JP6957996B2 - 加熱電極シート、通電加熱パネル、及び乗物 - Google Patents

Description

本発明は、通電することでジュール熱（Ｊｏｕｌｅ ｈｅａｔ）により発熱する発熱導体を備える加熱電極シート、これを具備する通電加熱パネル、及び乗物に関する。

従来、特許文献１〜特許文献３に記載のように、自動車、鉄道、航空機、及び船舶等の乗物のガラス窓、並びに、建物のガラス窓に対して、通電することにより発熱し、ガラス窓の凍結や曇りを解消する通電加熱パネルの技術がある。このような通電加熱パネルは、２枚のガラス板の間に加熱電極シートを具備して構成されている。そして当該加熱電極シートは、離隔して配置された一対のバスバー電極、及び、この一対のバスバー電極間を渡すように配置された発熱導体を有しており、一対のバスバー電極に電源を接続することで発熱導体が通電可能とされ、発熱導体を発熱させてガラス窓を加熱できるように構成されている。

特開平８−７２６７４号公報 特開平９−２０７７１８号公報 特開２０１３−５６８１１号公報

このような加熱電極シートは、これを用いた通電加熱パネルとされ、窓等の光を透過する部位に適用される。従って、通電加熱パネルを通して反対側をより鮮明に見えるようにするためヘーズ値を小さくすることが好ましい。
ところが、ヘーズ値を小さくすると、鮮明さが向上するために、これまで所定のヘーズ値であったために隠蔽や拡散されて潜在化していた不具合が顕在化することがあった。光芒も顕在化する不具合のうちの１つである。

そこで本発明は、ヘーズ値を低く抑えても光芒の発生を抑制することが可能な加熱電極シートを提供することを課題とする。また、この加熱電極シートを備える通電加熱パネル、及び乗物を提供する。

発明者らは、鋭意検討の結果、発熱導体をエッチングで形成するための銅箔表面に存在する微小な凹凸が他の層に転写され、銅箔が除去された部位においてこの凹凸が当該他の層に生じる知見を得た。そして通電加熱パネルのヘーズ値を低下させたときに、この凹凸が光芒の原因となることを突き止め、これを解決して本発明を完成させた。以下本発明について説明する。ここでは理解容易のため図面の参照符号を付記するが、本発明はこれに限定されるものではない。

本発明の１つの態様は、基材層（１１）と、基材層の一方の面に配置された発熱導体用接着剤層（１２）と、発熱導体用接着剤層により基材層に接着され、開口を有して形成された発熱導体（１４）と、発熱導体、及び開口を満たして発熱導体用接着剤層に接触するパネル用接着剤層（１５）と、を備え、発熱導体用接着剤層のうち、パネル用接着剤層に接する側の面（１２ａ）の表面粗さが、ＪＩＳ Ｂ ０６０１：２００１におけるＲｚで０．８μｍ以上１．５μｍ以下とされ、発熱導体用接着剤層とパネル用接着剤層との屈折率差が０以上０．０２以下である、加熱電極シート（１０）を提供する。
ここで発熱導体おける「開口」は、間隔を有して配置される隣り合う発熱導体の間の部位を意味する。

また、透明である第一のパネル（３１）と、第一のパネルに対して所定の間隔を有して配置される第二のパネル（３２）と、所定の間隔に配置される上記加熱電極シート（１０）と、を備える通電加熱パネル（３０）を提供できる。

本発明によれば、銅箔により転写される凹凸を小さく抑えるとともに、当該凹凸を挟んだ層の屈折率差を小さくしたので、通電加熱パネルのヘーズ値を小さくしても光芒の発生を抑制することができる。

通電加熱パネル３０を説明する平面図である。 通電加熱パネル３０の層構成を説明する断面図である。 発熱導体１４の１つの例である。 加熱電極シート１０を説明する斜視図である。 図５（ａ）は発熱導体１４’を説明する図、図５（ｂ）は発熱導体１４”を説明する図である。 発熱導体１４の断面形態について説明する図である。 図７（ａ）〜図７（ｄ）は、加熱電極シート１０の作製方法を説明する図である。

以下本発明を図面に示す形態に基づき説明する。ただし、本発明はこれら形態に限定されるものではない。なお、図面に表れる各部材は理解し易さの観点から大きさや形状を誇張、変形して表すことがある。

図１は加熱電極シート１０を含む通電加熱パネル３０を平面視した概念図、図２は図１に示したＩＩ−ＩＩ線による断面図である。図３には図１にＩＩＩで示した部位の拡大図で、発熱導体の１つの例である発熱導体１４の拡大図を示した。図４には加熱電極シート１０の一部を斜視図で表している。

通電加熱パネル３０は、加熱電極シート１０に通電することによって発熱し、通電加熱パネル３０の第一パネル３１、第二パネル３２を加熱するよう構成されている。図１〜図４よりわかるように、通電加熱パネル３０は、加熱電極シート１０、第一パネル３１、第二パネル３２、パネル用接着剤層３３、及び、電源接続配線３４を有して構成されている。

また、ここに含まれる加熱電極シート１０も全体として板状であり、複数の層が厚さ方向（図１、図２に示したＺ軸方向）に積層してなる。具体的には、本形態の加熱電極シート１０は、基材層１１、発熱導体用接着剤層１２、バスバー電極１３、発熱導体１４、及びパネル用接着剤層１５を有している。以下それぞれについて説明する。

基材層１１は、加熱電極シート１０の、特にバスバー電極１３及び発熱導体１４がその一方の面上に配置されて、該バスバー電極１３及び発熱導体１４を支持する基材として機能する層である。
基材層１１は透明な板状の部材であり、樹脂により形成されている。基材層１１を形成する樹脂としては可視光線波長帯域の波長（３８０ｎｍ〜７８０ｎｍ）を透過するものであれば如何なる樹脂でも良いが、好ましくは熱可塑性樹脂を用いる。この熱可塑性樹脂としては、例えばポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナレフタレート、アモルファスポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）等のポリエステル樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリメチルペンテン、環状ポリオレフィン等のポリオレフィン樹脂、ポリメチルメタクリレート等のアクリル樹脂、トリアセチルセルロース（三酢酸セルロース）等のセルロース系樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリスチレン、アクリロニトリル−スチレン共重合体等のスチレン系樹脂、ポリ塩化ビニル、等を挙げることができる。その中でもＰＥＴが、エッチング耐性、耐候性、耐光性に優れていることから好ましい。ＰＥＴはその屈折率が１．５８前後である。
基材層１１の厚さは２０μｍ以上３００μｍ以下が一般的である。

発熱導体用接着剤層１２は、基材層１１と発熱導体１４との間に配置され、両者の密着性を向上させる機能を有する接着剤層である。ここに用いられる接着剤は、ドライラミネート方式の貼り合せ方法に用いられるものが好ましい。ドライラミネートとは、溶剤で溶解した液状の接着剤を、互いに貼り合せるべき２層の基材に対してその貼り合せ面の少なくとも一方に塗布し、該接着剤の塗布層を乾燥後に、該接着剤層を間に介して積層した両層を１対の加熱ロールに挟持して加圧して貼り合わせる貼り合せ方法である。かかる貼り合せ方法で用いられる接着剤の材料としては、特に限定されることはなく公知のものを用いることができるが、例えば、熱硬化型樹脂が代表的である。具体的には、アクリルポリオール、ポリエステルポリオール、ポリカーボネートポリオール、ポリエーテルポリオール等のポリオールから選ばれた１種以上を主剤とし、これにトリレンジイソシアネート、キシレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート等のイソシアネート化合物の多量体又は附加体から選ばれた１種以上を硬化剤とする２液硬化型ウレタン樹脂、ビスフェノールＡとエピクロルヒドリンの共重合体等のプレポリマーから選ばれた１種以上を主剤とし、ポリアミン、又は酸無水物等を硬化剤とする２液硬化型エポキシ樹脂等が挙げられる。これらの中でも、ポリエステルポリオールを主剤とする２液硬化型ポリエステル系ウレタン、ポリカーボネートポリオールを主剤とする２液硬化型ポリカーボネート系ウレタン等を好適に用いることができる。

ここで、発熱導体用接着剤層１２のうち、基材層１１側とは反対側の面（発熱導体及びパネル用接着剤層に接触する側の面）１２ａは、その表面粗さがＲｚ（ＪＩＳ Ｂ ０６０１：２００１）で０．８μｍ以上１．５μｍ以下とされている。これにより、後で説明するように、当該面１２ａにおける表面粗さに加えて、発熱導体用接着剤層１２とパネル用接着剤層１５との屈折率差を０以上０．０２以下となるように構成することにより、通電加熱パネル３０のヘーズ値を低く抑えても光芒の発生を防止することができる。

本形態でバスバー電極１３は、第一バスバー電極１３ａ及び第二バスバー電極１３ｂから形成されている。第一バスバー電極１３ａ、第二バスバー電極１３ｂはそれぞれ一方向（図１においてはＸ軸方向）に延びる帯状であり、第一バスバー電極１３ａと第二バスバー電極１３ｂとは間隔を有して同じ方向に延びる（略平行となる）ように配置されている。
このような第一バスバー電極１３ａ及び第二バスバー電極１３ｂは公知の形態を適用することができ、帯状である当該電極の幅は３ｍｍ以上１５ｍｍ以下が一般的である。

発熱導体１４は、第一バスバー電極１３ａと第二バスバー電極１３ｂとを渡すように両バスバー電極１３ａ、１３ｂと交差する方向（図１においてはＹ軸方向）に延在して配置される。そして、第一バスバー電極１３ａと第二バスバー電極１３ｂとが当該発熱導体１４により電気的に接続されている。この発熱導体１４が通電により発熱する。
本形態ではこのような発熱導体１４が、第一バスバー電極１３ａ及び第二バスバー電極１３ｂの長手方向（図１においてはＸ軸方向）に複数配列されている。

また発熱導体１４が延びる方向における形態は特に限定されることはないが、光芒をより確実に防止する観点から、平面視（図１の視点）で発熱導体１４は図３に示したように波型であることが好ましい。

ただし、発熱導体の形態は波型に限定されることはなく、図５（ａ）に示した直線状の発熱導体１４’や、図５（ｂ）に示したメッシュ状の発熱導体１４”を適用することもできる。

また、発熱導体１４の断面形状は次のように構成されていることが好ましい。図６には、図２にＶＩで示した部位を拡大した図を示した。
発熱導体１４は、加熱電極シート１０の厚さ方向において、発熱導体１４の一方側（本形態では発熱導体用接着剤層１２側）の面を平面視した長さ０．０１ｍあたりの表面積をＳ_Ｂ、その反対側の面を平面視した長さ０．０１ｍあたりの表面積Ｓ_Ｔとしたとき、
０μｍ^２＜Ｓ_Ｂ−Ｓ_Ｔ≦３００００μｍ^２
が成立することが好ましい。ここで「長さ」とは、延びる発熱導体１４のある０．０１ｍを取り出したときにおける一端と他端との距離である。より好ましくは、
０μｍ^２＜Ｓ_Ｂ−Ｓ_Ｔ≦１５０００μｍ^２
である。
これによれば、発熱導体１４を視認されない幅で作製した際に、断面積を大きくとることができ、さらに高い出力（発熱量）を得ることが可能である。矩形（長方形）を作製することができれば理想ではあるが、エッチングにより作製することはいわゆるサイドエッジの性質上、困難がある。

上記範囲を満たしつつ、その他の部位において次のように構成することが好ましい。図６に説明のための符号を付している。
図６にＢで示した、隣り合う発熱導体１４の間隔Ｂ（発熱導体１４における開口部に相当する）は、０．１ｍｍ以上５．００ｍｍ以下であることが好ましい。より好ましくは０．４ｍｍ以上である。
また、当該断面において、上記Ｓ_Ｂ側の辺の長さ（線幅）をＷ_Ｂ、及びその反対側（Ｓ_Ｔ側）の辺の長さ（線幅）をＷ_Ｔとしたとき、
Ｗ_Ｂ＞Ｗ_Ｔ、
３μｍ≦Ｗ_Ｂ≦１５μｍ、及び
１μｍ≦Ｗ_T≦１２μｍ
が成り立つことが好ましい。
なお、この断面は、その部位において最小断面になるように切断された面とする。また、発熱導体１４の表面に凹凸が形成されている場合には当該凹凸を含めた最小面積の断面を考えるものとする。
また、発熱導体１４の厚さＨは、５μｍ以上３０μｍ以下であることが好ましい。

