JPS6292863A - サ−マルヘツド - Google Patents

サ−マルヘツド

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Publication number
JPS6292863A
JPS6292863A JP60232557A JP23255785A JPS6292863A JP S6292863 A JPS6292863 A JP S6292863A JP 60232557 A JP60232557 A JP 60232557A JP 23255785 A JP23255785 A JP 23255785A JP S6292863 A JPS6292863 A JP S6292863A
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JP
Japan
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layer
film
thermal head
resistant layer
hard metal
Prior art date
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Pending
Application number
JP60232557A
Other languages
English (en)
Inventor
Masakazu Kato
雅一 加藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Alps Alpine Co Ltd
Original Assignee
Alps Electric Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Alps Electric Co Ltd filed Critical Alps Electric Co Ltd
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Priority to US06/920,839 priority patent/US4737799A/en
Publication of JPS6292863A publication Critical patent/JPS6292863A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/315Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material
    • B41J2/32Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material using thermal heads
    • B41J2/335Structure of thermal heads
    • B41J2/33505Constructional details
    • B41J2/3353Protective layers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/315Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material
    • B41J2/32Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material using thermal heads
    • B41J2/335Structure of thermal heads
    • B41J2/33555Structure of thermal heads characterised by type
    • B41J2/3357Surface type resistors

Landscapes

  • Electronic Switches (AREA)
  • Non-Adjustable Resistors (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「技術分野」 本発明は、サーマルプリンタに用いるサーマルヘッドに
関し、特にその耐摩耗層の改良に関する。
「従来技術およびその問題点」 サーマルプリンタに搭載するサーマルへ、ドは、例えば
複数個の発熱抵抗素子を同一基板上に直線的に配列し、
情報に従い、この発熱抵抗素子を通電加熱させて感熱記
録紙に発色記録させ、あるいはインクリボンを介して普
通紙に転写記録するために用いられる。
従来、サーマルヘッドとしては、第4図に示すようにガ
ラスグレーズ層2を部分的に形成したアルミナ等の絶縁
性基板1上に、Ta2Nなどからなる発熱抵抗体層3 
、 Al. Niなどからなる給電用導体層4 、3i
Q2などからなる酸化防止層5 、 Ta205などか
らなる耐摩耗層6を順次積層して製造していた。この場
合、給電用導体層4は、複数の個別電極と、共通電極と
にパターン化されて、それらの間に発熱部Aを形成する
ようになっている。
近年、サーマルヘッドにおいては、表面のラフな用紙に
も記録できること、高速記録を可能とすること、電池駆
動をも可能とすることなどが求められており、これらを
実現するためには、発熱部の伝熱性を良好にして、熱効
率を高めることが要求される。
しかしながら、従来のサーマルヘッドにおいては、耐摩
耗層がTazOsなどからなる均質な層からなっている
ので、熱伝導が等方的になされ、横方向への熱の逃げが
生じていた。また、耐摩耗層の材質自体も熱伝導性が低
いものであった。このため、サーマルヘッドの熱効率を
充分に高めることができなかった。
「発明の目的」 本発明の目的は、上記従来技術の問題点を解決し、耐摩
耗層自体の熱伝導性を高め、かつ、基板に対して垂直な
方向への熱伝導性を良好にし、熱効率を向上させるよう
にしたサーマルヘッドを提供することにある。
「発明の構成」 本発明によるサーマルヘッドは、電気絶縁性基板上に、
少なくとも発熱抵抗体層と、給電用導体層と、酸化防止
層と、耐摩耗層とを備え、前記耐摩耗層が多孔質Al酸
化膜からなり、この多孔質Al酸化膜の孔に熱伝導性の
良好な硬質金属が充填されていることを特徴とする。
したがって、多孔質Al膜の孔に充填された硬質金属に
より、耐摩耗層自体の熱伝導性が高められると共に、基
板に対して垂直な方向への熱伝導性が良好となる。この
ため1発熱部の熱が#摩耗層を通して外表面に伝熱しや
すくなり、サーマルヘッドの熱効率を向上させることが
