JP6947702B2 - サーマルプリントヘッド - Google Patents
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Description
発熱抵抗体および電極を保護する保護膜として、非晶質ガラスから成る下層(発熱抵抗体に近い側)の保護膜と、アルミナ粒子を含むガラスから成り下層の保護膜よりも軟化点の高い上層(表面の側)の保護膜との、2層の保護膜を備えるサーマルプリントヘッドも提案されている(特許文献1参照)。
本発明の第2の態様によるサーマルプリントヘッドは、基板上に配置されている発熱抵抗体と、前記発熱抵抗体に電力を供給する電極と、前記基板上に配置され、前記発熱抵抗体および前記電極の少なくとも一部を覆う第1保護膜と、前記第1保護膜の上に配置されている中間層と、前記中間層の上に配置されている第2保護膜とを備え、前記中間層は、金または銀を主成分とする金属材料からなる。
図1は、本発明の第1実施形態によるサーマルプリントヘッド50を示す図であり、図1(a)はサーマルプリントヘッド50の上面図であり、図1(b)は図1(a)におけるA−A断面を示す断面図である。
アルミナ(Al2O3)等のセラミックからなる支持基板11の表面に、部分的あるいは全体的に、ガラス等からなるグレーズ層12が配置され、グレーズ層12の上に、櫛歯状の共通電極14と格子状の個別電極15とが配置されている。
共通電極14および個別電極15は、例えば金属含有ペーストを厚膜印刷した後に、これを焼成することにより形成されている。
基板10上には、共通電極14および個別電極15とを跨ぐように、発熱抵抗体16が配置されている。
発熱抵抗体16の下に配置されている共通電極14および個別電極15の、中心間隔は、一例として40〜70μm程度である。
第1保護膜17は、ガラス以外の材料、例えば、窒化珪素や炭化珪素、または耐熱性のシリコーンで形成しても良い。
第1保護膜17がガラス系の材質からなる場合には、そのガラス転移点は500〜600℃である。従って、サーマルプリントヘッド50の動作時に、発熱抵抗体16の発熱により第1保護膜17の温度が500〜600℃程度以上になると、第1保護膜17の熱膨張が顕著になる。
一方、界面18の表面粗さRaが0.12μmより大きいと、第2保護膜19の摩耗や剥離を十分に防止することができない。
あるいは、第1保護膜17の形成後に第1保護膜17の表面を平滑化する研磨処理等を行って、第1保護膜17の界面18の表面粗さを低減することもできる。
なお、第1保護膜17の界面18の表面粗さとしての算術平均粗さRaとは、一例として、先端半径が2μm、円錐のテーパ角度が60度の触針を有する接触式表面粗さ計を用いて計測した値である。この場合、界面18の表面粗さは、第2保護膜19を形成する前の第1保護膜17の表面粗さを計測して求める。
第1保護膜17がガラス系の材料ではない場合であっても、第2保護膜19は、その融点が、第1保護膜17の転移点または融点よりも高い材料で構成する。
第2保護膜19の厚さは、2〜6μm程度であることが好ましい。
また、第1保護膜17は、発熱抵抗体16および電極13の全ての部分を覆う必要はない。例えば、発熱抵抗体16および電極13のうち、印字動作時に印字対象の感熱紙等に接触しない部分については、第1保護膜17に覆われている必要はない。
なお、支持基板11の材質によっては、グレーズ層12は省略しても良い。
(1)以上の第1実施の形態のサーマルプリントヘッドは、基板10上に配置されている発熱抵抗体16と、発熱抵抗体16に電力を供給する電極13と、基板10上に配置され、発熱抵抗体16を覆うとともに、電極13の少なくとも一部を覆う第1保護膜17と、第1保護膜17の上に配置される第2保護膜19とを備え、第1保護膜17の第2保護膜19との界面18の表面粗さは、算術平均粗さRaとして0.12μm以下である。
この構成により、印字動作時に発熱抵抗体16が発熱し第1保護膜17が所定の温度以上の高温になった状態で感熱紙が第2保護膜19上を摺動しても、第2保護膜19の摩耗や剥離を防止することができ、耐久性に優れたサーマルプリントヘッドを実現できる。
(2)さらに、第1保護膜17はガラスを主成分とすることで、厚膜印刷と焼結との組合せ等の手法により、第1保護膜17を低コストで形成することができる。
(3)さらに、第2保護膜19の融点を第1保護膜17のガラス転移点よりも高くすることで、さらに耐久性に優れたサーマルプリントヘッドを実現できる。
図2は、本発明の第2実施形態によるサーマルプリントヘッド50aの断面図を示す図である。第2実施形態によるサーマルプリントヘッド50aは、その大部分が上述の第1実施形態によるサーマルプリントヘッド50と共通している。従って、図2中でサーマルプリントヘッド50との共通部分には、同一の符号を付して説明を省略する。また、図2は、図1(b)と同様に図1(a)に示されているサーマルプリントヘッド50のA−A断面に対応する断面を示している。
中間層20は、さらにサーマルプリントヘッド50aの動作時の温度に耐えるために、熱伝導率が80W/mK以上であって、厚膜印刷後800℃焼成温度で形成可能な材料であることが好ましい。また、アルミナ等の支持基板11との線膨張係数の差が大きくなり過ぎないように、その線膨張係数が、20×10−6[1/K]以下であることが好ましい。
中間層20は、例えば金属で形成されている。
中間層20の厚さは、0.1から1μm程度であることが好ましい。中間層20の厚さがこれより薄いと、第2保護膜の内部応力を十分に緩和できない。一方、中間層20の厚さがこれより厚いと、発熱抵抗体16の熱が中間層20を経由して周囲に拡散し、印字品質の低下を招く恐れがあるとともに、製造コストが上昇する恐れがある。
中間層20は厚膜印刷し、焼成することで形成することができる。
また、電極13と発熱抵抗体16との位置関係についても、上述の第1実施形態と同様に、発熱抵抗体16が電極13より上(基板10から遠い側)に配置されるのに限らず、電極13が発熱抵抗体16より上(基板10から遠い側)に配置されても良い。
第1保護膜17aについても、上述の第1実施形態と同様に、発熱抵抗体16および電極13の全ての部分を覆っている必要はない。
(4)以上の第2実施の形態のサーマルプリントヘッドは、発熱抵抗体16に電力を供給する電極13と、基板10上に配置され、発熱抵抗体16を覆うとともに、電極13の少なくとも一部を覆う第1保護膜17aと、第1保護膜17aの上に配置される中間層20と、中間層20の上に配置されている第2保護膜19とを備え、中間層20は、ヤング率が100GPa未満の材料からなっている。
この構成により、印字動作時に発熱抵抗体16が発熱し第1保護膜17aが所定の温度度以上の高温になっても、第1保護膜17aの熱膨張により不均一な力は中間層20が変形することにより緩和される。このため、第2保護膜19が受ける不均一な力が低減され、第2保護膜19の摩耗や剥離を防止することができる。
(5)さらに、中間層20の材料を金属とすることで、厚膜印刷等の低コストの形成法により、中間層20を形成することができる。
(6)さらに、中間層20の材料である金属を、金または銀を主成分とすることで、中間層の化学的安定性を高めることができ、耐久性をさらに高めることができる。
(7)さらに、第1保護膜17aはガラスを主成分とすることで、厚膜印刷と焼結の組合せ等手法により、低コストで形成することができる。
(8)さらに、第2保護膜19の融点を第1保護膜17aのガラス転移点よりも高くすることで、さらに耐久性に優れたサーマルプリントヘッドを実現できる。
図3は、変形例1のサーマルプリントヘッド50bの断面図を示す図である。図3(a)はサーマルプリントヘッド50bの上面図であり、図3(b)は図3(a)におけるB−B断面を示す断面図である。
変形例1のサーマルプリントヘッド50bは、その多くの部分が上述の第1実施形態によるサーマルプリントヘッド50と共通している。従って、図3中でサーマルプリントヘッド50との共通部分には、同一の符号を付して説明を省略する。
変形例2は、上述の変形例1の構成のサーマルプリントヘッド50bにおいて、第1保護膜17の界面18の表面粗さを低減する代わりに、第1保護膜17と第2保護膜19の間に、上述の第2実施形態と同様に中間層20を設けたものである。
この変形例2においても、第2実施形態と同様に、第1保護膜17の熱膨張時の不均一な力を中間層20が緩和するため、第2保護膜19の摩耗や剥離を防止し、第2保護膜19の耐久性を高めることができる。
Claims (5)
- 基板上に配置されている発熱抵抗体と、
前記発熱抵抗体に電力を供給する電極と、
前記基板上に配置され、前記発熱抵抗体を覆うとともに、前記電極の少なくとも一部を覆う第1保護膜と、
前記第1保護膜の上に配置される第2保護膜とを備え、
前記第2保護膜の融点は、前記第1保護膜のガラス転移点よりも高く、
前記第1保護膜の前記第2保護膜との界面の表面粗さは、算術平均粗さRaとして0.12μm以下である、サーマルプリントヘッド。 - 請求項1に記載のサーマルプリントヘッドにおいて、
前記第1保護膜は、ガラスを主成分とした絶縁性材料からなる、サーマルプリントヘッド。 - 基板上に配置されている発熱抵抗体と、
前記発熱抵抗体に電力を供給する電極と、
前記基板上に配置され、前記発熱抵抗体および前記電極の少なくとも一部を覆う第1保護膜と、
前記第1保護膜の上に配置されている中間層と、
前記中間層の上に配置されている第2保護膜とを備え、
前記中間層は、金または銀を主成分とする金属材料からなる、サーマルプリントヘッド。 - 請求項3に記載のサーマルプリントヘッドにおいて、
前記第1保護膜は、ガラスを主成分とした絶縁性材料からなる、サーマルプリントヘッド。 - 請求項4に記載のサーマルプリントヘッドにおいて、
前記第2保護膜の融点は、前記第1保護膜のガラス転移点よりも高い、サーマルプリントヘッド。
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