JP6929090B2 - 液体を吐出する液体吐出ヘッド、液体吐出装置、および液体吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、液体を吐出する液体吐出ヘッド、液体吐出装置、およびその製造方法に関するものである。

インク等の記録液体を吐出して記録媒体に記録を行う液体吐出ヘッド（インクジェット記録ヘッド、単に「ヘッド」とも称する）は、写真や文書、３次元構造体等を形成する手段として用いられている。画像記録の高密度化や高速化に対応するために、特許文献１には、記録を行うための素子を備える記録素子基板を支持する支持部材に、ヘッドの放熱を促進するための梁を設ける構成が記載されている。また、支持部材には記録素子基板に液体を供給するための供給部材が接合されており、この供給部材から支持部材に設けられた流路を介して記録素子基板に液体が供給される。

特開２００７−２７６３８５号公報

しかしながら、特許文献１に記載されたような梁を支持部材に設けると、支持部材に設けられた流路の断面積が小さくなるため、流路内に気泡が滞留し、この気泡によって記録素子基板への液体の供給が妨げられる懸念がある。特に、液体吐出装置本体の小型化やこれに伴うヘッドの小型化によって流路が一層細くなると、この気泡の滞留による液体の供給性の低下の恐れが高まる。

また、ヘッドの小型化に対応するために複数の流路同士の間隔を小さくすると、支持部材とこれに接合される供給部材との接合領域が十分に確保できず、接合が不十分となる恐れがある。特に、隣接する流路において異なる色の液体が流れるような構成で接合が不十分であると、混色が生じる恐れもある。

そこで、本発明は、気泡の滞留を抑制しつつ、十分な接合領域を確保することができる支持部材を有する液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。

上記目的を達成する本発明の液体吐出ヘッドは、記録を行うための素子を備える記録素子基板と、前記記録素子基板に液体を供給するための供給部材と、前記記録素子基板を支持する第１面と、前記第１面の反対側の面である、前記供給部材の側の第２面と、を備え、前記第１面に設けられた複数の第１開口と前記第２面に設けられた第２開口とを連通し、前記記録素子基板に液体を供給する流路が形成された支持部材であって、前記記録素子基板に接し、前記複数の第１開口の間に設けられた梁を備えた前記支持部材と、を有する液体吐出ヘッドにおいて、前記梁は、前記第１開口から前記第２開口に向かう前記流路の途中まで延びており、前記複数の第１開口の配設方向において、前記第２開口の長さは、１つの前記第１開口の長さよりも長く、前記複数の第１開口の長さと前記第１面における前記梁の長さとの合計よりも短く、前記流路うちの、１つの前記第１開口から前記梁が延びる部分までである流路部の、前記配設方向における長さは、前記配設方向における前記１つの第１開口の長さと略同じまたは当該第１開口の長さよりも長いことを特徴とする。

本発明によると、気泡の滞留を抑制しつつ、十分な接合領域を確保することができる支持部材を有する液体吐出ヘッドを提供することができる。

液体吐出ヘッドの斜視図である。 液体吐出ヘッドのＡ−Ａ断面図である。 液体吐出ヘッドのＡ−Ａ断面拡大図である。 液体吐出ヘッドのＢ−Ｂ断面図である。 支持部材を第１面および第２面から見た平面図である。 本発明を適用した実施例および比較例についての吐出後の吐出口列方向の温度分布を示すグラフである。

（液体吐出ヘッド）
図１は、本発明を適用可能な液体吐出ヘッド１を示す斜視図である。液体吐出ヘッド１は、記録を行うためのエネルギーを発生する記録素子１７（図３）と、液体を吐出する吐出口９（図３）と、が設けられた記録素子基板２を有する。記録素子１７としては、例えば熱エネルギーを発生する電気熱変換素子を用いることができる。また、液体吐出ヘッド１は、記録素子基板２を支持する支持部材５と、支持部材５に設けられた流路１４（図２）を介して記録素子基板２に液体を供給するための液体供給部材４と、を有する。液体供給部材４には、インク等の液体を貯留するメインタンクからチューブ等が接続される導入口３と、導入口３から供給されたインクを貯留するサブタンクと、支持部材５に設けられた流路１４へ液体を流すための流路１６（図２）と、を有する。液体供給部材４は、例えば、樹脂材料を用いて射出成型によって形成することができる。

図２は、図１のＡ−Ａ線に沿う部分断面図である。記録素子基板２と支持部材５とは、接着剤を介して接合されている。また、支持部材５と液体供給部材４とは接着剤６を介して接合されている。支持部材５の記録素子基板２側の面を第１面５ａとも称し、第１面５ａの反対側の面である、支持部材５の液体供給部材４側の面を第２面５ｂとも称する。液体吐出ヘッド１は複数の記録素子基板２を有している。これらの複数の記録素子基板２には、それぞれ異なる色の液体が液体供給部材４に設けられた導入口３から流路１６を通って支持部材５の流路１４を介して供給される。したがって、複数の記録素子基板２はそれぞれ異なる色の液体を吐出することができる。

図３は、図１のＡ−Ａ線に沿う部分断面拡大図である。図３は、液体吐出ヘッド１の記録を行う姿勢、すなわちヘッドの使用状態における姿勢を示しており、図２とは上下方向が反対となっている。記録素子基板２は、液体を吐出する吐出口９が形成された吐出口プレート１０と、記録素子１７や供給口１１が形成された基体１２と、を有しており、矢印１３の方向へ液滴を吐出する。本実施形態では、１つの供給口１１に対してその両側にそれぞれ記録素子列が配置されている。記録素子列は複数の記録素子１７がＹ方向に沿って配列されて構成されている。１つの記録素子基板２は２つの供給口１１と４つの記録素子列とを有している。また、記録素子基板２は、各記録素子列にそれぞれ対応する吐出口列を有している。

また、本実施形態では、供給口１１は、記録素子列に沿う方向における長さが、記録素子列に交差する方向における長さよりも長くなっている。

（支持部材）
図２〜図５を参照して、液体吐出ヘッド１を構成する支持部材５について説明する。図４は、図１や図２に示すＢ−Ｂ線における液体吐出ヘッド１の部分断面図である。図４（ａ）は支持部材５を有する液体吐出ヘッドを示し、図４（ｂ）〜（ｄ）は後述する支持部材５１〜５３をそれぞれ有する液体吐出ヘッドを示す。図５（ａ）は記録素子基板２側の面である第１面５３ａから支持部材５３を見た平面図であり、図５（ｂ）は液体供給部材４側の面である第２面５３ｂから支持部材５３を見た平面図である。なお、支持部材５と支持部材５３とは後述の梁８が設けられる位置が異なるが、その他は同様の構成である。

支持部材５は、液体供給部材４から記録素子基板２へ液体を流すための流路部材でもあり、また、液体の吐出に伴って記録素子基板２に蓄積される熱を放出するための放熱部材でもある。放熱性を確保するため、支持部材５は、例えば酸化アルミニウム（Ａｌ_２Ｏ_３）等の熱伝導率の高い材料で形成されることが好ましい。

図３に示すように、支持部材５には、液体供給部材４の流路１６から供給された液体を記録素子基板２の供給口１１へ流す流路１４が設けられている。この流路１４は、記録素子基板２側の面である支持部材５の第１面５ａに設けられた第１開口２２と、液体供給部材４側の面である第２面５ｂに設けられた第２開口２１と、を連通している。

また、支持部材５には梁７が設けられており、梁７の記録素子基板２側の面と、記録素子基板２の支持部材５側の面の、隣接する供給口１１の間の領域と、が接している。このように、記録素子基板２の供給口１１の間の領域に対応するように梁７を設けることで、記録素子基板２の梁７を介した放熱が促進され、記録素子基板２の温度の上昇を抑制することができる。

また、図５（ａ）に示すように、梁７は、Ｙ方向における第１開口２２の両端部同士を接続するように、Ｙ方向に延在している。したがって、第１開口２２は、梁７によって複数の第１開口２２ａ、２２ｂに分割されている。言い換えると、梁７は隣接する複数の第１開口２２ａ、２２ｂの間に設けられている。

さらに、図３に示すように、梁７はＺ方向において、液体供給部材４の側までは延在しておらず、第１面５ａから流路１４の途中まで延びた構成となっている。梁７をこのような構成とすることで、梁が第１開口２２から第２開口２１まで延びた構成と比べ、第２開口２１の開口面積を確保しやすいため、梁７を設けつつ、気泡の滞留や液体の供給性の低下を抑制することができる。

以下、図３に示すように、第１開口２２と第２開口２１とを連通する流路１４のうち、第１開口２２ａ（または第１開口２２ｂ）から梁７が延びる部分を流路部１４ａとも称し、梁７が設けられていない部分を流路部１４ｂとも称する。

また、図５（ｂ）に示すように、支持部材５（５３）には、梁７の延びるＹ方向に交差して（本実施形態では直交して）梁８が設けられている。梁８は、流路１４の内壁と梁７の流路１４に面する壁とを接続するように、Ｘ方向に延在している。また、梁８は、支持部材５の液体供給部材４側の面である第２面５ｂに設けられている。したがって、第２開口２１は、梁８によって複数の第２開口２１ａ、２１ｂ、２２ｃ、２２ｄに分割されている。言い換えると、梁８は複数の第２開口２１ａ〜２１ｄのうち隣接する第２開口の間に設けられている。

さらに、図４（ａ）に示すように、梁８はＺ方向において、記録素子基板２の側までは延在しておらず、第２面５ｂから流路１４の途中まで延びた構成となっている。梁８をこのような構成とすることで、梁が第２開口２１から第１開口２２まで延びた構成と比べ、第１開口２２の開口面積を確保しやすいため、梁８を設けつつ、気泡の滞留や液体の供給性の低下を抑制することができる。なお、この梁８を設けたことによる放熱効果については後に説明する。

また、互いに交差する方向に延在する梁７と梁８とを設ける場合に、本実施形態のように、梁７を支持部材５の第１面５ａから流路１４の途中まで延びた構成とし、梁８を支持部材５の第２面５ｂから流路１４の途中まで延びた構成とすることが好ましい。これは、互いに対向する面からそれぞれの梁が流路１４の途中まで延びる構成とすることで、第１開口２２の開口面積および第２開口２１の開口面積を確保しやすくなり、液体の供給性の低下を抑制することができるためである。

ここで、第１開口２２および第２開口２１の形状について説明する。図５（ａ）示すように、第１開口２２（２２ａ、２２ｂ）は、上述した記録素子基板２の供給口１１と同様に、記録素子列に沿う方向（Ｙ方向）における長さが交差方向（本実施形態ではＹ方向に直交するＸ方向）よりも長くなっている。また、図５（ｂ）に示すように、第２開口２１も、記録素子列に沿う方向（Ｙ方向）における長さが交差方向（Ｘ方向）よりも長くなっている。さらに、梁８によって分割された複数の第２開口２１ａ〜２１ｄについてもＹ方向における長さがＸ方向における長さが長くなっている。

ところで、記録を行った際に発生した気泡１５や吸引回復時に液体供給部材４の側から流れてきた気泡１５が、第１開口２２付近に滞留してしまうと、液体の供給の妨げになる恐れがある。特に、記録素子基板２内の温度分布を小さくするために支持部材５への放熱を促進するために梁７や梁８を設けた場合、流路１４の断面積が小さくなるため、第１開口２２近傍における気泡１５の滞留を抑えることが求められる。

そこで、本実施形態では、以下のような流路１４の幅の寸法としている。ここで、幅とは、図３に示すＸ方向における長さのことをいう。なお、本実施形態では、Ｘ方向は複数の第１開口２２ａ、２２ｂの配設方向である。図３に示すように、ヘッド１の使用状態において上方に位置する第２開口２１の幅Ｅは、１つの第１開口２２ａ（２２ｂ）の幅Ｃよりも大きい。また、第１開口２２ａ（２２ｂ）の幅Ｃよりも流路１４の途中の幅Ｆの方が大きい。ここで、上述したように梁７は第１面５ａから流路１４の途中まで延びた構成であるので、支持部材５に梁７を設けつつ、流路１４の途中の幅Ｆを十分に大きくすることができる。

これにより、気泡１５はヘッドの使用状態における上方、すなわち、第２開口２１の側へ移動し、支持部材５の流路１４よりも体積の大きい液室が設けられた液体供給部材４に移動することができる。

さらに、流路１４のうちの、第１開口２２ａ（または第１開口２２ｂ）から梁７が延びる部分までである流路部１４ａにおいて、第１開口２２ａ（２２ｂ）の幅が最も小さくなるように構成されることが好ましい。すなわち、流路部１４ａの幅が第１開口２２ａ（２２ｂ）の幅と略同じかそれ以上であることが好ましい。

このような構成を有する流路１４内の気泡１５の移動について、以下で説明する。第１開口２２ａ（２２ｂ）はＹ方向における長さよりもＸ方向における長さの方が短い。したがって、第１開口２２近傍に位置する気泡１５の最大の直径を第１開口２２のＸ方向における長さである幅Ｃと同程度と想定することができる。流路部１４ａの第１開口２２近傍で梁７と流路１４の内壁との間隔が略一定（Ｃ）であると、第１開口２２近傍に位置する気泡１５の上側と下側とで表面張力は同等であるが、気泡１５にかかる浮力によって、気泡１５は第２開口２１の側へ向かって移動する。さらに、流路１４のうちの梁７が設けられていない流路部１４ｂの幅は第１開口２２ａにおける幅Ｃよりも大きいため、表面張力は常に上面＜下面となる。したがって、気泡１５が第１開口２２の近傍から第２開口２１へと移動するため、気泡１５の第１開口２２近傍での滞留をより抑制することができる。

なお、支持部材５を形成する際に、例えばＣＩＭ（セラミックインジェクションモールド）で製造する場合などでは、型から成形された部材を取り外しやすいように、数度程度の傾斜をつけて部材を成形することがある。この傾斜があると流路１４（流路部１４ａ）において第１開口２２ａの幅Ｃが最小とならない場合もあるが、この傾斜は気泡１５の上面と下面とにおける表面張力の差が浮力より大きくならない程度であればよい。これにより、浮力によって気泡１５は第２開口２１の側へ移動することができる。また、このような数度程度の傾斜を有している場合も、流路部１４ａの幅は第１開口２２ａ（２２ｂ）の幅と略同じであるとみなすことができる。

また、支持部材５の第２開口２１の幅Ｅは、第１開口２２ａの幅Ｃ、第１開口２２ｂの幅Ｃ、および第１面５ａにおける梁７の幅Ｄの合計よりも小さい（すなわち、Ｅ＜２Ｃ＋Ｄ）。これにより、液体供給部材４と接合される支持部材５側の接着剤６の塗布領域を十分に確保することができる。したがって、支持部材５の、液体供給部材４との接合領域を十分確保でき、隣接する流路１４間での混色等の発生を抑制することができる。なお、接着剤６に限らず、ゴム等のシール部材で液体供給部材４と支持部材５とを接合する場合にも、シール部材を設けるために必要な領域を確保することができる。

なお、上述したように梁７が第２面５ｂの側まで延在せず、第１面５ａから流路１４の途中まで延びた構成であると、梁７を設けつつ、支持部材５の第２開口２１の幅Ｅが大きくならない構成（Ｅ＜２Ｃ＋Ｄ）をとりやすい。

また、流路１４との連通部に段差が生じないように、第２開口２１との連通部における液体供給部材４の流路１６の幅も第２開口の幅Ｅと略同じとなっている。これにより、液体供給部材４の、支持部材５との接合領域を十分に確保することができる。さらに、液体供給部材４の成形に十分な厚みを確保することが可能になる。
（支持部材の放熱効果）
以下、気泡の滞留や接合領域の確保に加えて、液体吐出ヘッド１の温度分布を良好にするための梁８を設ける位置等についての好ましい例について説明する。なお、本発明は上述したような梁７が設けられていればよく、必ずしも梁８を設けることが必須ではない。

図４は、図１や図２に示すＢ−Ｂ線における液体吐出ヘッド１の部分断面図である。図４（ａ）は支持部材５を有する液体吐出ヘッド１を示し、図４（ｂ）〜（ｄ）は支持部材５１〜５３をそれぞれ有する液体吐出ヘッドを示す。図４（ｂ）〜（ｄ）の液体吐吐出ヘッドは、梁８の位置や数が異なる支持部材を有しているが、その他の構成は上述した液体吐出ヘッド１と同様である。

図４（ａ）に示す支持部材５には、１つの流路１４に対して３つの梁８がＹ方向に略等間隔に配置されている。図４（ｂ）に示す支持部材５１には、１つの流路１４に対して７つの梁８がＹ方向に略等間隔に配置されている。図４（ｃ）に示す支持部材５２には、１つの流路１４に対して２つの梁８が第２開口２１のＹ方向における両端の近傍に配置されている。図４（ｄ）に示す支持部材５３には、図４（ｃ）に示した支持部材５２に設けられた２つの梁８に加えてＹ方向における中央部に梁８が配置されている。

図４（ａ）を実施例１、（ｂ）を実施例２、（ｃ）を実施例３、（ｄ）を実施例４、図４（ａ）の支持部材５から梁８を無くし梁７のみが設けられた構成を実施例５として、各支持部材の放熱の効果を検証した。具体的には、駆動周波数１５ＫＨｚとして１列分の吐出口（１２８０個）から一定時間連続吐出を行い、その直後の記録素子基板２の温度を測定してＹ方向における温度分布を調べた。

また、比較例１として特許文献１に記載されたような梁７や梁８を有していない支持部材、比較例２として梁７を有しておらずＹ方向における中央部に位置する２つの梁８を有している支持部材をそれぞれ備えた液体吐出ヘッドを用いて同様に温度分布を調べた。

これらの測定結果を図６（ａ）および（ｂ）に示す。

なお、ヘッドを高速に駆動しつつ高画質の記録を行うためには、吐出後の温度が全体的に低く、また、吐出口列方向における温度のばらつき（温度分布）が小さいことが好ましい。温度が低い方が放熱のための待機時間を短くできるため、より高速な記録が可能となるからである。また、吐出口列方向における中央部と端部とで温度差が小さい方が液体の吐出量が揃いやすいため、より高画質な記録が可能となるからである。

まず、各支持部材を有する液体吐出ヘッドに共通する温度分布の傾向について説明する。

図６（ａ）、（ｂ）に示すように、各支持部材を有する液体吐出ヘッドはいずれも吐出口列方向（Ｙ方向）における両端部において温度が低くなっていた。これは、両端部は放熱部材である支持部材と接触している面積が広いためと考えられる。

また、各支持部材を有する液体吐出ヘッドは、いずれもＹ方向の中央部において温度が低くなっていた。これは以下に記すように、流路１４における速度分布の影響が考えられる。

上記の温度測定にあたっては、記録素子基板２への液体供給の際に、Ｙ方向における中央部の流速が他の部分と比べて速い傾向にある液体吐出ヘッドを用いた。図４（ａ）に示すように、Ｙ方向における両端に位置する流路１４の内壁は、第２開口２１側から第１開口２２側へ向かって流路１４の断面積が大きくなるように傾斜する傾斜部１４ｃを備えている。流路１４がこのような傾斜部１４ｃを有する場合、Ｙ方向の端部では液体と流路の内壁と摩擦によって液体の流れが遅くなり、中央部における流速が相対的に速い速度分布が生じると考えられる。液体の流れる速度が速い中央部では、液体の流れによる冷却の効果が他の部分と比べて大きく、中央部において温度が低くなったものと考えられる。なお、この速度分布は記録を高速化すると大きくなる傾向にある。

そして、各支持部材を有する液体吐出ヘッドのいずれも、温度の低い中央部と端部との間で温度が高くなるという温度分布を示した。

次に、各支持部材を用いた場合のそれぞれの温度分布について比較する。

まず、比較例１の支持部材を有する液体吐出ヘッドは、梁７および梁８が設けられていないため、到達温度が高く、また、Ｙ方向における温度分布が大きく、得られた画像もムラが大きかった。これに対し、実施例５の梁７のみが設けられた支持部材や比較例２の梁８のみが設けられた支持部材を有する液体吐出ヘッドは、梁７または梁８を設けたことによって到達温度が低くなった。さらに、実施例１〜４の梁７および梁８が設けられた支持部材を有する液体吐出ヘッドは、到達温度が一層低くなった。

このように、到達温度を低くするためには、梁７および梁８の一方を支持部材に設けることが好ましく、梁７および梁８の両方を支持部材に設けることがより好ましいことがわかった。

さらに、梁７および梁８が設けられた支持部材を有する液体吐出ヘッドの温度分布を比べると以下のことがわかった。実施例１の支持部材５と実施例２の支持部材５１とを比較すると、実施例２の支持部材５１は、梁８の数が多いため到達温度が低いが、温度分布が大きかった（図６（ａ））。高速化の観点においては梁８の数が多いと有利であるが、高画質化の観点からは温度分布が小さくなった支持部材５の方が好ましい。

また、梁８がＹ方向に略等間隔に配置された支持部材を有する実施例１（や実施例２）と比べ、梁８が第２開口２１の両端縁部の近傍に配置された支持部材５２や支持部材５３を有する実施例３や実施例４の方が、温度分布が小さかった（図６（ｂ））。上述のように流路１４はＹ方向における両端においてその内壁が傾斜する傾斜部１４ｃを備えているため、特に第１開口２１の近傍で液体の流れが遅くなったと考えられる。これに対し、第２開口２１の両端縁部の近傍にそれぞれ配置された梁８は、第１開口２２の両端に近接している。これにより、液体の流れによる冷却効果の低い部分において梁８によって放熱が促進されたため、支持部材５２や５３を有するヘッドの温度分布が小さくなったと考えられる。実施例３と実施例４とを比べると、梁８がＹ方向における中央部に設けられていない支持部材５２を用いた実施例３の方が中央部における温度低下を抑えられており、温度分布が一層小さくなっていた。

このように、Ｙ方向における液体吐出ヘッドの温度分布を小さくするためには、第２開口２１の両端縁部近傍に梁８を設けることが好ましい。特に、流路１４のＹ方向における端部よりも中央部の方が流速の速い速度分布の傾向を示す液体吐出ヘッドにおいて、第２開口２１の両端縁部近傍に梁８を設けることが好ましい。この際、図４（ｄ）に示すように、第２開口２１とこの近傍に位置する梁８（８ａ）との間隔ａを、隣接する梁８（梁８ａと梁８ｂ）同士の間隔ｂよりも小さくすることがより好ましい。また、上述のように気泡の滞留を抑えるためには、間隔ａを流路部１４のうちの最も小さい流路幅である幅Ｃと略同じかそれ以上とすることがより好ましい。

（支持部材の製造）
なお、酸化アルミニウムを用いて支持部材を形成する場合、例えば、酸化アルミニウムの切削や上述したＣＩＭにより支持部材を形成することができるが、ＣＩＭの方が切削よりもコストを低く抑えられる。上述したように温度分布の観点からは支持部材５３よりも支持部材５２の方が好ましいが、ＣＩＭを用いて支持部材を形成する場合、支持部材５３の方が支持部材５２よりも好ましい。

これは、梁７が第１面５ａから第２面５ｂまで延在しておらず第１面５ａから流路１４の途中まで延びた構成であり、梁７の断面積が非常に小さいため、梁７の部分を射出成型で形成することが困難であるためである。ここで、梁８のＹＺ平面に沿う断面積は、梁７のＸＺ平面に沿う断面積よりも大きい。そのため、図５（ａ）に示すようにゲート３０を４か所配置した場合、ゲート３０から供給された材料が、梁８となる部分からＸ方向に流れて梁７となる部分に充填されてＹ方向に材料が流れて梁７が形成される。したがって、成形のしやすさを考慮すると、相対的に断面積の小さい梁７に加えて相対的に断面積の大きい梁８を設ける構成が好ましく、複数の梁８を設けることがより好ましい。ここで、複数の梁８を設ける位置に関しては、図４（ｃ）に示した支持部材５２のように、隣接する梁８同士の間隔が大きく離れて位置していると、梁８から流れた材料が十分に供給されず、Ｙ方向に長い梁７の形成が困難な場合がある。したがって、より成形性を高めるためには、支持部材５（図４（ａ））や支持部材５３（図４（ｄ））のように、梁７に交差する複数の梁８が梁７の長手方向に互いに近接して設けられている構成がより好ましい。

１ 液体吐出ヘッド
２ 記録素子基板
４ 液体供給部材
５ 支持部材
５ａ 第１面
５ｂ 第２面
７ 梁
１４ 流路
２１ 第２開口
２２ 第１開口

Claims (14)

1. 記録を行うための素子を備える記録素子基板と、
   前記記録素子基板に液体を供給するための供給部材と、
   前記記録素子基板を支持する第１面と、前記第１面の反対側の面である、前記供給部材の側の第２面と、を備え、前記第１面に設けられた複数の第１開口と前記第２面に設けられた第２開口とを連通し、前記記録素子基板に液体を供給する流路が形成された支持部材であって、前記記録素子基板に接し、前記複数の第１開口の間に設けられた梁を備えた前記支持部材と、
   を有する液体吐出ヘッドにおいて、
   前記梁は、前記第１開口から前記第２開口に向かう前記流路の途中まで延びており、
   前記複数の第１開口の配設方向において、前記第２開口の長さは、１つの前記第１開口の長さよりも長く、前記複数の第１開口の長さと前記第１面における前記梁の長さとの合計よりも短く、
   前記流路うちの、１つの前記第１開口から前記梁が延びる部分までである流路部の、前記配設方向における長さは、前記配設方向における前記１つの第１開口の長さと略同じまたは当該第１開口の長さよりも長いことを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 記録を行うための素子を備える記録素子基板と、
   前記記録素子基板に液体を供給するための供給部材と、
   前記記録素子基板を支持する第１面と、前記第１面の反対側の面である、前記供給部材の側の第２面と、を備え、前記第１面に設けられた複数の第１開口と前記第２面に設けられた第２開口とを連通し、前記記録素子基板に液体を供給する流路が形成された支持部材であって、前記記録素子基板に接し、前記複数の第１開口の間に設けられた梁を備えた前記支持部材と、
   を有する液体吐出ヘッドにおいて、
   前記梁は、前記第１開口から前記第２開口に向かう前記流路の途中まで延びており、
   前記複数の第１開口の配設方向において、前記第２開口の長さは、１つの前記第１開口の長さよりも長く、前記複数の第１開口の長さと前記第１面における前記梁の長さとの合計よりも短く、
   前記記録素子基板は異なる素子に液体を供給するための複数の供給口を備え、
   前記複数の供給口のそれぞれに前記第１開口が連通することを特徴とする液体吐出ヘッド。
3. 記録を行うための素子を備える記録素子基板と、
   前記記録素子基板に液体を供給するための供給部材と、
   前記記録素子基板を支持する第１面と、前記第１面の反対側の面である、前記供給部材の側の第２面と、を備え、前記第１面に設けられた複数の第１開口と前記第２面に設けられた第２開口とを連通し、前記記録素子基板に液体を供給する流路が形成された支持部材であって、前記記録素子基板に接し、前記複数の第１開口の間に設けられた梁を備えた前記支持部材と、
   を有する液体吐出ヘッドにおいて、
   前記梁は、前記第１開口から前記第２開口に向かう前記流路の途中まで延びており、
   前記複数の第１開口の配設方向において、前記第２開口の長さは、１つの前記第１開口の長さよりも長く、前記複数の第１開口の長さと前記第１面における前記梁の長さとの合計よりも短く、
   前記支持部材は、前記流路を構成する内壁と前記梁の前記流路に面する壁とを前記配設方向に接続する、複数の、前記梁とは別の梁を備えることを特徴とする液体吐出ヘッド。
4. 前記別の梁は、前記第２開口から前記第１開口に向かう前記流路の途中まで延びている、請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記第２開口は前記配設方向よりも前記配設方向に交差する方向における長さが長く、前記複数の別の梁のうちの少なくとも一つは、前記交差する方向における前記第２開口の縁部の近傍に設けられている、請求項３または請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記第２開口の縁部と前記縁部の近傍に設けられた前記別の梁との間隔は、前記配設方向における１つの前記第１開口の長さと略同じまたは当該第１開口の長さよりも長い、請求項５に記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記第２開口の縁部と前記縁部の近傍に設けられた前記別の梁との間隔は、隣接する前記複数の別の梁の間の間隔よりも短い、請求項５または請求項６に記載の液体吐出ヘッド。
8. 隣接する前記複数の別の梁が略等間隔に設けられている、請求項３乃至請求項６のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
9. 前記記録素子基板は、前記複数の第１開口の配設方向に交差して配設された複数の前記素子を備えている、請求項１乃至請求項８のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
10. 前記記録素子基板は異なる素子に液体を供給するための複数の供給口を備え、
    前記複数の供給口のそれぞれに前記第１開口が連通する、請求項１、請求項３乃至請求項８のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
11. 前記供給部材は樹脂材料で形成されている、請求項１乃至請求項１０のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
12. 前記支持部材は酸化アルミニウムで形成されている、請求項１乃至請求項１１のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
13. 請求項１乃至請求項１２のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドを用いて液体を吐出する液体吐出装置。
14. 請求項３乃至請求項８のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法において、
    前記配設方向における前記梁の断面積は、前記配設方向に交差する方向における前記別の梁の断面積よりも小さく、
    前記別の梁となる部分から前記梁となる部分へ材料を供給して前記梁を形成する、液体吐出ヘッドの製造方法。

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