できる。
本発明において、耐摩耗層は1例えばAl膜を陽極酸化
して多孔質とし、この孔内に硬質金属を電解メッキで充
填させることにより形成することができる。陽極酸化の
場合、孔は膜の表面より基板に対して垂直方向に形成さ
れるので、硬質金属は基板に対して垂直方向に、I長く
充填される。したがって、熱伝導性は、基板の横方向よ
りも垂直方向に良好となり、横方向への熱の逃げを防止
できる。
上記硬質金属としては、メッキができて、硬質であり、
かつ、高融点のものであればいずれも使用できるが、例
えばCr、 Ta、 No、誓、 Niなどが好ましい
本発明において、熱効率をさらに高めるためには、耐摩
耗層を発熱部にのみ形成することが好ましい。このよう
に、#摩耗層を発熱部にのみ形成すると、発熱部が突出
するので記録用紙あるいはインクリボンへの密着性が良
好となると共に、横方向への熱の逃げもさらに確実に防
止される。
「発明の実施例」 第1図には、本発明によるサーマルヘッドの一実施例が
示されている。
このサーマルヘッド11は、アルミナ等の絶縁性基板1
2を有し、この基板12上にガラスグレーズ層13が4
0g、mの厚さで形成されている。第1図は部分断面図
であるため、ガラスグレーズ層13が平坦に示されてい
るが、実際には基板12上に部分的に突出した状態で形
成されている。ガラスグレーズ層13上には、Ta2N
からなる発熱抵抗体層14が厚さ0.05 g mで形
成されている。なお、ガラスゲレース層13がフン酸系
のエツチング液に侵食されないようにするため、ガラス
グレーズ層13と発熱抵抗体層14との間に図示しない
アンダーコート層を設けてもよい。発熱抵抗体層14上
には、Al膜からなる厚さ1.5 gmの給電用導体層
15が形成されている。給電用導体層15は、個別電極
と共通電極とにパターンエツチングされ、それらの間隙
に発熱抵抗体層14のみからなる発熱ドツト部が設けら
れている。給電用導体層15上には、5i(1,、から
なる厚さ2 p−mの酸化防、止層16が形成されてい
る。これらの各層は、いずれもスパッタリングや真空基
若によって形成されている。そして、酸化防止層16上
には厚さ5〜1OJLfl+の耐摩耗層17が形成され
ている。
本発明において、耐摩耗層17は、多孔質のAl酸化膜
17aの孔内に、硬質金属17b(この実施例の場合は
Cr)が充填されてできている。この#摩耗層17の形
成に際しては、酸化防止層16上に、A I II!2
をスパッタリング、真空蒸着等によって形成し、これを
公知の手段で陽極酸化させて多孔質とする。
陽極酸化の場合、孔はAl膜の表面より基板に対して垂
直な方向に形成される。そして、 At膜の下層部分は
陽極酸化させずにAlのままに残しておき、この下層部
分を電極として硬質金属(Cr)を電解メッキする。硬
質金属(Cr)は電位の高い孔の内部に選択的に付着し
、孔内に充填される。最後に、必要に応じて表面を研磨
し、耐摩耗層17を形成することができる。
このサーマルヘッド11においては、発熱部Aで発生す
る熱が、耐摩耗層17の硬質金属17bによって表面に
良好に伝熱される。また、硬質金属1?bが基板12に
対して垂直方向に細長く形成されているので、横方向へ
の熱の逃げが少なくなる。したがって、従来のサーマル
ヘフドに比べて熱効率を向上させることができる。なお
、Al酸化膜Haおよび硬質金属+7bは、いずれも#
摩耗性を有するので、#久性も充分に得られる。
第2図には、本発明によるサーマルヘッドの他の実施例
が示されている。なお、図中、第1図と実質的に同一部
分には同符合を付してその説明を省略することにする。
このサーマルヘフド11では、酸化防止層16上に高融
点金属層18か形成されている。高融点金属層18とし
ては、例えばCr、Ta、 No、 ’d 、 Niな
どが用いられる。そして、この高融点金属層18上に、
耐摩耗層17が形成されている。この場合、耐摩耗層1
?は次のようにして形成される。すなわち、高融点金属
層18上に、At膜を形成し、これを陽極酸化させて多
孔質とする。この場合、陽極酸化は、Al膜が全部酸化
されるようにする。そして、高融点金属層18を電極と
して硬質金属(この実施例の場合はCr)を電解メッキ
する。硬質金属(Cr)は電位の高い孔の内部に選択的
に付着し、孔内に充填されるs fjy後に、必要に応
じて表面を研磨し、耐摩耗層17を形成することができ
る。
このサーマルヘッド11では、耐摩耗層17のAt膜が
全て酸化されており、かつ、その下層に高融点金属層1
8が配置されているので、より#熱性に優れたものとな
っている。
第3図には、本発明によるサーマルヘフドのさらに他の
実施例が示されている。図中、第1図と実質的に同一部
分には同符合を付してその説明を省略することにする。
このサーマルヘフド11では、発熱部Aに対応する部分
にのみ耐摩耗層17が形成されている。すなわち、酸化
防止層16上に、Al膜を形成し、発熱部A以外の部分
をマスクして1発熱部への部分のみを陽極酸化させて多
孔質とする。なお、第1図の場合と同様に、Al膜の下
層部分は陽極酸化させずにAlのままに残しておく。次
に、エンチングを行なって発熱部A以外のA I 11
5!を除去する。そして、Al酸化膜の下層部分を電極
として硬質金属(Cr)を電解メンキし、後は前記と同
様にして耐摩耗層17を形成することができる。
このサーマルヘフド11では、発熱部Aが突出している
ので、記録用紙およびインクリボンに対する接触性が良
好となり、かつ、耐摩耗層17の熱伝導が発熱部Aに限
定されるので、熱効率をさらに高めることができる。
「発明の効果j 以上説明したように、本発明によれば、耐摩耗層が多孔
質Al酸化膜からなり、この多孔質Al酸化膜の孔に熱
伝導性の良好な硬質金属が充填されているので、#摩耗
層自体の熱伝導性が高められると共に、基板に対して垂
直な方向への熱伝導性が良好となる。このため、発熱部
の熱が耐摩耗層を通して外表面に伝熱しやすくなり、サ
ーマルヘフドの熱効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明によるサーマルヘフドの一実施例を示す
部分断面図、第2図は本発明によるサーマルヘフドの他
の実施例を示す部分断面図、第3図は本発明によるサー
マルヘッドのさらに他の実施例を示す部分断面図、第4
図は従来のサーマルヘフドの一例を示す部分断面図であ
る。 図中、+1はサーマルヘフド、12は絶縁性基板、13
はガラスグレーズ層、14は発熱抵抗体層、15は給電
用導体層、16は酸化防止層、17は耐摩耗層、17a
はAl酸化膜、t7bは硬質金属、18は高融点金属層
である。 第2図 第3図 第4図

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)電気絶縁性基板上に、少なくとも発熱抵抗体層と
    、給電用導体層と、酸化防止層と、耐摩耗層とを備えた
    サーマルヘッドにおいて、前記耐摩耗層が多孔質Al酸
    化膜からなり、この多孔質Al酸化膜の孔に熱伝導性の
    良好な硬質金属が充填されていることを特徴とするサー
    マルヘッド。
  2. (2)特許請求の範囲第1項において、前記耐摩耗層が
    発熱部にのみ形成されているサーマルヘッド。
  3. (3)特許請求の範囲第1項または第2項において、前
    記多孔質Al酸化膜は、Al膜を陽極酸化して形成され
    たものであるサーマルヘッド。
JP60232557A 1985-10-18 1985-10-18 サ−マルヘツド Pending JPS6292863A (ja)

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JP60232557A JPS6292863A (ja) 1985-10-18 1985-10-18 サ−マルヘツド
US06/920,839 US4737799A (en) 1985-10-18 1986-10-17 Thermal head

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JP60232557A JPS6292863A (ja) 1985-10-18 1985-10-18 サ−マルヘツド

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02129883A (ja) * 1988-11-09 1990-05-17 Toshiba Lighting & Technol Corp 加熱体
JP2011201190A (ja) * 2010-03-26 2011-10-13 Toshiba Hokuto Electronics Corp サーマルプリントヘッドおよびその製造方法

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2229400B (en) * 1989-03-20 1993-06-23 Shinko Electric Co Ltd Thermal head
US5099257A (en) * 1989-05-10 1992-03-24 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Thermal head with an improved protective layer and a thermal transfer recording system using the same
JP3902883B2 (ja) * 1998-03-27 2007-04-11 キヤノン株式会社 ナノ構造体及びその製造方法
US6135958A (en) * 1998-08-06 2000-10-24 Acuson Corporation Ultrasound imaging system with touch-pad pointing device
US7166913B2 (en) * 2005-04-19 2007-01-23 International Business Machines Corporation Heat dissipation for heat generating element of semiconductor device and related method
US20090061184A1 (en) * 2007-08-31 2009-03-05 United Technologies Corporation Processes for Applying a Conversion Coating with Conductive Additive(S) and the Resultant Coated Articles
US8848374B2 (en) * 2010-06-30 2014-09-30 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Method and structure for dissipating heat away from a resistor having neighboring devices and interconnects

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3680028A (en) * 1971-04-02 1972-07-25 Motorola Inc Vertical resistor
SE431805B (sv) * 1976-04-05 1984-02-27 Oki Electric Ind Co Ltd Termiskt skrivarhuvud
JPS56159178A (en) * 1980-05-14 1981-12-08 Ricoh Co Ltd Thermal head

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02129883A (ja) * 1988-11-09 1990-05-17 Toshiba Lighting & Technol Corp 加熱体
JP2011201190A (ja) * 2010-03-26 2011-10-13 Toshiba Hokuto Electronics Corp サーマルプリントヘッドおよびその製造方法

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