JP6919712B2 - 相変化冷却装置および制御方法 - Google Patents

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Description

本発明は、相変化冷却装置および制御方法に関し、特に、冷媒の気化と凝縮のサイクルによって熱の輸送・放熱を行う相変化冷却装置および制御方法に関する。
近年のクラウドサービスの発展とともに、必要とされる情報処理量が増大し続けている。膨大なデータを処理するため、サーバやネットワーク機器を一箇所に集約し、エネルギー効率を高めたデータセンターが各地で運用されている。しかし、データセンター内の情報処理量の増加とともに、データセンターの電力消費量も増加している。
データセンターには、中央演算処理装置(CPU: Central Processing Unit)や集積回路(LSI: Large Scale Integration)などの電子機器が収容されている。これらの電子機器は発熱を伴うので、データセンター内を適切な温度に保つために空調機が使用されているが、情報処理量の増加とともに、このような空調機にも膨大な電力が必要となっている。
したがって、データセンターの運用コストを低減するために、空調機用の電力を削減することが急務となっている。空調機用の電力を削減する試みの一つとして、電子機器を収容する筐体であるラックから排出される熱を、空調機を介さずに直接屋外へ輸送し外気へ放熱する方法が開発されている。このような方法を用いることにより、データセンターの空調電力を削減することが可能である。
電子機器を収容するラックから排気される熱を屋外に輸送する方法としては、外部から供給される冷水をポンプによって循環させる方法の他に、冷媒の相変化現象を利用する方法が知られている。この方法においては、冷媒が液相から気相へ相変化する際に生じる蒸発現象と、冷媒が気相から液相へ相変化する際に生じる凝縮現象が絶えず起こることによって冷媒が循環している。この相変化現象を用いる方法は、冷媒の潜熱を利用するので熱輸送量が大きいという特徴がある。そのため、データセンターの空調機用の電力を削減する手段として期待されている。
このような冷媒の相変化現象による冷媒循環サイクルを用いた相変化冷却装置の一例が特許文献1に記載されている。
特許文献1の冷却システムは、サーバの近傍に蒸発器を設けている。蒸発器の内部には冷却コイルが設けられ、冷却コイル内を流れる冷媒液体がサーバから発生する熱風で蒸発することにより周囲から気化熱を奪いガス化する。蒸発器には、サーバから排出された熱風が蒸発器で冷却された後の風の温度を測定する温度センサが設けられている。冷却コイルの入口には、冷却コイルに供給する冷媒の供給流量を調整するための膨張弁が設けられている。そして、温度センサによる測定温度に基づいて膨張弁の開度が自動調整される。
また、蒸発器には戻し配管および供給配管が接続され、戻し配管および供給配管には開閉弁を介して冷却塔と熱交換器が設けられている。そして、外気の温湿度に基づいて、冷媒の流れを冷却塔と熱交換器とで切り替える構成としている。
特開2009−193245号公報
特許文献1の冷却システムは、放熱のために冷却塔と熱交換器を共に備える構成とすると、設備投資費(CAPEX: Capital Expenditure)が増大してしまうので、実際の採用は限られるという課題が生じる。
本発明の目的は、熱交換性能に応じて、安定した高効率の冷却性能を得ることができる、相変化冷却装置および制御方法を提供することにある。
前記目的を達成するため、本発明に係る相変化冷却装置は、冷媒を収容し、冷却対象である発熱体からの熱を受ける受熱器と、上記受熱器で受熱し気化した上記冷媒の冷媒蒸気の熱を放熱し、液化した冷媒液を上記受熱器に還流させる放熱器と、上記冷媒液の流量を制御するバルブと、上記バルブの開度を制御する制御手段と、を含み、
上記制御手段は、上記受熱器から排気された後の温度である排気温度と上記放熱器の近傍の温度とを参照して、上記バルブの開度を制御することを特徴とする。
本発明に係る相変化冷却装置の制御方法は、冷媒を収容し、冷却対象である発熱体からの熱を受ける受熱器と、上記受熱器で受熱し気化した上記冷媒の冷媒蒸気の熱を放熱し、液化した冷媒液を上記受熱器に還流させる放熱器と、上記冷媒液の流量を制御するバルブと、を含む相変化冷却装置の制御方法であって、
受熱器から排気された後の温度である排気温度と上記放熱器の近傍の温度とを参照して、上記バルブの開度を制御することを特徴とする。
本発明によれば、熱交換性能に応じて、安定した高効率の冷却性能を実現することができる。
本発明の上位概念による実施形態の相変化冷却装置の構成図である。 第1実施形態による相変化冷却装置の構成図である。 図2の制御部800の構成図である。 第1実施形態のバルブ開度決定のフローチャートである。 図4のステップS120のより詳細なフローを説明するためのフローチャートである。 データテーブルの構成図であり、初期テーブルおよびデータ作成後のテーブルの一例を示す。 データテーブルの構成図であり、初期テーブルおよびデータ作成後のテーブルの一例を示す。 第2実施形態による相変化冷却装置の構成図である。 第3実施形態による相変化冷却装置の構成図である。 第4実施形態による相変化冷却装置の構成図である。 第5実施形態による相変化冷却装置の構成図である。
本発明の好ましい実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。
具体的な好ましい実施形態について説明する前に、本発明の上位概念による実施形態の相変化冷却装置および制御方法について、説明する。図1は、本発明の上位概念による実施形態の相変化冷却装置の構成図である。
図1の相変化冷却装置は、冷媒を収容し、冷却対象である発熱体からの熱を受ける受熱器11と、受熱器11で受熱し気化した上記冷媒の冷媒蒸気の熱を放熱し、液化した冷媒液を受熱器11に還流させる放熱器12と、上記冷媒液の流量を制御するバルブ13と、上記バルブ13の開度を制御する制御手段14と、を含む。さらに図1の相変化冷却装置では、制御手段14は、上記受熱器11から排気された後の温度である排気温度と上記放熱器12の近傍の温度とを参照して、上記バルブ13の開度を制御する。
図1の放熱器12による放熱能力は、放熱器12が設置されている環境の温度によって変化する。よって図1の相変化冷却装置の冷却性能は、放熱器12が設置されている環境の温度ごとに異なる。図1の相変化冷却装置では、制御手段14が、受熱器11から排気された後の温度である排気温度と上記放熱器12の近傍の温度とを参照して、バルブ13の開度を制御する。これにより、放熱器12が設置されている環境の温度ごとにバルブ13の開度を最適に制御し、受熱器11に最適な流量の冷媒液を供給することが可能となり、安定した高効率の冷却性能を実現することができる。以下、より具体的な実施形態について説明する。
〔第1実施形態〕
初めに、本発明の第1実施形態による相変化冷却装置および制御方法について、説明する。
(構成)
図2は、本発明の第1実施形態による相変化冷却装置1000Aの構成図である。図3は、図2の制御部800の構成図である。図4は、第1実施形態のバルブ開度決定のフローチャートである。図5は、図4のステップS120のより詳細なフローを説明するためのフローチャートである。図6Aおよび図6Bは、データテーブルの構成図である。
図2の相変化冷却装置1000Aは、冷媒の気化と凝縮のサイクルによって、局所冷却器200の受熱器210と室外機500との間で熱の輸送・放熱を行う。図2の相変化冷却装置1000Aでは、筐体900内に、ラック100などに搭載された電子機器の排気熱を受けて、内部の冷媒が沸騰する複数の受熱器210と、冷媒を循環させるためのポンプ710が配置されている。また、筐体900外に、熱を受けて気化した気相冷媒を冷却する室外機500が配置されている。室外機500は、熱交換器520と、空気を熱交換器520に送るファン510と、を含む。蒸気管410は、受熱器210と室外機500を接続し、第1の液管420は室外機500の熱交換器520とポンプ710を接続し、第2の液管440は、ポンプ710と受熱器210を接続している。それぞれの管の内部には冷媒が通るようになっている。第2の液管440には、バルブ220が接続されている。
さらに本実施形態では、受熱器排気温度センサ320が受熱器210を挟んでラック100と反対側に配置されている。受熱器排気温度センサ320は、受熱器210を通った後の温度である受熱器排気温度Tr_oの情報を得る。さらに、室外機500の周辺に外気温度センサ530が配置されている。外気温度センサ530は、室外機500の周辺の外気温度Toの情報を得る。
制御部800は、バルブ220の開度を制御する。本実施形態では、制御部800は受熱器210を通った後の温度である受熱器排気温度Tr_oの情報と、外気温度Toの情報を用いて、バルブ220の開度をPID制御(Proportional-Integral-Differential Control)に基づいて変更する。PID制御では、検出温度(受熱器排気温度)を目標温度に近づけようとする制御をする。
図2の制御部800のより詳細な構成について、図3を参照して説明する。制御部800は、温度取得部811、中央制御部812、および記憶部としてのデータテーブル813を含む判断部と、バルブ制御を行うバルブ制御部821を備える出力部から構成される。温度取得部811は、受熱器排気温度センサ320、外気温度センサ530からデータを取得する。バルブ制御部821は、バルブ220の開度を制御する。
データテーブル813の一例を、図6Aおよび図6Bを参照して説明する。
図6Aの初期テーブルは、外気温度Toとバルブ開度OR,memとの対応を示すテーブルと、保持される受熱器排気温度Tr_o,memと、保持される目標温度Tsp,memのデータを保持している。図6Aでは、外気温度Toとバルブ開度OR,memとの対応を示すテーブルの一例として、外気温度Toを5℃毎にバルブ開度OR,memとを対応付けている場合を示している。図6Aのデータ作成後のテーブルでは外気温度Toが0℃以下のときはバルブ開度OR,memは80%、外気温度Toが0℃を超えて5℃以下のときはバルブ開度OR,memは75%とし、外気温度Toが25℃を超えているときはバルブ開度OR,memは0%とする。
一例として、図6Aのデータ作成後のテーブルでは、保持される受熱器排気温度Tr_o,memを29℃、保持される目標温度Tsp,memを28℃としている。この場合、受熱器排気温度Tr_oが29℃であるのに対して、目標温度Tspを28℃として、受熱器排気温度Tr_oが28℃となるように、バルブ開度ORを制御する。
外気温度と受熱器排気温度との差が大きいほど相変化冷却装置の冷却能力が大きく、外気温度と受熱器排気温度との差が小さいほど相変化冷却装置の冷却能力は小さい。本発明の実施形態では、外気温度Toとバルブ開度OR_memとの対応を示すテーブルを用意しておき、外気温度Toが低く冷却能力が大きくなるほどバルブ開度ORを大きく、外気温度Toが高く冷却能力が小さくなるほどバルブ開度ORを小さくなるよう、バルブ開度ORを制御する。
図6Bにデータテーブル813の他の一例を示す。図6Bの初期テーブルは、外気温度Toとバルブ開度OR,memおよび保持される受熱器排気温度Tr_o,memとの対応を示すテーブルと、保持される目標温度Tsp,memを保持している。外気温度Toとバルブ開度OR_memおよび受熱器排気温度Tr_o,memとの対応を示すテーブルの一例として、外気温度Toを5℃毎にバルブ開度OR_memおよび受熱器排気温度Tr_o,memとを対応付けている場合を示している。図6Bのデータ作成後のテーブルでは外気温度Toが0℃以下のときはバルブ開度OR_memは80%で受熱器排気温度Tr_o,memは27℃、外気温度Toが0℃を超えて5℃以下のときはバルブ開度OR_memは75%で受熱器排気温度Tr_o,memは27.5℃とし、外気温度Toが25℃を超えているときはバルブ開度OR_memは0%で受熱器排気温度Tr_o,memは35℃とする。一例として、図6Bのデータ作成後のテーブルでは、保持される目標温度Tsp,memを28℃としている。
(動作)
以下、動作を説明する。
図4は、バルブ220の開度を受熱器排気温度センサ320、外気温度センサ530の情報に基づいて自動で変更するアルゴリズムである。図4では、制御の部分にPID制御を使っているが、制御の方法はこれによらない。
まず、S104で外気温度Toを取得した後、データテーブル813に、外気温度Toごとのバルブ開度OR,memのデータがあるか(初期値である0以外のデータがあるか)を判断する(S105)。言い換えると、S105では外気温度Toごとに、初期値である0以外のバルブ開度OR,memのデータがデータテーブル813に存在しているか否かを判断する。図6Bの初期テーブルは、外気温度Toごとの、バルブ開度OR,memのデータがない場合に対応している。外気温度Toごとの、バルブ開度OR,memのデータがない場合(S105のNO)、図6Bのデータ作成後のテーブルのようなデータテーブル813に書き込まれている受熱器排気温度データTr_o,memを取得し、バルブ開度をテーブルに書き込まれている指定のバルブ開度OR,memに変更する(S106)。一定時間待機して(S107)時間経過後、S104に戻り外気温度Toを取得する。
外気温度Toごとの、受熱器排気温度データTr_o,memがある場合(S105のYES)、受熱器排気温度Tr_oの目標温度Tspを目標温度初期値Tsp,iniとし、時間Timeを0とし、受熱器排気温度データTr_o,memを受熱器排気温度初期値Tr_o,iniとする(S108)。その後、ステップS111に移行する。ここで、目標温度初期値Tsp,iniは高めに設定する。つまり、相変化冷却装置1000Aで外気温度To、電子機器の発熱量に関わらず達成できる値とする。相変化冷却装置1000Aは、外気温度To、電子機器の発熱量によって、冷却性能が異なってくる。つまり、受熱器排気温度Tr_oの達成できる下限値が変化するからである。
ステップS120では、受熱器排気温度Tr_oと、データテーブル813に保存されている受熱器排気温度データTr_o,memとの差の絶対値が、閾値Tr_o,thより大きいかを判断する(S122)。S122でYESと判断された場合、受熱器210の冷却性能(受熱器排気温度Tr_o)が変化したと判断されるので、データテーブル813を更新するためS123に移行する。ここでの受熱器210の冷却性能の変化とは、例えば、ラック100の発熱量が増大したりしてバルブ開度が適切でなくなった場合等が考えられる。一方、S122でNOの場合には、以前と性能が変化していないと判断されるので、データテーブル813を更新する必要がないため、ステップS104に戻る。
ステップS111では、バルブ開度を固定するか判断する。バルブ開度の固定をするか判断する理由は、例えばバルブ220に機械式バルブを用いた場合には、バルブ開閉回数の制限があり、バルブ開度を変更し続けると故障するリスクが非常に高くなるので、開度を固定できればリスクを低減できるからである。バルブ開度を固定すると判断した場合(S111、YES)、一定時間待機する(S113)。一方、バルブ開度を固定しないと判断した場合(S111、NO)、バルブ開度を変更し(S112)、ステップS113に移行する。
ここで、バルブ固定の判断は、ある一定時間さかのぼった受熱器排気温度の値の偏差が小さいことや、目標温度に近づいている等から判断する。バルブ開度の変更に関しては、受熱器排気温度と目標温度の差eが小さくなるようにバルブの開度を変える。具体的には、PID制御等を使い、開度を変える。
ステップS113で一定時間待機した後、時間Timeがある一定時間であるTimePIDより大きいか判断する(S114)。TimePIDは、相変化冷却装置1000Aの制御が収束するまでの典型的な時間である。TimeがTimePIDより大きいと判断された場合(S114、YES)、ステップS120に行く。TimeがTimePIDより小さいと判断された場合(S114、NO)、制御が収束していないと考えられ、ステップS111に戻る。ステップS120では、目標温度Tspを変更するか判断する。目標温度Tspの変更の具体的なフローは、図5に記載されている。
図5に記載しているように、ステップS121では、受熱器排気温度Tr_oを取得する。次に、受熱器排気温度Tr_oとデータテーブル813に保存されている受熱器排気温度Tr_o,memとの差の絶対値が、閾値Tr_o,thより大きいかを判断する(S122)。S122でYESと判断された場合、性能が上昇するので、目標温度Tsp,受熱器排気温度Tr_o,バルブ開度ORをデータテーブルに保存する(S123)。次に、新しい目標温度TspをステップS124の式に従って計算し、またTime=0として、S111に戻り再度制御する。S122でNOと判断された場合、現条件(現在の外気温度Toと電子機器の発熱)で性能が収束したと判断しステップS104に戻る。
(効果)
図2の熱交換器520による放熱能力は、熱交換器520が設置されている外気温度によって変化する。よって図2の相変化冷却装置1000Aの冷却性能は、熱交換器520が設置されている環境の温度ごとに異なる。図2の相変化冷却装置1000Aでは、制御部800が、受熱器210から排気された後の温度である排気温度と上記熱交換器520の近傍の温度とを参照して、バルブ220の開度を制御する。これにより、熱交換器520が設置されている環境の温度ごとにバルブ220の開度を最適に制御し、受熱器210に最適な流量の冷媒液を供給することが可能となり、安定した高効率の冷却性能を実現することができる。
〔第2実施形態〕
次に、本発明の第2実施形態による相変化冷却装置および制御方法について、説明する。図7は、第2実施形態による相変化冷却装置の構成図である。第1実施形態の相変化冷却装置1000Aと同様な構成については同じ参照番号を付して、その詳細な説明を省略することとする。
図7の相変化冷却装置1000Bは、冷媒の気化と凝縮のサイクルによって、局所冷却器200の受熱器210と室外機500との間で熱の輸送・放熱を行う。図7の相変化冷却装置1000Bは、第1実施形態の相変化冷却装置1000Aと同様な構成に、ラック吸気温度センサ300とラック排気温度センサ310とが加えられている。ラック吸気温度センサ300は、ラック100を挟んで受熱器210と反対側に配置されており、ラック吸気温度Taの情報を得る。ラック排気温度センサ310は、ラック100と受熱器210との間に配置されており、ラック排気温度Tr_iの情報を得る。
制御部800Bは、バルブ220の開度を制御する。本実施形態の制御部800Bは、受熱器210を通った後の温度である受熱器排気温度Tr_oの情報、外気温度Toの情報、ラック吸気温度Taの情報、およびラック排気温度Tr_iの情報を用いて、バルブ220の開度をPID制御に基づいて変更する。
具体的には、η=(Tr_i−Tr_o)/(Tr_i−Ta)*100で計算される性能ηを定義する。そして、ラック吸気温度Taとラック排気温度Tr_iが変化するような環境でも、ラック吸気温度Ta、ラック排気温度Tr_i、受熱器排気温度Tr_o、外気温度Toから、バルブ220の開度をPID制御に基づいて変更する。
本実施形態によれば、第1実施形態と同様に、熱交換器520が設置されている環境の温度ごとにバルブ220の開度を最適に制御し、受熱器210に最適な流量の冷媒液を供給することが可能となり、安定した高効率の冷却性能を実現することができる。さらに、本実施形態では、ラック吸気温度Taの情報、およびラック排気温度Tr_iの情報をも用いてバルブ220の開度を制御するので、第1実施形態と比べて、より精密な制御が実現できる。
〔第3実施形態〕
次に、本発明の第3実施形態による相変化冷却装置および制御方法について、説明する。図8は、第3実施形態による相変化冷却装置の構成図である。第2実施形態の相変化冷却装置1000Bと同様な構成については同じ参照番号を付して、その詳細な説明を省略することとする。
図8の相変化冷却装置1000Cは、冷媒の気化と凝縮のサイクルによって、局所冷却器200の受熱器210と室外機500との間で熱の輸送・放熱を行う。図8の相変化冷却装置1000Cは、第2実施形態の相変化冷却装置1000Bと同様な構成に、リザーブタンク610が加えられている。リザーブタンク610は、室外機500の熱交換器520とポンプ710とを接続する第1の液管420の途中に配置されている。
本実施形態の相変化冷却装置1000Cでは、第2実施形態の相変化冷却装置1000Bと同様により精密な制御が実現できる。
さらに本実施形態によれば、追加されたリザーブタンク610のバッファー機能により、ポンプ710の能力と、配管構成等から系内に充填する冷媒量を正確に決めなくてもよくなる。また、バルブ開度等が変化して冷媒流量が変化した場合にも容易に対応可能となる。
〔第4実施形態〕
次に、本発明の第4実施形態による相変化冷却装置および制御方法について、説明する。図9は、第4実施形態による相変化冷却装置の構成図である。第2実施形態の相変化冷却装置1000Bと同様な構成については同じ参照番号を付して、その詳細な説明を省略することとする。
図9の相変化冷却装置1000Dは、冷媒の気化と凝縮のサイクルによって、局所冷却器200の受熱器210と室外機500との間で熱の輸送・放熱を行う。図9の相変化冷却装置1000Dは、第2実施形態の相変化冷却装置1000Bの蒸気管410の代わりに、蒸気管410A、蒸気管410Bを含む。さらに蒸気管410Aと蒸気管410Bとの接続点と、第1の液管420とを繋ぐバイパス管450を含む。バイパス管450には、受熱器210内で蒸発されずに蒸気管410A内に押し出された液相冷媒が第1の液管420へと流れる。
本実施形態の相変化冷却装置1000Dでは、第2実施形態の相変化冷却装置1000Bと同様により精密な制御が実現できる。
さらに本実施形態では、受熱器210内で蒸発されずに蒸気管410A内に押し出された液相冷媒を、第1の液管420へバイパス管450経由で戻すことができ、室外機500までの蒸気管410Bでの圧損を減らすことができる。
〔第5実施形態〕
次に、本発明の第5実施形態による相変化冷却装置および制御方法について、説明する。図10は、第5実施形態による相変化冷却装置の構成図である。第2実施形態の相変化冷却装置1000Bと同様な構成については同じ参照番号を付して、その詳細な説明を省略することとする。
図10の相変化冷却装置1000Eは、冷媒の気化と凝縮のサイクルによって、局所冷却器200の受熱器210と室外機500との間で熱の輸送・放熱を行う。図10の相変化冷却装置1000Eは、第2実施形態の相変化冷却装置1000Bと同様な構成に、第3実施形態と同様なリザーブタンク610が加えられている。リザーブタンク610は、室外機500の熱交換器520とポンプ710とを接続する液管の途中に配置されている。言い換えると、液管420Aは室外機500の熱交換器520とリザーブタンク610とを接続し、第3の液管430はリザーブタンク610とポンプ710とを接続している。さらに図10の相変化冷却装置1000Eでは、第2実施形態の相変化冷却装置1000Bの蒸気管410の代わりに、蒸気管410A、蒸気管410Bを含む。さらに蒸気管410Aと蒸気管410Bとの接続点と、リザーブタンク610とを繋ぐバイパス管450Bを含む。バイパス管450Bには、受熱器210内で蒸発されずに蒸気管410A内に押し出された液相冷媒がリザーブタンク610へと流れる。
本実施形態の相変化冷却装置1000Eでは、第2実施形態の相変化冷却装置1000Bと同様により精密な制御が実現できる。
さらに第3実施形態と同様に、追加されたリザーブタンク610のバッファー機能により、ポンプ710の能力と、配管構成等から系内に充填する冷媒量を正確に決めなくてもよくなる。また、バルブ開度等が変化して冷媒流量が変化した場合にも容易に対応可能となる。
さらに本実施形態では、受熱器210内で蒸発されずに蒸気管410A内に押し出された液相冷媒を、リザーブタンク610へバイパス管450B経由で戻すことができ、室外機500までの蒸気管410Bでの圧損を減らすことができる。
以上、本発明の好ましい実施形態を説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。請求の範囲に記載した発明の範囲内で、種々の変形が可能であり、それらも本発明の範囲に含まれることはいうまでもない。
この出願は、2017年9月29日に出願された日本出願特願2017−189337号を基礎とする優先権を主張し、その開示の全てをここに取り込む。
100 ラック
200 局所冷却器
210 受熱器
220 バルブ
300 ラック吸気温度センサ
310 ラック排気温度センサ
320 受熱器排気温度センサ
410 蒸気管
420 第1の液管
430 第3の液管
440 第2の液管
500 室外機
510 ファン
520 熱交換器
530 外気温度センサ
610 リザーブタンク
710 ポンプ
800 制御部

Claims (7)

  1. 冷媒を収容し、冷却対象である発熱体からの熱を受ける受熱器と、
    前記受熱器で受熱し気化した前記冷媒の冷媒蒸気の熱を放熱し、液化した冷媒液を前記受熱器に還流させる放熱器と、
    前記冷媒液の流量を制御するバルブと、
    前記バルブの開度を制御する制御手段と、を含み、
    前記制御手段は、記放熱器の近傍の温度参照し記受熱器から排気された後の温度である排気温度の目標温度を更新すると共に、前記排気温度と前記放熱器の近傍の温度とを参照して、前記排気温度を前記排気温度の目標温度に近づけるように前記バルブの開度を制御する
    相変化冷却装置。
  2. 請求項1に記載の相変化冷却装置において、
    前記制御手段は、前記発熱体を通過する送風の温度であって、前記発熱体への流入側温度と、前記発熱体からの流出側温度とをさらに参照して、前記バルブの開度を制御する
    相変化冷却装置。
  3. 請求項1又は請求項2に記載の相変化冷却装置において、
    前記制御手段は、前記放熱器の近傍の温度を参照することにより、前記受熱器の前記排気温度の前記目標温度を所定時間毎に更新しながら、前記バルブの開度を制御する
    相変化冷却装置。
  4. 請求項3に記載の相変化冷却装置において、
    前記制御手段は、前記受熱器の前記排気温度を前記目標温度に近づけるように、前記バルブの開度をPID制御する
    相変化冷却装置。
  5. 請求項4に記載の相変化冷却装置において、
    前記制御手段は、前記受熱器の前記排気温度と前記目標温度との差がしきい値以下となるように、前記バルブの開度大きくする
    相変化冷却装置。
  6. 請求項4に記載の相変化冷却装置において、
    前記制御手段は、前記受熱器の前記排気温度と前記目標温度との差がしきい値以下となるように、前記バルブの開度小さくする
    相変化冷却装置。
  7. 冷媒を収容し、冷却対象である発熱体からの熱を受ける受熱器と、前記受熱器で受熱し気化した前記冷媒の冷媒蒸気の熱を放熱し、液化した冷媒液を前記受熱器に還流させる放熱器と、前記冷媒液の流量を制御するバルブと、を含む相変化冷却装置の制御方法であって、
    記放熱器の近傍の温度参照し記受熱器から排気された後の温度である排気温度の目標温度を更新すると共に、前記排気温度と前記放熱器の近傍の温度とを参照して、前記排気温度を前記排気温度の目標温度に近づけるように前記バルブの開度を制御する
    相変化冷却装置の制御方法。
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