JP5670076B2 - サーマルプリントヘッドおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
前記第2工程の後に、前記保護膜を覆い前記保護膜の表面の窪みの上の表面が窪んだ高硬度層を形成する第3工程と、前記第3工程の後に、前記間隙の上に形成された前記高硬度層の表面の窪みを含む領域に前記高硬度層よりも硬度が低い低硬度層を前記窪みの深さよりも厚く形成する第4工程と、前記第4工程の後に、前記高硬度層を研磨することなく前記低硬度層を機械研磨し前記高硬度層の表面の前記窪みに前記低硬度層を形成する第5工程と、を具備することを特徴とする。
Claims (6)
- 絶縁基板上に発熱抵抗体とこの発熱抵抗体の表面に間隙を挟んで延びる電極とを形成する第1工程と、
前記第1工程の後に、前記発熱抵抗体および前記電極を覆い前記間隙の上の表面が窪んだ保護膜を形成する第2工程と、
前記第2工程の後に、前記保護膜を覆い前記保護膜の表面の窪みの上の表面が窪んだ高硬度層を形成する第3工程と、
前記第3工程の後に、前記間隙の上に形成された前記高硬度層の表面の窪みを含む領域に前記高硬度層よりも硬度が低い低硬度層を前記窪みの深さよりも厚く形成する第4工程と、
前記第4工程の後に、前記高硬度層を研磨することなく前記低硬度層を機械研磨し前記高硬度層の表面の前記窪みに前記低硬度層を形成する第5工程と、
を具備することを特徴とするサーマルプリントヘッドの製造方法。 - 第5工程は、硬度が前記高硬度層よりも低く前記低硬度層よりも高い中硬度研磨剤で前記低硬度層を機械研磨する工程を含むことを特徴とする請求項1に記載のサーマルプリントヘッドの製造方法。
- 前記第4工程で形成される前記低硬度層の厚さは前記窪みの深さよりも大きいことを特徴とする請求項1または請求項2に記載のサーマルプリントヘッドの製造方法。
- 前記高硬度層はMoとTiNとTiONとから選択される材料で形成され、前記低硬度層はSiとSiOとAlとから選択される材料で形成されることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載のサーマルプリントヘッドの製造方法。
- 前記第4工程で形成された前記低硬度層は、前記窪みに形成されたものを除いて前記第5工程で除去されることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載のサーマルプリントヘッドの製造方法。
- 前記低硬度層は前記高硬度層よりも熱伝導率が高いことを特徴とする請求項5に記載のサーマルプリントヘッドの製造方法。
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