JP2011201190A - サーマルプリントヘッドおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】サーマルプリントヘッドの製造する際に、まず、基板22の表面に形成されたグレーズ層23の表面に抵抗体24とこの抵抗体24の表面に間隙を挟んで延びる電極25とを形成する。次に、抵抗体24および電極25を覆う保護膜26を形成する。さらに、保護膜26を覆う高硬度層41を形成し、その高硬度層41の表面の抵抗体24上の電極25の間隙の上に形成されてしまった窪みを含む領域に高硬度層よりも硬度が低い低硬度層を形成する。その後、低硬度層を、硬度が高硬度層41よりも低く低硬度層よりも高い中硬度研磨剤で機械研磨することにより、高硬度層41の表面に形成された窪みに埋め込まれた低硬度部42を形成する。
【選択図】図1
Description
Claims (7)
- 絶縁基板上に発熱抵抗体とこの発熱抵抗体の表面に間隙を挟んで延びる電極とを形成する第1工程と、
前記第1工程の後に、前記発熱抵抗体および前記電極を覆い前記間隙の上の表面が窪んだ保護膜を形成する第2工程と、
前記第2工程の後に、前記保護膜を覆い前記保護膜の表面の窪みの上の表面が窪んだ高硬度層を形成する第3工程と、
前記第3工程の後に、前記間隙の上に形成された前記高硬度層の表面の窪みを含む領域に前記高硬度層よりも硬度が低い低硬度層を形成する第4工程と、
前記第4工程の後に、前記低硬度層を機械研磨する第5工程と、
を具備することを特徴とするサーマルプリントヘッドの製造方法。 - 第5工程は、硬度が前記高硬度層よりも低く前記低硬度層よりも高い中硬度研磨剤で前記低硬度層を機械研磨する工程を含むことを特徴とする請求項1に記載のサーマルプリントヘッドの製造方法。
- 前記第4工程で形成される前記低硬度層の厚さは前記窪みの深さよりも大きいことを特徴とする請求項1または請求項2に記載のサーマルプリントヘッドの製造方法。
- 前記高硬度層はMoとTiNとTiONとから選択される材料で形成され、前記低硬度層はSiとSiOとAlとから選択される材料で形成されることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載のサーマルプリントヘッドの製造方法。
- 前記第4工程で形成された前記低硬度層は、前記窪みに形成されたものを除いて前記第5工程で除去されることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載のサーマルプリントヘッドの製造方法。
- 前記低硬度層は前記高硬度層よりも熱伝導率が高いことを特徴とする請求項5に記載のサーマルプリントヘッドの製造方法。
- 絶縁基板と、
前記絶縁基板の表面に形成された発熱抵抗体と、
前記発熱抵抗体の表面に間隙を挟んで延びる前記電極と、
前記発熱抵抗体および前記電極を覆う保護膜と、
前記保護層を覆う高硬度層と、
前記間隙の上に形成された前記高硬度層の表面の窪みに埋め込まれた前記高硬度層よりも硬度が低い低硬度部と、
を具備することを特徴とするサーマルプリントヘッド。
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