JP6940315B2 - 磁気ディスク基板用研磨剤組成物 - Google Patents
磁気ディスク基板用研磨剤組成物 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6940315B2 JP6940315B2 JP2017122314A JP2017122314A JP6940315B2 JP 6940315 B2 JP6940315 B2 JP 6940315B2 JP 2017122314 A JP2017122314 A JP 2017122314A JP 2017122314 A JP2017122314 A JP 2017122314A JP 6940315 B2 JP6940315 B2 JP 6940315B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acid
- colloidal silica
- polishing
- abrasive composition
- magnetic disk
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09G—POLISHING COMPOSITIONS; SKI WAXES
- C09G1/00—Polishing compositions
- C09G1/02—Polishing compositions containing abrasives or grinding agents
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
- C09K13/00—Etching, surface-brightening or pickling compositions
- C09K13/04—Etching, surface-brightening or pickling compositions containing an inorganic acid
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
- C09K3/00—Materials not provided for elsewhere
- C09K3/14—Anti-slip materials; Abrasives
- C09K3/1409—Abrasive particles per se
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
- C23F1/00—Etching metallic material by chemical means
- C23F1/10—Etching compositions
- C23F1/14—Aqueous compositions
- C23F1/16—Acidic compositions
- C23F1/30—Acidic compositions for etching other metallic material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
- C23F3/00—Brightening metals by chemical means
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/8404—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers manufacturing base layers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
- C09K3/00—Materials not provided for elsewhere
- C09K3/14—Anti-slip materials; Abrasives
- C09K3/1454—Abrasive powders, suspensions and pastes for polishing
- C09K3/1463—Aqueous liquid suspensions
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Description
本発明の磁気ディスク基板用研磨剤組成物は、コロイダルシリカと、リン含有無機酸および/またはリン含有有機酸と、水とを含む研磨剤組成物である。研磨剤組成物のコロイダルシリカは、透過型電子顕微鏡観察による平均粒子径(D50)が5〜50nmの範囲にある。コロイダルシリカの動的光散乱法による体積基準の粒度分布測定において、コロイダルシリカ粒子濃度を0.25質量%に調整して粒度分布測定を行った場合、50nmより大きいコロイダルシリカの粒子の割合がコロイダルシリカ中の10体積%以下である。さらに、研磨剤組成物中のコロイダルシリカの濃度が1〜50質量%であり、研磨剤組成物のpH(25℃)が0.1〜4.0の範囲にある。以下、詳細に説明する。
本発明の研磨剤組成物に含有されるコロイダルシリカは、平均粒子径が5〜50nmである。平均粒子径が5nm以上であることにより、研磨速度の低下を抑制することができる。平均粒子径が50nm以下であることにより、表面粗さやスクラッチの悪化を抑制することができる。コロイダルシリカの平均粒子径は、透過型電子顕微鏡によって写真撮影した写真を解析することによりHeywood径(投射面積円相当径)として測定したもので、小粒径側からの積算粒度分布(累積体積基準)が50%となる粒径を平均粒子径(D50)としたものである。
本発明で使用されるリン含有無機酸および/またはリン含有有機酸について以下に説明する。リン含有無機酸の具体的な例としては、リン酸、ホスホン酸、ホスフィン酸、ピロリン酸、トリポリリン酸などが挙げられる。この中でもリン酸が好ましく用いられる。
本発明では、研磨促進剤として酸化剤を使用することができる。使用される酸化剤としては、過酸化物、過マンガン酸またはその塩、クロム酸またはその塩、ペルオキソ酸またはその塩、ハロゲンオキソ酸またはその塩、酸素酸またはその塩、それらの酸化剤を2種以上混合したもの、等を用いることができる。
本発明においては、さらに水溶性高分子化合物、緩衝剤、防腐剤などを必要に応じて含有してもよい。この中で、水溶性高分子化合物は、生産性を低下させることなく、ハレーション低減とうねりのバラツキ低減を実現するための補助的な働きがあり、必要に応じて用いられる。
本発明で任意成分として用いられる水溶性高分子化合物としては、アニオン性水溶性高分子化合物、カチオン性水溶性高分子化合物、ノニオン性水溶性高分子化合物などがあるが、好ましくはアニオン性水溶性高分子化合物が用いられる。中でもカルボン酸基を有する単量体に由来する構成単位とアミド基を有する単量体に由来する構成単位、およびスルホン酸基を有する単量体に由来する構成単位などを含有する共重合体が好ましく用いられる。すなわち、カルボン酸基を有する単量体および/またはその塩と、アミド基を有する単量体、およびスルホン酸基を有する単量体などから共重合された高分子化合物が好ましく用いられる。
カルボン酸基を有する単量体および/またはその塩としては、アクリル酸、メタクリル酸、マレイン酸、イタコン酸およびこれらの塩などが挙げられる。
アミド基を有する単量体としては、α,β−エチレン性不飽和アミドを用いることが好ましい。より具体的には、アクリルアミド、メタクリルアミド、N−アルキルアクリルアミド、N−アルキルメタクリルアミド、などのα,β−エチレン性不飽和カルボン酸アミドが挙げられる。
スルホン酸基を有する単量体の具体例としては、イソプレンスルホン酸、2−アクリルアミド−2−メチルプロパンスルホン酸、2−メタクリルアミド−2−メチルプロパンスルホン酸、スチレンスルホン酸、ビニルスルホン酸、アリルスルホン酸、イソアミレンスルホン酸、ナフタレンスルホン酸などが挙げられる。好ましくは、2−アクリルアミド−2−メチルプロパンスルホン酸、2−メタクリルアミド−2−メチルプロパンスルホン酸などが挙げられる。
本発明で使用される水溶性高分子化合物は、これらの単量体成分を組み合わせて重合することにより、共重合体とすることが好ましい。共重合体の組み合わせとしては、アクリル酸および/またはその塩とN−アルキルアクリルアミドの組み合わせ、アクリル酸および/またはその塩とN−アルキルメタクリルアミドの組み合わせ、メタクリル酸および/またはその塩とN−アルキルアクリルアミドの組み合わせ、メタクリル酸および/またはその塩とN−アルキルメタクリルアミドの組み合わせ、アクリル酸および/またはその塩とN−アルキルアクリルアミドとスルホン酸基を有する単量体の組み合わせ、アクリル酸および/またはその塩とN−アルキルメタクリルアミドとスルホン酸基を有する単量体の組み合わせ、メタクリル酸および/またはその塩とN−アルキルアクリルアミドとスルホン酸基を有する単量体の組み合わせ、メタクリル酸および/またはその塩とN−アルキルメタクリルアミドとスルホン酸基を有する単量体の組み合わせなどが好ましく用いられる。
水溶性高分子化合物の製造方法は特に制限されないが、水溶液重合法が好ましい。水溶液重合によれば、均一な溶液として水溶性高分子化合物を得ることができる。上記水溶液重合の重合溶媒としては、水性の溶媒であることが好ましく、特に好ましくは水である。また、上記単量体成分の溶媒への溶解性を向上させるために、各単量体の重合に悪影響を及ぼさない範囲で有機溶媒を適宜加えてもよい。上記有機溶媒としては、イソプロピルアルコール等のアルコール類、アセトン等のケトン類が挙げられる。これらは、1種単独であるいは2種以上を組み合わせて用いることができる。
水溶性高分子化合物の重量平均分子量は、1,000以上、2,000,000以下であることが好ましく、より好ましくは、2,000以上、1,000,000以下である。なお、水溶性高分子化合物の重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)によりポリアクリル酸換算で測定したものである。
水溶性高分子化合物の研磨剤組成物の濃度は、固形分換算で0.0001質量%以上、2.0質量%以下であることが好ましく、より好ましくは0.001質量%以上、1.0質量%以下であり、さらに好ましくは0.005質量%以上、0.5質量%以下であり、特に好ましくは、0.01質量%以上、0.3質量%以下である。
本発明の研磨剤組成物のpH値(25℃)の範囲は、0.1〜4.0である。好ましくは、0.5〜3.0である。研磨剤組成物のpH値(25℃)が0.1以上であることにより、表面荒れを抑制することができる。研磨剤組成物のpH値(25℃)が4.0以下であることにより、研磨速度の低下を抑制することができる。
本発明の研磨剤組成物は、アルミニウム磁気ディスク基板やガラス磁気ディスク基板等の磁気ディスク基板の研磨での使用に適している。特に、無電解ニッケル−リンめっきされたアルミニウム磁気ディスク基板(以下、「アルミディスク」)の仕上げ研磨での使用に適している。
実施例1〜10、比較例1〜4、及び参考例1,2で使用した研磨剤組成物は、下記の材料を下記の含有量で含んだ研磨剤組成物である。尚、全ての実施例と比較例で研磨剤組成物中のコロイダルシリカ含有量は5.6質量%となるように調製した。
コロイダルシリカBは、透過型電子顕微鏡観察による平均粒子径(D50)が24nm、動的光散乱法による50nmより大きい粒子の割合が1.5体積%、安定化イオンがナトリウムである市販品である。実施例3で使用した。
コロイダルシリカCは、透過型電子顕微鏡観察による平均粒子径(D50)が24nm、動的光散乱法による50nmより大きい粒子の割合が6.0体積%、安定化イオンがナトリウムである市販品である。実施例4で使用した。
コロイダルシリカDは、透過型電子顕微鏡観察による平均粒子径(D50)が30nm、動的光散乱法による50nmより大きい粒子の割合が1.5体積%、安定化イオンがナトリウムである市販品である。実施例5、6で使用した。
コロイダルシリカEは、透過型電子顕微鏡観察による平均粒子径(D50)が30nm、動的光散乱法による50nmより大きい粒子の割合が3.0体積%、安定化イオンがナトリウムである市販品である。実施例7で使用した。
コロイダルシリカFは、透過型電子顕微鏡観察による平均粒子径(D50)が30nm、動的光散乱法による50nmより大きい粒子の割合が6.0体積%、安定化イオンがナトリウムである市販品である。実施例8で使用した。
コロイダルシリカGは、透過型電子顕微鏡観察による平均粒子径(D50)が24nm、動的光散乱法による50nmより大きい粒子の割合が0.5体積%、安定化イオンがアンモニウムである市販品である。実施例9で使用した。
コロイダルシリカHは、透過型電子顕微鏡観察による平均粒子径(D50)が24nm、動的光散乱法による50nmより大きい粒子の割合が0.5体積%、安定化イオンがカリウムである市販品である。参考例1で使用した。
コロイダルシリカIは、透過型電子顕微鏡観察による平均粒子径(D50)が30nm、動的光散乱法による50nmより大きい粒子の割合が1.5体積%、安定化イオンがアンモニウムである市販品である。実施例10で使用した。
コロイダルシリカJは、透過型電子顕微鏡観察による平均粒子径(D50)が30nm、動的光散乱法による50nmより大きい粒子の割合が1.5体積%、安定化イオンがカリウムである市販品である。参考例2で使用した。
コロイダルシリカKは、透過型電子顕微鏡観察による平均粒子径(D50)が24nm、動的光散乱法による50nmより大きい粒子の割合が11.0体積%、安定化イオンがナトリウムである市販品である。比較例1で使用した。
コロイダルシリカLは、透過型電子顕微鏡観察による平均粒子径(D50)が30nm、動的光散乱法による50nmより大きい粒子の割合が15.0体積%、安定化イオンがナトリウムである市販品である。比較例2で使用した。
硫酸は、研磨剤組成物のpH(25℃)が1.6となるように含有量を調整した。比較例3で使用した。
硝酸は、研磨剤組成物のpH(25℃)が1.6となるように含有量を調整した。比較例4で使用した。
HEDP(1−ヒドロキシエチリデン−1,1−ジホスホン酸)は、研磨剤組成物中の含有量が0.2質量%となるように添加した。実施例2、6で使用した。
過酸化水素は、研磨剤組成物中の含有量が0.6質量%となるように添加した。実施例1〜10、比較例1〜4、及び参考例1,2で使用した。
コロイダルシリカの粒子径(Heywood径)は、透過型電子顕微鏡(TEM)(日本電子(株)製、透過型電子顕微鏡 JEM2000FX(200kV))を用いて倍率10万倍の視野の写真を撮影し、この写真を解析ソフト(マウンテック(株)製、Mac−View Ver.4.0)を用いて解析することによりHeywood径(投射面積円相当径)として測定した。コロイダルシリカの平均粒子径は前述の方法で2000個程度のコロイダルシリカの粒子径を解析し、小粒径側からの積算粒度分布(累積体積基準)が50%となる粒径を上記解析ソフト(マウンテック(株)製、Mac−View Ver.4.0)を用いて算出した平均粒子径(D50)である。
動的光散乱法粒度分布測定装置(マイクロトラックベル(株)製、Nanotrac WaveII)を用いて測定した。測定用のコロイダルシリカ粒子分散液サンプルは、種々薬品と混合する前のコロイダルシリカ粒子分散液を、コロイダルシリカ粒子濃度が0.25%になるように純水で希釈し、よく撹拌したものを用いて測定を行った。体積を基準とした小粒径側からの積算粒度分布において、50nmにおける累積体積頻度を求め、その結果から50nmより大きい粒子の割合を求めた。
無電解ニッケル−リンめっきした外径95mmのアルミディスクを粗研磨したものを研磨対象として研磨を行った。
研磨機:スピードファム(株)製、9B両面研磨機
研磨パッド:(株)FILWEL社製、P2用パッド
定盤回転数:上定盤 −8.3min−1
下定盤 25.0min−1
研磨剤組成物供給量: 100ml/min
研磨時間: 300秒
加工圧力: 11kPa
各成分を混合して研磨剤組成物を調製した後、目開き0.45μmのフィルターを通して研磨機に導入し、研磨試験を実施した。
[研磨速度比]
研磨速度は、研磨後に減少したアルミディスクの質量を測定し、下記式に基づいて計算した。
研磨速度(μm/min)=アルミディスクの質量減少量(g)/研磨時間(min)/アルミディスクの片面の面積(cm2)/無電解ニッケル−リンめっき皮膜の密度(g/cm3)/2×104
(ただし、上記式中、アルミディスクの片面の面積は65.9cm2,無電解ニッケル−リンめっき皮膜の密度は8.0g/cm3)
研磨速度比は、比較例1で上記式を用いて求めた研磨速度を1(基準)とした場合の相対値である。尚、比較例1の研磨速度は0.062μm/minであった。
ハレーションは、基板全表面欠陥検査機(株)日立ハイテクファインシステムズ社製NS2000Hを使用して測定した。
測定条件は以下の通りである。
PMT/APD Power Control Voltage
Hi−Light1 OFF
Hi−Light2 900V
Scan Pitch 3μm
Inner/Outer Radius 18.0000−47.0000mm
Positive Level 76mV
H2 White Spot Level 80.0mV
ハレーションは、上記検査条件において、基板表面に微細な欠陥として検出され、ハレーションカウントとして定量評価できる。
ハレーション比は、比較例1で上記方法を用いて求めたハレーションカウントを1(基準)とした場合の相対値である。尚、比較例1のハレーションカウントは15,627であった。
基板外周部のうねりの平均値とバラツキは、アメテック株式会社製3次元光学プロファイラーNew View 8300を使用して測定した。
測定条件は以下の通りである。
レンズ 10倍Mirau型
ZOOM 1.0倍
Measurement Type Surface
Measure Mode CSI
Scan Length 5μm
Camera Mode 1024×1024
Filter Band Pass
Cut Off Short 20.000μm
Long 100.000μm
測定ポイント
半径 46.15mm
角度 10°毎に36点
基板周辺部のうねりは、上記測定条件で測定した、上記36点の観測ポイントのうねりの平均値およびSTDEV(標準偏差)を求めた。
比較例1と実施例1、3、4の対比、および比較例2と実施例5、7、8の対比から、コロイダルシリカの動的光散乱法による50nmより大きい粒子の割合が10体積%以下になることによりハレーションが大幅に改善されることがわかる。
さらに実施例1、9、参考例1の中での比較、および実施例5、10、参考例2の中での比較から、安定化イオンがナトリウムおよびアンモニウムの場合に、ハレーション改善が顕著であることがわかる。
また、比較例3、4と実施例1、2の対比から、リン含有無機酸および/またはリン含有有機酸を使用することにより、硫酸または硝酸を使用した場合よりも周辺部うねりの平均値とバラツキが顕著に改善されていることがわかる。尚、この場合、リン含有無機酸および/またはリン含有有機酸を使用することにより、研磨速度が向上することもわかる。
以上のことから、本願発明の研磨剤組成物を用いることにより、研磨後のハレーションを低減でき、さらに周辺部うねりの平均値とバラツキを顕著に低減できることがわかる。
Claims (5)
- コロイダルシリカと、リン含有無機酸および/またはリン含有有機酸と、水とを含み、
前記コロイダルシリカが透過型電子顕微鏡観察による平均粒子径(D50)が5〜50nmの範囲にあり、
前記コロイダルシリカの動的光散乱法による体積基準の粒度分布測定において、コロイダルシリカ粒子濃度を0.25質量%に調整して粒度分布測定を行った場合、50nmより大きい前記コロイダルシリカの粒子の割合が前記コロイダルシリカ中の10体積%以下であり、
前記コロイダルシリカがナトリウム安定型またはアンモニウム安定型であり、
研磨剤組成物中の前記コロイダルシリカの濃度が1〜50質量%であり、
前記研磨剤組成物のpH(25℃)が0.1〜4.0の範囲にある磁気ディスク基板用研磨剤組成物。 - 前記リン含有無機酸が、リン酸、ホスホン酸、ホスフィン酸、ピロリン酸、およびトリポリリン酸からなる群から選ばれる少なくとも1種以上の化合物である請求項1に記載の磁気ディスク基板用研磨剤組成物。
- 前記リン含有有機酸が、2−アミノエチルホスホン酸、1−ヒドロキシエチリデン−1,1−ジホスホン酸、アミノトリ(メチレンホスホン酸)、エチレンジアミンテトラ(メチレンホスホン酸)、ジエチレントリアミンペンタ(メチレンホスホン酸)、エタン−1,1−ジホスホン酸、エタン−1,1,2−トリホスホン酸、エタン−1−ヒドロキシ−1,1,2−トリホスホン酸、エタン−1,2−ジカルボキシ−1,2−ジホスホン酸、メタンヒドロキシホスホン酸、2−ホスホノブタン−1,2−ジカルボン酸、1−ホスホノブタン−2,3,4−トリカルボン酸、およびα−メチルホスホノコハク酸からなる群より選ばれる少なくとも1種以上の化合物である請求項1または2に記載の磁気ディスク基板用研磨剤組成物。
- 前記研磨剤組成物が酸化剤をさらに含有している請求項1〜3のいずれか1項に記載の磁気ディスク基板用研磨剤組成物。
- 無電解ニッケル−リンめっきされたアルミニウム磁気ディスク基板の仕上げ研磨に用いられる請求項1〜4のいずれか1項に記載の磁気ディスク基板用研磨剤組成物。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017122314A JP6940315B2 (ja) | 2017-06-22 | 2017-06-22 | 磁気ディスク基板用研磨剤組成物 |
US16/012,492 US20180371293A1 (en) | 2017-06-22 | 2018-06-19 | Polishing composition for magnetic disk substrate |
TW107121173A TWI770197B (zh) | 2017-06-22 | 2018-06-20 | 磁碟基板用拋光劑組成物 |
US17/197,005 US20210198524A1 (en) | 2017-06-22 | 2021-03-09 | Polishing composition for magnetic disk substrate |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017122314A JP6940315B2 (ja) | 2017-06-22 | 2017-06-22 | 磁気ディスク基板用研磨剤組成物 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019008846A JP2019008846A (ja) | 2019-01-17 |
JP6940315B2 true JP6940315B2 (ja) | 2021-09-22 |
Family
ID=64692053
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017122314A Active JP6940315B2 (ja) | 2017-06-22 | 2017-06-22 | 磁気ディスク基板用研磨剤組成物 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US20180371293A1 (ja) |
JP (1) | JP6940315B2 (ja) |
TW (1) | TWI770197B (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7219097B2 (ja) * | 2019-01-22 | 2023-02-07 | 山口精研工業株式会社 | 磁気ディスク基板用研磨剤組成物 |
JP7219101B2 (ja) * | 2019-01-25 | 2023-02-07 | 山口精研工業株式会社 | 磁気ディスク基板用研磨剤組成物 |
JP7269076B2 (ja) * | 2019-04-04 | 2023-05-08 | 山口精研工業株式会社 | 磁気ディスク基板の研磨方法 |
JP7331436B2 (ja) * | 2019-04-23 | 2023-08-23 | 三菱ケミカル株式会社 | シリカ粒子、シリカゾル、研磨組成物、研磨方法、半導体ウェハの製造方法及び半導体デバイスの製造方法 |
JP7331435B2 (ja) * | 2019-04-23 | 2023-08-23 | 三菱ケミカル株式会社 | シリカ粒子、シリカゾル、研磨組成物、研磨方法、半導体ウェハの製造方法及び半導体デバイスの製造方法 |
JP7356864B2 (ja) * | 2019-10-30 | 2023-10-05 | 山口精研工業株式会社 | 磁気ディスク基板用研磨剤組成物、及び磁気ディスク基板の研磨方法 |
JP7441661B2 (ja) | 2020-02-05 | 2024-03-01 | 山口精研工業株式会社 | 磁気ディスク基板用研磨剤組成物 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6478835B2 (en) * | 2000-01-24 | 2002-11-12 | Showa Denko K.K. | Abrasive composition for polishing magnetic recording disk substrates |
US6261476B1 (en) * | 2000-03-21 | 2001-07-17 | Praxair S. T. Technology, Inc. | Hybrid polishing slurry |
AU2002334406A1 (en) * | 2001-09-03 | 2003-03-18 | Showa Denko K.K. | Polishing composition |
JP2003100675A (ja) * | 2001-09-25 | 2003-04-04 | Okamoto Machine Tool Works Ltd | シリコンウエハ研磨剤 |
WO2010053096A1 (ja) * | 2008-11-06 | 2010-05-14 | 花王株式会社 | 磁気ディスク基板用研磨液組成物 |
JP5630992B2 (ja) * | 2008-12-22 | 2014-11-26 | 花王株式会社 | 磁気ディスク基板用研磨液組成物 |
JP2010182811A (ja) * | 2009-02-04 | 2010-08-19 | Nippon Chem Ind Co Ltd | 半導体ウエハ研磨用組成物、及びその製造方法 |
JP2013140647A (ja) * | 2011-12-28 | 2013-07-18 | Kao Corp | 磁気ディスク基板の製造方法 |
JP6148858B2 (ja) * | 2012-12-28 | 2017-06-14 | 花王株式会社 | 磁気ディスク基板用研磨液組成物 |
JP7161374B2 (ja) * | 2018-10-29 | 2022-10-26 | 山口精研工業株式会社 | 磁気ディスク基板用研磨剤組成物 |
-
2017
- 2017-06-22 JP JP2017122314A patent/JP6940315B2/ja active Active
-
2018
- 2018-06-19 US US16/012,492 patent/US20180371293A1/en not_active Abandoned
- 2018-06-20 TW TW107121173A patent/TWI770197B/zh active
-
2021
- 2021-03-09 US US17/197,005 patent/US20210198524A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20210198524A1 (en) | 2021-07-01 |
JP2019008846A (ja) | 2019-01-17 |
TW201905127A (zh) | 2019-02-01 |
TWI770197B (zh) | 2022-07-11 |
US20180371293A1 (en) | 2018-12-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6940315B2 (ja) | 磁気ディスク基板用研磨剤組成物 | |
JP7034667B2 (ja) | 磁気ディスク基板用研磨剤組成物 | |
JP7122097B2 (ja) | 磁気ディスク基板用研磨剤組成物 | |
JP7356864B2 (ja) | 磁気ディスク基板用研磨剤組成物、及び磁気ディスク基板の研磨方法 | |
JP7161374B2 (ja) | 磁気ディスク基板用研磨剤組成物 | |
US10233357B2 (en) | Polishing composition for magnetic disc substrate | |
JP7441661B2 (ja) | 磁気ディスク基板用研磨剤組成物 | |
JP7128685B2 (ja) | 磁気ディスク基板の研磨方法、および磁気ディスク基板用研磨剤組成物 | |
JP6734146B2 (ja) | 磁気ディスク基板用研磨剤組成物 | |
JP7356865B2 (ja) | 磁気ディスク基板用研磨剤組成物、及び磁気ディスク基板の研磨方法 | |
JP7219101B2 (ja) | 磁気ディスク基板用研磨剤組成物 | |
JP7219097B2 (ja) | 磁気ディスク基板用研磨剤組成物 | |
JP7269076B2 (ja) | 磁気ディスク基板の研磨方法 | |
JP2020021527A (ja) | 磁気ディスク基板用研磨剤組成物 | |
JP2023108458A (ja) | 磁気ディスク基板用研磨剤組成物、及び磁気ディスク基板の研磨方法 | |
JP2022133683A (ja) | 磁気ディスク基板用研磨剤組成物、及び磁気ディスク基板の研磨方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200406 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210108 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210209 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210323 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210824 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210902 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6940315 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |