ抑止部は、前記周囲面の外縁の四隅の角部において前記反射膜剥がれ抑止部傾斜面が形成されない領域に、前記周囲面から凹設された複数の凹角錐形状の溝のうち少なくとも一部が形成される
   ことを特徴とする請求項１に記載の光源用反射体。
4. 前記反射膜はアルミニウムで形成される
   ことを特徴とする請求項１に記載の光源用反射体。
5. 請求項１乃至請求項４の何れかに記載の光源用反射体と、
   前記光源用反射体に固定され光を発光する発光素子と
   を具えることを特徴とする光源。
6. シリコンによって構成された基板をエッチングすることにより、内側の空間の四方を囲う形状である周囲面に囲まれ前記周囲面に対し傾斜する傾斜面と、前記傾斜面を囲う切断部と前記周囲面との間において形成され互いに異なる方向に沿う平面同士の境界である稜線部が形成された反射膜剥がれ抑止部とを、前記シリコンの結晶方位における［１１１］面をエッチングする異方性エッチングにより形成するエッチング工程と、
   前記エッチング工程の後に、光を反射する反射膜を前記周囲面、前記反射膜剥がれ抑止部及び前記傾斜面に形成することにより、複数の光源用反射体が形成された複数光源用反射体板を形成する反射膜形成工程と、
   前記反射膜形成工程の後に、前記複数光源用反射体板における前記切断部を板厚方向に切断して、前記複数光源用反射体板を個別の光源用反射体に分割する切断工程と
   を具え、
   前記反射膜剥がれ抑止部は、前記切断部を含む位置において切断領域の幅よりも広く形成された、少なくとも１方向の断面がＶ字形状の溝であり、前記エッチング工程において、前記複数光源用反射体板において前記傾斜面と同一工程の前記異方性エッチングにより形成され、前記切断工程後に前記周囲面の外縁の四隅の角部となる領域のそれぞれの前記角部を形成する前記外縁となる２辺のうち少なくとも１辺を除いて形成される
   ことを特徴とする光源用反射体の製造方法。
7. 前記反射膜剥がれ抑止部は、前記Ｖ字形状の溝に加え、前記周囲面の外縁の四隅の角部となる領域において前記Ｖ字形状の溝が形成されない領域に形成される凹角錐形状の溝を含む
   ことを特徴とする請求項６に記載の光源用反射体の製造方法。
8. 前記反射膜剥がれ抑止部は、前記切断工程において前記切断部を切断するブレードの前記板厚方向への移動方向に対向する方向と、該ブレードの回転側面に対向する方向とを含む方向に法線ベクトルが向く反射膜剥がれ抑止部傾斜面を有する
   ことを特徴とする請求項６に記載の光源用反射体の製造方法。

Images