また、発熱導体１４は、隣り合う発熱導体１４とのピッチＰが、０．１ｍｍ以上５．００ｍｍ以下とされることが好ましい。ピッチＰを０．１ｍｍより小さくすると複数の発熱導体１４が密に配置されて、通電加熱パネル１０としたときに光の透過率が許容される範囲を超えて暗くなってしまう虞がある。一方、ピッチＰが５．００ｍｍより大きいと均一な加熱性能が低下したり、発熱導体１４が視認されたりする虞がある。

発熱導体１４を構成する導体材料としては例えばタングステン、モリブデン、ニッケル、クロム、銅、銀、白金、アルミニウム等の金属、あるいはこれら金属を含むニッケル−クロム合金、青銅、真鍮等の合金をエッチングによりパターン形成してなす部材を挙げることができる。

パネル用接着剤層１５は、バスバー電極１３、及び発熱導体１４を含み、発熱導体用接着剤層１２と、後述する第二パネル３２と、を接着する層である。すなわち、パネル用接着剤層１５は発熱導体１４の表面を覆うとともに、隣り合う発熱導体１４の間の開口に充填されており、発熱導体用接着剤層１２と接触している。
ここに用いられる接着剤としては特に限定されることはないが、接着性、耐候性、耐熱性透明性等の観点からポリビニルブチラール樹脂（ＰＶＢ）を用いることができる。
パネル用接着剤層１５の厚さは特に限定されることはないが、発熱導体１４の厚さ（図６のＨ）より厚くなることが好ましい。これにより、パネル用接着剤層１５により発熱導体１４を保護することができる。より具体的には０．２ｍｍ以上１．０ｍｍ以下の厚さであることが好ましい。
パネル用接着剤層１５の中には、必要に応じて、ベンゾトリアゾール系化合物、ベンゾフェノン系化合物等の紫外線吸収剤、赤外線吸収剤、帯電防止剤等の各種添加剤を添加することができる。

そして、上記したように、面１２ａを挟んで発熱導体用接着剤層１２とパネル用接着剤層１５との屈折率差が０以上０．０２以下となるように構成されている。これにより、上記面１２ａにおける表面粗さとの組み合わせにより、通電加熱パネル３０のヘーズ値を低く抑えても光芒の発生を防止することができる。

加熱電極シート１０は例えば次のように製造することができる。図７（ａ）〜図７（ｄ）に説明のための図を示した。

先ず、図７（ａ）に示したように、金属箔１４ａを、樹脂フィルムからなる基材層１１上に発熱導体用接着剤層１２を介して貼り合せ積層した積層体を製造する。このとき、金属箔１４ａのうち、発熱導体用接着剤層１２に接する側の面はその表面粗さが上記した値であり、すなわち、Ｒｚ（ＪＩＳ Ｂ ０６０１：２００１）で０．８μｍ以上１．５μｍ以下とされている。これにより発熱導体用接着剤層１２の面１２ａの表面粗さも同様のものとなる。
金属箔１４ａの面をこのような表面粗さにするための具体的手段は特に限定されることはないが、例えば金属箔が銅箔であり、その中でも電解めっきにより形成される銅箔である場合には、銅箔を形成するためにめっき液に浸されるロールの表面の表面粗さを上記のように調整しておけばよい。ロールの表面の粗さは研磨等によりおこなうことができる。

次いで、図７（ｂ）に示したように、該積層体の金属箔１４ａ上に感光性レジスト層８０を塗工形成する。

その後、所望のパターンの発熱導体１４及びバスバー電極１３の平面視パターンに基づいた遮光パターンを有する不図示のフォトマスクを用意する。そして、該フォトマスクを該感光性レジスト層８０上に密着させて載置する。そして、該フォトマスクを通して紫外線露光し、フォトマスクを除去後、公知の現像処理により未露光の感光性レジスト層８０の部位を溶解除去して、図７（ｃ）に示したように所望のパターン８０ａに合致する形状のレジストパターン層８０’を該金属箔１４ａ上に形成する。
ここで図７（ｃ）には形成されるべき発熱導体１４の位置及び大きさを参考として破線及び薄墨で表している。図７（ｃ）からわかるように、本例では、レジストパターン層８０’に形成されたパターン８０ａの縁から、形成されるべき発熱導体１４の縁までの距離がＣとなるように構成されている。そしてこのＣは５μｍ以上であることが好ましい。これにより上記した形態の発熱導体１４をエッチングにより得ることができる。

次いで、該レジストパターン層８０’上から該積層体を腐蝕液によるエッチング（腐蝕）加工を行い、図７（ｄ）のように、金属箔１４ａを腐蝕除去する。そして、該レジストパターン層８０’を溶解除去（脱膜）する。かくして、発熱導体用接着剤層１２上に図１の平面視形状及び図２の断面形状の所定パターンの発熱導体１４、第一バスバー電極１３ａ及び第二バスバー電極１３ｂが形成された積層部材を製造する。

上記のように発熱導体１４を作製することにより発熱導体１４を生産性高く形成することができる。

そして、形成された発熱導体１４を覆い、隣り合う発熱導体１４の間の開口に充填するようにパネル用接着剤層１５を積層する。積層の態様は図２に示した通りである。

以上説明した加熱電極シート１０の製造方法によれば、エッチングによっても断面形状が矩形に近い発熱導体を得ることができ、上底と下底との差が大きい台形断面である発熱導体に比べて、幅方向の大きさを小さく抑えつつも、厚さを大きくして断面積を大きくすることが可能となる。
また、発熱導体用接着剤層１２の面１２ａの表面粗さを容易に所定の範囲に調整することができる。

図１、図２に戻り、通電加熱パネル３０の他の構成部材について説明する。

第一パネル３１、及び第二パネル３２は、透光性を有する、即ち透明な板状の部材であり、一方の面同士が向かい合うような姿勢で板面間に間隔を有して略平行に配置されている。いわゆる二重パネル構造である。なお、ここで板面とは、第一パネル３１及び第二パネル３２の表面のうちＸＹ平面に平行な対向する２平面になる。この第一パネル３１と第二パネル３２との間に、加熱電極シート１０が配置され、パネル用接着剤層１５、３３により一体化されている。
第一パネル３１及び第二パネル３２は板ガラスにより構成することができる。これには、当該通電加熱パネル３０が適用される設備（例えば乗物や建物）が通常に有する窓に用いられる板ガラスと同じものを用いることができる。例えばソーダライム硝子（青板硝子）、硼珪酸硝子（白板硝子）、石英硝子、ソーダ硝子、カリ硝子等から成る普通板硝子、フロート板硝子、強化板硝子、部分板硝子等が挙げられる。また、必要に応じて３次元的に曲面状に湾曲部を有するものであってもよい。
ただし必ずしも硝子板である必要はなく、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂等の樹脂から成る樹脂板であってもよい。ただし、耐候性、耐熱性、透明性等の観点から板硝子であることが好ましい。
これら第一パネル３１及び第二パネル３２の厚さは特に限定されることはないが、１．５ｍｍ以上５ｍｍ以下であることが一般的である。

パネル用接着剤層３３は第一パネル３１のうち第二パネル３２側となる面に積層された接着剤からなる層であり、加熱電極シート１０の基材層１１と第一パネル３１とを接着する。接着剤としては特に限定されることはないが、接着性、耐候性、耐熱性透明性等の観点からポリビニルブチラール樹脂（ＰＶＢ）を用いることができる。
パネル用接着剤層３３の厚さは特に限定されることはないが、０．２ｍｍ以上１．０ｍｍ以下であることが一般的である。
パネル用接着剤層１２の中には、必要に応じて、ベンゾトリアゾール系化合物、ベンゾフェノン系化合物等の紫外線吸収剤、赤外線吸収剤、帯電防止剤等の各種添加剤を添加することができる。

電源接続配線３４は、図１からわかるように、第一バスバー電極１３ａと第二バスバー電極１３ｂ間に電源４０を接続する配線である。電源４０は、水滴（曇り）、凍結（霜）等を溶解又は蒸発させるために必要な電力を供給可能なものであれば特に限定されることはなく、適宜の電圧、電流、又は周波数を有する公知の直流又は交流電源を用いれば良い。通電加熱パネル３０が自動車に適用される場合には、電源４０として例えば自動車に既設の鉛蓄電池、リチウムイオン蓄電池等のバッテリーを直流電源として用いることができる。このときには例えばバッテリーの正極に第二バスバー電極１３ｂ、負極に第一バスバー電極１３ａを接続することができる。別途専用の電源（電池、発電機等）を用いても良い。また、電動機を動力とする鉄道車両の場合は架線から給電された直流又は交流電力を適宜の電圧及び電流に変換して用いることもできる。
このような電源接続配線３４は公知の構成を適用すればよい。

以上のような各構成により次のように通電加熱パネル３０とされている。図２からわかるように、第一パネル３１の一方の面にパネル用接着剤層３３が積層されており、このパネル用接着剤層３３を介して第一パネル３１に加熱電極シート１０の基材層１１が積層されている。また、加熱電極シート１０のパネル用接着剤層１５に第二パネル３２が貼り付けられる。

このような通電加熱パネル３０は例えば自動車のフロントガラスとして自動車に備えられる。その他、いわゆるガラス窓又はガラス扉等の透明な開口部を有するところに透明開口部材（いわゆる窓材）として用いることができ、これには例えば上記自動車をはじめ、鉄道車両、航空機、及び船舶、宇宙船等の乗物の窓、扉等の開口部、並びに、各種建物の窓、扉等の開口部を挙げることができる。また、交通信号機、電子看板、電子広告の窓材（表面保護板）、自動車の前照燈等の各種乗物の外部に備える照明裝置の窓材（表面保護板）等にも用いることができる。

通電加熱パネル３０は例えば次のように用いられて作用する。ここでは１つの例として通電加熱パネル３０を自動車のフロントパネルに適用した場合で説明する。
すなわち、図１、図２の形態においては、通電加熱パネル３０が自動車のフロントパネルの位置に配置される。この際には電源接続配線３４に開閉器５０を介して電源４０が接続され、バスバー電極１３を介して発熱導体１４を発熱させることができる。本形態においては、電源４０としては自動車に既設のバッテリーを用いている。開閉器５０を閉じると、電源４０から電流が供給される。当該発熱導体１４はジュール熱の発熱により第一パネル３１、第二パネル３２が加熱されるのでフロントパネルとして機能する通電加熱パネル３０の温度が上昇し、凍結及び曇りが解消される。

また、本発明では、発熱導体用接着剤層１２とパネル用接着剤層１５との屈折率差、及び、発熱導体用接着剤層１２の面１２ａの表面粗さが上記のように規定されていることから、通電加熱パネル３０のヘーズ値を低く抑えて、透明性が高い通電加熱パネルとしても光芒の発生を防止することができる。

１０ 加熱電極シート
１１ 基材層
１２ 発熱導体用接着剤層
１３ バスバー電極
１４ 発熱導体
１５ パネル用接着剤層
３０ 通電加熱パネル
３１ 第一パネル
３２ 第二パネル
３３ パネル用接着剤層
４０ 電源

Claims (3)

1. 基材層と、
   前記基材層の一方の面に配置された発熱導体用接着剤層と、
   前記発熱導体用接着剤層により前記基材層に接着され、開口を有して形成された発熱導体と、
   前記発熱導体、及び前記開口を満たして前記発熱導体用接着剤層に接触するパネル用接着剤層と、を備え、
   前記発熱導体用接着剤層のうち、前記パネル用接着剤層に接する側の面の表面粗さが、
   ＪＩＳ Ｂ ０６０１：２００１におけるＲｚで０．８μｍ以上１．５μｍ以下とされ、
   前記発熱導体用接着剤層と前記パネル用接着剤層との屈折率差が０以上０．０２以下である、加熱電極シート。
2. 透明である第一のパネルと、
   前記第一のパネルに対して所定の間隔を有して配置される第二のパネルと、
   前記所定の間隔に配置される請求項１に記載の加熱電極シートと、を備える通電加熱パネル。
3. 請求項１に記載の加熱電極シートを製造する方法であって、
   前記発熱導体用接着剤層となる接着剤層に対して前記発熱導体となる金属箔を積層する工程を含み、
   前記金属箔は、前記発熱導体用接着剤層となる前記接着剤層に接する側の面は、表面粗さがＪＩＳ Ｂ ０６０１：２００１におけるＲｚで０．８μｍ以上１．５μｍ以下である、
   加熱電極シートの製造方法。

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