JP6958156B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、半導体装置の製造方法に関する。

従来、半導体素子を基板に実装する方法として、金ワイヤ等の金属細線を用いるワイヤーボンディング接続方式が知られている。一方、半導体装置に対する小型化、薄型化、高機能化、高集積化、高速化等の要求に対応するため、バンプと呼ばれる導電性突起を介して半導体素子と基板とを接続するフリップチップ接続方式（ＦＣ接続方式）が広まりつつある。ＦＣ接続方式は、半導体素子と基板とを接続するために、ＢＧＡ（Ｂａｌｌ Ｇｒｉｄ Ａｒｒａｙ）、ＣＳＰ（Ｃｈｉｐ Ｓｉｚｅ Ｐａｃｋａｇｅ）等に盛んに用いられている。ＣＯＢ（Ｃｈｉｐ Ｏｎ Ｂｏａｒｄ）型の接続方式もＦＣ接続方式に該当する。また、ＦＣ接続方式は、半導体素子間を接続するＣＯＣ（Ｃｈｉｐ Ｏｎ Ｃｈｉｐ）型の接続方式にも広く用いられている（例えば、特許文献１参照）。

半導体装置の更なる小型化、薄型化及び高機能化の要求に対応するため、上述した接続方式によって積層化及び多段化したチップスタック型パッケージ及びＰＯＰ（Ｐａｃｋａｇｅ Ｏｎ Ｐａｃｋａｇｅ）が普及している。また、ＴＳＶ（Ｔｈｒｏｕｇｈ−Ｓｉｌｉｃｏｎ Ｖｉａ）方式も広く普及し始めている。このような積層化及び多段化技術は、半導体素子等を三次元的に配置することから、半導体素子等を二次元的に配置する手法と比較してパッケージ面積を小さくできる。特に、ＴＳＶ技術は、半導体の性能向上、ノイズ低減、実装面積の削減及び省電力化にも有効であり、次世代の半導体配線技術として注目されている。

バンプ又は配線を含む接続部には導電材料が用いられている。導電材料の具体例として、はんだ、スズ、金、銀、銅、ニッケル及びこれらを複数種含む金属材料が挙げられる。接続部を構成する金属の表面に酸化膜が生成したり、酸化物等の不純物が付着したりすると、接続すべき回路部材間の接続性及び絶縁信頼性が低下し、上述した接続方式を採用するメリットが損なわれてしまうことが懸念される。このような不具合を抑制する方法として、接続前に基板表面及び半導体素子の表面の少なくとも一方にＯＳＰ（Ｏｒｇａｎｉｃ Ｓｏｌｄｅｒａｂｉｌｉｔｙ Ｐｒｅｓｅｒｖａｔｉｖｅｓ）処理に用いられるプリフラックス、防錆処理剤等を施すなどして前処理を行う方法が挙げられる。しかし、前処理後にプリフラックス、防錆処理剤等が接続部に残存し、残存したプリフラックス、防錆処理剤等が劣化することで、接続部の接続信頼性が低下する場合もある。

一方、半導体素子と基板との接続部を半導体用接着剤で封止する方法によれば、回路部材間の電気的接続と、接続部の封止とを一括して行うことができる。そのため、接続部に用いられる金属の酸化、接続部への不純物の付着等が抑制され、接続部を外部環境から保護することができる。したがって、効果的に接続性、絶縁信頼性、作業性、生産性等を向上させることができる。

また、ＦＣ接続方式で半導体装置を製造する際、半導体素子と基板との熱膨張係数の差又は半導体素子同士の熱膨張係数の差に由来する熱応力が接続部に集中して接続不良を起こすことがある。熱膨張係数の差に由来する接続不良を起こさないようにするために、隣接する二つの回路部材（半導体素子、基板等）の空隙を接着剤組成物で封止することが有効である。特に、半導体素子と基板とでは熱膨張係数の異なる成分が用いられることが多いため、接着剤組成物により半導体装置を封止して耐熱衝撃性を向上させることが求められる。

接着剤組成物を用いたＦＣ接続方式は、Ｃａｐｉｌｌａｒｙ−Ｆｌｏｗ方式と、Ｐｒｅ−Ａｐｐｌｉｅｄ方式に大別できる（例えば、特許文献２〜６参照）。Ｃａｐｉｌｌａｒｙ−Ｆｌｏｗ方式は、半導体素子及び基板の接続後に、半導体素子及び基板間の空隙に液状の接着剤組成物を毛細管現象によって注入する方式である。Ｐｒｅ−Ａｐｐｌｉｅｄ方式は、半導体素子及び基板の接続前に、半導体素子又は基板上に、ペースト状又はフィルム状の接着剤組成物を供給した後、半導体素子と基板とを接続する方式である。

また、半導体素子の突起電極と実装用配線基板の電極パッドとの接合強度を高め、実装信頼性を向上させるため、突起電極が素子面に形成された半導体素子を、絶縁基板の上面の前記突起電極に対向する位置に金属凸部が設けられた電極パッドが形成された配線基板に、前記突起電極と前記金属凸部とを位置合せして接合した半導体素子の実装構造であって、前記突起電極に前記金属凸部の頂部が陥入しているとともに、前記金属凸部の側面と前記電極パッドの上面とのなす角度及び接合部における前記金属凸部の側面と前記突起電極の側面とのなす角度が９０°以上であることを特徴とする半導体素子の実装構造が開示されている（例えば、特許文献７参照）。

特開２００８−２９４３８２号公報 特開２００１−２２３２２７号公報 特開２００２−２８３０９８号公報 特開２００５−２７２５４７号公報 特開２００６−１６９４０７号公報 特開２００６−１８８５７３号公報 特開２００３−４５９１１号公報

一般に、接着剤組成物（アンダーフィル材）を用いたＰｒｅ−Ａｐｐｌｉｅｄ方式における半導体装置の製造では、半導体素子と基板との間へのアンダーフィル材の付与及びアンダーフィル材の加熱硬化が行われる。現在、この方式では、一つの半導体装置ごとに半導体素子と基板との間へのアンダーフィル材の付与及びアンダーフィル材の加熱硬化が行われている。そのため、現行のＰｒｅ−Ａｐｐｌｉｅｄ方式のアンダーフィル材を用いた半導体装置の製造は、生産効率が悪く、生産効率の向上が重要な課題になっている。

かかる状況を解決するため、接着剤組成物がない状態で半導体素子を基板に仮搭載後、リフローによる一括はんだ接続を行い、Ｃａｐｉｌｌａｒｙ−Ｆｌｏｗ方式でアンダーフィル材の付与及びアンダーフィル材を加熱硬化する方法が考えられる。しかしながら、近年の半導体装置の小型化の進展に伴って、バンプ又は配線を含む接続部も狭ピッチ化が進んでいる。そのため、接着剤組成物がない状態で半導体素子を基板に仮搭載後、リフローによりはんだ接続を行うと、接続工程であるリフローの際の振動及び基板のハンドリングで接続部の位置ずれが生じてしまう場合がある。また、ＴＳＶ方式で半導体素子を多段化したものは仮搭載後に半導体素子が非常に不安定であるため、同様の理由でリフローによる一括はんだ接続をすると接続部で位置ずれが生じてしまう場合がある。

本発明の一形態は、上記従来の事情に鑑みてなされたものであり、半導体素子と基板との間又は半導体素子同士間の接続部の位置ずれが生じにくい半導体装置の製造方法を提供することを課題とする。

前記課題を達成するための具体的手段は以下の通りである。
＜１＞ 先端部にはんだ層を有する突起電極を備える第１部材における前記はんだ層と、前記第１部材と対向する側の面の前記突起電極と対向する位置に１又は２以上の金属凸部を表面に有する電極パッドを備える第２部材における前記金属凸部の先端と、を接触させる接触工程と、
加熱により前記突起電極と前記電極パッドとを接続する接続工程と、
を有し、
前記電極パッドが有する前記金属凸部の底部面積が、前記電極パッドの面積に対して、７０％以下であり、
前記第１部材及び前記第２部材の一方が半導体素子であり、前記第１部材及び前記第２部材の他方が半導体素子又は基板である半導体装置の製造方法。
＜２＞ 前記接触工程において、前記はんだ層と前記金属凸部の先端とが接触した状態で加熱する＜１＞に記載の半導体装置の製造方法。
＜３＞ 前記接触工程において、前記はんだ層と前記金属凸部の先端とが接触した状態で加圧する＜１＞又は＜２＞に記載の半導体装置の製造方法。
＜４＞ 前記接続工程における加熱条件が、２２０℃以上である＜１＞〜＜３＞のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法。
＜５＞ 前記接続工程が、窒素雰囲気下で行われる＜１＞〜＜４＞のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法。
＜６＞ 前記突起電極及び前記電極パッドの少なくとも一方に、フラックスを付与する付与工程を有する＜１＞〜＜５＞のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法。
＜７＞ 前記金属凸部の形状が、円柱又は直方体である＜１＞〜＜６＞のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法。
＜８＞ 前記金属凸部が、円柱又は直方体を高さ方向に少なくとも２つ重ねた形状としたものである＜１＞〜＜７＞のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法。
＜９＞ 前記金属凸部が、フォトリソグラフィーを用いて形成されたものである＜１＞〜＜８＞のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法。

本発明の一形態によれば、半導体素子と基板との間又は半導体素子同士間の接続部の位置ずれが生じにくい半導体装置の製造方法を提供することができる。

半導体素子及び基板が接続される前の状態を示す要部断面図である。 半導体素子が基板に仮搭載された状態を示す要部断面図である。 半導体素子及び基板が接続された後の状態を示す要部断面図である。

以下、本発明を適用した半導体装置の製造方法の一例について、図面を参照しながら詳細に説明する。但し、本発明は以下の開示に限定されるものではない。以下の開示において、その構成要素（要素ステップ等も含む）は、特に明示した場合を除き、必須ではない。数値及びその範囲についても同様であり、本発明を制限するものではない。また、各図における部材の大きさは概念的なものであり、部材間の大きさの相対的な関係はこれに限定されない。

本開示において「工程」との語には、他の工程から独立した工程に加え、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の目的が達成されれば、当該工程も含まれる。
本開示において「〜」を用いて示された数値範囲には、「〜」の前後に記載される数値がそれぞれ最小値及び最大値として含まれる。
本開示中に段階的に記載されている数値範囲において、一つの数値範囲で記載された上限値又は下限値は、他の段階的な記載の数値範囲の上限値又は下限値に置き換えてもよい。また、本開示中に記載されている数値範囲において、その数値範囲の上限値又は下限値は、実施例に示されている値に置き換えてもよい。
本開示において各成分は該当する物質を複数種含んでいてもよい。
本開示において「層」又は「膜」との語には、当該層又は膜が存在する領域を観察したときに、当該領域の全体に形成されている場合に加え、当該領域の一部にのみ形成されている場合も含まれる。
本開示において「積層」との語は、層を積み重ねることを示し、二以上の層が結合されていてもよく、二以上の層が着脱可能であってもよい。

＜半導体装置の製造方法＞
本開示の半導体装置の製造方法は、先端部にはんだ層を有する突起電極を備える第１部材における前記はんだ層と、前記第１部材と対向する側の面の前記突起電極と対向する位置に１又は２以上の金属凸部を表面に有する電極パッドを備える第２部材における前記金属凸部の先端と、を接触させる接触工程と、加熱により前記突起電極と前記電極パッドとを接続する接続工程と、を有し、前記電極パッドが有する前記金属凸部の底部面積が、前記電極パッドの面積に対して、７０％以下であり、前記第１部材及び前記第２部材の一方が半導体素子であり、前記第１部材及び前記第２部材の他方が半導体素子又は基板である。
本開示の半導体装置の製造方法では、必要に応じて、接触工程及び接続工程以外のその他の工程を含んでもよい。
本開示の半導体装置の製造方法は、半導体素子と基板との接続（つまり、第１部材及び第２部材の一方が半導体素子であり、第１部材及び第２部材の他方が基板である場合）にも、半導体素子同士の接続（つまり、第１部材及び第２部材が共に半導体素子である場合）にも適用することができる。

本開示の半導体装置の製造方法によれば、半導体素子と基板との間又は半導体素子同士間の接続部の位置ずれが生じにくい。その理由は明確ではないが、以下のように推察される。
本開示の半導体装置の製造方法では、接触工程において、先端部にはんだ層を有する突起電極を備える第１部材におけるはんだ層と、第１部材と対向する側の面の突起電極と対向する位置に１又は２以上の金属凸部を表面に有する電極パッドを備える第２部材における金属凸部の先端と、を接触させる。はんだ層を構成するはんだは、他の金属材料に比較して溶融温度が低く硬度も低いことから、金属凸部の先端の少なくとも一部は、はんだ層に貫入しやすい。そのため、はんだ層と金属凸部の先端とを接触させることで金属凸部の先端の少なくとも一部がはんだ層に貫入した状態となる。金属凸部の先端の少なくとも一部がはんだ層に貫入することで、第１部材と第２部材とが仮固定されやすい。そのため、半導体素子と基板との接続又は半導体素子同士の接続の際に、半導体素子を仮搭載された基板をハンドリングする際の衝撃、リフロー等の接続工程での振動などにより、仮固定された半導体素子及び基板又は半導体素子同士が外れにくく、半導体素子と基板との間又は半導体素子同士間の接続部の位置ずれが生じにくいと推察される。
本開示の半導体装置の製造方法は、特に狭ピッチ化及び狭ギャップ化された接続部を有する半導体装置の製造に有効である。

なお、本開示において「接続」とは、半導体素子及び基板又は半導体素子同士が突起電極と電極パッドとを介して物理的に接続することを意味する。

以下、本開示の半導体装置の製造方法に含まれる各工程について説明する。
−接触工程−
接触工程では、先端部にはんだ層を有する突起電極を備える第１部材におけるはんだ層と、第１部材と対向する側の面の突起電極と対向する位置に１又は２以上の金属凸部を表面に有する電極パッドを備える第２部材における金属凸部の先端と、を接触させる。
具体的には、突起電極と電極パッドとを位置合せし、突起電極の先端部のはんだ層と電極パッドの表面の１又は２以上の金属凸部とが対向した状態で接触させる。これにより、突起電極のはんだ層に電極パッドの金属凸部の頂部が貫入して第１部材と第２部材とが仮固定される。

接触工程において、はんだ層と金属凸部の先端とが接触した状態で加圧してもよい。はんだ層と金属凸部の先端とが接触した状態で加圧する際に付与される圧力の大きさは、特に限定されるものではない。一般的なフリップチップの実装工程と同様に、突起電極の数、突起電極の高さのばらつき、加圧による突起電極又は基板上の配線の変形量等を考慮して設定することができる。具体的には、例えば、突起電極１個あたりが受ける荷重が１ｇ〜２０ｇ程度になるように設定することが好ましい。また、例えば、一つの半導体素子に掛かる荷重が５Ｎ〜２００Ｎ程度になるように設定することが好ましい。

接触工程において、はんだ層と金属凸部の先端とが接触した状態で加熱してもよい。はんだ層と金属凸部の先端とが接触した状態で加熱する場合、基板及び半導体素子の少なくとも一方を加熱してもよい。加熱温度は、生産性及び半導体素子を搬送装置で搬送する際の取り扱い性の観点から、はんだが溶融しない温度で行われることが好ましく、２１０℃以下の温度で行われることが好ましく、２００℃以下の温度で行われることがより好ましい。
接触工程において、はんだ層と金属凸部の先端とが接触した状態で加熱する場合、はんだ層と金属凸部の先端とが接触した状態となった後に加熱してもよいし、加熱した状態のはんだ層と金属凸部の先端とを接触させてもよい。
接触工程においては、はんだ層と金属凸部の先端とが接触した状態で加熱と加圧とを行ってもよい。

本開示において、第１部材及び第２部材の一方が半導体素子であり、第１部材及び第２部材の他方が半導体素子又は基板である。
半導体素子の種類は特に制限されず、シリコン、ゲルマニウム等の同一種類の元素から構成される元素半導体、ガリウムヒ素、インジウムリン等の化合物半導体などを用いることができる。樹脂等によってパッケージングされていないチップ（ダイ）そのもの、樹脂等によってパッケージングされているＣＳＰ、ＢＧＡ等と呼ばれている半導体パッケージなども挙げることができる。また、半導体素子は、複数個の半導体素子を高さ方向及び平面方向の少なくとも一方に配置する構成のものでもよい。複数個の半導体素子を高さ方向に配置する場合には、複数個の半導体素子がＴＳＶによって接続されていてもよい。

突起電極としては、先端部にはんだ層を有するものであれば特に限定されない。突起電極としては、金属ポストと金属ポストの先端に設けられたはんだ層との組み合わせであってもよい。はんだ層を有する突起電極の材質は、はんだを有すること以外は特に制限されず、通常使用される材質から選択することができる。
突起電極の間隔は、１μｍ〜１００μｍであることが好ましく、１０μｍ〜７０μｍであることがより好ましく、３０μｍ〜５０μｍであることがさらに好ましい。
はんだ層の厚みは、０．１μｍ〜５０μｍであることが好ましく、１μｍ〜３０μｍであることがより好ましく、５μｍ〜２０μｍであることがさらに好ましい。
突起電極が金属ポストと金属ポストの先端に設けられたはんだ層とを有する構成である場合には、金、銀、銅、スズ、ニッケル等を主な成分とする金属層を有する金属ポストが、例えばメッキにより形成されていてもよい。金属ポストを構成する金属層は単一の成分を含むものであっても、複数の成分を含むものであってもよい。また、金属層は、単層構造であってもよく、複数の金属層が積層された積層構造をしていてもよい。
はんだ層のはんだとしては、スズ−銀系はんだ、スズ−鉛系はんだ、スズ−ビスマス系はんだ、スズ−銅系はんだ、金−銅系はんだ等が使用でき、環境問題及び安全性の観点から、金−銅系はんだ、スズ−銅系はんだ、スズ−ビスマス系はんだ等の無鉛はんだを使用してもよい。また、はんだ層に電極パッドの金属凸部を貫入しやすくさせるために、めっき、印刷等ではんだ層を突起電極に形成後、はんだ層に対して加熱処理を行わなくともよい。

基板の種類は特に制限されず、ＦＲ４、ＦＲ５等の繊維基材を含む有機基板、繊維基材を含まないビルドアップ型の有機基板、ポリイミド、ポリエステル等の有機フィルム、アルミナ、ガラス、シリコン等の無機材料を含む基材などに、接続用の電極を含む導体配線が形成された配線板を挙げることができる。基板には、セミアディティブ法、サブトラクティブ法等の手法により、回路、基板電極等が形成されていてもよい。また、基板の材質は制限されず、ガラス基板、セラミック基板等に接続用の電極を含む導体配線が形成された配線板でもよい。
基板はシリコンウェハーでもよい。シリコンウェハーは、サイズ、厚み等について制限されない。シリコンウェハーとしては、表面に接続用の電極を含む導体配線が形成されたウェハーを挙げることができる。また、シリコンウェハーには、貫通電極（ＴＳＶ）が形成されていてもよい。

金属凸部は、フォトリソグラフィーを用いて形成されたものであってもよい。
金属凸部を電極パッドの表面にフォトリソグラフィー技術を用いて形成する場合、シード層を残した電極パッド面に、感光性のフォトレジストを付与し、露光し、現像し、めっきし、フォトレジストを剥離し、シード層をエッチングするプロセスを経て形成することができる。金属凸部を形成する方法については、上記方法に限定されない。

金属凸部の材質は、特に制限されず、銅、ニッケル等の各種金属を用いてもよい。金属凸部の材質に銅を用いた場合は、放熱効果のある接続抵抗の少ない接続部を有する半導体装置を得ることが可能となる。
また、電極間の接続を確実にするために、金属凸部の表面に、金メッキ、ニッケル／金メッキ、ＯＳＰ（Ｏｒｇａｎｉｃ Ｓｏｌｄｅｒａｂｉｌｉｔｙ Ｐｒｅｓｅｒｖａｔｉｖｅｓ）処理等を施してもよい。

金属凸部の形状は特に限定されない。金属凸部の形状としては、円柱、直方体、三角柱等が挙げられる。
金属凸部の形状を円柱又は直方体としたときには、金属凸部の頂部と、これらの頂部が貫入され塑性変形した突起電極の先端部のはんだ層とがお互いに良好に噛み合うようになる。そのため、接続工程においてリフロー処理の際の外力に対しても十分な強度を得ることができ、接続部の位置ずれの発生をより抑制することができる傾向にある。

また、金属凸部は、円柱、直方体、三角柱等を高さ方向に少なくとも２つ重ねた形状としてもよい。この場合、電極パッドの表面に対して最上段に設けられた円柱、直方体、三角柱等の底部面積は、電極パッドの表面に対して最下段に設けられた円柱、直方体、三角柱等の底部面積よりも小さいことが好ましい。これにより、突起電極のはんだ層に金属凸部の頂部が貫入されやすくなり、金属凸部と突起電極のはんだ層との噛み合いが良好になり、接続工程においてリフロー処理の際の外力に対する強度が高くなり接続部の位置ずれがより生じにくくなる傾向にある。
金属凸部の形状としては、円柱又は直方体が好ましい。
また、金属凸部は、円柱又は直方体を高さ方向に少なくとも２つ重ねた形状としたものであってもよい。

また、電極パッドは、表面に金属凸部を２つ以上有していてもよい。表面に金属凸部を２つ以上有する場合、各金属凸部の形状は同じであっても異なっていてもよい。また、各金属凸部の高さは同じであることが好ましい。

電極パッドにおける金属凸部の高さは、突起電極のはんだ層の厚さ以下であることが望ましい。金属凸部の高さをはんだ層の厚さ以下とすることで、金属凸部がはんだ層に貫入しやすくなる。金属凸部ができるだけはんだ層に貫入された方が強度を大きくすることができ、接続部の位置ずれを抑制することができる傾向にある。
金属凸部の高さは、特に限定されるものではなく、０．１μｍ〜５０μｍであることが好ましく、０．５μｍ〜３０μｍであることがより好ましく、１μｍ〜１０μｍであることがさらに好ましい。

本開示の半導体装置の製造方法では、電極パッドの金属凸部を突起電極のはんだ層に貫入させるために、金属凸部の底部面積が、電極パッドの面積に対して、７０％以下とされ、好ましくは５０％以下であり、より好ましくは４０％以下である。金属凸部の底部面積が電極パッドの面積に対して７０％以下であると、突起電極のはんだ層に金属凸部が貫入することが容易となり、接続部の位置ずれが抑制される。また、金属凸部の底部面積は、電極パッドの面積に対して、５％以上であってもよく、１０％以上であってもよい。

金属凸部の底部面積とは、金属凸部を高さ方向から観察したときの当該金属凸部が占める面積をいう。また、金属凸部が円柱、直方体、三角柱等を高さ方向に重ねた形状である場合、金属凸部の底部面積とは、最下段に設けられた円柱、直方体、三角柱等についての底部面積をいう。また、電極パッドが表面に金属凸部を２つ以上有する場合、金属凸部の底部面積とは、各金属凸部の底部面積の合計をいう。

突起電極を高さ方向から見たときのはんだ層の面積に対する、金属凸部の底部面積は、７０％以下であってもよく、５０％以下であってもよく、４０％以下であってもよい。また、突起電極を高さ方向から見たときのはんだ層の面積に対する、金属凸部の底部面積は、５％以上であってもよく、１０％以上であってもよく、１５％以上であってもよい。

−接続工程−
接続工程では、加熱により突起電極と電極パッドとを接続する。接続工程を経ることにより、第１部材及び第２部材の一方が半導体素子であり、第１部材及び第２部材の他方が基板である場合には半導体素子と基板とが、第１部材及び第２部材が共に半導体素子である場合には半導体素子同士が、接続される。
接続工程では、リフロー炉に代表される加熱装置を用いて、はんだを溶融させ、突起電極と金属凸部を有する電極パッドとをはんだ接続させることができる。接続工程に用いられる加熱装置はリフロー炉に限られず、ホットプレート、オーブン等を用いることができる。

接続工程における加熱温度は、はんだが溶融する温度であることが好ましく、２２０℃以上であることがより好ましく、２３０℃以上であることがさらに好ましい。

接続工程は、突起電極と金属凸部を有する電極パッドの酸化を防止するため、窒素雰囲気で行われることが好ましい。

−その他の工程−
本開示の半導体装置の製造方法は、はんだの濡れ性を向上させ、接続を確実にするために、突起電極及び金属凸部を有する電極パッドの少なくとも一方にフラックスを付与する付与工程を有することが好ましい。付与工程は、接触工程の前に実施しても接触工程の後且つ接続工程の前に実施してもよい。また、接触工程に付与工程を含めてもよい。

付与工程で用いられるフラックスとしては、突起電極又は電極パッドの表面に形成された酸化膜を除去可能なものであれば特に制限はない。具体的には、脂肪酸、ホウ酸化合物、フッ化化合物、ホウフッ化化合物等を好ましいフラックスとして挙げることができる。

より具体的には、ラウリン酸、ミリスチン酸、パルミチン酸、ステアリン酸、ソルビン酸、スレアロール酸、酸化ホウ素、ホウ酸カリウム、ホウ酸ナトリウム、ホウ酸リチウム、ホウフッ化カリウム、ホウフッ化ナトリウム、ホウフッ化リチウム、酸性フッ化カリウム、酸性フッ化ナトリウム、酸性フッ化リチウム、フッ化カリウム、フッ化ナトリウム、フッ化リチウム等が挙げられる。
フラックスは、それぞれ１種単独で使用してもよく、２種類以上を組み合わせて使用することもできる。

本開示の半導体装置の製造方法では、接続部の保護と絶縁性を付与する観点から、第１部材と第２部材との間にアンダーフィルを充填してもよい。アンダーフィルの形態は、液状、ペースト状、フィルム状等、どの形態を使用してもかまわない。

次に、本開示の半導体装置の製造方法について図面を参照しつつ具体例を説明する。但し、本発明はこれらの態様に限定されるものではない。なお、各図面においては、突起電極と電極パッドの金属凸部との接続部近傍の要部のみを図示している。
以下の具体例では、第１部材が半導体素子であり、第２部材が基板である場合について説明するが、本開示は以下の具体例に限定されるものではない。

図１は、半導体素子及び基板が接続される前の状態を示す要部断面図であり、図２は、半導体素子が基板に仮搭載された状態を示す要部断面図であり、図３は、半導体素子及び基板が接続された後の状態を示す要部断面図である。
図１〜図３において、符号１は不図示の半導体素子の素子面に設けられた電極パッドを、符号２は半導体素子の素子面の電極パッド１上に形成された銅等の金属からなる金属ポスト（ピラー）を、符号３は金属ポスト２の先端部に設けられたはんだ層を示す。図１において、金属ポスト２及びはんだ層３により突起電極が構成されている。また、符号４は不図示の基板の表面の突起電極に対向する位置に形成された電極パッドを、符号５は電極パッド４の表面に設けられた金属凸部を示す。突起電極は半導体素子の素子面に形成され、電極パッド４は基板の表面の突起電極に対向する位置に形成される。

まず、図１に示すように、半導体素子の突起電極と、突起電極に対向する電極パッド４に設けられた金属凸部５の位置合わせを行う。次に図２に示すように、突起電極と金属凸部５を有する電極パッド４とが対向した状態で加圧して、突起電極のはんだ層３に電極パッド４の金属凸部５を貫入させて仮搭載する。

その後、半導体素子を基板に仮搭載した状態で、リフローに代表される加熱装置を用いて、はんだ層３を溶融させ、半導体素子の突起電極（素子電極）と基板の金属凸部５を有する電極パッド４（基板電極）をはんだ接続させる。以上の工程を経ることで、図３に示すような突起電極と電極パッド４とが接続された半導体装置が製造される。

なお、以上はあくまで本開示の実施の形態の例示であって、本開示はこれらに限定されるものではなく、本開示の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更及び改良を加えることは何ら差し支えない。

［実施例１］
アルミニウム配線を有するサイズが１０ｍｍ×８ｍｍで厚みが１００μｍのシリコンチップ（株式会社ウォルツ、商品名「ＷＡＬＴＳ−ＴＥＧ ＷＭ４０−０１０２ＪＹ」、突起電極（バンプ）：Ｓｎ−Ａｇ系はんだ、バンプはんだ厚み：８μｍ、バンプ間隔：４０μｍ、銅ピラーの高さ：１５μｍ、バンプサイズ：φ２０μｍ）を半導体素子として用意した。

シリコンウェハー（基板）上に、「ＷＡＬＴＳ−ＴＥＧ ＷＭ４０−０１０２ＪＹ」のバンプ位置に対向する位置にセミアディティブ工法を用いて、直径２６μｍ、厚み２μｍのめっき銅で電極パッドを形成した。このとき、シード層はエッチングしないでおいた。次に、作製した電極パッドの表面に同様にセミアディティブ工法を用いて、縦２０μｍ、横３μｍ、高さ５μｍの金属凸部を作製し、最後に電極パッドのシード層をエッチングし、金属凸部を有する電極パッドを作製した。これを、１０ｍｍ×８ｍｍにダイシングして評価に使用した。

次いで、シリコンチップのバンプを有する面を基板側に向け、バンプが基板と接触するように、シリコンチップの上から１００Ｎの荷重で加圧用部材により加圧し、バンプのはんだ層に基板の金属凸部を貫入させた。この際、シリコンチップのバンプにフラックスを付与してから加圧した。このときの温度は１００℃であった。このようにして、シリコンチップ（半導体素子）を仮搭載した基板を作製した。

上記でシリコンチップを仮搭載した基板を、ＩＲリフロー炉（株式会社タムラ製作所、商品名「ＴＮＰ２２５−３３７ＥＭ」）に通過させ、はんだを溶融し、シリコンチップのバンプを基板にはんだ接続した。なお、ＩＲリフロー炉内での加熱最高温度が２６０℃になるように温度プロファイルを設定した。

［実施例２］
シリコンウェハー（基板）上に、「ＷＡＬＴＳ−ＴＥＧ ＷＭ４０−０１０２ＪＹ」のバンプ位置に対向する位置にセミアディティブ工法を用いて、直径２６μｍ、厚み２μｍのめっき銅で電極パッドを形成した後、シード層はエッチングしないでおいた。次に、作製した電極パッドの表面に同様にセミアディティブ工法を用いて、縦２０μｍ、横３μｍ、高さ５μｍの金属凸部を電極パッド上に２つ作製し、最後に電極パッドのシード層をエッチングし、金属凸部を有する電極パッドを作製した。これを、１０ｍｍ×８ｍｍにダイシングして評価に使用した以外は実施例１と同様とした。

［実施例３］
シリコンウェハー（基板）上に、「ＷＡＬＴＳ−ＴＥＧ ＷＭ４０−０１０２ＪＹ」のバンプ位置に対向する位置にセミアディティブ工法を用いて、直径２６μｍ、厚み２μｍのめっき銅で電極パッドを形成した後、シード層はエッチングしないでおいた。次に、作製した電極パッドの表面に同様にセミアディティブ工法を用いて、縦１０μｍ、横１０μｍ、高さ５μｍの金属凸部を電極パッド上に作製し、最後に電極パッドのシード層をエッチングし、金属凸部を有する電極パッドを作製した。これを、１０ｍｍ×８ｍｍにダイシングして評価に使用した以外は実施例１と同様とした。

［実施例４］
シリコンウェハー（基板）上に、「ＷＡＬＴＳ−ＴＥＧ ＷＭ４０−０１０２ＪＹ」のバンプ位置に対向する位置にセミアディティブ工法を用いて、直径２６μｍ、厚み２μｍのめっき銅で電極パッドを形成した後、シード層はエッチングしないでおいた。次に、作製した電極パッドの表面に同様にセミアディティブ工法を用いて、直径１６μｍ、高さ５μｍの金属凸部を電極パッド上に作製し、最後に電極パッドのシード層をエッチングし、金属凸部を有する電極パッドを作製した。これを、１０ｍｍ×８ｍｍにダイシングして評価に使用した以外は実施例１と同様とした。

［実施例５］
シリコンウェハー（基板）上に、「ＷＡＬＴＳ−ＴＥＧ ＷＭ４０−０１０２ＪＹ」のバンプ位置に対向する位置にセミアディティブ工法を用いて、直径２６μｍ、厚み２μｍのめっき銅で電極パッドを形成した後、シード層はエッチングしないでおいた。次に、作製した電極パッドの表面に同様にセミアディティブ工法を用いて、直径１６μｍ、高さ２μｍの金属凸部を電極パッド上に作製した。この作製した円柱状の金属凸部上面に同様にセミアディティブ工法を用いて、直径８μｍ、高さ３μｍの金属凸部を作製し、最後に電極パッドのシード層をエッチングし、金属凸部を有する電極パッドを作製した。これを、１０ｍｍ×８ｍｍにダイシングして評価に使用した以外は実施例１と同様とした。

［比較例１］
実施例１の電極パッドの表面に金属凸部を作製しないこと以外は実施例１と同様とした。

［比較例２］
シリコンウェハー（基板）上に、「ＷＡＬＴＳ−ＴＥＧ ＷＭ４０−０１０２ＪＹ」のバンプ位置に対向する位置にセミアディティブ工法を用いて、直径２６μｍ、厚み２μｍのめっき銅で電極パッドを形成した後、シード層はエッチングしないでおいた。次に、作製した電極パッドの表面に同様にセミアディティブ工法を用いて、直径２４μｍ、高さ５μｍの金属凸部を電極パッド上に作製し、最後に電極パッドのシード層をエッチングし、金属凸部を有する電極パッドを作製した。これを、１０ｍｍ×８ｍｍにダイシングして評価に使用した以外は実施例１と同様とした。

［比較例３］
シリコンウェハー（基板）上に、「ＷＡＬＴＳ−ＴＥＧ ＷＭ４０−０１０２ＪＹ」のバンプ位置に対向する位置にセミアディティブ工法を用いて、直径２６μｍ、厚み２μｍのめっき銅で電極パッドを形成した後、シード層はエッチングしないでおいた。次に、作製した電極パッドの表面に同様にセミアディティブ工法を用いて、直径２２μｍ、高さ５μｍの金属凸部を電極パッド上に作製し、最後に電極パッドのシード層をエッチングし、金属凸部を有する電極パッドを作製した。これを、１０ｍｍ×８ｍｍにダイシングして評価に使用した以外は実施例１と同様とした。

上記で得られた半導体装置について、以下のようにして、接続部の位置ずれの確認を行った。評価結果を表１に示す。

＜シリコンチップと基板との位置ずれの確認＞
位置ずれの確認は、シリコンチップのはんだバンプに、基板の金属凸部を貫入させシリコンチップを基板に仮搭載し、加熱処理によりはんだ接続した半導体素子の実装構造について、シリコンチップのはんだバンプと基板の電極パッド部分との位置ずれをＸ線観察装置（ノードソン・アドバンスト・テクノロジー株式会社、商品名「ＸＤ−７６００ＮＴ１００−ＣＴ）で確認することで行った。位置ずれは、下記の評価基準に従って評価した。なお、位置ずれは５箇所を測定し、その算術平均値を求めた。

−評価基準−
Ａ：シリコンチップのバンプと基板の電極パッド部分との位置ずれの平均が１０μｍ未満である。
Ｂ：シリコンチップのバンプと基板の電極パッド部分との位置ずれの平均が１０μｍ以上、１５μｍ未満である。
Ｃ：シリコンチップのバンプと基板の電極パッド部分との位置ずれの平均が１５μｍ以上である。

表１に示すように、本開示の半導体装置の製造方法は、接続部の位置ずれが生じにくく、接続精度に優れることがわかる。

１ 電極パッド
２ 金属ポスト
３ はんだ層
４ 電極パッド
５ 金属凸部

Claims (7)

1. 先端部にはんだ層を有する突起電極を備える第１部材における前記はんだ層と、前記第１部材と対向する側の面の前記突起電極と対向する位置に１又は２以上の金属凸部を表面に有する電極パッドを備える第２部材における前記金属凸部の先端と、を接触させる接触工程と、
   加熱により前記突起電極と前記電極パッドとを接続する接続工程と、
   を有し、
   前記電極パッドが有する前記金属凸部の底部面積が、前記電極パッドの面積に対して、７０％以下であり、
   前記第１部材及び前記第２部材の一方が半導体素子であり、前記第１部材及び前記第２部材の他方が半導体素子又は基板であり、
   前記金属凸部が、円柱、直方体又は三角柱を高さ方向に少なくとも２つ重ねた形状であり、前記電極パッドの表面に対して最上段に設けられた前記円柱、前記直方体又は前記三角柱の底部面積が、前記電極パッドの表面に対して最下段に設けられた前記円柱、前記直方体又は前記三角柱の底部面積よりも小さい半導体装置の製造方法。
2. 前記接触工程において、前記はんだ層と前記金属凸部の先端とが接触した状態で加熱する請求項１に記載の半導体装置の製造方法。
3. 前記接触工程において、前記はんだ層と前記金属凸部の先端とが接触した状態で加圧する請求項１又は請求項２に記載の半導体装置の製造方法。
4. 前記接続工程における加熱条件が、２２０℃以上である請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法。
5. 前記接続工程が、窒素雰囲気下で行われる請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法。
6. 前記突起電極及び前記電極パッドの少なくとも一方に、フラックスを付与する付与工程を有する請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法。
7. 前記金属凸部が、フォトリソグラフィーを用いて形成されたものである請求項１〜請求項６のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法。

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