JP6941296B2 - リードフレームおよび半導体装置 - Google Patents
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Description
まず、図1および図2により、本実施の形態によるリードフレームの概略について説明する。図1は、本実施の形態によるリードフレームの一部を示す平面図であり、図2は、本実施の形態によるリードフレームを示す断面図である。
次に、図3および図4により、本実施の形態による半導体装置について説明する。図3および図4は、本実施の形態による半導体装置(フリップチップタイプ)を示す図である。
次に、図1および図2に示すリードフレーム10の製造方法について、図5(a)−(f)を用いて説明する。なお、図5(a)−(f)は、リードフレーム10の製造方法を示す断面図(図2に対応する図)である。
次に、図3および図4に示す半導体装置20の製造方法について、図6(a)−(d)を用いて説明する。
次に、図7乃至図11により、本実施の形態によるリードフレームの各変形例について説明する。図7乃至図11に示す変形例は、主としてチップ支持部又は接続部の構成が異なるものであり、他の構成は、図1乃至図6に示す実施の形態と略同一である。図7乃至図11において、図1乃至図6と同一部分には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
図7は、一変形例(変形例1)によるリードフレーム10Aを示している。図7に示すリードフレーム10Aにおいて、チップ支持部16は、Y方向に沿って延びており、搭載領域21bを横切っている。この場合、チップ支持部16は、搭載領域21bの中央部21cからX方向プラス側にずれた位置に配置されている。また、搭載領域21bの中央部21cには、リード部12やチップ支持部16等の金属部分は設けられておらず、空間が形成されている。さらに、複数のリード部12は、X方向に対して非対称に配置されている。具体的には、チップ支持部16よりもX方向プラス側に5本のリード部12が配置され、チップ支持部16よりもX方向マイナス側に7本のリード部12が配置されている。
図8及び図9は、一変形例(変形例2)によるリードフレーム10Bを示している。図8及び図9に示すリードフレーム10Bにおいて、チップ支持部16に代えて、他のリード部12よりも長いリード部(長リード部)12Aが設けられている。この長リード部12Aは、コネクティングバー13から搭載領域21bの中央部21c近傍まで延びている。
図10は、一変形例(変形例3)によるリードフレーム10Cを示している。図10に示すリードフレーム10Cにおいて、リード部12およびチップ支持部16上に設けられた接続部25の断面がそれぞれ凹状に形成されている。この接続部25は、外縁部から中央部に向けて凹んでおり、接続部25の表面は、断面視で略円弧状に湾曲している。また、接続部25の平面形状は略円形状であり、接続部25の外縁部の厚みが全周にわたって接続部25の中央部の厚みよりも厚くなっている。このような接続部25は、例えば電解めっき法により接続部25を形成する際、供給される電流を大きくすることにより形成することができる。
図11は、一変形例(変形例4)によるリードフレーム10Dを示している。図11に示すリードフレーム10Dにおいて、リード部12上には、その長さ方向に沿って複数(2つ)の接続部25が設けられている。また、チップ支持部16上には、その幅方向に沿って複数(2つ)の接続部25が設けられている。
10a パッケージ領域
12 リード部
12a 内側領域
12b 外側領域
13 コネクティングバー
15 内部端子
16 チップ支持部
17 外部端子
20 半導体装置
21 半導体素子
21b 搭載領域
21c 中央部
23 封止樹脂
25 接続部
26 バンプ
Claims (11)
- フリップチップ型リードフレームにおいて、
半導体素子が搭載される複数のリード部と、
前記半導体素子が搭載される搭載領域を横切るように配置されたチップ支持部とを備え、
前記リード部の内側領域が裏面側から薄肉化され、前記チップ支持部は、薄肉化されていない、リードフレーム。 - 前記チップ支持部は、前記搭載領域の中央部に配置されている、請求項1記載のリードフレーム。
- 前記チップ支持部は、前記搭載領域の中央部からずれた位置に配置されている、請求項1記載のリードフレーム。
- 前記リード部および前記チップ支持部に、それぞれ前記半導体素子に接続されるバンプを支持する接続部が設けられている、請求項1乃至3のいずれか一項記載のリードフレーム。
- 前記リード部に設けられた前記接続部の幅は、前記チップ支持部に設けられた前記接続部の幅よりも広い、請求項4記載のリードフレーム。
- 前記リード部の内側領域が裏面側から薄肉化され、前記内側領域の厚みをAとし、前記リード部に設けられた前記接続部の幅をBとしたとき、A>1.5Bとなる、請求項4又は5記載のリードフレーム。
- 前記接続部の断面がそれぞれ凹状に形成されている、請求項4乃至6のいずれか一項記載のリードフレーム。
- フリップチップ型リードフレームにおいて、
半導体素子が搭載される複数のリード部を備え、
前記複数のリード部に、それぞれ前記半導体素子に接続されるバンプを支持する接続部が設けられ、
前記接続部のうち、平面方向外側に位置する接続部の幅は、平面方向内側に位置する接続部の幅よりも広く、
前記複数のリード部のうち、平面方向外側に位置するリード部の内側領域が裏面側から薄肉化され、平面方向内側に位置するリード部は、薄肉化されていない、リードフレーム。 - 前記内側領域の厚みをAとし、前記リード部に設けられた前記接続部の幅をBとしたとき、A>1.5Bとなる、請求項8記載のリードフレーム。
- フリップチップ型半導体装置において、
複数のリード部と、
前記複数のリード部上に搭載された半導体素子と、
前記半導体素子を横切るように配置されたチップ支持部と、
前記半導体素子と前記リード部および前記チップ支持部とをそれぞれ電気的に接続するバンプと、
前記複数のリード部と、前記半導体素子と、前記チップ支持部と、前記バンプとを封止する封止樹脂とを備え、
前記リード部の内側領域が裏面側から薄肉化され、前記チップ支持部は、薄肉化されていない、半導体装置。 - フリップチップ型半導体装置において、
複数のリード部と、
前記複数のリード部上に搭載された半導体素子と、
前記半導体素子と前記リード部とをそれぞれ電気的に接続するバンプと、
前記複数のリード部と、前記半導体素子と、前記バンプとを封止する封止樹脂とを備え、
前記複数のリード部に、それぞれ前記バンプを支持する接続部が設けられ、
前記接続部のうち、平面方向外側に位置する接続部の幅は、平面方向内側に位置する接続部の幅よりも広く、
前記複数のリード部のうち、平面方向外側に位置するリード部の内側領域が裏面側から薄肉化され、平面方向内側に位置するリード部は、薄肉化されていない、半導体装置。
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