JP7269076B2 - 磁気ディスク基板の研磨方法 - Google Patents
磁気ディスク基板の研磨方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7269076B2 JP7269076B2 JP2019072237A JP2019072237A JP7269076B2 JP 7269076 B2 JP7269076 B2 JP 7269076B2 JP 2019072237 A JP2019072237 A JP 2019072237A JP 2019072237 A JP2019072237 A JP 2019072237A JP 7269076 B2 JP7269076 B2 JP 7269076B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- magnetic disk
- acid
- disk substrate
- monomer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Description
(1)平均一次粒子径10~150nmのコロイダルシリカAと、平均粒子径200~500nmの粉砕された湿式法シリカ粒子と、水溶性高分子化合物と、水を含有し、
前記コロイダルシリカAに占める粒子径30~70nmの粒子の割合が10~90質量%であり、前記水溶性高分子化合物が、カルボン酸基を有する単量体およびアミド基を有する単量体を必須単量体とする共重合体であり、重量平均分子量が1,000~1,000,000であり、全シリカ粒子に占める前記コロイダルシリカAの割合が20~80質量%、前記粉砕された湿式法シリカ粒子の割合が20~80質量%であり、前記コロイダルシリカAの平均一次粒子径に対する前記粉砕された湿式法シリカ粒子の平均粒子径の比の値が2.0~15.0であり、前記全シリカ粒子の濃度が2~40質量%である研磨剤組成物Aを研磨機に供給して、前記磁気ディスク基板の前段の研磨を行う工程、
(2)工程(1)で得られた前記磁気ディスク基板をリンス処理する工程、
(3)コロイダルシリカBおよび水を含有する研磨剤組成物Bを研磨機に供給して、前記磁気ディスク基板の後段の研磨を行う工程。
(1)平均一次粒子径10~150nmのコロイダルシリカAと、平均粒子径200~500nmの粉砕された湿式法シリカ粒子と、水溶性高分子化合物と、水を含有し、
前記コロイダルシリカAに占める粒子径30~70nmの粒子の割合が10~90質量%であり、前記水溶性高分子化合物が、カルボン酸基を有する単量体およびスルホン酸基を有する単量体を必須単量体とする共重合体であり、重量平均分子量が1,000~1,000,000であり、全シリカ粒子に占める前記コロイダルシリカAの割合が20~80質量%、前記粉砕された湿式法シリカ粒子の割合が20~80質量%であり、前記コロイダルシリカAの平均一次粒子径に対する前記粉砕された湿式法シリカ粒子の平均粒子径の比の値が2.0~15.0であり、前記全シリカ粒子の濃度が2~40質量%である研磨剤組成物Aを研磨機に供給して、前記磁気ディスク基板の前段の研磨を行う工程、
(2)工程(1)で得られた前記磁気ディスク基板をリンス処理する工程、
(3)コロイダルシリカBおよび水を含有する研磨剤組成物Bを研磨機に供給して、前記磁気ディスク基板の後段の研磨を行う工程。
(1)平均一次粒子径10~150nmのコロイダルシリカAと、平均粒子径200~500nmの粉砕された湿式法シリカ粒子と、水溶性高分子化合物と、水を含有し、
前記コロイダルシリカAに占める粒子径30~70nmの粒子の割合が10~90質量%であり、前記水溶性高分子化合物が、カルボン酸基を有する単量体、アミド基を有する単量体、およびスルホン酸基を有する単量体を必須単量体とする共重合体であり、重量平均分子量が1,000~1,000,000であり、全シリカ粒子に占める前記コロイダルシリカAの割合が20~80質量%、前記粉砕された湿式法シリカ粒子の割合が20~80質量%であり、前記コロイダルシリカAの平均一次粒子径に対する前記粉砕された湿式法シリカ粒子の平均粒子径の比の値が2.0~15.0であり、前記全シリカ粒子の濃度が2~40質量%である研磨剤組成物Aを研磨機に供給して、前記磁気ディスク基板の前段の研磨を行う工程、
(2)工程(1)で得られた前記磁気ディスク基板をリンス処理する工程、
(3)コロイダルシリカBおよび水を含有する研磨剤組成物Bを研磨機に供給して、前記磁気ディスク基板の後段の研磨を行う工程。
