JP6929657B2 - 液体吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Description
まず、図4(a)、(b)に示すような液体吐出ヘッドの基板を用意した。基板1はシリコンで形成されたシリコン基板である。基板1には、複数の供給部6が設けられている。供給部6は、基板を表面(上面)側から裏面(下面)まで貫通しており、基板1に2段階の反応性イオンエッチングを行うことで形成されたものである。
・エポキシ樹脂(商品名;EHPE3150、ダイセル化学工業製)100質量部
・光カチオン重合開始剤(商品名;SP−172、旭電化工業製)6質量部
・バインダー樹脂(商品名;jER1007、三菱化学製)20質量部
開口8bを形成しなかった以外は実施例と同様にして、液体吐出ヘッドを製造した。
Claims (19)
- 表面に液体の供給部が開口した基板と、前記基板の表面上に設けられた層と、前記層上に設けられた部材であって、前記供給部から供給された液体を吐出する吐出口に連通する流路を形成する部材と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記供給部の開口上に設けられ、配列方向に沿って配列する複数の開口と、前記配列方向における前記複数の開口のうち、前記配列方向において最も外側に開口する開口よりも外側に開口する、前記複数の開口とは別の開口と、を有する前記層を有する前記基板を用意する工程と、
前記基板及び前記層上に、前記流路を形成するドライフィルムを貼り付ける工程と、
前記ドライフィルム上に、前記吐出口を形成する部材を形成する工程と、
前記吐出口を形成する部材を形成する工程の後に、前記ドライフィルムおよび前記吐出口を形成する部材を現像し、前記流路および前記吐出口を形成する工程と、
を有し、
前記別の開口は、前記基板のうち平面が形成されている領域上に形成されていることを特徴とする、液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記層はエポキシ樹脂で形成された層である請求項1に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記層はポリエーテルアミドで形成された層である請求項1に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記ドライフィルムは感光性樹脂で形成されている請求項1乃至3のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記供給部の開口上に設けられている開口の内側には、前記吐出口から液体を吐出するエネルギーを発生するエネルギー発生素子が設けられている請求項1乃至4のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記供給部の開口上に設けられている1つの開口の面積は2500μm2以上10000μm2以下である請求項1乃至5のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記供給部の1つの開口の面積は300μm2以上2000μm2以下である請求項1乃至6のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記層の厚みは0.5μm以上3.0μm以下である請求項1乃至7のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記供給部の開口上に設けられている1つの開口の幅は、前記別の1つの開口の幅の80%以上120%以下である請求項1乃至8のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記供給部の開口上に設けられている1つの開口の面積は、前記別の1つの開口の面積の80%以上120%以下である請求項1乃至9のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記別の開口は、前記複数の開口のうち前記配列方向における両方の最も外側の開口の外側に開口している請求項1乃至10のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記ドライフィルムを前記基板及び前記層上に貼り付ける際の貼り付け方向に関して、前記配列方向の手前側に前記別の開口が開口している請求項1乃至11のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記ドライフィルムを前記基板及び前記層上に貼り付ける際の貼り付け方向に関して、前記配列方向の奥側に前記別の開口が開口している請求項1乃至12のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記配列方向の、前記基板の短手方向における外側に、前記別の開口が開口する請求項1乃至13のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記別の開口は複数開口している請求項1乃至14のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記供給部の開口上に設けられている開口のピッチは、前記別の開口のピッチの80%以上120%以下である請求項1乃至15のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記別の開口は、前記供給部の開口上に設けられている開口の配列方向と交わる方向に延在している請求項1乃至16のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記別の開口が開口する位置で前記基板を切断する請求項1乃至17のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記供給部の開口上に設けられている開口を含む基板と、前記基板とは別の前記供給部の開口が内側に設けられている開口を含む基板との間に、前記別の開口が開口している請求項1乃至17のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
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