JP6965897B2 - フィルムコンデンサ、フィルムコンデンサの製造方法、誘電体樹脂フィルム、及び、誘電体樹脂フィルムの製造方法 - Google Patents
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Description
しかしながら、本発明は、以下の構成に限定されるものではなく、本発明の要旨を変更しない範囲において適宜変更して適用することができる。
以下において記載する本発明の個々の望ましい構成を2つ以上組み合わせたものもまた本発明である。
本発明のフィルムコンデンサは、第1面、及び、上記第1面と反対側の第2面を有する、硬化性樹脂を含む誘電体樹脂フィルムと、上記誘電体樹脂フィルムの上記第1面上に形成された第1金属層と、上記誘電体樹脂フィルムの上記第2面に対向する第2金属層と、を備えている。第2金属層は、第1金属層が形成されている誘電体樹脂フィルム上には形成されておらず、他の誘電体樹脂フィルム上に形成されていることが好ましい。また、第2金属層は、誘電体樹脂フィルムの第2面に部分的に接するように対向していることが好ましい。なお、他の誘電体樹脂フィルムは、第1金属層が形成されている誘電体樹脂フィルムと異なる構成を有していてもよいが、第1金属層が形成されている誘電体樹脂フィルムと同一の構成を有していることが好ましい。
図1に示すフィルムコンデンサ1は、巻回型のフィルムコンデンサであり、巻回状態の第1誘電体樹脂フィルム11及び第2誘電体樹脂フィルム12と、第1誘電体樹脂フィルム11又は第2誘電体樹脂フィルム12を挟んで互いに対向する第1金属層(第1対向電極)21及び第2金属層(第2対向電極)22とを備えるとともに、第1金属層21に電気的に接続される第1外部端子電極31及び第2金属層22に電気的に接続される第2外部端子電極32を備えている。
図2に示すように、第1誘電体樹脂フィルム11の一方の面である第1面11a上には、第1金属層21が形成されている。一方、第1誘電体樹脂フィルム11の他方の面である第2面11bに、第2金属層22が対向している。図2では、第2金属層22は、第1誘電体樹脂フィルム11の第2面11bに接するように対向している。上述のとおり、第2金属層22は、第1金属層21が形成されている第1誘電体樹脂フィルム11上には形成されておらず、第2誘電体樹脂フィルム12上に形成されている。
なお、図2においては、説明の便宜のために、シリコーン樹脂含有層11X及び11Yの境界線が明瞭に示されているが、このような境界線は明瞭に現れていなくてもよい。また、第2誘電体樹脂フィルム12にはシリコーン樹脂含有層が図示されていないが、第1誘電体樹脂フィルム11と同様にシリコーン樹脂含有層が設けられていることが好ましい。
本明細書において、熱硬化性樹脂とは、熱で硬化し得る樹脂を意味しており、硬化方法を限定するものではない。したがって、熱で硬化し得る樹脂である限り、熱以外の方法(例えば、光、電子ビームなど)で硬化した樹脂も熱硬化性樹脂に含まれる。また、材料によっては材料自体が持つ反応性によって反応が開始する場合があり、必ずしも外部から熱又は光等を与えずに硬化が進むものについても熱硬化性樹脂とする。光硬化性樹脂についても同様であり、硬化方法を限定するものではない。
本発明のフィルムコンデンサの第1の態様においては、誘電体樹脂フィルムの少なくとも第2面にシリコーン樹脂が含まれていることを特徴とする。
なお、シリコーン樹脂が硬化性樹脂と反応していることは、シリコーン樹脂が溶解する溶剤に誘電体樹脂フィルムを浸漬したとき、フィルムからシリコーン樹脂が溶出していないことから確認することができる。シリコーン樹脂の溶出は、フーリエ変換型赤外分光分析(FT−IR)により確認することが可能である。
なお、誘電体樹脂フィルムに含まれるシリコーン樹脂の量とは、フィルム全体に含まれるシリコーン樹脂の量を意味する。
なお、誘電体樹脂フィルムの第1面の表面エネルギー(表面自由エネルギー)は、第1金属層が形成されていない第1面、又は、第1金属層が形成される前の第1面の表面エネルギーを意味する。
なお、第2金属層に対する水の接触角とは、誘電体樹脂フィルムの第2面と対向している第2金属層の表面に対する水の接触角を意味する。例えば、第2金属層が他の誘電体樹脂フィルム上に形成されている場合、該誘電体樹脂フィルムの表面状態(接触角、表面エネルギー等)を変更することによって、第2金属層に対する水の接触角を調整することができる。
なお、誘電体樹脂フィルムの第1面に対する水の接触角は、第1金属層が形成されていない第1面、又は、第1金属層が形成される前の第1面に対する水の接触角を意味する。
なお、誘電体フィルムの第2面に存在するSi量とは、X線光電子分光分析(XPS)による表面分析を行った際、第2面側のフィルム最表面(深さ0nm)におけるSi元素の存在量を意味する。
なお、第2金属層に存在するSi量とは、誘電体樹脂フィルムの第2面と対向している第2金属層に存在するSi量を意味し、誘電体フィルムの第2面に存在するSi量と同様の方法により求められる値である。
本発明のフィルムコンデンサの第2の態様においては、誘電体樹脂フィルムの第2面の表面エネルギーが45mN/m以下であることを特徴とする。
本発明のフィルムコンデンサの第3の態様においては、誘電体樹脂フィルムの第2面に対する水の接触角が87°以上であることを特徴とする。
本発明のフィルムコンデンサの製造方法は、第1面、及び、上記第1面と反対側の第2面を有する、硬化性樹脂を含む誘電体樹脂フィルムを作製する工程と、上記誘電体樹脂フィルムの上記第1面上に第1金属層を形成する工程と、上記誘電体樹脂フィルムの上記第2面に第2金属層を対向させる工程と、を備えている。第2金属層は、第1金属層を形成する誘電体樹脂フィルム上には形成されず、他の誘電体樹脂フィルム上に形成されることが好ましい。また、第2金属層は、誘電体樹脂フィルムの第2面に部分的に接するように対向させることが好ましい。なお、他の誘電体樹脂フィルムは、第1金属層が形成されている誘電体樹脂フィルムと異なる構成を有していてもよいが、第1金属層が形成されている誘電体樹脂フィルムと同一の構成を有していることが好ましい。
図3に示す第1誘電体樹脂フィルム11は、第1面11a、及び、第1面11aと反対側の第2面11bを有しており、第1誘電体樹脂フィルム11の第2面11b側にシリコーン樹脂含有層11Yが設けられているとともに、第1面11a側にもシリコーン樹脂含有層11Xが設けられている。
図2と同様、シリコーン樹脂含有層11X及び11Yの境界線は明瞭に現れていなくてもよい。
図4に示すように、第1誘電体樹脂フィルム11の第1面11a上に第1金属層21を形成する。図4には示していないが、他の誘電体樹脂フィルム(第2誘電体樹脂フィルム12)上に第2金属層を形成することが好ましい。
図5に示すように、第1金属層21が形成された第1誘電体樹脂フィルム11と、第2金属層22が形成された第2誘電体樹脂フィルム12とを2枚重ねにし、巻回機を用いてロール状に巻回することにより、巻回体100を作製する。
図6に示すように、巻回型フィルムコンデンサを製造する場合、本発明のフィルムコンデンサの製造方法は、誘電体樹脂フィルム及び他の誘電体樹脂フィルムの巻回体をプレスする工程をさらに備えることが好ましい。巻回体の断面形状を楕円又は長円のような扁平形状にプレスすることにより、よりコンパクトな形状にすることができる。
[フィルムコンデンサの作製]
第1有機材料として、フェノキシ樹脂を用意し、第2有機材料として、MDI(ジフェニルメタンジイソシアネート)を用意した。上記フェノキシ樹脂としては、末端にエポキシ基を有する高分子量のビスフェノールA型エポキシ樹脂であるフェノキシ樹脂を用いた。上記MDIとしては、4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネートとそのカルボジイミド変性体の混合物(重量比率70:30)を用いた。
実施例1のフィルムコンデンサについて、誘電体樹脂フィルムのFT−IRスペクトルを取得したところ、ウレタン基が含有されていることが確認された。
図7より、Si元素がフィルム表面に析出していることが確認された。この結果から、誘電体樹脂フィルムに含まれるシリコーン樹脂の量は、フィルムの厚み方向において、第2面からフィルム内部に向かうに従って減少していることが分かる。
シリコーン樹脂として、水酸基を有しないポリエステル変性ポリジメチルシロキサン溶液(ビックケミー・ジャパン社製 BYK302、不揮発分95%)を用いたことを除いて、実施例1と同様に誘電体樹脂フィルムを作製し、フィルムコンデンサを作製した。
シリコーン樹脂を用いなかったことを除いて、実施例1と同様に誘電体樹脂フィルムに作製し、フィルムコンデンサを作製した。
実施例1、実施例2及び比較例1のフィルムコンデンサについて、25N/cm2の圧力で巻回体をプレスした際のプレス性を評価した。巻回体を充分に扁平化できた場合を◎、扁平化できた場合を○、扁平化できるが形状がいびつになった場合を△、扁平化できなかった場合を×とした。結果を表1に示す。
シリコーン樹脂の添加量を表2に示す値に変更したことを除いて、実施例1と同様に誘電体樹脂フィルムを作製し、フィルムコンデンサを作製した。実施例3〜実施例11のフィルムコンデンサについても、上記と同様の方法によってプレス性を評価した。結果を表2に示す。
(1)蒸着面のなるべく平らな面を選ぶ。
(2)テープ貼り付け部分に蒸着面と非蒸着面が含まれるようにテープを貼り付ける。このとき、気泡ができないように注意しながら指で約10秒間強く押し続ける。
(3)上記(2)で残した部分のテープを持ち、蒸着面に対して垂直になるように強く引っ張り、テープを瞬間的に引き剥がす。
上記試験を異なる箇所にて10回行い、蒸着膜が剥離した回数が0回の場合を◎、1〜2回の場合を○、3回以上の場合を×とした。結果を表2に示す。
第2金属層、誘電体樹脂フィルムの第1面及び第2面に対して、水、エチレングリコール及びジヨードメタンの3液を使用して接触角を測定し、Kitazaki−Hata理論により表面エネルギーを計算した。なお、第1面に対する接触角の測定は、フィルムコンデンサを作製する前、かつ、第1金属層を形成する前の誘電体樹脂フィルムに対して行った。水の接触角は後述する方法によって測定し、他の2液の接触角も同様の方法によって測定した。結果を表3に示す。
接触角計(協和界面化学株式会社製 DM−701)を用いて、第2金属層、第1面及び第2面に対して、25℃、50%RH℃の環境下で水滴を滴下し、滴下した直後の接触角を測定した。結果を表4に示す。
シリコーン樹脂として、水酸基を有しないポリエステル変性ポリジメチルシロキサン溶液(ビックケミー・ジャパン社製 BYK302、不揮発分95%)を用い、シリコーン樹脂の添加量を表6に示す値に変更したことを除いて、実施例1と同様に誘電体樹脂フィルムを作製し、フィルムコンデンサを作製した。
実施例14〜実施例16では、以下のシリコーン樹脂を用いて誘電体樹脂フィルムを作製し、フィルムコンデンサを作製した。
実施例14では、シリコーン樹脂として、エポキシ基を有するエポキシ基含有シリコーン樹脂を使用した。
実施例15では、シリコーン樹脂として、アミノ基を有するアミノ基含有シリコーン樹脂を使用した。
実施例16では、シリコーン樹脂として、水酸基を有する水酸基含有アクリル変性シリコーン樹脂を使用した。
実施例17〜実施例19では、フェノキシ樹脂とMDIの組み合わせ以外の熱硬化性樹脂を用いて誘電体樹脂フィルムを作製し、フィルムコンデンサを作製した。
実施例18では、第1有機材料として、フェノキシ樹脂を使用し、第2有機材料として、メラミン樹脂を使用した。メラミン樹脂としては、アルキル化メラミン樹脂を用いた。
実施例19では、第1有機材料として、フェノキシ樹脂を使用し、第2有機材料として、エポキシ樹脂を使用した。エポキシ樹脂としては、ノボラック型エポキシ樹脂を用いた。硬化反応を進めるため触媒として、0.1wt%のイミダゾール触媒を添加した。
11 第1誘電体樹脂フィルム
12 第2誘電体樹脂フィルム
11a 第1誘電体樹脂フィルムの第1面
11b 第1誘電体樹脂フィルムの第2面
11X,11Y シリコーン樹脂含有層
21 第1金属層(第1対向電極)
22 第2金属層(第2対向電極)
31 第1外部端子電極
32 第2外部端子電極
100 巻回体
Claims (59)
- 第1面、及び、前記第1面と反対側の第2面を有する、硬化性樹脂を含む誘電体樹脂フィルムと、
前記誘電体樹脂フィルムの前記第1面上に形成された第1金属層と、
前記誘電体樹脂フィルムの前記第2面に対向する第2金属層と、を備えるフィルムコンデンサであって、
前記誘電体樹脂フィルムの少なくとも前記第2面にシリコーン樹脂が含まれており、
前記誘電体樹脂フィルムに含まれる前記シリコーン樹脂の量は、前記硬化性樹脂の量に対して0.1wt%以上であり、
前記誘電体樹脂フィルムの前記第2面には、前記シリコーン樹脂が有する水酸基と前記硬化性樹脂が有するイソシアネート基との反応物が含まれていることを特徴とするフィルムコンデンサ。 - 前記誘電体樹脂フィルムに含まれる前記シリコーン樹脂の量は、前記誘電体樹脂フィルムの厚み方向において、前記第2面からフィルム内部に向かうに従って減少する請求項1に記載のフィルムコンデンサ。
- 前記誘電体樹脂フィルムに含まれる前記シリコーン樹脂の量は、前記硬化性樹脂の量に対して0.3wt%以上である請求項1又は2に記載のフィルムコンデンサ。
- 前記誘電体樹脂フィルムに含まれる前記シリコーン樹脂の量は、前記硬化性樹脂の量に対して0.5wt%以上である請求項3に記載のフィルムコンデンサ。
- 前記誘電体樹脂フィルムの前記第2面に存在するSi量は、1.8atom%以上である請求項1又は2に記載のフィルムコンデンサ。
- 前記誘電体樹脂フィルムの前記第2面に存在するSi量は、7.0atom%以上である請求項5に記載のフィルムコンデンサ。
- 前記誘電体樹脂フィルムの前記第2面の表面エネルギーが45mN/m以下である請求項1又は2に記載のフィルムコンデンサ。
- 前記誘電体樹脂フィルムの前記第2面の表面エネルギーが30mN/m以下である請求項7に記載のフィルムコンデンサ。
- 前記第2金属層の表面エネルギーが50mN/m以上である請求項7に記載のフィルムコンデンサ。
- 前記第2金属層の表面エネルギーが55mN/m以上である請求項9に記載のフィルムコンデンサ。
- 前記誘電体樹脂フィルムの前記第1面の表面エネルギーが22mN/m以上である請求項1、2、7、8、9及び10のいずれか1項に記載のフィルムコンデンサ。
- 前記誘電体樹脂フィルムの前記第2面に対する水の接触角が87°以上である請求項1又は2に記載のフィルムコンデンサ。
- 前記誘電体樹脂フィルムの前記第2面に対する水の接触角が97°以上である請求項12に記載のフィルムコンデンサ。
- 前記第2金属層に対する水の接触角が74°以下である請求項12に記載のフィルムコンデンサ。
- 前記第2金属層に対する水の接触角が72°以下である請求項14に記載のフィルムコンデンサ。
- 前記誘電体樹脂フィルムの前記第1面に対する水の接触角が104°以下である請求項1、2、12、13、14及び15のいずれか1項に記載のフィルムコンデンサ。
- 前記誘電体樹脂フィルムの前記第1面に対する水の接触角が99°以下である請求項16に記載のフィルムコンデンサ。
- 前記第2金属層は、アルミニウム層である請求項1〜17のいずれか1項に記載のフィルムコンデンサ。
- 前記硬化性樹脂は、第1有機材料と第2有機材料との硬化物からなる熱硬化性樹脂であり、
前記第1有機材料がフェノキシ樹脂、前記第2有機材料がイソシアネート化合物であり、
前記第1金属層及び前記第2金属層は、いずれもアルミニウム層である請求項1〜17のいずれか1項に記載のフィルムコンデンサ。 - 前記硬化性樹脂は、熱硬化性樹脂であり、
前記誘電体樹脂フィルムは、水酸基及びイソシアネート基の少なくとも一方を含み、
前記第1金属層及び前記第2金属層は、いずれもアルミニウム層である請求項1〜17のいずれか1項に記載のフィルムコンデンサ。 - 前記誘電体樹脂フィルムは、前記イソシアネート基より前記水酸基を多く含む請求項20に記載のフィルムコンデンサ。
- 前記第1金属層が形成された前記誘電体樹脂フィルムと、前記第2金属層が形成された他の誘電体樹脂フィルムとが巻回されてなる請求項1〜21のいずれか1項に記載のフィルムコンデンサ。
- 第1面、及び、前記第1面と反対側の第2面を有する、硬化性樹脂を含む誘電体樹脂フィルムを作製する工程と、
前記誘電体樹脂フィルムの前記第1面上に第1金属層を形成する工程と、
前記誘電体樹脂フィルムの前記第2面に第2金属層を対向させる工程と、を備えるフィルムコンデンサの製造方法であって、
硬化性樹脂又はその前駆体とシリコーン樹脂とを含む樹脂溶液を用いて、前記誘電体樹脂フィルムを作製し、
前記樹脂溶液に含まれる前記シリコーン樹脂の量は、前記硬化性樹脂又はその前駆体の量に対して0.1wt%以上であり、
前記シリコーン樹脂が有する水酸基を前記硬化性樹脂が有するイソシアネート基と反応させることを特徴とするフィルムコンデンサの製造方法。 - 前記樹脂溶液に含まれる前記シリコーン樹脂の量は、前記硬化性樹脂又はその前駆体の量に対して0.3wt%以上である請求項23に記載のフィルムコンデンサの製造方法。
- 前記樹脂溶液に含まれる前記シリコーン樹脂の量は、前記硬化性樹脂又はその前駆体の量に対して0.5wt%以上である請求項24に記載のフィルムコンデンサの製造方法。
- 前記樹脂溶液に含まれる前記シリコーン樹脂の量は、前記硬化性樹脂又はその前駆体の量に対して15wt%以下である請求項23〜25のいずれか1項に記載のフィルムコンデンサの製造方法。
- 前記樹脂溶液に含まれる前記シリコーン樹脂の量は、前記硬化性樹脂又はその前駆体の量に対して10wt%以下である請求項26に記載のフィルムコンデンサの製造方法。
- 前記第2金属層は、アルミニウム層である請求項23〜27のいずれか1項に記載のフィルムコンデンサの製造方法。
- 前記樹脂溶液は、前記硬化性樹脂の前駆体として、熱硬化性樹脂の前駆体を含み、
前記熱硬化性樹脂の前駆体は、第1有機材料と第2有機材料とを含み、
前記第1有機材料がフェノキシ樹脂、前記第2有機材料がイソシアネート化合物であり、
前記第1金属層及び前記第2金属層は、いずれもアルミニウム層である請求項23〜27のいずれか1項に記載のフィルムコンデンサの製造方法。 - 前記誘電体樹脂フィルムの前記第2面に第2金属層を対向させる工程では、前記第1金属層が形成された前記誘電体樹脂フィルムと、前記第2金属層が形成された他の誘電体樹脂フィルムとを巻回する請求項23〜29のいずれか1項に記載のフィルムコンデンサの製造方法。
- 前記誘電体樹脂フィルム及び前記他の誘電体樹脂フィルムの巻回体をプレスする工程をさらに備える請求項30に記載のフィルムコンデンサの製造方法。
- 第1面、及び、前記第1面と反対側の第2面を有し、硬化性樹脂を含む、フィルムコンデンサ用の誘電体樹脂フィルムであって、
少なくとも前記第2面にシリコーン樹脂が含まれており、
前記誘電体樹脂フィルムに含まれる前記シリコーン樹脂の量は、前記硬化性樹脂の量に対して0.1wt%以上であり、
前記第2面には、前記シリコーン樹脂が有する水酸基と前記硬化性樹脂が有するイソシアネート基との反応物が含まれていることを特徴とする誘電体樹脂フィルム。 - 前記誘電体樹脂フィルムに含まれる前記シリコーン樹脂の量は、前記誘電体樹脂フィルムの厚み方向において、前記第2面からフィルム内部に向かうに従って減少する請求項32に記載の誘電体樹脂フィルム。
- 前記誘電体樹脂フィルムに含まれる前記シリコーン樹脂の量は、前記硬化性樹脂の量に対して0.3wt%以上である請求項32又は33に記載の誘電体樹脂フィルム。
- 前記誘電体樹脂フィルムに含まれる前記シリコーン樹脂の量は、前記硬化性樹脂の量に対して0.5wt%以上である請求項34に記載の誘電体樹脂フィルム。
- 前記誘電体樹脂フィルムの前記第2面に存在するSi量は、1.8atom%以上である請求項32又は33に記載の誘電体樹脂フィルム。
- 前記誘電体樹脂フィルムの前記第2面に存在するSi量は、7.0atom%以上である請求項36に記載の誘電体樹脂フィルム。
- 前記第2面の表面エネルギーが45mN/m以下である請求項32又は33に記載の誘電体樹脂フィルム。
- 前記第2面の表面エネルギーが30mN/m以下である請求項38に記載の誘電体樹脂フィルム。
- 前記第1面の表面エネルギーが22mN/m以上である請求項32、33、38及び39のいずれか1項に記載の誘電体樹脂フィルム。
- 前記第2面に対する水の接触角が87°以上である請求項32又は33に記載の誘電体樹脂フィルム。
- 前記第2面に対する水の接触角が97°以上である請求項41に記載の誘電体樹脂フィルム。
- 前記第1面に対する水の接触角が104°以下である請求項32、33、41及び42のいずれか1項に記載の誘電体樹脂フィルム。
- 前記第1面に対する水の接触角が99°以下である請求項43に記載の誘電体樹脂フィルム。
- 前記硬化性樹脂は、第1有機材料と第2有機材料との硬化物からなる熱硬化性樹脂であり、
前記第1有機材料がフェノキシ樹脂、前記第2有機材料がイソシアネート化合物である請求項32〜44のいずれか1項に記載の誘電体樹脂フィルム。 - 前記硬化性樹脂は、熱硬化性樹脂であり、
前記誘電体樹脂フィルムは、水酸基及びイソシアネート基の少なくとも一方を含む請求項32〜44のいずれか1項に記載の誘電体樹脂フィルム。 - 前記誘電体樹脂フィルムは、前記イソシアネート基より前記水酸基を多く含む請求項46に記載の誘電体樹脂フィルム。
- 前記第2面上に基材フィルムが設けられている請求項32〜47のいずれか1項に記載の誘電体樹脂フィルム。
- 前記第1面上に金属層が形成されている請求項32〜48のいずれか1項に記載の誘電体樹脂フィルム。
- 前記金属層は、アルミニウム層である請求項49に記載の誘電体樹脂フィルム。
- 第1面、及び、前記第1面と反対側の第2面を有し、硬化性樹脂を含む、フィルムコンデンサ用の誘電体樹脂フィルムの製造方法であって、
硬化性樹脂又はその前駆体とシリコーン樹脂とを含む樹脂溶液を用いて、前記誘電体樹脂フィルムを作製し、
前記樹脂溶液に含まれる前記シリコーン樹脂の量は、前記硬化性樹脂又はその前駆体の量に対して0.1wt%以上であり、
前記シリコーン樹脂が有する水酸基を前記硬化性樹脂が有するイソシアネート基と反応させることを特徴とする誘電体樹脂フィルムの製造方法。 - 前記樹脂溶液に含まれる前記シリコーン樹脂の量は、前記硬化性樹脂又はその前駆体の量に対して0.3wt%以上である請求項51に記載の誘電体樹脂フィルムの製造方法。
- 前記樹脂溶液に含まれる前記シリコーン樹脂の量は、前記硬化性樹脂又はその前駆体の量に対して0.5wt%以上である請求項52に記載の誘電体樹脂フィルムの製造方法。
- 前記樹脂溶液に含まれる前記シリコーン樹脂の量は、前記硬化性樹脂又はその前駆体の量に対して15wt%以下である請求項51〜53のいずれか1項に記載の誘電体樹脂フィルムの製造方法。
- 前記樹脂溶液に含まれる前記シリコーン樹脂の量は、前記硬化性樹脂又はその前駆体の量に対して10wt%以下である請求項54に記載の誘電体樹脂フィルムの製造方法。
- 前記樹脂溶液は、前記硬化性樹脂の前駆体として、熱硬化性樹脂の前駆体を含み、
前記熱硬化性樹脂の前駆体は、第1有機材料と第2有機材料とを含み、
前記第1有機材料がフェノキシ樹脂、前記第2有機材料がイソシアネート化合物である請求項51〜55のいずれか1項に記載の誘電体樹脂フィルムの製造方法。 - 前記樹脂溶液を基材フィルム上で成形する請求項51〜56のいずれか1項に記載の誘電体樹脂フィルムの製造方法。
- 前記第1面上に金属層を形成する請求項51〜57のいずれか1項に記載の誘電体樹脂フィルムの製造方法。
- 前記金属層は、アルミニウム層である請求項58に記載の誘電体樹脂フィルムの製造方法。
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