(1)平均一次粒子径10~150nmのコロイダルシリカAと、平均粒子径200~500nmの粉砕された湿式法シリカ粒子と、水溶性高分子化合物と、水を含有し、全シリカ粒子に占める前記コロイダルシリカAの割合が20~80質量%、前記粉砕された湿式法シリカ粒子の割合が20~80質量%であり、前記コロイダルシリカAの平均一次粒子径に対する前記粉砕された湿式法シリカ粒子の平均粒子径の比の値が2.0~15.0であり、前記全シリカ粒子の濃度が2~40質量%である研磨剤組成物Aを研磨機に供給して、前記磁気ディスク基板の前段の研磨を行う工程、
(2)工程(1)で得られた前記磁気ディスク基板をリンス処理する工程、
(3)コロイダルシリカBおよび水を含有する研磨剤組成物Bを研磨機に供給して、前記磁気ディスク基板の後段の研磨を行う工程。
各工程について、具体的に以下で説明する。
本発明の磁気ディスク基板の基板研磨方法は、多段研磨方式における粗研磨工程で、コロイダルシリカAと粉砕された湿式法シリカ粒子と水溶性高分子化合物と、水を含有する研磨剤組成物Aを被研磨基板の研磨対象面に供給し、研磨対象面に研磨パッドを接触させ、研磨パッドおよび/または被研磨対象基板を動かして研磨対象面を研磨する工程(1)を有する。工程(1)で使用される研磨機としては、特に限定されず、磁気ディスク基板研磨用の公知の研磨機が使用できる。
多段研磨方式における粗研磨工程後の基板表面上のうねりを低減する観点から、本発明の磁気ディスク基板の基板研磨方法は、前記工程(1)の後に、同一の研磨機において、工程(1)で得られた基板をリンス処理する中間リンス工程(工程(2))を有する。リンス処理に用いるリンス液としては、特に制限されないが、製造コストの点からは蒸留水、イオン交換水、純水、および超純水等の水が使用され得る。また、工程(2)は、生産性の観点から、工程(1)で使用した研磨機から被研磨基板を取り出すことなく、同じ研磨機内で行う。工程(2)は、具体的には、リンス液を被研磨基板の研磨対象面に供給し、被研磨基板を動かして研磨対象面をリンス処理することを含み得る。なお、本発明において、リンス処理とは、基板表面に残留した砥粒、研磨屑を排出することを目的とした処理をいい、基板表面を平坦化するために、基板表面を溶解しながら砥粒で削る(化学機械研磨)研磨処理とは異なる処理をいう。
本発明の基板研磨方法は、多段研磨方式における粗研磨工程後の基板表面上のうねりを低減する観点から、コロイダルシリカBおよび水を含有する研磨剤組成物Bをリンス処理工程(2)で得られた基板の研磨対象面に供給し、研磨対象面に研磨パッドおよび/または被研磨基板を動かして研磨対象面を研磨する工程(3)を有する。生産性向上の観点、および粗研磨工程後の基板表面上のうねり低減の観点から、工程(1)~(3)は、同一の研磨機、研磨パッドで連続して行う。
本発明の基板研磨方法の工程(1)で使用する研磨剤組成物Aは、コロイダルシリカAおよび粉砕された湿式法シリカ粒子を含有する水系組成物であり、水溶性高分子化合物を必須成分として含有する。ここで、水溶性高分子化合物は、(a)カルボン酸基を有する単量体とアミド基を有する単量体を必須単量体とする共重合体、(b)カルボン酸基を有する単量体とスルホン酸基を有する単量体を必須単量体とする共重合体、(c)カルボン酸基を有する単量体とアミド基を有する単量体とスルホン酸基を有する単量体とを必須単量体とする共重合体であることが好ましい。尚、研磨剤組成物Aは、さらにpH調整のために、または任意成分として、酸および/またはその塩を含有してもよい。また、研磨促進剤として酸化剤を含有してもよい。
本発明の研磨剤組成物Aに含有されるコロイダルシリカAは、平均一次粒子径は通常10~150nmであり、好ましくは20~100nmである。平均一次粒子径が10nm以上であることにより、研磨速度の低下を抑制することができる。平均一次粒子径が150nm以下であることにより、うねりやシャローピットなどの表面平滑性の悪化を抑制することができる。好ましくは、コロイダルシリカAに占める30~70nmの粒子の割合が10~90体積%、さらに好ましくは12~80体積%であることにより、うねりやシャローピットなどの表面平滑性をさらに良好にできる。
本発明の研磨剤組成物Aに含有される湿式法シリカ粒子は、ケイ酸アルカリ水溶液と無機酸または無機酸水溶液とを反応容器に添加することにより、沈殿ケイ酸として得られる湿式法シリカから調製される粒子のことを指しており、湿式法シリカ粒子には、上述のコロイダルシリカは含まれない。
研磨剤組成物Aに含有される水溶性高分子化合物は、(a)カルボン酸基を有する単量体およびアミド基を有する単量体を必須単量体とする共重合体、(b)カルボン酸基を有する単量体とスルホン酸基を有する単量体を必須単量体とする共重合体、(c)カルボン酸基を有する単量体とアミド基を有する単量体およびスルホン酸基を有する単量体を必須単量体とする共重合体のいずれかであることが好ましい。
カルボン酸基を有する単量体としては、不飽和脂肪族カルボン酸およびその塩が好ましく用いられる。具体的には、アクリル酸、メタクリル酸、マレイン酸、イタコン酸およびこれらの塩が挙げられる。塩としては、ナトリウム塩、カリウム塩、マグネシウム塩、アンモニウム塩、アミン塩、アルキルアンモニウム塩などが挙げられる。
アミド基を有する単量体の具体例としては、アクリルアミド、メタクリルアミド、N-アルキルアクリルアミド、N-アルキルメタクリルアミドなどを使用することができる。N-アルキルアクリルアミド、N-アルキルメタクリルアミドの具体例としては、N-メチルアクリルアミド、N-エチルアクリルアミド、N-n-プロピルアクリルアミド、N-iso-プロピルアクリルアミド、N-n-ブチルアクリルアミド、N-iso-ブチルアクリルアミド、N-sec-ブチルアクリルアミド、N-tert-ブチルアクリルアミド、N-メチルメタクリルアミド、N-エチルメタクリルアミド、N-n-プロピルメタクリルアミド、N-iso-プロピルメタクリルアミド、N-n-ブチルメタクリルアミド、N-iso-ブチルメタクリルアミド、N-sec-ブチルメタクリルアミド、N-tert-ブチルメタクリルアミドなどが挙げられる。
スルホン酸基を有する単量体の具体例としては、イソプレンスルホン酸、2-アクリルアミド-2-メチルプロパンスルホン酸、2-メタクリルアミド-2-メチルプロパンスルホン酸、スチレンスルホン酸、ビニルスルホン酸、アリルスルホン酸、イソアミレンスルホン酸、ナフタレンスルホン酸、およびこれらの塩などが挙げられる。好ましくは、2-アクリルアミド-2-メチルプロパンスルホン酸、2-メタクリルアミド-2-メチルプロパンスルホン酸、およびこれらの塩などが挙げられる。
研磨剤組成物Aに含有される水溶性高分子化合物は、共重合体であることが好ましい。水溶性高分子化合物が、(a)カルボン酸基を有する単量体とアミド基を有する単量体を必須単量体とする共重合体の場合、カルボン酸基を有する単量体に由来する構成単位の割合は50~95mol%が好ましく、60~93mol%がさらに好ましい。アミド基を有する単量体に由来する構成単位の割合は、5~50mol%が好ましく、7~40mol%がさらに好ましい。(b)カルボン酸基を有する単量体とスルホン酸基を有する単量体を必須単量体とする共重合体の場合、カルボン酸基を有する単量体に由来する構成単位の割合は30~95mol%が好ましく、40~90mol%がさらに好ましい。スルホン酸基を有する単量体の割合は5~70mol%が好ましく、10~60mol%がさらに好ましい。(c)カルボン酸基を有する単量体、アミド基を有する単量体、およびスルホン酸基を有する単量体を必須単量体とする共重合体の場合、カルボン酸基を有する単量体に由来する構成単位の割合は、50~95mol%が好ましく、60~93mol%がより好ましく、70~90mol%がさらに好ましい。アミド基を有する単量体に由来する構成単位の割合は、1~40mol%が好ましく、3~30mol%がより好ましく、5~20mol%がさらに好ましい。スルホン酸基を有する単量体に由来する構成単位の割合は、0.01~20mol%が好ましく、0.1~10mol%がより好ましく、0.2~5mol%がさらに好ましい。
水溶性高分子化合物の製造方法は特に制限されないが、水溶液重合法が好ましい。水溶液重合法によれば、均一な溶液として水溶性高分子化合物を得ることができる。上記水溶液重合の重合溶媒としては、水性の溶媒であることが好ましく、特に好ましくは水である。また、上記単量体成分の溶媒への溶解性を向上させるために、各単量体の重合に悪影響を及ぼさない範囲で有機溶媒を適宜加えてもよい。上記有機溶媒としては、イソプロピルアルコール等のアルコール類、アセトン等のケトン類が挙げられる。これらは、1種単独であるいは2種以上を組み合わせて用いることができる。
水溶性高分子化合物の重量平均分子量は、1,000~1,000,000であり、好ましくは2,000~800,000であり、さらに好ましくは3,000~600,000である。なお、水溶性高分子化合物の重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により、ポリアクリル酸換算で測定したものである。水溶性高分子化合物の重量平均分子量が、1,000未満の場合は、研磨後のうねりが悪化する。また1,000,000を超える場合には、水溶液の粘度が高くなり取扱いが困難になる。
研磨剤組成物A中の水溶性高分子化合物の濃度は、固形分換算で0.0001~3.0質量%であり、好ましくは0.0005~2.0質量%であり、さらに好ましくは0.001~1.0質量%である。水溶性高分子化合物の濃度が0.0001質量%より少ない場合には、水溶性高分子化合物の添加効果が十分に得られず、3.0質量%より多い場合には、水溶性高分子化合物の添加効果は頭打ちとなり、必要以上の水溶性高分子化合物を添加することになるので、経済的でない。
研磨剤組成物Aでは、pH調整のために、または任意成分として、酸および/またはその塩を使用することができる。使用される酸および/またはその塩としては、無機酸および/またはその塩と有機酸および/またはその塩が挙げられる。
研磨剤組成物Aは、研磨促進剤として酸化剤を含有してもよい。酸化剤としては、過酸化物、過マンガン酸またはその塩、クロム酸またはその塩、ペルオキソ酸またはその塩、ハロゲンオキソ酸またはその塩、酸素酸またはその塩、これらの酸化剤を2種以上混合したもの等を用いることができる。
研磨剤組成物AのpH値(25℃)の範囲は、好ましくは0.1~4.0である。より好ましくは0.5~3.0である。研磨剤組成物AのpH値(25℃)が0.1以上であることにより、表面荒れを抑制することができる。研磨剤組成物AのpH値(25℃)が4.0以下であることにより、研磨速度の低下を抑制することができる。
本発明の基板研磨方法の工程(3)で使用する研磨剤組成物Bは、コロイダルシリカBを含有する水性組成物であり、水溶性高分子化合物は任意成分として含有するものである。さらに、酸および/またはその塩、酸化剤などを含有してもよい。
研磨剤組成物Bに含有されるコロイダルシリカBは、平均粒子径(D50)が10~150nmであることが好ましい。より好ましくは20~100nmである。コロイダルシリカは、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム等のケイ酸アルカリ金属塩を原料とし、当該原料を水溶液中で縮合反応させて粒子を成長させる水ガラス法で得られる。またはテトラエトキシシラン等のアルコキシシランを原料とし、当該原料をアルコール等の水溶性有機溶媒を含有する水中で、酸またはアルカリでの加水分解による縮合反応によって粒子を成長させるアルコキシシラン法によっても得られる。
研磨剤組成物Bは、任意成分として水溶性高分子化合物を含有することができる。研磨剤組成物Bに含有される水溶性高分子化合物は、カルボン酸基を有する単量体を必須単量体とする重合体とスルホン酸基を有する単量体を必須単量体とする重合体とを含む混合物および/またはカルボン酸基を有する単量体およびスルホン酸基を有する単量体を必須単量体とする共重合体であることが好ましい。それぞれの単量体の具体例としては、研磨剤組成物Aの場合と同様の化合物を挙げることができる。
カルボン酸基を有する単量体としては、不飽和脂肪族カルボン酸およびその塩が好ましく用いられる。具体的には、アクリル酸、メタクリル酸、マレイン酸、イタコン酸およびこれらの塩が挙げられる。塩としては、ナトリウム塩、カリウム塩、マグネシウム塩、アンモニウム塩、アミン塩、アルキルアンモニウム塩などが挙げられる。
スルホン酸基を有する単量体の具体例としては、イソプレンスルホン酸、2-アクリルアミド-2-メチルプロパンスルホン酸、2-メタクリルアミド-2-メチルプロパンスルホン酸、スチレンスルホン酸、ビニルスルホン酸、アリルスルホン酸、イソアミレンスルホン酸、ビニルナフタレンスルホン酸、およびこれらの塩などが挙げられる。
その他の単量体としては、アミド基を有する単量体も使用することができる。具体的には、アクリルアミド、メタクリルアミド、N-アルキルアクリルアミド、N-アルキルメタクリルアミドなどが挙げられる。
水溶性高分子化合物中の、カルボン酸基を有する単量体に由来する構成単位の割合は、5~95mol%が好ましく、8~92mol%がより好ましく、10~90mol%がさらに好ましい。スルホン酸基を有する単量体に由来する構成単位の割合は、5~95mol%が好ましく、8~92mol%がより好ましく、10~90mol%がさらに好ましい。上記の割合は、重合体の混合物の場合は、混合物全体としてカルボン酸基を有する単量体に由来する構成単位の割合およびスルホン酸基を有する単量体に由来する構成単位の割合の好ましい範囲を示している。
水溶性高分子化合物の製造方法は、研磨剤組成物Aの場合と同様に、水溶液重合法が好ましく、水溶液重合法によれば、均一な溶液として水溶性高分子化合物を得ることができる。具体的には、水性溶媒を用いてラジカル重合開始剤を用いるラジカル重合により水溶性高分子化合物を製造する方法が挙げられる。ラジカル重合開始剤としては、過硫酸塩、水溶性過酸化物、油溶性過酸化物、アゾ化合物、などが挙げられる。また、開始剤として、水溶性レドックス系重合開始剤を用いてもよい。水溶性高分子化合物の分子量を調整するために、連鎖移動剤を重合系に適宜添加してもよい。重合反応終了後、必要に応じて塩基性化合物で中和を行ってもよい。
水溶性高分子化合物の重量平均分子量は、1,000~1,000,000であり、好ましくは2,000~800,000であり、さらに好ましくは3,000~600,000である。なお、水溶性高分子化合物の重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により、ポリアクリル酸換算で測定したものである。上記の重量平均分子量の範囲は、水溶性高分子化合物が重合体の混合物の場合は、混合物全体の重量平均分子量の好ましい範囲である。
水溶性高分子化合物の研磨剤組成物B中の濃度は、固形分換算で0.0001~3.0質量%であり、好ましくは0.0005~2.0質量%であり、さらに好ましくは0.001~1.0質量%である。
研磨剤組成物Bは、pH調整のために、または任意成分として、酸および/またはその塩を使用することができる。使用される酸および/またはその塩としては、無機酸および/またはその塩と有機酸および/またはその塩が挙げられる。
研磨剤組成物Bは、任意成分として酸化剤を含有することができる。研磨剤組成物Bに含有することができる酸化剤としては、過酸化物、過マンガン酸またはその塩、クロム酸またはその塩、ペルオキソ酸またはその塩、ハロゲンオキソ酸またはその塩、酸素酸またはその塩、これらの酸化剤を2種以上混合したもの等を用いることができる。
研磨剤組成物BのpH値(25℃)の範囲は、好ましくは0.1~4.0である。より好ましくは、0.5~3.0である。研磨剤組成物BのpH値(25℃)が0.1以上であることにより、表面荒れを抑制することができる。研磨剤組成物BのpH値(25℃)が4.0以下であることにより、研磨速度の低下を抑制することができる。
実施例1~6、参考例1、比較例1~9で使用した研磨剤組成物は、前段研磨に於いては、表1に記載の材料を、表1に記載の含有量で含んだ研磨剤組成物である。後段研磨に於いては、表2に記載の材料を、表2に記載の含有量で含んだ研磨剤組成物である。尚、表1でアクリル酸の略号をAA、N-tert-ブチルアクリルアミドの略号をTBAA、2-アクリルアミド-2-メチルプロパンスルホン酸の略号をATBSとした。また、各実施例、参考例、及び各比較例の研磨試験の結果を表3に示した。
湿式法シリカ粒子の平均粒子径は、動的光散乱式粒度分析測定装置(日機装(株)製、マイクロトラックUPA)を用いて測定した。湿式法シリカ粒子の平均粒子径は、体積を基準とした小粒径側からの積算粒径分布が50%となる平均粒子径(D50)である。
コロイダルシリカの粒子径(Heywood径)は、透過型電子顕微鏡(TEM)(日本電子(株)製、透過型電子顕微鏡 JEM2000FX(200kV)を用いて倍率10万倍の視野を撮影し、この写真を解析ソフト(マウンテック(株)製、Mac-View Ver.4.0)を用いて解析することによりHeywood径(投射面積円相当径)として測定した。コロイダルシリカの平均粒子径は前述の方法で2000個程度のコロイダルシリカの粒子径を解析し、小粒径側からの積算粒径分布(累積体積基準)が50%となる粒子径を上記解析ソフト(マウンテック(株)製、Mac-View Ver.4.0)を用いて算出した平均粒子径(D50)である。
水溶性高分子化合物の重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)によりポリアクリル酸換算で測定したものであり、以下にGPC測定条件を示す。
カラム:G4000PWXL(東ソー(株)製)+G2500PWXL(東ソー(株)製)
溶離液:0.2Mリン酸バッファー/アセトニトリル=9/1(容積比)
流速:1.0ml/min
温度:40℃
検出:210nm(UV)
サンプル:濃度5mg/ml(注入量100μl)
検量線用ポリマー:ポリアクリル酸 分子量(ピークトップ分子量:Mp)11.5万、2.8万、4100、1250(創和科学(株)、American Polymer Standards Corp.)
無電解ニッケル-リンめっきされた外径95mmのアルミディスクを研磨対象として、下記研磨条件で研磨を行った。
研磨機:SPEEDFAM(社)製、9B両面研磨機
研磨パッド:(株)FILWEL社製、P1パッド
定盤回転数:上定盤 -7.7rpm
下定盤 23.5rpm
研磨剤組成物供給量: 90ml/min
研磨時間:研磨量が1.2~1.5μm/片面となる時間まで研磨する(240~720秒)。
加工圧力: 120g/cm2
尚、前段研磨では、研磨剤組成物Aを使用した。
研磨機:前段研磨と同じ
研磨パッド:前段研磨と同じ
定盤回転数:前段研磨と同じ
リンス液供給量:3リットル/min
リンス時間:20秒
加工圧力:120g/cm2
尚、リンス液には純水を使用した。
研磨機:前段研磨と同じ
研磨パッド:前段研磨と同じ
定盤回転数:前段研磨と同じ
研磨剤組成物供給量:90ml/min
研磨時間:40秒
加工圧力:120g/cm2
尚、後段研磨では、研磨剤組成物Bを使用した。上記研磨条件で研磨試験を行った結果を表3に示す。ただし、比較例7~9では、後段研磨を実施しなかった。
研磨速度比は、研磨後に減少したアルミディスクの質量を測定し、下記式に基づいて算出した。
研磨速度(μm/min)=アルミディスク質量減少量(g)/研磨時間(min)/アルミディスク片面の面積(cm2)/無電解ニッケル-リンめっき皮膜の密度(g/cm3/2×104
(ただし、上記式中、アルミディスク片面の面積は65.9cm2、無電解ニッケル-リンめっき皮膜の密度は、8.0g/cm3)
研磨速度比は、上記式を用いて求めた比較例2の研磨速度を1(基準)とした場合の相対値である。
アルミディスクのうねりは、アメテック社製の走査型白色干渉法を利用した三次元表面構造解析顕微鏡を用いて測定した。測定条件は、アメテック社製の測定装置(New View 8300(レンズ:1.4倍、ズーム:1.0倍)、波長は、100~500μmおよび500~1000μmとし、測定エリアは、6mm×6mmとし、アメテック社製の解析ソフト(Mx)を用いて解析を行った。
シャローピットは、アメテック社製の走査型白色干渉法を利用した三次元表面構造解析顕微鏡(New View 8300)を用いて測定した。
測定条件は以下の通りである。
レンズ 1.4倍
ZOOM 0.5倍
1視野の測定エリア 12mm×12mm
Measurement Type Surface
Measurement Mode CSI
Scan Length 5μm
端面形状の評価として、端面だれの度合いを数値化したロールオフを測定した。ロールオフはアメテック社製の測定装置(New View 8300(レンズ:1.4倍、ズーム:1.0倍)とアメテック社製の解析ソフト(Metro Pro)を用いて測定した。
実施例1,2,3と比較例1の対比、参考例1と比較例2の対比、および実施例6と比較例3の対比から、水溶性高分子化合物を含有することにより、研磨速度が向上し、ロールオフも改善されることがわかる。なお、実施例2と実施例3は、実施例1の水溶性高分子化合物の組成を変更したものである。参考例1は、実施例1のコロイダルシリカA中の粒子径30~70nmの粒子の割合を変更したものである。実施例6は、実施例1のコロイダルシリカAの平均粒子径と湿式法シリカ粒子の平均粒子径を変更したものである。
Claims (8)
- アルミニウム合金基板の表面にニッケル-リンめっき皮膜を形成した磁気記録媒体用基板の研磨を多段研磨方式で行う際に、最終研磨工程よりも前の研磨工程で行う磁気ディスク基板の研磨方法であって、下記(1)~(3)の工程を有し、各工程(1)~(3)を同一研磨機で行う磁気ディスク基板の研磨方法。
(1)平均一次粒子径10~150nmのコロイダルシリカAと、平均粒子径200~500nmの粉砕された湿式法シリカ粒子と、水溶性高分子化合物と、水を含有し、
前記コロイダルシリカAに占める粒子径30~70nmの粒子の割合が10~90質量%であり、
前記水溶性高分子化合物が、カルボン酸基を有する単量体およびアミド基を有する単量体を必須単量体とする共重合体であり、重量平均分子量が1,000~1,000,000であり、
全シリカ粒子に占める前記コロイダルシリカAの割合が20~80質量%、前記粉砕された湿式法シリカ粒子の割合が20~80質量%であり、前記コロイダルシリカAの平均一次粒子径に対する前記粉砕された湿式法シリカ粒子の平均粒子径の比の値が2.0~15.0であり、前記全シリカ粒子の濃度が2~40質量%である研磨剤組成物Aを研磨機に供給して、前記磁気ディスク基板の前段の研磨を行う工程、
(2)工程(1)で得られた前記磁気ディスク基板をリンス処理する工程、
(3)コロイダルシリカBおよび水を含有する研磨剤組成物Bを研磨機に供給して、前記磁気ディスク基板の後段の研磨を行う工程。 - アルミニウム合金基板の表面にニッケル-リンめっき皮膜を形成した磁気記録媒体用基板の研磨を多段研磨方式で行う際に、最終研磨工程よりも前の研磨工程で行う磁気ディスク基板の研磨方法であって、下記(1)~(3)の工程を有し、各工程(1)~(3)を同一研磨機で行う磁気ディスク基板の研磨方法。
(1)平均一次粒子径10~150nmのコロイダルシリカAと、平均粒子径200~500nmの粉砕された湿式法シリカ粒子と、水溶性高分子化合物と、水を含有し、
前記コロイダルシリカAに占める粒子径30~70nmの粒子の割合が10~90質量%であり、
前記水溶性高分子化合物が、カルボン酸基を有する単量体およびスルホン酸基を有する単量体を必須単量体とする共重合体であり、重量平均分子量が1,000~1,000,000であり、
全シリカ粒子に占める前記コロイダルシリカAの割合が20~80質量%、前記粉砕された湿式法シリカ粒子の割合が20~80質量%であり、前記コロイダルシリカAの平均一次粒子径に対する前記粉砕された湿式法シリカ粒子の平均粒子径の比の値が2.0~15.0であり、前記全シリカ粒子の濃度が2~40質量%である研磨剤組成物Aを研磨機に供給して、前記磁気ディスク基板の前段の研磨を行う工程、
(2)工程(1)で得られた前記磁気ディスク基板をリンス処理する工程、
(3)コロイダルシリカBおよび水を含有する研磨剤組成物Bを研磨機に供給して、前記磁気ディスク基板の後段の研磨を行う工程。 - アルミニウム合金基板の表面にニッケル-リンめっき皮膜を形成した磁気記録媒体用基板の研磨を多段研磨方式で行う際に、最終研磨工程よりも前の研磨工程で行う磁気ディスク基板の研磨方法であって、下記(1)~(3)の工程を有し、各工程(1)~(3)を同一研磨機で行う磁気ディスク基板の研磨方法。
(1)平均一次粒子径10~150nmのコロイダルシリカAと、平均粒子径200~500nmの粉砕された湿式法シリカ粒子と、水溶性高分子化合物と、水を含有し、
前記コロイダルシリカAに占める粒子径30~70nmの粒子の割合が10~90質量%であり、
前記水溶性高分子化合物が、カルボン酸基を有する単量体、アミド基を有する単量体、およびスルホン酸基を有する単量体を必須単量体とする共重合体であり、重量平均分子量が1,000~1,000,000であり、
全シリカ粒子に占める前記コロイダルシリカAの割合が20~80質量%、前記粉砕された湿式法シリカ粒子の割合が20~80質量%であり、前記コロイダルシリカAの平均一次粒子径に対する前記粉砕された湿式法シリカ粒子の平均粒子径の比の値が2.0~15.0であり、前記全シリカ粒子の濃度が2~40質量%である研磨剤組成物Aを研磨機に供給して、前記磁気ディスク基板の前段の研磨を行う工程、
(2)工程(1)で得られた前記磁気ディスク基板をリンス処理する工程、
(3)コロイダルシリカBおよび水を含有する研磨剤組成物Bを研磨機に供給して、前記磁気ディスク基板の後段の研磨を行う工程。 - 前記カルボン酸基を有する単量体が、アクリル酸またはその塩、メタクリル酸またはその塩から選ばれる単量体である請求項1~3のいずれか1項に記載の磁気ディスク基板の研磨方法。
- 前記アミド基を有する単量体が、アクリルアミド、メタクリルアミド、N-アルキルアクリルアミド、N-アルキルメタクリルアミドから選ばれる1種または2種以上の単量体である請求項1又は請求項3に記載の磁気ディスク基板の研磨方法。
- 前記スルホン酸基を有する単量体が、イソプレンスルホン酸、2-アクリルアミド-2-メチルプロパンスルホン酸、2-メタクリルアミド-2-メチルプロパンスルホン酸、スチレンスルホン酸、ビニルスルホン酸、アリルスルホン酸、イソアミレンスルホン酸、ビニルナフタレンスルホン酸、およびこれらの塩から選ばれる単量体である請求項2又は請求項3に記載の磁気ディスク基板の研磨方法。
- 前記研磨剤組成物Aおよび前記研磨剤組成物Bが、酸および/またはその塩をさらに含有し、pH値(25℃)が0.1~4.0の範囲にある請求項1~6のいずれか1項に記載の磁気ディスク基板の研磨方法。
- 前記研磨剤組成物Aおよび前記研磨剤組成物Bが、酸化剤をさらに含有している請求項1~7のいずれか1項に記載の磁気ディスク基板の研磨方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019072237A JP7269076B2 (ja) | 2019-04-04 | 2019-04-04 | 磁気ディスク基板の研磨方法 |
TW109110868A TW202104523A (zh) | 2019-04-04 | 2020-03-30 | 磁碟基板之研磨方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019072237A JP7269076B2 (ja) | 2019-04-04 | 2019-04-04 | 磁気ディスク基板の研磨方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020170578A JP2020170578A (ja) | 2020-10-15 |
JP7269076B2 true JP7269076B2 (ja) | 2023-05-08 |
Family
ID=72746189
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019072237A Active JP7269076B2 (ja) | 2019-04-04 | 2019-04-04 | 磁気ディスク基板の研磨方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7269076B2 (ja) |
TW (1) | TW202104523A (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009172709A (ja) | 2008-01-23 | 2009-08-06 | Kao Corp | 磁気ディスク基板用研磨液組成物 |
JP2012025873A (ja) | 2010-07-26 | 2012-02-09 | Yamaguchi Seiken Kogyo Kk | 研磨剤組成物 |
JP2018174012A (ja) | 2017-03-31 | 2018-11-08 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 磁気ディスク基板の研磨方法、研磨用組成物および研磨用組成物セット |
JP2019008846A (ja) | 2017-06-22 | 2019-01-17 | 山口精研工業株式会社 | 磁気ディスク基板用研磨剤組成物 |
JP2019016417A (ja) | 2017-07-04 | 2019-01-31 | 山口精研工業株式会社 | 磁気ディスク基板用研磨剤組成物 |
-
2019
- 2019-04-04 JP JP2019072237A patent/JP7269076B2/ja active Active
-
2020
- 2020-03-30 TW TW109110868A patent/TW202104523A/zh unknown
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009172709A (ja) | 2008-01-23 | 2009-08-06 | Kao Corp | 磁気ディスク基板用研磨液組成物 |
JP2012025873A (ja) | 2010-07-26 | 2012-02-09 | Yamaguchi Seiken Kogyo Kk | 研磨剤組成物 |
JP2018174012A (ja) | 2017-03-31 | 2018-11-08 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 磁気ディスク基板の研磨方法、研磨用組成物および研磨用組成物セット |
JP2019008846A (ja) | 2017-06-22 | 2019-01-17 | 山口精研工業株式会社 | 磁気ディスク基板用研磨剤組成物 |
JP2019016417A (ja) | 2017-07-04 | 2019-01-31 | 山口精研工業株式会社 | 磁気ディスク基板用研磨剤組成物 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2020170578A (ja) | 2020-10-15 |
TW202104523A (zh) | 2021-02-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6940315B2 (ja) | 磁気ディスク基板用研磨剤組成物 | |
JP7034667B2 (ja) | 磁気ディスク基板用研磨剤組成物 | |
JP7122097B2 (ja) | 磁気ディスク基板用研磨剤組成物 | |
JP7128685B2 (ja) | 磁気ディスク基板の研磨方法、および磁気ディスク基板用研磨剤組成物 | |
JP7269076B2 (ja) | 磁気ディスク基板の研磨方法 | |
JP6734146B2 (ja) | 磁気ディスク基板用研磨剤組成物 | |
JP7161374B2 (ja) | 磁気ディスク基板用研磨剤組成物 | |
JP7356864B2 (ja) | 磁気ディスク基板用研磨剤組成物、及び磁気ディスク基板の研磨方法 | |
JP7219101B2 (ja) | 磁気ディスク基板用研磨剤組成物 | |
JP7356865B2 (ja) | 磁気ディスク基板用研磨剤組成物、及び磁気ディスク基板の研磨方法 | |
JP7219097B2 (ja) | 磁気ディスク基板用研磨剤組成物 | |
JP7441661B2 (ja) | 磁気ディスク基板用研磨剤組成物 | |
JP6659449B2 (ja) | 無電解ニッケル−リンめっきされたアルミニウム磁気ディスク基板用研磨剤組成物 | |
JP2022133683A (ja) | 磁気ディスク基板用研磨剤組成物、及び磁気ディスク基板の研磨方法 | |
TW202330824A (zh) | 磁碟基板用研磨劑組合物及磁碟基板之研磨方法 | |
TW202415734A (zh) | 磁碟基板之研磨方法及磁碟基板用研磨劑組合物 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220207 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230110 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230117 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230307 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230418 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230421 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7269076 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |