JP6652304B2 - 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置 - Google Patents
液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6652304B2 JP6652304B2 JP2016075041A JP2016075041A JP6652304B2 JP 6652304 B2 JP6652304 B2 JP 6652304B2 JP 2016075041 A JP2016075041 A JP 2016075041A JP 2016075041 A JP2016075041 A JP 2016075041A JP 6652304 B2 JP6652304 B2 JP 6652304B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid
- flow path
- path
- element substrate
- discharge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Ink Jet (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
本発明は、上記課題を解決するためのものであり、圧力室に連通する流路の深さにバラつきが生じた場合であってもその影響を低減することが可能な液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置を提供することを目的とする。
図1は、本発明を適用可能な液体吐出ヘッド1の構成例を示している。
図1(a)の液体吐出ヘッド1は、支持部材53と、支持部材53上に配置された流路部材52と、流路部材52上に配置された1つの記録素子基板10とを備えている。この液体吐出ヘッド1は、シリアルスキャン方式の液体吐出装置に用いられる。
図1(b)の液体吐出ヘッド1は、複数の記録素子基板10を備える長尺のラインヘッドである。複数の記録素子基板10は、千鳥状に配置されている。流路部材52および支持部材53が複数の記録素子基板10に共通に設けられている。この液体吐出ヘッド1は、フルライン方式の液体吐出装置に用いられる。
図1(c)の液体吐出ヘッド1もまた、複数の記録素子基板10を備える長尺のラインヘッドである。複数の記録素子基板10は、千鳥状に配置されている。この液体吐出ヘッド1は、流路部材52が、各記録素子基板10に対して個別に設けられている点で図1(b)に示す液体吐出ヘッド1とは異なる。支持部材53は、複数の記録素子基板10に対して共通に設けられている。この液体吐出ヘッド1もまた、フルライン方式の液体吐出装置に用いられる。
図1(d)の液体吐出ヘッド1は、複数の記録素子基板10を直線上に一列にインライン配置した長尺のラインヘッドである。液体吐出ヘッド1は、複数の記録素子基板10に対して共通に設けられた流路部材52と支持部材53とを備えている。この液体吐出ヘッド1もまた、フルライン方式の液体吐出装置に用いられる。
図1(e)の液体吐出ヘッド1もまた、複数の記録素子基板10を直線上に一列にインライン配置した長尺のラインヘッドである。この液体吐出ヘッド1は、流路部材52が各記録素子基板10に対して個別に設けられている点で、図1(d)に示す液体吐出ヘッド1と異なる。支持部材53は、複数の記録素子基板10に対して共通に設けられている。この液体吐出ヘッド1もまた、フルライン方式の液体吐出装置に用いられる。
図1(b)〜(e)に示す液体吐出ヘッド1は、複数の記録素子基板10を備え、隣接する記録素子基板10は、液体吐出ヘッド1の長手方向において、重なり合うように並設されている。また図1(b)および(c)に示す液体吐出ヘッド1では、隣接する記録素子基板10は、液体吐出ヘッド1の短手方向において部分的に重なり合うように配置されている。
図2は、本発明の液体吐出ヘッド1を適用可能な液体吐出装置の要部構成の一例を示している。
図2(a)の液体吐出装置は、シリアルスキャン方式の液体吐出装置であり、例えば図1(a)に示す液体吐出ヘッド1を用いることができる。この液体吐出装置は、シャーシ40と、媒体給送部41と、媒体搬送部42と、液体吐出ヘッド1とを有する。シャーシ40は、所定の剛性を有する複数の板状金属部材により構成されており、この液体吐出装置の骨格を形成する。媒体給送部41、媒体搬送部42および液体吐出ヘッド1は、シャーシ40に組み付けられている。媒体給送部41は、図示しないシート状の記録媒体を液体吐出装置の内部へと給送する。媒体搬送部42は、媒体給送部41から1枚ずつ送られてくる記録媒体を矢印Aで示される副走査方向に沿って移動させて所望の記録位置へ導く。液体吐出ヘッド1は、矢印Aと交差する主走査方向に往復移動可能であり、記録位置に搬送された記録媒体に液体を吐出する。液体吐出ヘッド1には、図示しない液体タンクから液体が供給される。
図2(b)の液体吐出装置は、複数の液体吐出ヘッド1を備えるフルライン方式の液体吐出装置であり、例えば図1(b)〜(e)に示したような長尺の液体吐出ヘッド1を用いることができる。この液体吐出装置は、シート状の記録媒体を連続的に搬送する媒体搬送部42を備えている。液体吐出ヘッド1は、液体吐出装置の定位置に固定されており、媒体搬送部42によって記録位置まで搬送された記録媒体に液体を吐出する。
図2(a)および(b)に示した液体吐出装置では、圧力室内の液体は圧力室の外部との間で循環されている。例えば、これらの液体吐出装置は、図2(c)に示すように、第1液体タンク44および第2液体タンク45を有する。第1液体タンク44内の液体は、液体吐出ヘッド1の内部に供給され、後述する圧力室を経由して、その一部が吐出口から吐出され、吐出されなかった液体は、第2液体タンク45へと回収される。このような循環流を生じさせることにより、吐出口の付近で液体が滞留して液体中の水分が蒸発し、液体の粘度が上昇することを抑制することができる。循環流を生じさせる手段としては、例えば第1液体タンク44と第2液体タンク45の水頭差を用いる方法や、第1液体タンク44と第2液体タンク45の圧力を制御して生じさせた圧力の差を用いる方法や、ポンプなどを用いる方法が挙げられる。
なお、上記の構成は一例であり、本発明の技術的範囲を限定するものではない。例えば、第2液体タンク45に回収された液体は、再度、第1液体タンク44を経由して液体吐出ヘッド1に供給される循環経路を形成してもよい。あるいは、液体吐出装置は、第2液体タンク45を省略して第1液体タンク44のみを備える構成であってもよい。この場合、第1液体タンク44から液体吐出ヘッド1を経由して再び第1液体タンク44に液体が戻り、さらに液体吐出ヘッド1に液体が供給される循環経路が形成される。
図3は、本発明を適用可能な記録素子基板の構成例を示している。図3(a)は、記録素子基板10の吐出口13が形成される面の平面図である。図3(b)は、図3(a)のA部分拡大図であり、図3(c)は、図3(a)の裏面の平面図である。
図3(a)に示すように、記録素子基板10の吐出口形成部材12には、複数の吐出口13が形成されている。複数の吐出口13は、配列して吐出口列をなす。図3(a)では、4列の吐出口列14a〜14dを形成するように配置されており、吐出口列14a〜14dのそれぞれは、吐出する液体の各色にそれぞれ対応している。この吐出口列14a〜14dが延びる方向を、以下、吐出口列の配方向Xと称する。記録素子基板10の一端には、吐出口の配列方向Xと平行な一辺に沿って端子16が形成されている。この端子16には、液体吐出装置の図示しない制御回路から制御信号が入力される。
図3(b)に示すように、各吐出口13に対応する位置には、吐出口から液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子15が設けられている。エネルギー発生素子15は、例えば、熱エネルギーによって液体を発泡させる発熱素子である。エネルギー発生素子15同士の間には、隔壁22が形成されており、隔壁22によって、エネルギー発生素子15を内部に備える圧力室23が区画されている。各エネルギー発生素子15は、記録素子基板10に設けられる電気配線(不図示)によって、端子16と電気的に接続されている。これにより、端子16に入力される制御信号が各エネルギー発生素子15に供給され、各エネルギー発生素子15は、制御信号に応じて発熱して圧力室23内部の液体を沸騰させる。沸騰により発泡した液体は、吐出口13から吐出される。圧力室23は、少なくとも、エネルギー発生素子15上の吐出口13までの領域のことをいい、液体を吐出する際に液体に実質的に圧力がかかる領域のことをいう。例えば、本実施形態では、エネルギー発生素子15が発熱素子であるため、少なくとも気泡が成長する領域が圧力室である。各吐出口列を挟んで両側には、液体供給路18と液体回収路19とがそれぞれ吐出口列と平行に延びている。液体供給路18および液体回収路19は、記録素子基板10に設けられた液体流路であり、それぞれ供給部17aまたは回収部17bを介して吐出口13と連通している。各液体供給路18は、複数の供給部17aと連通しており、各液体回収路19は、複数の回収部17bと連通している。
図3(c)に示すように、記録素子基板10の吐出口13が形成される面の裏面には、シート状の蓋部材20が積層されている。蓋部材20には、複数の開口21が設けられている。開口21は、液体供給路18および液体回収路19に連通している。本実施形態では、1本の液体供給路18に対して3個の開口が設けられており、1本の液体回収路19に対して2個の開口21が形成されている。蓋部材20は、液体に対して強い耐食性を有していることが好ましく、また、混色を防止するために、蓋部材20には、開口21を所望の形状および位置に高い精度で形成することが求められる。このため、蓋部材20の材質としては、感光性樹脂材料や、シリコン基板を用いることが好ましく、フォトリソグラフィの手法を用いて開口21を設けることが好ましい。このように蓋部材20に開口21を設けることにより、流路のピッチが変換される。圧力損失を考慮すると、蓋部材20の厚みは薄い方が好ましく、フィルム状の部材で構成されることが好ましい。
図5は、2つの記録素子基板10が隣り合う部分の拡大図である。この例では、記録素子基板10は内角が直角でない平行四辺形状であり、この平行四辺形は、吐出口列14a〜14dに平行な一対の辺と、吐出口列14a〜14dに対して斜めの方向に延びる一対の辺とにより形成される。各記録素子基板10に形成された吐出口列14a〜14dは、記録媒体の搬送方向に対して一定角度傾くように配置されている。記録素子基板10同士の隣接部における吐出口列14a〜14dは、少なくとも1つの吐出口13が記録媒体の搬送方向でオーバーラップするように配置されている。この例では、線D上の2つの吐出口13が互いにオーバーラップしている。このように吐出口13を配置することで、仮に記録素子基板10の位置が所定位置からずれた場合であっても、オーバーラップする吐出口13の駆動制御によって、記録画像の黒スジや白抜けを抑制することが可能になる。この構成は、複数の記録素子基板10をいわゆる千鳥配置する場合のみならず、直線上にインライン配置する場合であっても、適用することができる。
図5では、本発明を適用する液体吐出ヘッドの記録素子基板10の配置の一例を示したが、本適用例は本発明の技術的範囲を限定するものではない。例えば、記録素子基板10の主平面の形状は、平行四辺形に限らず、長方形、台形その他の形状の記録素子基板10を用いた場合であっても、本発明の構成を適用することができる。
例えば、上記では、エネルギー発生素子15として発熱素子を用いるサーマル方式の液体吐出装置について説明したが、本発明はかかる例に限定されない。例えば、ピエゾ方式その他の各種液体吐出方式が採用された液体吐出ヘッド1にも本発明を適用することができる。
上記では、液体をタンクと液体吐出ヘッドとの間で循環させる構成を有する液体吐出装置について説明したが、本発明はかかる例に限定されない。例えば、液体を循環させずに、液体吐出ヘッド1の上流側と下流側に2つの液体タンクを設けて、一方のタンクから他方のタンクへ液体を流すことで、圧力室内の液体を流動させる構成であってもよい。さらに、圧力室へ連通する流路は液体供給路のみであり、圧力室の液体を流動させない形態であってもよい。
さらに、図2(a)で説明したシリアルスキャン方式の液体吐出装置では、例えば液体としてブラックインクを吐出する記録素子基板10と、カラーインクを吐出する記録素子基板10とをそれぞれ1つずつ搭載する構成としてもよい。或いは、複数の記録素子基板10を吐出口の配列方向に吐出口13がオーバーラップするように配置した、記録媒体の幅よりも幅の狭い短尺の液体吐出ヘッド1を用いてもよい。
図6は、本発明を適用する記録素子基板10の基板11に流路を形成するための加工方法の一例を示している。図6(a)は、基板11のエネルギー発生素子15が形成された面の裏面に液体供給路18および液体回収路19の溝を形成した状態を示している。液体供給路18および液体回収路19は、例えばボッシュプロセスなどのドライエッチングを用いて形成される。続いて、図6(b)に示すように、液体供給路18に連通する供給部17aおよび液体回収路19に連通する回収部17bをドライエッチングまたはレーザー加工を用いて形成する。続いて、ドライフィルムなどを用いて、基板11のエネルギー発生素子15が形成された面上に吐出口13と、吐出口13に連通する溝とが形成された吐出口形成部材12を接合する。これにより、図6(c)に示すように、吐出口形成部材12に形成された溝と基板11の間の空間が圧力室23の一部を形成する。
このように液体供給路18や液体回収路19をドライエッチングで加工する際には、流路の長手方向の端部において、流路深さが浅くなる場合がある。これは、シリコンのエッチングはラジカルによるエッチングが支配的な系であることに起因する。ラジカルは指向性がなく、あらゆる方向の速度成分を有する。このため、壁際においては、壁側に向かう速度成分を持つラジカルの進入が制限され、エッチャントが不足する。このため、パターン中心部よりもエッチングが進み難くなり、流路深さが浅くなる。つまり、流路の長手方向端部では、三方向を壁に囲まれるため、エッチングが進み難くなり、流路深さが浅くなる。
図6に示した加工方法は一例であり、本発明の範囲を制限するものではない。例えば、上記では液体供給路18および液体回収路19を形成した後に、供給部17aおよび回収部17bを形成することとしたが、これらの形成順序は逆であってもよい。すなわち、供給部17aおよび回収部17bを形成した後に、液体供給路18および液体回収路19を形成してもよい。
図7から図9を用いて、本発明の第1の実施形態について説明する。図7は、本発明の第1の実施形態に係る液体吐出ヘッドの記録素子基板10に形成された流路構成を説明するための図である。図8は、本発明の比較例に係る液体吐出ヘッドの記録素子基板10に形成された流路構成を説明するための図である。図9は、本発明の第1の実施形態および比較例に係る記録素子基板の断面構成について説明するための図である。
図7(a)は、本実施形態に係る記録素子基板10の平面構成を示した透視図である。この記録素子基板10は、平行四辺形状である。記録素子基板10は、複数の吐出口13と、各吐出口13に連通する液体流路である液体供給路18および液体回収路19を有する。この例では複数の吐出口13は、4列に並設されて4つの吐出口列14a〜14dが形成されている。以下、図7(a)に示すように、吐出口13が配列する吐出口列14a〜14dと平行な方向を第1の方向と称し、第1の方向と交差する方向(図の例では直交する方向)を第2の方向と称する。液体供給路18および液体回収路19のそれぞれは、長手方向が第1の方向に向くように配置されている。記録素子基板10の吐出口13が形成された面に投影した場合、第2の方向で、液体供給路18および液体回収路19は、吐出口列を挟んで両側に配置されている。
隣接する2つの液体流路である液体供給路18および液体回収路19のうち一方は、吐出口列よりも第1の方向で長く延びた延伸端部を有しており、他方は、第1の方向の端部(長手方向の端部)において、幅が第2の方向に拡大した拡大端部を有している。なお、ここで延伸端部とは、少なくとも、他方の液体流路よりも吐出口列の端部から突き出した部分が長い端部を意味し、その長さが吐出口列と同程度の域を出た状態を指す。図7(b)は、図7(a)の記録素子基板10の長手方向端部の構成を示す拡大図である。例えばこの図に示す部分では、液体供給路18は、吐出口列よりも第1の方向で長く延びた延伸端部を有しており、液体回収路19は、幅が第2の方向に広がった拡大端部を有している。長手方向の逆側の端部においては、これらの関係は逆となっており、液体回収路19は、延伸端部を有しており、液体供給路18は、拡大端部を有している。なお、流路の幅が拡大しているとは、流路の一部分が他の部分よりも幅が広くなっていることをいう。図7(a)の例では、液体流路の長手方向の一端部以外の流路幅は一定であり、一端部のみ幅が拡大しているが、かかる例には限定されない。
ここで、隣接する液体流路のうち一方の液体流路(延伸端部を有する液体流路であり、図7(b)では液体供給路18)の長手方向端部から吐出口列端部までの距離をaとし、この液体流路の幅をbとし、延伸端部におけるこの液体流路の幅をcとする。そして他方の液体流路(拡大端部を有する液体流路であり、図7(b)では液体回収路19)の長手方向端部から吐出口列の端部までの距離をdとし、この液体流路の幅をeとし、拡大端部におけるこの液体流路の幅をfとする。このとき、これらの寸法の間には、以下の関係式1〜4で示される関係が成り立つ。
a>d (関係式1)
f>e (関係式2)
c≧b (関係式3)
f>c (関係式4)
言い換えると、吐出口列の端から突き出した部分の長さは、隣接する2つの液体流路のうち一方が他方よりも長い。上記他方の液体流路は、長手方向の端部で幅が広がっており、広がった部分の幅は、その他の部分の幅よりも広い。上記一方の液体流路では、流路幅は一定であって長手方向の端部も他の部分と幅が同じであってもよく、或いは、他の部分より幅が広がっていてもよい。隣接する2つの液体流路の幅を比較すると、長手方向端部では、吐出口列から突き出した部分の長さが短い方が長い方よりも幅が広い。
図8(a)は、本発明の第1の比較例の記録素子基板10の平面構成を示している。この例では、液体供給路18および液体回収路19は、いずれも吐出口列と同程度の長さで形成されており、吐出口列の端部から突出しておらず、流路幅も一定である。このような流路形状では、図9(c)に示すように、流路端部において液体供給路18が浅くなり、供給部17aが長くなる。図示していないが、液体回収路19についても同様に浅くなって、回収部17bが長くなる。このため、吐出口列の端部では、吐出口までの流路抵抗が大きくなり、吐出口まで液体を供給する流速が低下し、長手方向端部の吐出口の最大吐出周波数が低下してしまう。
これに対して本実施形態では、吐出口列の各吐出口での流路深さのバラつきと、吐出口列が形成された部分における液体供給路18および液体回収路19の深さのバラつきとを抑制することができる。このため、吐出口列端部の吐出口であっても液体を供給する流速の低下や、吐出口の最大吐出周波数の低下を抑制することが可能になる。すなわち、ドライエッチングを用いて加工した流路の深さバラつきの影響を軽減することができる。その結果、吐出口への液体供給が高速となるため、液体の吐出周波数を上げることが可能になり、この液体吐出ヘッドを記録装置に用いた場合、より高速な画像形成が可能になる。
このような流路形状により、本実施形態では、記録素子基板10同士の間における繋ぎムラを抑制し、吐出口の密度低下を抑制しつつ、吐出口13が形成された部分における液体流路の深さのバラつきを低減することができる。
図8(b)は、本発明の第2の比較例の記録素子基板10の平面構成を示している。この例では、隣接する2つの液体流路が共に吐出口列よりも第1の方向に長く延びている。このため、供給部17aおよび回収部17bが形成された部分では、液体供給路18および液体回収路19の流路深さが浅くなることを抑制することができる。しかしながら、この例では、吐出口列の端部から各液体流路の長手方向端部までの距離は、隣接する2つの液体流路で同程度であるため、図7に示す本実施形態の構成と比較すると、吐出口列の端部から記録素子基板10の端部までの距離gが大きくなってしまう。このため、記録素子基板10同士の間のつなぎ部で吐出口列の位置がずれやすくなる。このずれが大きくなると、搬送誤差等によって液体の記録媒体上における着弾位置がずれたり、気流の影響を受けやすくなるため、つなぎ部でのムラが生じ易くなる。
これに対して本実施形態の構成では、吐出口列の端部から記録素子基板端部までの距離gの増大を抑制しつつ、吐出口13が形成された部分における液体供給路18および液体回収路19の深さのバラつきを低減することが可能である。
図8(c)は、本発明の第3の比較例の平面構成を示している。この例では、液体供給路18および液体回収路19は、共に吐出口列の端部において、第2の方向に広がっている。この場合、吐出口列同士の間の間隔iが大きくなってしまい、吐出口13の密度が低下してしまう。
これに対して本実施形態では、隣接する2つの液体流路のうち一方だけ幅を広げている。この構成により、吐出口列同士の間隔の増大を抑制して吐出口の密度低下を抑制しつつ、吐出口13が形成された部分における液体供給路18および液体回収路19の深さのバラつきを低減することが可能である。
このような効果は、本実施形態のように、平行四辺形の記録素子基板10に形成された複数の吐出口列のそれぞれに対して、吐出口列を挟んで両側に液体供給路18および液体回収路19が設けられた場合に特に効果的である。
以上説明したように、本実施形態では、隣接する2つの液体流路である液体供給路18および液体回収路19のうち、一方を吐出口列よりも第1の方向に長く延ばして形成し、他方の流路幅を第2の方向に広げている。この構成により、吐出口列の端部と記録素子基板10の端部の距離の増大を抑制し、吐出口列同士の間隔の増大を抑制しつつ、吐出口13が形成された部分において、液体供給路18および液体回収路19の流路深さが浅くなることを抑制することができる。つまり、記録素子基板10間のつなぎ部でのムラや吐出口13の密度の低下を抑制しつつ、高速に吐出口13へ液体を供給することができるため、この液体吐出ヘッドを用いた記録装置では、より高速でより高精度な画像形成が可能になる。
本実施形態では、液体流路の端部の幅が広がった部分は、R形状となっている。この構成により、応力が集中しやすい液体流路の端部における応力の集中を低減しつつ、流路深さのバラつきを抑制することができる。したがって、応力による記録素子基板10の割れなどの損傷を抑制することが可能である。
さらに本実施形態によれば、吐出口列内における各圧力室に流れる循環流の流速のバラつきを低減することができる。供給部17aおよび回収部17bの長さにバラつきがあると、それぞれに流抵抗にバラつきが生じる。このため、液体供給路18と液体回収路19に同じ差圧があったとしても、各圧力室23を流れる循環流速にバラつきが生じてしまう。これに対して本実施形態では、供給部17aや回収部17bの長さのバラつきを低減することができるため、循環流速のバラつきも低減することができる。
図10は、本発明の第2の実施形態に係る記録素子基板10の平面構成を説明するための透視図である。この図において、上述した第1の実施形態と同様の部分については、同じ符号を付することにより、説明を省略する。
本実施形態において、記録素子基板10は、圧力室内の液体を循環させる構成を有していない。したがって、複数の液体流路は、いずれも圧力室に液体を供給する液体供給路18であり、各吐出口13には、供給部17aを介して液体供給路18が連通している。これらの液体供給路18は、各吐出口列に沿って形成されている。隣接する2つの液体流路である2つの液体供給路18のうち一方は、第1の方向において吐出口列よりも長く延びており、他方の流路幅は、第1の方向の端部において、第2の方向に広がっている。
このような流路形状により、本実施形態では、第1の実施形態と同様に、吐出口13が形成された部分において、液体供給路18の流路深さのバラつきを低減し、供給部17aの長さのバラつきを低減することができる。したがって、本実施形態では、ドライエッチングを用いて加工した流路の深さバラつきの影響を低減することができ、その結果、この液体吐出ヘッドを用いた記録装置では、より高速な画像形成が可能になる。
このような効果は、4列以上の吐出口列が2列ずつ近接して配置されていて、各吐出口列に異なる液体が供給されている場合に特に有効である。
図11は、本発明の第3の実施形態に係る記録素子基板10の平面構成を説明するための透視図である。この図において、上述した実施形態と同様の部分については、同じ符号を付することにより、説明を省略する。
本実施形態では、記録素子基板10の外形が長方形である。この記録素子基板10は、第1の実施形態と同様に、圧力室内の液体が循環する構成を有しており、液体供給路18および液体回収路19を有する。隣接する2つの液体流路である液体供給路18および液体回収路19のうち、一方は、第1の方向において吐出口列よりも長く延びており、他方の流路幅は、第1の方向の端部において、第2の方向に広がっている。
このような流路形状により、本実施形態では、第1の実施形態と同様に、吐出口13が形成された部分において、液体供給路18および液体回収路19の流路深さのバラつきを低減し、供給部17aおよび回収部17bの長さのバラつきを低減することができる。したがって、本実施形態では、ドライエッチングを用いて加工した流路の深さバラつきの影響を低減することができ、その結果、この液体吐出ヘッドを用いた記録装置では、より高速な画像形成が可能になる。
13 吐出口
15 記録素子
23 圧力室
18 液体供給路
19 液体回収路
Claims (10)
- 吐出口から液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生する複数の素子と、前記素子を内部に備える複数の圧力室と、前記圧力室に連通する複数の液体流路とを有する記録素子基板を備え、
前記複数の液体流路の各液体流路は、複数の前記吐出口が配列して吐出口列をなす第1の方向に沿って形成され、複数の前記液体流路は、前記第1の方向と交わる第2の方向に並設されており、
隣接する2つの前記液体流路のうち一方の液体流路は、前記第1の方向において前記吐出口列よりも長く延びた延伸端部を有し、他方の液体流路は、前記延伸端部と隣接しており前記第2の方向に拡大した拡大端部を有することを特徴とする、液体吐出ヘッド。 - 前記第1の方向の端部において、前記他方の液体流路の幅は前記一方の液体流路の幅よりも広い、請求項1に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記第1の方向において前記延伸端部から前記吐出口列の端部までの距離をa、前記一方の液体流路の流路幅をb、前記延伸端部における流路幅をc、前記第1の方向において前記吐出口列の端部から前記拡大端部までの距離をd、前記他方の液体流路の流路幅をe、前記拡大端部における流路幅をfとしたとき、a>d、f>e、c≧b、f>cの関係が成り立つ、請求項1または2に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記記録素子基板は、前記第1の方向と平行な一対の辺と、前記第1の方向に対して斜めに延びる一対の辺とにより形成される平行四辺形状であり、
前記隣接する2つの液体流路のうち、前記記録素子基板の辺が前記吐出口列に対して遠ざかる側に設けられた液体流路が前記延伸端部を有し、前記記録素子基板の辺が前記吐出口列に対して近づく側に設けられた液体流路が前記拡大端部を有する、請求項1から3のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。 - 複数の前記記録素子基板を備え、
隣接する前記記録素子基板は、液体吐出ヘッドの長手方向において重なり合うように並設されている、請求項1から4のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。 - 前記隣接する記録素子基板は、液体吐出ヘッドの短手方向において部分的に重なり合うように配置されている、請求項5に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記隣接する2つの液体流路は、前記圧力室に液体を供給する液体供給路と、前記圧力室から液体を回収する液体回収路とを含む、請求項1から6のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記圧力室内の液体は当該圧力室の外部との間で循環される、請求項1から7のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記複数の液体流路は、いずれも前記圧力室に液体を供給する液体供給路である、請求項1から6のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
- 請求項1から9のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドを有することを特徴とする液体吐出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016075041A JP6652304B2 (ja) | 2016-04-04 | 2016-04-04 | 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016075041A JP6652304B2 (ja) | 2016-04-04 | 2016-04-04 | 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017185659A JP2017185659A (ja) | 2017-10-12 |
JP6652304B2 true JP6652304B2 (ja) | 2020-02-19 |
Family
ID=60043796
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016075041A Active JP6652304B2 (ja) | 2016-04-04 | 2016-04-04 | 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6652304B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7188068B2 (ja) * | 2018-03-02 | 2022-12-13 | 株式会社リコー | 液体吐出ヘッド、ヘッドモジュール、液体カートリッジ、液体吐出ユニットおよび液体吐出装置 |
WO2019188425A1 (ja) * | 2018-03-29 | 2019-10-03 | 京セラ株式会社 | 液体吐出ヘッド、およびそれを用いた記録装置 |
JP7195792B2 (ja) * | 2018-07-05 | 2022-12-26 | キヤノン株式会社 | 基板の加工方法、並びに、液体吐出ヘッド用基板およびその製造方法 |
JP7190278B2 (ja) * | 2018-08-07 | 2022-12-15 | キヤノン株式会社 | 液体吐出装置およびその制御方法 |
JP7344704B2 (ja) * | 2018-08-07 | 2023-09-14 | キヤノン株式会社 | 記録装置及びそのノズル吐出状態の判定方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7560039B2 (en) * | 2004-09-10 | 2009-07-14 | Lexmark International, Inc. | Methods of deep reactive ion etching |
JP2008126420A (ja) * | 2006-11-16 | 2008-06-05 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッドおよびその作製方法 |
JP5814654B2 (ja) * | 2010-07-27 | 2015-11-17 | キヤノン株式会社 | シリコン基板の加工方法及び液体吐出ヘッドの製造方法 |
JP5762104B2 (ja) * | 2011-04-15 | 2015-08-12 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッド基板、インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置 |
JP5932342B2 (ja) * | 2012-01-13 | 2016-06-08 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッドの製造方法 |
-
2016
- 2016-04-04 JP JP2016075041A patent/JP6652304B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017185659A (ja) | 2017-10-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6652304B2 (ja) | 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置 | |
US10556429B2 (en) | Print element substrate and liquid ejection head | |
JP7019318B2 (ja) | 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置 | |
JP5100243B2 (ja) | 液体吐出ヘッド | |
JP6808347B2 (ja) | 液体吐出ヘッド及び液体吐出装置 | |
JP5787603B2 (ja) | インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置 | |
JP2019089234A (ja) | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置 | |
JP2015223829A (ja) | 液体吐出ヘッド | |
JP2017144571A (ja) | 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置 | |
JP7314031B2 (ja) | ヘッドチップ、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置 | |
JP5863336B2 (ja) | インクジェット記録ヘッドおよびインク吐出方法 | |
JP2018149716A (ja) | 液体を吐出する液体吐出ヘッド、液体吐出装置、および液体吐出ヘッドの製造方法 | |
JP5095011B2 (ja) | 液体吐出ヘッド用基板及び液体吐出ヘッド | |
US10723127B2 (en) | Liquid ejection head and recording apparatus | |
JP6272007B2 (ja) | 液体吐出ヘッド | |
JP5451910B2 (ja) | 液体吐出ヘッド | |
US20190111679A1 (en) | Ink jet head and ink jet recording apparatus | |
JP5183819B2 (ja) | 液体吐出ヘッド | |
JP7286403B2 (ja) | 液体吐出ヘッド、液体吐出装置、及び記録装置 | |
JP2017209812A (ja) | 液体吐出ヘッド | |
US11465416B2 (en) | Inkjet head and inkjet recording device | |
JP5183820B2 (ja) | 液体吐出ヘッド | |
JP2020168741A (ja) | 液体吐出ヘッド、及びそれを備えた液体吐出装置 | |
JP2017149019A (ja) | 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置 | |
JP2020168740A (ja) | 液体吐出ヘッド、及びそれを備えた液体吐出装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190227 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20191224 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20191225 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200121 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6652304 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |