JP6909487B2 - 携帯型情報端末、ビーム照射システム、及びプログラム - Google Patents

携帯型情報端末、ビーム照射システム、及びプログラム Download PDF

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Description

この発明は、携帯型情報端末、ビーム照射システム、及びプログラムに関する。
試料に荷電粒子ビームを照射して試料に対する処理を行う荷電粒子ビーム照射装置に関する技術の研究や開発が行われている。
これに関し、タッチパネルを備えた制御装置により制御される荷電粒子ビーム照射装置が知られている（特許文献１参照）。
特開２０１２−１５９６９９号公報
ここで、従来の荷電粒子ビーム照射装置では、荷電粒子ビーム照射装置において操作可能な複数の操作項目が、荷電粒子ビーム照射装置が備えるオペレーションパネル又は制御装置のいずれかによって操作される。オペレーションパネルは、当該複数の操作項目のそれぞれを操作するダイヤル、ボタン等のハードウェアが設けられたパネルのことである。しかし、オペレーションパネルは、制御装置から取り外して移動させることができない。また、制御装置は、荷電粒子ビーム照射装置と一体に構成されている場合が多い。また、制御装置は、荷電粒子ビーム照射装置と別体に構成されている場合であっても、移動させることによる故障等により荷電粒子ビーム照射装置の制御が行えなくなってしまう可能性がある。このため、制御装置は、当該場合であっても安易に移動させることができない場合があった。その結果、当該荷電粒子ビーム照射装置では、ユーザーは、所望の位置において当該複数の操作項目それぞれの操作を行うことが困難な場合があった。
そこで本発明は、上記従来技術の問題に鑑みてなされたものであり、所望の位置において第１操作項目の操作を行うことができる携帯型情報端末、ビーム照射システム、及びプログラムを提供する。
本発明の一態様は、試料に荷電粒子ビームを照射して前記試料に対する処理を行う荷電粒子ビーム照射装置と別体の携帯型情報端末であって、前記荷電粒子ビーム照射装置において操作可能な複数の操作項目のうちの一部の操作項目である第１操作項目をユーザーからの操作に基づいて操作可能なＧＵＩ（Graphical User Interface）を含む画像を表示部に表示させる表示制御部を備える、携帯型情報端末である。
また、本発明の他の態様は、上記の携帯型情報端末において、前記第１操作項目には、前記荷電粒子ビームの状態に関する操作項目が含まれる、構成が用いられてもよい。
また、本発明の他の態様は、上記の携帯型情報端末において、前記荷電粒子ビームの状態に関する操作項目には、加速電圧、ビーム電流、レンズモード、アライナー、ビームシフト、ＯＬ値、スティグマ値の少なくとも一部が含まれる、構成が用いられてもよい。
また、本発明の他の態様は、上記の携帯型情報端末において、前記第１操作項目には、前記荷電粒子ビームが照射された前記試料から放射された二次粒子が検出される検出感度に関する操作項目が含まれる、構成が用いられてもよい。
また、本発明の他の態様は、上記の携帯型情報端末において、前記検出感度に関する操作項目には、コントラスト、ブライトのうち少なくとも一方が含まれる、構成が用いられてもよい。
また、本発明の他の態様は、上記の携帯型情報端末において、前記荷電粒子ビームが照射された前記試料から放射された二次粒子を示す情報に基づいて前記試料の観察像を生成する像生成部を備え、前記表示制御部は、前記画像内において予め決められた位置に前記像生成部が生成した前記観察像を前記表示部に表示させる、構成が用いられてもよい。
また、本発明の他の態様は、上記の携帯型情報端末において、前記表示制御部は、前記画像内において、ユーザーから受け付けた操作に応じた位置に前記ＧＵＩを配置する、構成が用いられてもよい。
また、本発明の他の態様は、上記の携帯型情報端末において、前記ＧＵＩには、互いに異なる前記第１操作項目が割り当てられており、ユーザーが操作している前記ＧＵＩに割り当てられた前記第１操作項目に応じた種類の出力を出力部に出力させる出力制御部を更に備える、構成が用いられてもよい。
また、本発明の他の態様は、上記の携帯型情報端末において、前記出力部は、スピーカーであり、前記出力制御部は、前記種類の出力として、前記種類の音を前記出力部に出力させる、構成が用いられてもよい。
また、本発明の他の態様は、上記の携帯型情報端末において、前記出力制御部は、ユーザーが操作している前記ＧＵＩに対してユーザーが行った操作の程度に応じた程度の音を前記出力部に出力させる、構成が用いられてもよい。
また、本発明の他の態様は、上記の携帯型情報端末において、前記表示部は、タッチパネルであり、前記出力制御部は、前記タッチパネルにおいて前記ＧＵＩが表示された領域をユーザーがタッチしている場合であり、且つユーザーがタッチしているタッチ位置を動かしていない場合、前記種類の音を前記出力部から出力させない、構成が用いられてもよい。
また、本発明の他の態様は、上記の携帯型情報端末において、前記荷電粒子ビーム照射装置は、前記荷電粒子ビーム照射装置を制御する制御装置と通信可能に接続されており、前記携帯型情報端末は、前記制御装置と通信可能に接続されており、ユーザーから受け付けた操作に基づいて、前記制御装置を介して前記第１操作項目を操作する、構成が用いられてもよい。
また、本発明の他の態様は、上記の携帯型情報端末において、前記携帯型情報端末は、前記制御装置と無線によって通信可能に接続されている、構成が用いられてもよい。
また、本発明の他の態様は、試料に荷電粒子ビームを照射して前記試料に対する処理を行う荷電粒子ビーム照射装置と、前記荷電粒子ビーム照射装置と別体の携帯型情報端末と、を備えるビーム照射システムであって、前記携帯型情報端末は、前記荷電粒子ビーム照射装置において操作可能な操作項目のうち少なくとも一部の操作項目である第１操作項目をユーザーからの操作に基づいて操作可能なＧＵＩ（Graphical User Interface）を含む画像を表示部に表示させる表示制御部を備える、ビーム照射システムである。
また、本発明の他の態様は、試料にビームを照射して前記試料に対する処理を行うビーム照射装置と別体の携帯型情報端末であって、前記ビーム照射装置において操作可能な複数の操作項目のうちの１以上の一部の操作項目である第１操作項目をユーザーからの操作に基づいて操作可能なＧＵＩ（Graphical User Interface）を含む画像を表示部に表示させる表示制御部、を備える携帯型情報端末である。
また、本発明の他の態様は、試料に荷電粒子ビームを照射して前記試料に対する処理を行う荷電粒子ビーム照射装置と別体の携帯型情報端末に、前記荷電粒子ビーム照射装置において操作可能な複数の操作項目のうちの１以上の一部の操作項目である第１操作項目をユーザーからの操作に基づいて操作可能なＧＵＩ（Graphical User Interface）を含む画像を表示部に表示させるステップ、を実行させるためのプログラムである。
本発明によれば、所望の位置において第１操作項目の操作を行うことができる携帯型情報端末、ビーム照射システム、及びプログラムを提供することができる。
実施形態に係るビーム照射システム１の構成の一例を示す図である。 携帯型情報端末４０のハードウェア構成の一例を示す図である。 携帯型情報端末４０の機能構成の一例を示す図である。 携帯型情報端末４０が操作画面画像を生成する処理の流れの一例を示す図である。 ステップＳ１８０において生成された操作画面画像の一例を示す図である。 領域ＲＡ２が表示された場合の画像Ｐ１の一例を示す図である。 ステップＳ１８０において生成された操作画面画像の他の例を示す図である。
＜実施形態＞
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。
＜ビーム照射システムが行う処理の概要＞
まず、実施形態に係るビーム照射システム１が行う処理の概要について説明する。
ビーム照射システム１は、ビーム照射装置１０と、制御装置３０と、携帯型情報端末４０を備える。ビーム照射装置１０と、制御装置３０と、携帯型情報端末４０とのそれぞれの詳細については、後述する。
ビーム照射システム１は、ユーザーから受け付けた操作に基づいて制御装置３０がビーム照射装置１０を制御し、試料にビームを照射して試料に対する処理を行う。例えば、ビーム照射システム１は、当該処理として、当該ビームによって試料の断面を露出させるとともに、当該ビームによって当該断面の観察像（断面像）を生成し、生成した観察像を表示する処理を行う。なお、ビーム照射システム１は、当該ビームを照射して試料を切断する処理、当該ビームを照射して試料にデポジション膜を形成する処理等の他の処理を、試料に対する処理として行う構成であってもよい。また、以下では、一例として、当該ビームが、電子ビーム、集束イオンビーム等の荷電粒子を集束させた荷電粒子ビームである場合について説明する。すなわち、ビーム照射システム１は、この一例において、荷電ビーム照射システムである。また、ビーム照射装置１０は、この一例において、荷電ビーム照射装置である。なお、当該ビームは、荷電粒子ビームに代えて、赤外線ビーム、可視光ビーム、Ｘ線ビーム、ガンマ線ビーム等の中性粒子ビームであってもよい。また、当該観察像は、試料の化学組成のうち当該断面における化学組成、試料の結晶構造のうち当該断面における結晶構造等の試料の内部構造を表す像のことである。例えば、当該観察像は、ＳＩＭ（Scanning Ion Microscope）像、ＳＥＭ（Scanning Electron Microscope）像、ＢＳＥ（Back Scattering Electron）像、ＥＤＳ（Energy Dispersive X-ray Spectrometer）像、ＥＢＳＤ（Electron BackScatter Diffraction）像等である。
ビーム照射システム１では、試料に荷電粒子ビームを照射して露出させた断面の観察像を生成する際、ビーム照射装置１０が、当該断面に荷電粒子ビームを照射して当該断面において発生する二次粒子を検出する。そして、制御装置３０は、ビーム照射装置１０が検出した二次粒子に基づいて当該断面の観察像を生成する。二次粒子は、試料に含まれる電子のうち荷電粒子ビームによって散乱された散乱電子、試料に含まれる電子のうち荷電粒子ビームによって励起された電子が放射するＸ線等である。制御装置３０が二次粒子に基づいて当該観察像を生成する方法は、既知の方法であってもよく、これから開発される方法であってもよい。なお、二次粒子は、当該散乱電子と当該Ｘ線とのうちのいずれか一方又は両方に代えて、他の粒子であってもよい。
ここで、ビーム照射システム１と異なるビーム照射システムＸであって携帯型情報端末４０を備えないビーム照射システムＸ（例えば、従来のビーム照射システム）では、ビーム照射装置１０において操作可能な複数の操作項目のうちの一部の操作項目である第１操作項目が、ビーム照射装置１０が備えるオペレーションパネル又は制御装置３０のいずれかによって操作される。オペレーションパネルは、第１操作項目のそれぞれを操作するダイヤル、ボタン等のハードウェアが設けられたパネルのことである。しかし、オペレーションパネルは、制御装置３０から取り外して移動させることができない。また、制御装置３０は、ビーム照射装置１０と一体に構成されている場合が多い。また、制御装置３０は、ビーム照射装置１０と別体に構成されている場合であっても、移動させることによる故障等によりビーム照射装置１０の制御が行えなくなってしまう可能性がある。このため、制御装置３０は、当該場合であっても安易に移動させることができない場合があった。その結果、ビーム照射システムＸでは、ユーザーは、所望の位置において１以上の第１操作項目それぞれの操作を行うことが困難な場合があった。
そこで、ビーム照射システム１は、ビーム照射装置１０及び制御装置３０に加えて、前述の携帯型情報端末４０を備える。携帯型情報端末４０は、ビーム照射装置１０と別体であり、第１操作項目をユーザーからの操作に基づいて操作可能なＧＵＩ（Graphical User Interface）を含む画像を表示させる。以下では、説明の便宜上、当該ＧＵＩを操作対象と称して説明する。ユーザーは、当該画像に含まれる１以上の操作対象を操作し、当該１以上の操作対象のそれぞれに割り当てられた第１操作項目を操作することができる。ユーザーが当該１以上の操作対象のうちのある操作対象を操作した場合、携帯型情報端末４０は、当該操作対象に割り当てられた第１操作項目を操作することによってビーム照射装置１０に設定される設定値を、当該操作対象へユーザーが行った操作に応じた値である操作値に変更する。これにより、ビーム照射システム１では、所望の位置においてユーザーが第１操作項目の操作を行うことができる。なお、当該設定値は、当該第１操作項目の種類に応じた数値であり、例えば、物理量を示す数値、ユーザーにより予め決められた何らかの状態を示す数値、物体を示す数値等である。
第１操作項目には、この一例において、荷電粒子ビームの状態に関する操作項目、荷電粒子ビームが照射された試料から放射された二次粒子が検出される検出感度に関する操作項目の２種類の操作項目が含まれる。なお、第１操作項目には、当該２種類の操作項目のうちのいずれか一方又は両方に代えて、他の操作項目が含まれる構成であってもよく、当該２種類の操作項目に加えて、他の操作項目が含まれる構成であってもよく、当該２種類の操作項目のうちの一方のみが含まれる構成であってもよい。
本実施形態では、携帯型情報端末４０が行う処理について詳しく説明する。なお、以下では、一例として、上記の試料が試料Ｓである場合について説明する。試料Ｓは、例えば、導電性の試料である。なお、試料Ｓは、これに代えて、絶縁性の試料であってもよく、半導電性の試料（半導体試料）であってもよい。また、上記の試料は、試料Ｓに代えて、他の試料であってもよく、例えば、生物を構成する細胞、骨等の生体であってもよい。
＜ビーム照射システム１の構成＞
以下、図１を参照し、ビーム照射システム１の構成について説明する。図１は、実施形態に係るビーム照射システム１の構成の一例を示す図である。
ビーム照射システム１は、前述した通り、ビーム照射装置１０と、制御装置３０と、携帯型情報端末４０を備える。また、ビーム照射システム１は、表示装置３５を更に備える。なお、この一例におけるビーム照射システム１では、ビーム照射装置１０と、制御装置３０と、表示装置３５とのそれぞれが別体に構成されているが、これに代えて、ビーム照射装置１０と、制御装置３０と、表示装置３５との一部又は全部が一体に構成されてもよい。ただし、ビーム照射システム１では、携帯型情報端末４０は、ビーム照射装置１０と、制御装置３０と、表示装置３５とのいずれとも別体である。
ビーム照射装置１０は、例えば、集束イオンビーム（ＦＩＢ（Focused Ion Beam））鏡筒１１と、電子ビーム（ＥＢ（Electron Beam））鏡筒１２と、試料室１３と、前述の図示しないオペレーションパネルを備える。
集束イオンビーム鏡筒１１は、前述の荷電粒子ビームの１つとして、予め決められた種類のイオンを集束させた集束イオンビームＢ１を照射する。集束イオンビーム鏡筒１１は、例えば、イオン源（例えば、イオン銃、ガス電解電離型イオン源等）と、イオン加速部と、イオン照射部とを備える。イオン源は、イオンを発生させる。イオン加速部は、イオン源が発生させたイオンに対してイオン加速方向に電場を印加し、当該イオンを加速させる。イオン加速方向は、集束イオンビーム鏡筒１１の中心軸に沿った方向であって集束イオンビーム鏡筒１１のイオン源から集束イオンビーム鏡筒１１の集束イオンビームＢ１が出射する出射口に向かう方向である。イオン照射部は、静電レンズを備え、イオン加速部によって加速されたイオンに、当該静電レンズによって電場を印加し、当該イオンを集束させる。そして、イオン照射部は、集束させたイオンを集束イオンビームＢ１として当該出射口から所定の照射領域に照射する。なお、当該静電レンズは、加速型であってもよく、減速型であってもよい。また、イオン照射部は、磁場レンズを備え、イオン加速部によって加速されたイオンに、当該磁場レンズによって磁場を印加し、当該イオンを集束させる構成であってもよい。
集束イオンビーム鏡筒１１は、試料室１３内に収容されている。試料室１３には、試料Ｓを載置する試料台であるステージ１４と、制御装置３０からの要求に応じてステージ１４の位置及び姿勢を変化させるステージ駆動部が備えられている。ステージ１４の位置は、この一例において、三次元座標系１１Ｃにおける位置であって三次元座標系１４Ｃの原点の位置によって表される。また、ステージ１４の姿勢は、三次元座標系１１Ｃの各座標軸に対する方向であって三次元座標系１４Ｃの各座標軸の方向によって表される。三次元座標系１１Ｃとは、集束イオンビーム鏡筒１１の予め決められた位置に対応付けられた三次元座標系のことである。当該予め決められた位置は、例えば、集束イオンビーム鏡筒１１の重心の位置である。図１では、図が煩雑になるのを防ぐため、三次元座標系１１Ｃの原点の位置が、当該重心の位置からずらされている。なお、当該予め決められた位置は、これに代えて、集束イオンビーム鏡筒１１に対応付けられた他の位置であってもよい。集束イオンビーム鏡筒１１が試料室１３内において固定されて動かないため、三次元座標系１１Ｃの原点の位置、及び三次元座標系１１Ｃの各座標軸の方向は、固定されて動かない。三次元座標系１４Ｃとは、ステージ１４の上面の中心に対応付けられた三次元座標系のことである。このため、三次元座標系１４Ｃは、ステージ１４が動いた場合、ステージ１４とともに動く。図１では、図が煩雑になるのを防ぐため、三次元座標系１４Ｃの原点の位置が、当該中心の位置からずらされている。
ここで、この一例では、三次元座標系１１ＣにおけるＺ軸方向は、集束イオンビーム鏡筒１１の中心軸方向と一致している。また、三次元座標系１１ＣにおけるＸ軸方向は、当該Ｚ軸方向と直交する方向であって集束イオンビーム鏡筒１１から電子ビーム鏡筒１２に向かう方向と一致している。また、三次元座標系１１ＣにおけるＹ軸方向は、当該Ｘ軸方向及び当該Ｚ軸方向と一致している。なお、三次元座標系１１ＣにおけるＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向のそれぞれは、これに代えて、他の方向と一致する構成であってもよい。
集束イオンビーム鏡筒１１は、ステージ１４の位置及び姿勢が、予め決められた基準となる位置及び姿勢である基準位置及び基準姿勢と一致している場合において、集束イオンビーム鏡筒１１の中心軸がステージ１４の上面と直交する位置に設置される。以下では、説明を簡略化するため、ユーザーがステージ１４の位置及び姿勢を基準位置及び基準姿勢から変化させない場合について説明する。
ここで、この一例では、三次元座標系１４ＣにおけるＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向のそれぞれは、ステージ１４の位置及び姿勢が基準位置及び基準姿勢と一致している場合、三次元座標系１１ＣにおけるＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向のそれぞれと一致する。なお、三次元座標系１４ＣにおけるＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向のそれぞれは、当該場合において、これに代えて、他の方向と一致する構成であってもよい。
また、集束イオンビーム鏡筒１１は、集束イオンビームＢ１を前述の照射領域に照射可能な位置に設置される。この照射領域は、ステージ１４の位置及び姿勢が基準位置及び基準姿勢と一致している場合におけるステージ１４の上面に沿った平面上に設定される平面領域である。以下では、一例として、照射領域が、当該場合におけるステージ１４の上面の内側に設定される領域である場合について説明する。なお、照射領域は、これに代えて、当該場合におけるステージ１４の上面の一部又は全部を含む範囲に設定される領域であってもよい。また、照射領域は、常に固定されており、ステージ駆動部がステージ１４の位置及び姿勢を変化させた場合であっても、ステージ１４の上面とともに動くわけではない。すなわち、ステージ駆動部は、ステージ１４の位置及び姿勢を変化させることにより、ステージ１４の上面に載置された試料Ｓを照射領域に対して相対的に並進又は傾斜させることができる。
電子ビーム鏡筒１２は、電子を集束させた電子ビームＢ２を照射する。電子ビーム鏡筒１２は、例えば、電子源（例えば、電子銃）と、電子加速部と、電子照射部とを備える。電子源は、電子を発生させる。電子加速部は、電子源が発生させた電子に対して電子加速方向に電場を印加し、当該電子を加速させる。電子加速方向は、電子ビーム鏡筒１２の中心軸に沿った方向であって電子ビーム鏡筒１２の電子源から電子ビーム鏡筒１２の電子ビームＢ２が出射する出射口に向かう方向である。電子照射部は、静電レンズを備え、電子加速部によって加速された電子に、当該静電レンズによって電場を印加し、当該電子を集束させる。そして、電子照射部は、集束させた電子を電子ビームＢ２として当該出射口から照射する。なお、当該静電レンズは、加速型であってもよく、減速型であってもよい。また、電子照射部は、磁場レンズを備え、電子加速部によって加速された電子に、当該磁場レンズによって磁場を印加し、当該電子を集束させる構成であってもよい。
また、電子ビーム鏡筒１２は、図示しない鏡筒内反射電子検出器を備えている。鏡筒ない反射電子検出器は、電子ビームＢ２に含まれる電子のうち試料Ｓによって反射された反射電子を二次電子として検出する。鏡筒内反射電子検出器は、検出した当該二次電子を示す情報を含む信号を制御装置３０に出力する。当該二次電子を示す情報は、当該反射電子の数を示す情報である。
電子ビーム鏡筒１２は、集束イオンビーム鏡筒１１とともに試料室１３内に収容されている。電子ビーム鏡筒１２は、ステージ１４の位置及び姿勢が基準となる基準位置及び基準姿勢と一致している場合において、電子ビーム鏡筒１２の中心軸がステージ１４の上面に対して所定角度傾く位置に設置される。また、電子ビーム鏡筒１２は、電子ビームＢ２を前述の照射領域に照射可能な位置に設置される。なお、電子ビーム鏡筒１２は、電子ビーム鏡筒１２の中心軸に沿った方向であって電子ビーム鏡筒１２の電子源から電子ビーム鏡筒１２の電子ビームＢ２が出射する出射口に向かう方向と、集束イオンビーム鏡筒１１の中心軸に沿った方向であって集束イオンビーム鏡筒１１のイオン源から集束イオンビーム鏡筒１１の集束イオンビームＢ１が出射する出射口に向かう方向とが直交するように配置されることが望ましい。
また、ビーム照射装置１０は、二次電子検出器１６と、ＥＤＳ検出器１７と、ＥＢＳＤ検出器１８を更に備える。
二次電子検出器１６は、集束イオンビームＢ１が試料Ｓに照射された場合に試料Ｓから発生する二次電子を検出する。当該二次電子は、試料Ｓに含まれる電子のうち集束イオンビームＢ１によって散乱された散乱電子等のことである。また、二次電子検出器１６は、電子ビームＢ２が試料Ｓに照射された場合に試料Ｓから発生する二次電子を検出する。当該二次電子は、試料Ｓに含まれる電子のうち電子ビームＢ２によって散乱された散乱電子等のことである。二次電子検出器１６は、検出した二次電子を示す情報を含む信号を制御装置３０に出力する。当該情報は、当該二次電子の数を示す情報である。
ＥＤＳ検出器１７は、電子ビームＢ２が試料Ｓに照射された場合に試料Ｓから発生するＸ線を検出する。試料Ｓから発生するＸ線は、試料Ｓを構成する物質毎に特有の特性Ｘ線を含む。ビーム照射システム１は、この特性Ｘ線によって、試料Ｓを構成する物質を特定することができる。ＥＤＳ検出器１７は、検出したＸ線を示す情報を含む信号を制御装置３０に出力する。
ＥＢＳＤ検出器１８は、試料Ｓが結晶性材料であった場合、且つ、電子ビームＢ２が試料Ｓの断面に照射された場合に、当該断面において生じる電子線後方散乱回折により発生する二次電子の強度分布（回折図形）、すなわちＥＢＳＤパターンを検出する。当該二次電子は、試料Ｓに含まれる電子のうち電子ビームによって散乱された散乱電子等のことである。当該断面において発生するＥＢＳＤパターンは、当該断面の結晶構造（すなわち、結晶系、結晶方位等）を表す。ビーム照射システム１は、このＥＢＳＤパターンによって、当該断面の化学組成を特定することができる。ＥＢＳＤ検出器１８は、検出した当該ＥＢＳＤパターンを示す情報を含む信号を制御装置３０に出力する。
また、ビーム照射装置１０は、ケーブルによって制御装置３０と通信可能に接続されている。これにより、ビーム照射装置１０が備える集束イオンビーム鏡筒１１（前述の鏡筒内反射電子検出器を含む）、電子ビーム鏡筒１２、ステージ１４、二次電子検出器１６、ＥＤＳ検出器１７、ＥＢＳＤ検出器１８のそれぞれは、制御装置３０から取得される制御信号に基づく動作を行う。なお、ケーブルを介した有線通信は、例えば、イーサネット（登録商標）やＵＳＢ（Universal Serial Bus）等の規格によって行われる。また、ビーム照射装置１０は、Ｗｉ−Ｆｉ（登録商標）等の通信規格により行われる無線通信によって制御装置３０と接続される構成であってもよい。
なお、ビーム照射装置１０は、前述の鏡筒内反射電子検出器と、二次電子検出器１６と、ＥＤＳ検出器１７と、ＥＢＳＤ検出器１８のうちの一部を備えない構成であってもよい。また、ビーム照射装置１０は、鏡筒内反射電子検出器と、二次電子検出器１６と、ＥＤＳ検出器１７と、ＥＢＳＤ検出器１８とのうちの一部又は全部に代えて、他の検出器を備える構成であってもよい。また、ビーム照射装置１０は、鏡筒内反射電子検出器と、二次電子検出器１６と、ＥＤＳ検出器１７と、ＥＢＳＤ検出器１８とに加えて、他の検出器を備える構成であってもよい。
制御装置３０は、例えば、デスクトップＰＣ（Personal Computer）、ワークステーション等の情報処理装置である。なお、制御装置３０は、ノートＰＣ等の他の情報処理装置であってもよい。制御装置３０は、ビーム照射装置１０を制御する装置である。このため、制御装置３０を移動させることによって生じうる制御装置３０の故障等のトラブルは、抑制されることが望ましい。すなわち、制御装置３０は、通常時においてユーザーが携帯して移動させるような運用がなされない装置である。
制御装置３０は、前述した通り、ビーム照射装置１０を制御する。例えば、制御装置３０は、ビーム照射装置１０を制御し、試料Ｓに荷電粒子ビームを照射させ、試料Ｓの断面を露出させる。また、制御装置３０は、ビーム照射装置１０に当該断面へ荷電粒子ビームを照射させる。制御装置３０は、その結果として当該断面から発生した二次粒子をビーム照射装置１０に検出させる。制御装置３０は、ビーム照射装置１０が検出した二次粒子を示す情報を含む信号を、当該断面を表す観察像情報としてビーム照射装置１０から取得する。制御装置３０は、取得した観察像情報に基づいて、当該観察像情報が表す当該断面の観察像を生成する。また、制御装置３０は、携帯型情報端末４０からの要求に応じて、取得した観察像情報を携帯型情報端末４０に出力する。なお、制御装置３０は、ビーム照射装置１０によって試料Ｓの表面を保護するデポジション膜を当該表面に形成させる処理等の他の処理も行うことができるが、当該他の処理の詳細については、省略する。
なお、制御装置３０は、ユーザーから受け付けた操作に基づいて、ビーム照射装置１０において操作可能な複数の操作項目のすべてを操作可能である。
表示装置３５は、例えば、前述の表示部として液晶ディスプレイパネル、あるいは、有機ＥＬ（ElectroLuminescence）ディスプレイパネルを備えたディスプレイである。表示装置３５は、制御装置３０から取得した各種の画像を当該表示部に表示する。
また、表示装置３５は、ケーブルによって制御装置３０と通信可能に接続されている。これにより、表示装置３５は、制御装置３０から取得される制御信号に基づく動作を行う。なお、ケーブルを介した有線通信は、例えば、イーサネット（登録商標）やＵＳＢ等の規格によって行われる。また、表示装置３５は、Ｗｉ−Ｆｉ（登録商標）等の通信規格により行われる無線通信によって制御装置３０と接続される構成であってもよい。
携帯型情報端末４０は、タブレットＰＣ、多機能携帯電話端末（スマートフォン）、ＰＤＡ（Personal Digital Assistant）等のビーム照射装置１０、制御装置３０、表示装置３５と別体の携帯型情報端末である。
携帯型情報端末４０は、Ｗｉ−Ｆｉ（登録商標）等の通信規格により行われる無線通信によって制御装置３０と通信可能に接続されている。これにより、携帯型情報端末４０は、制御装置３０を介してビーム照射装置１０と通信可能である。なお、携帯型情報端末４０は、ケーブルによって制御装置３０と通信可能に接続される構成であってもよい。
携帯型情報端末４０は、前述した通り、１以上の操作対象を含む画像を表示させる。ユーザーが当該画像に含まれるある操作対象を操作した場合、携帯型情報端末４０は、当該操作対象に割り当てられた第１操作項目を操作する。具体的には、携帯型情報端末４０は、当該場合、当該操作対象に対して行われたユーザーからの操作に応じた操作値を算出する。携帯型情報端末４０は、算出した操作値を示す情報と、当該第１操作項目を示す情報とのそれぞれを示す操作情報を生成する。携帯型情報端末４０は、生成した操作情報を、制御装置３０を介してビーム照射装置１０に出力する。当該操作情報を取得したビーム照射装置１０は、当該操作情報が示す第１操作項目に設定された設定値を、当該操作情報が示す操作値に変更することにより、当該第１操作項目を操作する。
例えば、ある操作対象に割り当てられた第１操作項目がビーム電流の場合において、ユーザーが当該操作対象を操作すると、携帯型情報端末４０は、当該操作対象に対して行われたユーザーからの操作に応じた操作値を算出する。当該操作値は、当該第１操作項目がビーム電流であるため、電流値である。携帯型情報端末４０は、算出した電流値を示す情報と、当該第１操作項目であるビーム電流を示す情報とのそれぞれを示す操作情報を生成する。携帯型情報端末４０は、生成した当該操作情報を、制御装置３０を介してビーム照射装置１０に出力する。当該操作情報を取得したビーム照射装置１０は、当該操作情報が示すビーム電流に設定された設定値である電流値を、当該操作情報が示す操作値である電流値に変更することにより、ビーム電流を操作する。
なお、携帯型情報端末４０は、生成した操作情報を制御装置３０を介してビーム照射装置１０に出力する構成に代えて、制御装置３０に出力する構成であってもよい。この場合、制御装置３０は、取得した操作情報に基づいてビーム照射装置１０を制御し、ビーム照射装置１０に、当該操作情報が示す第１操作項目に設定された設定値を当該操作情報が示す操作値に変更させる。また、携帯型情報端末４０は、生成した操作情報を、制御装置３０を介さず、ビーム照射装置１０に出力する構成であってもよい。この場合、携帯型情報端末４０は、無線又は有線によってビーム照射装置１０と通信可能に接続される。
＜第１操作項目の詳細＞
ここで、第１操作項目の詳細について説明する。
前述した通り、第１操作項目には、この一例において、荷電粒子ビームの状態に関する操作項目、荷電粒子ビームが照射された試料から放射された二次粒子が検出される検出感度に関する操作項目の２種類の操作項目が含まれる。
荷電粒子ビームの状態は、荷電粒子ビームの拡がり、荷電粒子ビームが照射される位置、荷電粒子ビームのビーム電流の電流値等によって規定される状態のことである。
より具体的には、ビーム照射装置１０が照射可能な２種類の荷電粒子ビームのうちの集束イオンビームＢ１の状態は、ビーム照射装置１０の集束イオンビーム鏡筒１１における第１加速電圧、第１ビーム電流、第１レンズモード、第１アライナー、第１ビームシフト、第１ＯＬ（Objective Lens）値、第１スティグマ値のそれぞれに設定された設定値に応じた状態である。すなわち、集束イオンビームＢ１の状態に関する操作項目には、第１加速電圧、第１ビーム電流、第１レンズモード、第１アライナー、第１ビームシフト、第１ＯＬ値、第１スティグマ値の少なくとも一部が含まれる。以下では、一例として、当該操作項目には、第１加速電圧、第１ビーム電流、第１レンズモード、第１アライナー、第１ビームシフト、第１ＯＬ値、第１スティグマ値の全部が含まれる場合について説明する。
ここで、第１加速電圧に設定される設定値は、第１加速電圧の電圧値を示す数値である。第１ビーム電流に設定される設定値は、第１ビーム電流の電流値を示す数値である。第１レンズモードに設定される設定値は、集束イオンビーム鏡筒１１が有する静電レンズの電極間に印加する電圧値を示す数値である。第１アライナーに設定される設定値は、集束イオンビーム鏡筒１１が有するアライナーの電極間に印加する電圧値を示す数値である。第１ビームシフトに設定される設定値は、集束イオンビーム鏡筒１１から照射される集束イオンビームＢ１のシフト量を示す数値である。第１ＯＬ値に設定される設定値は、集束イオンビーム鏡筒１１が有する図示しない対物レンズ（ＯＬ）の位置を示す数値である。第１スティグマ値に設定される設定値は、集束イオンビーム鏡筒１１が有するスティグマの電極間に印加する電圧値を示す数値である。
また、ビーム照射装置１０が照射可能な２種類の荷電粒子ビームのうちの電子ビームＢ２の状態は、ビーム照射装置１０の電子ビーム鏡筒１２における第２加速電圧、第２ビーム電流、第２レンズモード、第２アライナー、第２ビームシフト、第２ＯＬ値、第２スティグマ値のそれぞれに設定された設定値に応じた状態である。すなわち、電子ビームＢ２の状態に関する操作項目には、第２加速電圧、第２ビーム電流、第２レンズモード、第２アライナー、第２ビームシフト、第２ＯＬ値、第２スティグマ値の少なくとも一部が含まれる。以下では、一例として、当該操作項目には、第２加速電圧、第２ビーム電流、第２レンズモード、第２アライナー、第２ビームシフト、第２ＯＬ値、第２スティグマ値の全部が含まれる場合について説明する。
また、第２加速電圧に設定される設定値は、第２加速電圧の電圧値を示す数値である。第２ビーム電流に設定される設定値は、第２ビーム電流の電流値を示す数値である。第２レンズモードに設定される設定値は、電子ビーム鏡筒１２が有する静電レンズの電極間に印加する電圧値を示す数値である。第２アライナーに設定される設定値は、電子ビーム鏡筒１２が有するアライナーの電極間に印加する電圧値を示す数値である。第２ビームシフトに設定される設定値は、電子ビーム鏡筒１２から照射される電子ビームＢ２のシフト量を示す数値である。第２ＯＬ値に設定される設定値は、電子ビーム鏡筒１２が有する図示しない対物レンズ（ＯＬ）の位置を示す数値である。第２スティグマ値に設定される設定値は、電子ビーム鏡筒１２が有するスティグマの電極間に印加する電圧値を示す数値である。
荷電粒子ビームが照射された試料から放射された二次粒子が検出される検出感度は、ビーム照射装置１０におけるコントラスト、ブライトそれぞれに設定された設定値に応じて決まる。
より具体的には、荷電粒子ビームが照射された試料から放射された二次粒子が検出される検出感度のうち前述した鏡筒内反射電子検出器により当該二次粒子が検出される検出感度は、鏡筒内反射電子検出器の第１コントラスト、第１ブライトのそれぞれに設定された設定値に応じた検出感度である。すなわち、鏡筒内反射電子検出器により当該二次粒子が検出される検出感度に関する操作項目には、第１コントラスト、第１ブライトの少なくとも一方が含まれる。以下では、一例として、当該操作項目には、第１コントラスト、第１ブライトの両方が含まれる場合について説明する。
ここで、第１コントラストに設定される設定値は、鏡筒内反射電子検出器に設定されるコントラスト値を示す数値である。第１ブライトに設定される設定値は、鏡筒内反射電子検出器に設定されるコントラスト値を示す数値である。
また、荷電粒子ビームが照射された試料から放射された二次粒子が検出される検出感度のうち二次電子検出器１６により当該二次粒子が検出される検出感度は、二次電子検出器１６の第２コントラスト、第２ブライトのそれぞれに設定された設定値に応じた検出感度である。すなわち、二次電子検出器１６により当該二次粒子が検出される検出感度に関する操作項目には、第２コントラスト、第２ブライトの少なくとも一方が含まれる。以下では、一例として、当該操作項目には、第２コントラスト、第２ブライトの両方が含まれる場合について説明する。
第２コントラストに設定される設定値は、二次電子検出器１６に設定されるコントラスト値を示す数値である。第２ブライトに設定される設定値は、二次電子検出器１６に設定されるコントラスト値を示す数値である。
また、荷電粒子ビームが照射された試料から放射された二次粒子が検出される検出感度のうちＥＤＳ検出器１７により当該二次粒子が検出される検出感度は、ＥＤＳ検出器１７の第３コントラスト、第３ブライトのそれぞれに設定された設定値に応じた検出感度である。すなわち、ＥＤＳ検出器１７により当該二次粒子が検出される検出感度に関する操作項目には、第３コントラスト、第３ブライトの少なくとも一方が含まれる。以下では、一例として、当該操作項目には、第３コントラスト、第３ブライトの両方が含まれる場合について説明する。
第３コントラストに設定される設定値は、ＥＤＳ検出器１７に設定されるコントラスト値を示す数値である。第３ブライトに設定される設定値は、ＥＤＳ検出器１７に設定されるコントラスト値を示す数値である。
また、荷電粒子ビームが照射された試料から放射された二次粒子が検出される検出感度のうちＥＢＳＤ検出器１８により当該二次粒子が検出される検出感度は、ＥＢＳＤ検出器１８の第４コントラスト、第４ブライトのそれぞれに設定された設定値に応じた検出感度である。すなわち、ＥＢＳＤ検出器１８により当該二次粒子が検出される検出感度に関する操作項目には、第４コントラスト、第４ブライトの少なくとも一方が含まれる。以下では、一例として、当該操作項目には、第４コントラスト、第４ブライトの両方が含まれる場合について説明する。
第４コントラストに設定される設定値は、ＥＢＳＤ検出器１８に設定されるコントラスト値を示す数値である。第４ブライトに設定される設定値は、ＥＢＳＤ検出器１８に設定されるコントラスト値を示す数値である。
＜携帯型情報端末のハードウェア構成＞
以下、図２を参照し、携帯型情報端末４０のハードウェア構成について説明する。図２は、携帯型情報端末４０のハードウェア構成の一例を示す図である。
携帯型情報端末４０は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）４１と、記憶部４２と、入力受付部４３と、通信部４４と、表示部４５と、出力部４６を備える。これらの構成要素は、バスＢを介して相互に通信可能に接続されている。また、携帯型情報端末４０は、通信部４４を介して制御装置３０と通信を行う。
ＣＰＵ４１は、記憶部４２に格納された各種プログラムを実行する。
記憶部４２は、例えば、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）やＳＳＤ（Solid State Drive）、ＥＥＰＲＯＭ（Electrically Erasable Programmable Read−Only Memory）、ＲＯＭ（Read−Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）等を含む。なお、記憶部４２は、携帯型情報端末４０に内蔵されるものに代えて、ＵＳＢ等のデジタル入出力ポート等によって接続された外付け型の記憶装置であってもよい。記憶部４２は、携帯型情報端末４０が処理する各種情報や画像、各種のプログラムを格納する。
入力受付部４３は、例えば、表示部４５と一体に構成されたタッチパネルである。なお、入力受付部４３は、タッチパネルに代えて、キーボードやマウス、タッチパッド等の他の入力装置であってもよい。
通信部３４は、例えば、ＵＳＢ等のデジタル入出力ポートやイーサネット（登録商標）ポート等を含んで構成される。
表示部４５は、例えば、液晶ディスプレイパネル、あるいは、有機ＥＬ（ElectroLuminescence）ディスプレイパネルであり、入力受付部４３と一体にタッチパネルを構成する。なお、表示部４５は、入力受付部４３と別体であってもよい。
出力部４６は、例えば、スピーカーである。なお、出力部４６は、スピーカーに代えて、携帯型情報端末４０を振動させる振動装置であってもよく、光を明滅させるＬＥＤ（Light Emitting Diode）等であってもよい。
＜携帯型情報端末の機能構成＞
以下、図３を参照し、携帯型情報端末４０の機能構成について説明する。図３は、携帯型情報端末４０の機能構成の一例を示す図である。
携帯型情報端末４０は、記憶部４２と、入力受付部４３と、表示部４５と、出力部４６と、制御部４７を備える。
制御部４７は、携帯型情報端末４０の全体を制御する。制御部４７は、情報取得部４７１と、像生成部４７２と、表示制御部４７３と、操作制御部４７５と、出力制御部４７６を備える。制御部４７が備えるこれらの機能部は、例えば、ＣＰＵ４１が、記憶部４２に記憶された各種プログラムを実行することにより実現される。また、当該機能部のうち一部又は全部は、ＬＳＩ（Large Scale Integration）やＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）等のハードウェア機能部であってもよい。
情報取得部４７１は、ビーム照射装置１０において１以上の第１操作項目のそれぞれに設定されている現在の設定値を示す設定値情報を、制御装置３０を介してビーム照射装置１０から取得する。
像生成部４７２は、制御装置３０がビーム照射装置１０から取得した観察像情報を制御装置３０から取得し、取得した観察像情報に基づく観察像を生成する。
表示制御部４７３は、ユーザーから受け付けた操作に基づいて、各種の画像を生成する。表示制御部４７３は、生成した画像を表示部４５に表示させる。例えば、表示制御部４７３は、ユーザーから受け付けた操作に基づいて、前述の１以上の操作対象を含む画像を操作画面画像として生成する。この際、表示制御部４７３は、情報取得部４７１が取得した設定値情報に基づいて、操作画面画像を生成する。表示制御部４７３は、生成した操作画面画像を表示部４５に表示させる。
操作制御部４７５は、表示制御部４７３が表示部４５に表示させた操作画面画像においてユーザーがある操作対象を操作した場合、当該操作対象に対して行われたユーザーからの操作に応じた操作値を算出する。操作制御部４７５は、算出した操作値を示す情報と、当該第１操作項目を示す情報とのそれぞれを示す操作情報を生成する。操作制御部４７５は、生成した操作情報を、制御装置３０を介してビーム照射装置１０に出力する。
出力制御部４７６は、表示制御部４７３が表示部４５に表示させた操作画面画像においてユーザーがある操作対象を操作した場合、操作制御部４７５が算出した操作値であって当該操作対象に対して行われたユーザーからの操作に応じた操作値に基づいて、当該操作対象が割り当てられた第１操作項目に応じた種類の出力を出力部４６に出力させる。当該出力は、この一例において、音である。なお、出力部４６が振動装置等の他の装置である場合、当該出力は、当該他の装置に応じた出力（当該他の装置が振動装置の場合、当該出力は、振動）となる。なお、各操作対象が割り当てられた第１操作項目のそれぞれに応じた種類の出力は、重複してもよく、重複しなくてもよい。
＜携帯型情報端末が操作画面画像を生成する処理＞
携帯型情報端末４０では、ユーザーは、１以上の第１操作項目の中からユーザーが所望する１以上の第１操作項目を選択することができる。また、携帯型情報端末４０では、ユーザーは、ユーザーが選択した第１操作項目のそれぞれを割り当てる操作対象の種類（すなわち、ダイヤル、スライドバー、ボタン等であるＧＵＩの種類）を、予め決められた１以上の種類の中から選択することができる。そして、携帯型情報端末４０では、ユーザーは、ユーザーが選択した第１操作項目のそれぞれを割り当てた操作対象を、操作画面画像における位置であってユーザーが所望する配置位置に配置することができる。
ここでは、図４を参照し、携帯型情報端末４０が操作画面画像を生成する処理について説明する。図４は、携帯型情報端末４０が操作画面画像を生成する処理の流れの一例を示す図である。図４に示したフローチャートの処理は、携帯型情報端末４０が操作画面画像を生成する処理を開始させる操作をユーザーから受け付けた後の処理である。
表示制御部４７３は、情報受付画像を生成する（ステップＳ１１０）。情報受付画像は、操作画面画像を生成するために必要な各種の情報をユーザーから受け付けるＧＵＩを含む画像である。当該各種の情報には、例えば、ユーザーにより選択された１以上の第１操作項目と、当該情報のそれぞれが示す第１操作項目に割り当てる操作対象の種類と、操作画面画像における位置であって当該操作対象のそれぞれを配置する配置位置とが含まれる。なお、当該各種の情報には、これら３つの情報のうちの一部又は全部に代えて、他の情報が含まれる構成であってもよく、当該３つの情報に加えて、他の情報が含まれる構成であってもよい。
表示制御部４７３は、ステップＳ１１０において生成した情報受付画像を表示部４５に表示させる（ステップＳ１２０）。
次に、表示制御部４７３は、対象第１操作項目を受け付けたか否かを判定する（ステップＳ１３０）。対象第１操作項目は、ユーザーが選択可能な１以上の未選択の第１操作項目の中からユーザーにより選択された第１操作項目のことである。例えば、表示制御部４７３は、当該１以上の未選択の第１操作項目のそれぞれを示す情報の一覧（リスト）を情報受付画像に表示させる。ユーザーが当該一覧の中から所望の第１操作項目を示す情報を選択する操作（例えば、当該情報のタップ）を行った場合、表示制御部４７３は、当該情報が示す第１操作項目を対象第１操作項目として受け付ける。
対象第１操作項目を受け付けていないと判定した場合（ステップＳ１３０−ＮＯ）、表示制御部４７３は、ステップＳ１７０に遷移する。ステップＳ１７０の処理については、後述する。一方、対象第１操作項目を受け付けたと判定した場合（ステップＳ１３０−ＹＥＳ）、表示制御部４７３は、対象操作対象の種類を受け付けるまで待機する（ステップＳ１４０）。対象操作対象は、対象第１操作項目に割り当てる操作対象のことである。当該種類には、例えば、ダイヤル、スライドバー、ボタン等が含まれる。なお、当該種類には、ダイヤル、スライドバー、ボタンの一部又は全部に代えて、他のＧＵＩの種類が含まれる構成であってもよく、ダイヤル、スライドバー、ボタンに加えて、他のＧＵＩの種類が含まれる構成であってもよい。例えば、表示制御部４７３は、ユーザーが選択可能な１以上のＧＵＩの種類それぞれを示す情報の一覧（リスト）を情報受付画像に表示させる。ユーザーが当該一覧の中から所望の種類のＧＵＩを示す情報を選択する操作（例えば、当該情報のタップ）を行った場合、表示制御部４７３は、当該情報が示す種類を対象操作対象の種類として受け付ける。
対象操作対象を受け付けた場合（ステップＳ１４０−ＹＥＳ）、表示制御部４７３は、対象配置位置を受け付けるまで待機する（ステップＳ１５０）。対象配置位置は、操作画面画像において対象操作対象を配置する配置位置のことである。例えば、表示制御部４７３は、情報受付画像上に、操作画面画像の縦横比と同じ縦横比の画像であって操作画面画像よりも小さい縮小画像を表示させる。ここで、操作画面画像上の座標と、縮小画像上の座標とは、対応付けられている。このため、操作画面画像上のある位置と、当該位置に対応する縮小画像上の位置とは、縮小画像を操作画面画像の大きさと同じ大きさまで拡大し、拡大した縮小画像を操作画面画像に重ねた場合において重なる。ユーザーが縮小画像上におけるある位置を選択する操作（例えば、当該位置のタップ）を行った場合、表示制御部４７３は、当該位置に対応する操作画面画像上の位置を対象配置位置として受け付ける。なお、表示制御部４７３は、操作画面画像内において操作対象を配置不可能な領域が予め決められている場合、例えば、当該領域に対応する縮小画像上の領域の表示状態を縮小画像上における当該領域以外の領域の表示状態に対して相対的に変えることにより、ユーザーに操作画面画像内において操作対象を配置不可能な領域を知らせる。また、操作画面画像内において操作対象を配置不可能な領域に対応する縮小画像上の領域内における位置をユーザーが選択する操作を行った場合、表示制御部４７３は、例えば、当該位置に対応する操作画面画像上の位置を対象配置位置として受け付けず、ユーザーが選択した位置が操作対象を配置不可能な領域内の位置であることを知らせるアラートを情報受付画像に重ねて表示する。以下では、一例として、操作画面画像内において操作対象を配置不可能な領域が１つのみ予め決められている場合について説明する。なお、当該領域は、操作画面画像内において複数であってもよい。
対象操作対象を受け付けた場合（ステップＳ１５０−ＹＥＳ）、表示制御部４７３は、ステップＳ１３０において受け付けた対象第１操作項目を示す情報と、ステップＳ１４０において受け付けた対象操作対象の種類を示す情報と、ステップＳ１５０において受け付けた対象配置位置を示す情報とのそれぞれを示す情報を入力情報として生成する。表示制御部４７３は、生成した入力情報を記憶部４２に記憶させる。そして、表示制御部４７３は、ステップＳ１７０に遷移する。
ステップＳ１７０において、表示制御部４７３は、情報受付画像を介して操作画面画像を生成するために必要な各種の情報のユーザーによる入力を終了させる操作を受け付けたか否かを判定する（ステップＳ１７０）。例えば、情報受付画像には、当該操作を受け付けるボタンが含まれている。ユーザーが当該ボタンを選択する操作（例えば、当該ボタンのタップ）を行った場合、表示制御部４７３は、情報受付画像を介して操作画面画像を生成するために必要な各種の情報のユーザーによる入力を終了させる操作を受け付けたと判定し、情報受付画像の表示を表示部４５から削除する。情報受付画像を介して操作画面画像を生成するために必要な各種の情報のユーザーによる入力を終了させる操作を受け付けていないと判定した場合（ステップＳ１７０−ＮＯ）、表示制御部４７３は、ステップＳ１３０に遷移し、再び対象第１操作項目を受け付けたか否かを判定する。一方、情報受付画像を介して操作画面画像を生成するために必要な各種の情報のユーザーによる入力を終了させる操作を受け付けたと判定した場合（ステップＳ１７０−ＹＥＳ）、表示制御部４７３は、記憶部４２に記憶された１以上の入力情報のそれぞれに基づいて、操作画面画像を生成する（ステップＳ１８０）。ここで、ステップＳ１８０の処理について説明する。
ステップＳ１８０において、表示制御部４７３は、記憶部４２に記憶された１以上の入力情報を読み出す。また、表示制御部４７３は、操作画面画像として何も配置されていない画像を生成する。表示制御部４７３は、読み出した当該１以上の入力情報毎に、入力情報が示す種類の操作対象に、入力情報が示す第１操作項目を割り当て、当該第１操作項目を割り当てた当該操作対象を、生成した当該画像において入力情報が示す配置位置に配置する。これにより、表示制御部４７３は、操作画面画像を生成する。このように、携帯型情報端末４０では、ユーザーは、１以上の第１操作項目の中からユーザーが所望する１以上の第１操作項目を選択することができる。また、携帯型情報端末４０では、ユーザーは、ユーザーが選択した第１選択項目のそれぞれを割り当てる操作対象の種類を、予め決められた１以上の種類の中から選択することができる。そして、携帯型情報端末４０では、ユーザーは、ユーザーが選択した第１操作項目のそれぞれを割り当てた操作対象を、操作画面画像における位置であってユーザーが所望する配置位置に配置することができる。
ここで、図５及び図６を参照し、ステップＳ１８０及びステップＳ１９０のより具体的な処理と、操作画面画像における操作対象の具体的な動作とについて説明する。図５は、ステップＳ１８０において生成された操作画面画像の一例を示す図である。なお、ここでは、説明の便宜上、表示制御部４７３が、繰り返し実行されたステップＳ１３０の処理において、１以上の第１操作項目の中から第１コントラスト、第１ブライト、第２ＯＬ値、第２レンズモード、第２加速電圧、第２ビーム電流、第２アライナー、第２ビームシフト、第２スティグマ値のそれぞれを対象第１操作項目として受け付けた場合について説明する。図５に示した画像Ｐ１は、当該場合において表示制御部４７３により生成された操作画面画像の一例である。
画像Ｐ１には、ダイヤルＤＬ１と、ダイヤルＤＬ２と、スライドバーＳＢと、６つのボタンＢＴｓが、操作対象として含まれている。
ダイヤルＤＬ１は、対象第１操作項目として表示制御部４７３が受け付けた第１コントラストに割り当てられた操作対象である。ダイヤルＤＬ１は、例えば、ダイヤルＤＬ１に割り当てられた第１コントラストに現在設定されている設定値を表示する図示しない表示欄を有する。表示制御部４７３が操作画面画像を生成する際、情報取得部４７１は、制御装置３０を介してビーム照射装置１０から当該設定値を示す設定値情報を取得する。表示制御部４７３は、情報取得部４７１が取得した当該設定値情報が示す設定値に基づいて、当該設定値を表示させた当該表示欄を有するダイヤルＤＬ１を生成する。また、情報取得部４７１は、表示制御部４７３が操作画面画像を表示部４５に表示させている間、ダイヤルＤＬ１が操作されるたびに、制御装置３０を介してビーム照射装置１０から当該設定値を示す設定値情報を取得する。表示制御部４７３は、情報取得部４７１が当該設定値情報を取得するたびに、取得した設定値情報が示す設定値を、当該表示欄に表示させる。なお、ダイヤルＤＬ１は、当該表示欄を有する構成に代えて、ダイヤルＤＬ１の円周に沿って所定間隔おきの目盛りと、各目盛りに応じた数値とが描かれている構成であってもよい。
ダイヤルＤＬ１がユーザーによって操作された場合、操作制御部４７５は、ダイヤルＤＬ１に対して行われたユーザーからの操作に応じた操作値を算出する。例えば、操作制御部４７５は、ダイヤルＤＬ１の単位回動角に対応付けられた所定値と、ユーザーがダイヤルＤＬ１を回動させた際の回動角とを乗算した値を当該操作値として算出する。当該単位回動角は、例えば、０．１度である。なお、当該単位回動角は、０．１度よりも小さい回動角であってもよく、０．１度よりも大きい回動角であってもよい。当該所定値は、第１コントラストに設定された第１コントラスト値を変更する際に変更可能な値として最も小さい値である。なお、当該所定値は、これに代えて、第１コントラストに設定された第１コントラスト値を変更する際に変更可能な他の値であってもよい。ここで、操作制御部４７５は、この一例において、ダイヤルＤＬ１が時計回りに回動させられた場合において当該操作値を正の値として算出し、ダイヤルＤＬ１が反時計回りに回動させられた場合において当該操作値を負の値として算出する。なお、操作制御部４７５は、ダイヤルＤＬ１が反時計回りに回動させられた場合において当該操作値を正の値として算出し、ダイヤルＤＬ１が時計回りに回動させられた場合において当該操作値を負の値として算出する構成であってもよい。操作制御部４７５は、算出した操作値を示す情報と、ダイヤルＤＬ１に割り当てられた第１操作項目（すなわち、第１コントラスト）を示す情報とのそれぞれを示す操作情報を生成する。操作制御部４７５は、生成した操作情報を、制御装置３０を介してビーム照射装置１０に出力する。これにより、携帯型情報端末４０は、当該場合、ダイヤルＤＬ１に対して行われたユーザーからの操作に応じて、第１コントラストを操作することができる。なお、操作制御部４７５は、ユーザーがダイヤルＤＬ１にタッチしたままダイヤルＤＬ１を回動させていない場合、当該操作値を算出しない。ユーザーがダイヤルＤＬ１にタッチしたままダイヤルＤＬ１を回動させていない場合とは、前述のタッチパネルにおいてダイヤルＤＬ１が表示された領域をユーザーがタッチしている場合であり、且つユーザーがタッチしているタッチ位置を動かしていない場合のことである。
また、ダイヤルＤＬ１がユーザーによって操作された場合、出力制御部４７６は、ダイヤルＤＬ１に割り当てられた第１コントラスト（この一例においてダイヤルＤＬ１に割り当てられた第１操作項目）に応じた種類の音を出力部４６に出力させる。第１コントラストに応じた種類（音の種類）、すなわち第１操作項目に応じた種類（音の種類）は、ユーザーによって選択可能な構成であってもよく、予め決められた構成であってもよい。当該種類がユーザーによって選択可能な構成の場合、出力制御部４７６は、例えば、ステップＳ１３０において情報受付画像を介してユーザーから当該種類を受け付ける。また、出力制御部４７６は、ダイヤルＤＬ１がユーザーによって操作された場合、操作制御部４７５が算出した操作値（ダイヤルＤＬ１の操作値）に応じた程度の音を出力部４６に出力させる。当該程度は、例えば、長さである。なお、当該程度は、長さに代えて、音の高低等であってもよい。すなわち、当該操作値は、ユーザーがダイヤルＤＬ１に対して行った操作の程度を表す値である。なお、出力制御部４７６は、ユーザーがダイヤルＤＬ１にタッチしたままダイヤルＤＬ１を回動させていない場合、音を出力部４６から出力させない。
ダイヤルＤＬ２は、対象第１操作項目として表示制御部４７３が受け付けた第１ブライトに割り当てられた操作対象である。ダイヤルＤＬ２に関する表示制御部４７３、操作制御部４７５、出力制御部４７６それぞれの動作は、ダイヤルＤＬ１がユーザーによって操作された場合における表示制御部４７３、操作制御部４７５、出力制御部４７６それぞれの動作と同様であるため、説明を省略する。
スライドバーＳＢは、対象第１操作項目として表示制御部４７３が受け付けた第２ＯＬ値に割り当てられた操作対象である。スライドバーＳＢは、例えば、スライドバーＳＢに割り当てられた第２ＯＬ値に現在設定されている設定値を表示する図示しない表示欄を有する。表示制御部４７３が操作画面画像を生成する際、情報取得部４７１は、制御装置３０を介してビーム照射装置１０から当該設定値を示す設定値情報を取得する。表示制御部４７３は、情報取得部４７１が取得した当該設定値情報が示す設定値に基づいて、当該設定値を表示させた当該表示欄を有するスライドバーＳＢを生成する。また、情報取得部４７１は、表示制御部４７３が操作画面画像を表示部４５に表示させている間、スライドバーＳＢが操作されるたびに、制御装置３０を介してビーム照射装置１０から当該設定値を示す設定値情報を取得する。表示制御部４７３は、情報取得部４７１が当該設定値情報を取得するたびに、取得した設定値情報が示す設定値を、当該表示欄に表示させる。なお、スライドバーＳＢは、当該表示欄を有する構成に代えて、スライドバーＳＢに沿った所定間隔おきの目盛りと、各目盛りに応じた数値とが描かれている構成であってもよい。
スライドバーＳＢがユーザーによって操作された場合、操作制御部４７５は、スライドバーＳＢに対して行われたユーザーからの操作に応じた操作値を算出する。例えば、操作制御部４７５は、スライドバーＳＢの単位スライド幅に対応付けられた所定値と、ユーザーがスライドバーＳＢをスライドさせた際のスライド幅とを乗算した値を当該操作値として算出する。当該単位スライド幅は、スライドバーＳＢをスライドさせる際にスライドさせることが可能な最小のスライド幅のことであり、例えば、１ミリメートルである。なお、当該単位スライド幅は、１ミリメートルよりも小さいスライド幅であってもよく、１ミリメートルよりも大きいスライド幅であってもよい。当該所定値は、第２ＯＬ値に設定された設定値を変更する際に変更可能な値として最も小さい値である。なお、当該所定値は、第２ＯＬ値に設定された設定値を変更する際に変更可能な他の値であってもよい。ここで、操作制御部４７５は、この一例において、スライドバーＳＢをスライドさせることが可能な２つの方向のうちの第１方向にスライドバーＳＢがスライドさせられた場合において当該操作値を正の値として算出し、スライドバーＳＢが当該第１方向と逆の方向である第２方向にスライドさせられた場合において当該操作値を負の値として算出する。なお、操作制御部４７５は、スライドバーＳＢが第２方向にスライドさせられた場合において当該操作値を正の値として算出し、スライドバーＳＢが第１方向にスライドさせられた場合において当該操作値を負の値として算出する構成であってもよい。操作画面画像内において第１方向及び第２方向は、ユーザーが任意に変更可能な構成であってもよく、予め決められた構成であってもよい。ユーザーが操作画面画像内において第１方向及び第２方向の向きを任意に変更可能な場合、表示制御部４７３は、例えば、ステップＳ１４０においてスライドバーを対象操作対象の種類として受け付ける際、情報受付画像を介してユーザーから当該向きを受け付ける。操作制御部４７５は、算出した操作値を示す情報と、スライドバーＳＢに割り当てられた第１操作項目（すなわち、第２ＯＬ値）を示す情報とのそれぞれを示す操作情報を生成する。操作制御部４７５は、生成した操作情報を、制御装置３０を介してビーム照射装置１０に出力する。これにより、携帯型情報端末４０は、当該場合、スライドバーＳＢに対して行われたユーザーからの操作に応じて、第２ＯＬ値を操作することができる。なお、操作制御部４７５は、ユーザーがスライドバーＳＢにタッチしたままスライドバーＳＢをスライドさせていない場合、当該操作値を算出しない。ユーザーがスライドバーＳＢにタッチしたままスライドバーＳＢをスライドさせていない場合とは、前述のタッチパネルにおいてスライドバーＳＢが表示された領域をユーザーがタッチしている場合であり、且つユーザーがタッチしているタッチ位置を動かしていない場合のことである。
また、スライドバーＳＢがユーザーによって操作された場合、出力制御部４７６は、スライドバーＳＢに割り当てられた第２ＯＬ値（この一例においてスライドバーＳＢに割り当てられた第１操作項目）に応じた種類の音を出力部４６に出力させる。第２ＯＬ値に応じた（音の）種類、すなわち第１操作項目に応じた（音の）種類は、ダイヤルＤＬ１及びダイヤルＤＬ２の場合と同様に、ユーザーによって選択可能な構成であってもよく、予め決められた構成であってもよい。また、出力制御部４７６は、スライドバーＳＢがユーザーによって操作された場合、ダイヤルＤＬ１及びダイヤルＤＬ２の場合と同様に、操作制御部４７５が算出した（スライドバーＳＢの）操作値に応じた程度の音を出力部４６に出力させる。
６つのボタンＢＴｓのそれぞれは、対象第１操作項目として表示制御部４７３が受け付けた第２レンズモードに割り当てられた操作対象である。第２レンズモードに設定される設定値は、この一例において、６つのレンズモードのそれぞれを示す値のいずれかである。すなわち、ボタンＢＴｓに含まれるボタンのそれぞれは、これら６つのレンズモードのいずれかに重複することなく対応付けられている。すなわち、ユーザーは、ボタンＢＴｓのうちのあるボタンを選択する操作（例えば、当該ボタンのタップ）により、当該ボタンに対応付けられた値を第２レンズモードに設定する操作値として選択し、第２レンズモードを操作することができる。表示制御部４７３が操作画面画像を生成する際、情報取得部４７１は、制御装置３０を介してビーム照射装置１０から、第２レンズモードに現在設定されている設定値を示す設定値情報を取得する。表示制御部４７３は、ボタンＢＴｓに含まれるボタンのうち情報取得部４７１が取得した当該設定値情報が示す設定値に対応付けられたボタンの表示状態を変化させる。表示状態は、例えば、当該ボタンの色、明るさ、大きさ等である。また、情報取得部４７１は、表示制御部４７３が操作画面画像を表示部４５に表示させている間、ボタンＢＴｓに含まれるボタンのいずれかが操作（タップ）されるたびに、制御装置３０を介してビーム照射装置１０から当該設定値を示す設定値情報を取得する。表示制御部４７３は、情報取得部４７１が当該設定値情報を取得するたびに、ボタンＢＴｓに含まれるボタンのうち情報取得部４７１が取得した当該設定値情報が示す設定値に対応付けられたボタンの表示状態を変化させる。なお、ボタンＢＴｓに含まれるボタンの数は、６つに代えて、６つより少ない数であってもよく、６つより多い数であってもよい。
ボタンＢＴｓに含まれる６つのボタンのうちのあるボタンがユーザーによって操作された場合、操作制御部４７５は、当該ボタンに対応付けられた操作値を特定する。操作制御部４７５は、特定した操作値を示す情報と、ボタンＢＴｓに割り当てられた第１操作項目（すなわち、第２レンズモード）を示す情報とのそれぞれを示す操作情報を生成する。操作制御部４７５は、生成した操作情報を、制御装置３０を介してビーム照射装置１０に出力する。これにより、携帯型情報端末４０は、当該場合、ボタンＢＴｓに対して行われたユーザーからの操作に応じて、第２レンズモードを操作することができる。なお、操作制御部４７５は、ユーザーがボタンＢＴｓに含まれるあるボタンにタッチしたまま当該ボタンを離さない場合、当該操作値を算出しない。
また、ボタンＢＴｓに含まれる６つのボタンのうちのあるボタンがユーザーによって操作された場合、出力制御部４７６は、ボタンＢＴｓに割り当てられた第２レンズモード（この一例においてボタンＢＴｓに割り当てられた第１操作項目）に応じた６つの種類の音のうち当該ボタンに応じた種類の音を出力部４６に出力させる。当該ボタンに応じた（音の）種類は、ユーザーによって選択可能な構成であってもよく、予め決められた構成であってもよい。当該種類がユーザーによって選択可能な構成の場合、出力制御部４７６は、例えば、ステップＳ１４０において情報受付画像を介してユーザーから当該種類を受け付ける。また、出力制御部４７６は、当該ボタンがユーザーによって操作された場合、操作制御部４７５が算出した（当該ボタンの）操作値に応じた程度の音を出力部４６に出力させる。なお、出力制御部４７６は、ユーザーがボタンＢＴｓに含まれるあるボタンにタッチしたまま当該ボタンを離さない場合、音を出力部４６から出力させない。
また、画像Ｐ１には、端部ＤＥと、領域ＲＡ１が含まれている。
端部ＤＥは、長方形状である画像Ｐ１が有する４つの辺それぞれに沿った端部のうちの１つである。図５に示した例では、端部ＤＥは、ダイヤルＤＬ１及びダイヤルＤＬ２からスライドバーＳＢに向かう方向側の端部である。ユーザーが端部ＤＥから画像Ｐ１の内側に向かってスライド操作を行った場合、表示制御部４７３は、図６に示した領域ＲＡ２を他の画像やＧＵＩの上に重ねて表示させる。図６は、領域ＲＡ２が表示された場合の画像Ｐ１の一例を示す図である。また、ユーザーが領域ＲＡ２内において端部ＤＥに向かってスライド操作を行った場合、表示制御部４７３は、領域ＲＡ２の表示を表示部４５から削除する。
図６に示した例では、領域ＲＡ２には、ダイヤルＤＬ３〜ダイヤルＤＬ７の５つのダイヤルが操作対象として含まれている。なお、領域ＲＡ２には、当該５つのダイヤルの一部又は全部に代えて、他の種類の操作対象が含まれる構成であってもよく、当該５つのダイヤルの一部又は全部に代えて、他のＧＵＩが含まれる構成であってもよく、当該５つのダイヤルに加えて、他の種類の操作対象が含まれる構成であってもよく、当該５つのダイヤルに加えて、他のＧＵＩが含まれる構成であってもよい。
前述した通り、表示制御部４７３は、ユーザーのスライド操作によって画像Ｐ１における領域ＲＡ２の表示／非表示を切り替えることができる。これにより、携帯型情報端末４０は、画像Ｐ１に表示させることが可能な情報を増やすことができる。
ダイヤルＤＬ３は、対象第１操作項目として表示制御部４７３が受け付けた第２加速電圧に割り当てられた操作対象である。ダイヤルＤＬ３に関する表示制御部４７３、操作制御部４７５、出力制御部４７６のそれぞれの動作は、ダイヤルＤＬ１がユーザーによって操作された場合における表示制御部４７３、操作制御部４７５、出力制御部４７６のそれぞれの動作と同様であるため、説明を省略する。
ダイヤルＤＬ４は、対象第１操作項目として表示制御部４７３が受け付けた第２ビーム電流に割り当てられた操作対象である。ダイヤルＤＬ４に関する表示制御部４７３、操作制御部４７５、出力制御部４７６のそれぞれの動作は、ダイヤルＤＬ１がユーザーによって操作された場合における表示制御部４７３、操作制御部４７５、出力制御部４７６のそれぞれの動作と同様であるため、説明を省略する。
ダイヤルＤＬ５は、対象第１操作項目として表示制御部４７３が受け付けた第２アライナーに割り当てられた操作対象である。ダイヤルＤＬ５に関する表示制御部４７３、操作制御部４７５、出力制御部４７６のそれぞれの動作は、ダイヤルＤＬ１がユーザーによって操作された場合における表示制御部４７３、操作制御部４７５、出力制御部４７６のそれぞれの動作と同様であるため、説明を省略する。
ダイヤルＤＬ６は、対象第１操作項目として表示制御部４７３が受け付けた第２ビームシフトに割り当てられた操作対象である。ダイヤルＤＬ６に関する表示制御部４７３、操作制御部４７５、出力制御部４７６のそれぞれの動作は、ダイヤルＤＬ１がユーザーによって操作された場合における表示制御部４７３、操作制御部４７５、出力制御部４７６のそれぞれの動作と同様であるため、説明を省略する。
ダイヤルＤＬ７は、対象第１操作項目として表示制御部４７３が受け付けた第２スティグマ値に割り当てられた操作対象である。ダイヤルＤＬ７に関する表示制御部４７３、操作制御部４７５、出力制御部４７６のそれぞれの動作は、ダイヤルＤＬ１がユーザーによって操作された場合における表示制御部４７３、操作制御部４７５、出力制御部４７６のそれぞれの動作と同様であるため、説明を省略する。
図５に戻る。領域ＲＡ１は、操作画面画像内において操作対象を配置不可能な領域であり、制御装置３０が生成した観察像が表示される領域である。すなわち、操作画面画像内における領域ＲＡ１の位置は、予め決められている。なお、操作画面画像内における領域ＲＡ１位置は、ユーザーにより変更可能な構成であってもよい。画像Ｐ１が表示部４５に表示されている間、像生成部４７２は、制御装置３０がビーム照射装置１０から取得した前述の観察像情報を制御装置３０から取得し、取得した観察像情報に基づく観察像を生成する。そして、表示制御部４７３は、像生成部４７２が生成した観察像を領域ＲＡ１に表示する。なお、表示制御部４７３は、領域ＲＡ１の形状を、前述の領域ＲＡ２が表示された場合、操作画面画像内において領域ＲＡ２が表示された領域に応じて変形させる構成であってもよい。これにより、携帯型情報端末４０は、領域ＲＡ２によって領域ＲＡ１の一部が隠されてしまうことを抑制することができる。
なお、表示制御部４７３は、ユーザーから受け付けた操作に基づいて、領域ＲＡ１の位置を、ユーザーに応じた位置に変更可能な構成であってもよい。例えば、表示制御部４７３は、ユーザーが左利き又は右利きであることを示す情報を受け付け、受け付けた情報に応じて領域ＲＡ１の位置を変更する。例えば、図５に示した画像Ｐ１における領域ＲＡ１の配置が右利き用である場合、表示制御部４７３は、画像Ｐ１における領域ＲＡ１と他の操作対象との図５における相対的な左右の位置関係を逆にする。
また、表示制御部４７３は、ユーザーから受け付けた１以上の入力情報に基づいて、図７に示したように、ダイヤルＤＬ１〜ダイヤルＤＬ７と、スライドバーＳＢと、ボタンＢＴｓと、領域ＲＡ１とのすべてを、領域ＲＡ２を表示させることなく表示させることが可能な操作画面画像を生成することもできる。図７に示した画像Ｐ２は、このような操作画面画像の一例である。すなわち、図７は、ステップＳ１８０において生成された操作画面画像の他の例を示す図である。
図４に戻る。ステップＳ１８０の処理が行われた後、表示制御部４７３は、ステップＳ１８０において生成した操作画面画像を表示部４５に表示させ（ステップＳ１９０）、処理を終了する。
＜実施形態の変形例＞
上記において説明した携帯型情報端末４０は、表示部４５に表示させた操作画面画像の履歴を示す履歴情報を記憶する構成であってもよい。例えば、表示制御部４７３は、図４に示したステップＳ１８０において生成した操作画面画像を示す情報を、記憶部４２に履歴情報として記憶させる構成であってもよい。この場合、表示制御部４７３は、ユーザーから受け付けた操作に基づいて、記憶部４２に記憶された１以上の履歴情報のうちのユーザーにより選択された履歴情報が示す操作画面画像を表示部４５に表示させる。これにより、携帯型情報端末４０は、履歴情報に基づいて、ユーザーが行う作業に応じた好ましい操作画面画像を表示部４５に表示させることができる。
また、上記において説明した携帯型情報端末４０は、表示部４５に表示させる操作画面画像を示す情報が記憶部４２に予め記憶されている構成であってもよい。この場合、携帯型情報端末４０は、情報受付画像を介してユーザーから各種の情報を受け付けることなく、ユーザーから受け付けた操作に応じて記憶部４２から操作画面画像を示す情報を読み出し、読み出した当該情報が示す操作画面画像を表示部４５に表示させる。これにより、携帯型情報端末４０は、携帯型情報端末４０を作製したメーカーが推奨する操作画面画像をユーザーに使用させることができる。
また、上記において説明した携帯型情報端末４０が有する機能は、インターネット、鵜移動体通信網等のネットワークに接続されたサーバーからアプリケーションプログラムとして取得可能であってもよい。この場合、タブレットＰＣ、多機能携帯電話端末（スマートフォン）等の携帯型情報端末は、当該ネットワークを介して当該サーバーから当該アプリケーションプログラムをダウンロードし、ダウンロードした当該アプリケーションプログラムをインストールすることにより、携帯型情報端末４０が有する機能と同様の機能を有するようになる。これにより、ユーザーは、ユーザーが所望する携帯型情報端末を携帯型情報端末４０として利用することができる。
また、上記において制御装置３０は、複数の携帯型情報端末４０が通信可能に接続されてもよい。この場合、当該複数の携帯型情報端末４０のうちのある携帯型情報端末４０である第１携帯型情報端末が制御装置３０を介してビーム照射装置１０の第１操作項目を操作している最中には、当該複数の携帯型情報端末４０のうちの第１携帯型情報端末以外の他の携帯型情報端末４０は、当該第１操作項目を操作することができない。当該他の携帯型情報端末４０は、第１携帯型情報端末による当該第１操作項目の操作が終了した後、当該第１操作項目の操作を行うことができる。
以上説明したように、上記の実施形態に係る携帯型情報端末４０は、試料に荷電粒子ビーム（この一例において、集束イオンビームＢ１、電子ビームＢ２）を照射して試料に対する処理を行う荷電粒子ビーム照射装置（この一例において、ビーム照射装置１０）と別体の携帯型情報端末であって、荷電粒子ビーム照射装置において操作可能な複数の操作項目のうちの一部の操作項目である第１操作項目をユーザーからの操作に基づいて操作可能なＧＵＩ（この一例において、操作対象）を含む画像（この一例において、操作画面画像）を表示部（この一例において、表示部４５）に表示させる。これにより、携帯型情報端末４０は、所望の位置において第１操作項目の操作を行うことができる。
また、携帯型情報端末４０では、第１操作項目には、荷電粒子ビームの状態に関する操作項目が含まれる。これにより、携帯型情報端末４０は、所望の位置において荷電粒子ビームの状態に関する操作項目が含まれる第１操作項目の操作を行うことができる。
また、携帯型情報端末４０では、荷電粒子ビームの状態に関する操作項目には、加速電圧、ビーム電流、レンズモード、アライナー、ビームシフト、ＯＬ値、スティグマ値の少なくとも一部が含まれる。これにより、携帯型情報端末４０は、所望の位置において加速電圧、ビーム電流、レンズモード、アライナー、ビームシフト、ＯＬ値、スティグマ値の少なくとも一部が含まれる第１操作項目の操作を行うことができる。
また、携帯型情報端末４０では、第１操作項目には、荷電粒子ビームが照射された試料から放射された二次粒子（この一例において、電子、Ｘ線等）が検出される検出感度に関する操作項目が含まれる。これにより、携帯型情報端末４０は、所望の位置において、荷電粒子ビームが照射された試料から放射された二次粒子が検出される検出感度に関する操作項目が含まれる第１操作項目の操作を行うことができる。
また、携帯型情報端末４０では、第１操作項目には、荷電粒子ビームが照射された試料から放射された二次粒子（この一例において、電子、Ｘ線等）が検出される検出感度に関する操作項目には、コントラスト、ブライトのうち少なくとも一方が含まれる。これにより、携帯型情報端末４０は、所望の位置においてコントラスト、ブライトのうち少なくとも一方が含まれる第１操作項目の操作を行うことができる。
また、携帯型情報端末４０は、第１操作項目をユーザーからの操作に基づいて操作可能なＧＵＩを含む画像内において予め決められた位置に像生成部（この一例において、像生成部４７２）が生成した観察像を表示部に表示させる。これにより、携帯型情報端末４０は、表示部に表示された観察像を確認しながら、所望の位置において第１操作項目の操作を行うことができる。
また、携帯型情報端末４０は、第１操作項目をユーザーからの操作に基づいて操作可能なＧＵＩを含む画像内において、ユーザーから受け付けた操作に応じた位置に当該ＧＵＩを配置する。これにより、携帯型情報端末４０は、当該画像内においてユーザーが所望する位置に当該ＧＵＩを配置することができる。
また、携帯型情報端末４０は、ユーザーが操作しているＧＵＩに割り当てられた第１操作項目に応じた種類の出力を出力部に出力させる。これにより、携帯型情報端末４０では、ユーザーは、当該出力によって表示部を見ることなく所望の第１操作項目を操作することができる。
また、携帯型情報端末４０は、ユーザーが操作しているＧＵＩに割り当てられた第１操作項目に応じた種類の出力として、当該種類の音を出力部に出力させる。これにより、携帯型情報端末４０では、ユーザーは、当該音によって表示部を見ることなく所望の第１操作項目を操作することができる。
また、携帯型情報端末４０は、ユーザーが操作しているＧＵＩに対してユーザーが行った操作の程度に応じた程度の音を出力部に出力させる。これにより、携帯型情報端末４０では、ユーザーは、表示部を見ることなく、当該操作の程度に応じて第１操作項目を操作することができる。
また、携帯型情報端末４０は、タッチパネルにおいてＧＵＩが表示された領域をユーザーがタッチしている場合であり、且つユーザーがタッチしているタッチ位置を動かしていない場合、ユーザーが操作しているＧＵＩに割り当てられた第１操作項目に応じた種類の音を出力部から出力させない。これにより、携帯型情報端末４０では、ユーザーは、第１操作項目を操作している時と、第１操作項目を操作していない時とを、表示部を見ることなく明確に区別することができる。その結果、携帯型情報端末４０は、ユーザーによる第１操作項目の誤操作を抑制することができる。
以上、この発明の実施形態を、図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない限り、変更、置換、削除等されてもよい。
また、以上に説明した装置（例えば、制御装置３０、携帯型情報端末４０）における任意の構成部の機能を実現するためのプログラムを、コンピューター読み取り可能な記録媒体に記録し、そのプログラムをコンピューターシステムに読み込ませて実行するようにしてもよい。なお、ここでいう「コンピューターシステム」とは、ＯＳ（Operating System）や周辺機器等のハードウェアを含むものとする。また、「コンピューター読み取り可能な記録媒体」とは、フレキシブルディスク、光磁気ディスク、ＲＯＭ、ＣＤ（Compact Disk）−ＲＯＭ等の可搬媒体、コンピューターシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装置のことをいう。さらに「コンピューター読み取り可能な記録媒体」とは、インターネット等のネットワークや電話回線等の通信回線を介してプログラムが送信された場合のサーバーやクライアントとなるコンピューターシステム内部の揮発性メモリー（ＲＡＭ）のように、一定時間プログラムを保持しているものも含むものとする。
また、上記のプログラムは、このプログラムを記憶装置等に格納したコンピューターシステムから、伝送媒体を介して、あるいは、伝送媒体中の伝送波により他のコンピューターシステムに伝送されてもよい。ここで、プログラムを伝送する「伝送媒体」は、インターネット等のネットワーク（通信網）や電話回線等の通信回線（通信線）のように情報を伝送する機能を有する媒体のことをいう。
また、上記のプログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであってもよい。さらに、上記のプログラムは、前述した機能をコンピューターシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせで実現できるもの、いわゆる差分ファイル（差分プログラム）であってもよい。
１…ビーム照射システム、１０…ビーム照射装置、１１…集束イオンビーム鏡筒、１２…電子ビーム鏡筒、１３…試料室、１４…ステージ、１６…二次電子検出器、１７…ＥＤＳ検出器、１８…ＥＢＳＤ検出器、３０…制御装置、３５…表示装置、４０…携帯型情報端末、４１…ＣＰＵ、４２…記憶部、４３…入力受付部、４４…通信部、４５…表示部、４６…出力部、４７…制御部、４７１…情報取得部、４７２…像生成部、４７３…表示制御部、４７５…操作制御部…４７６…出力制御部

Claims (13)

  1. 試料に荷電粒子ビームを照射して前記試料に対する処理を行う荷電粒子ビーム照射装置と別体の携帯型情報端末であって、
    前記荷電粒子ビーム照射装置において操作可能な複数の操作項目のうちの一部の操作項目である第１操作項目をユーザーからの操作に基づいて操作可能なＧＵＩ（Graphical User Interface）であって互いに異なる前記第１操作項目が割り当てられているＧＵＩを含む画像を表示部に表示させる表示制御部と、
    ユーザーが操作している前記ＧＵＩに割り当てられた前記第１操作項目に応じた種類の出力を出力部に出力させる出力制御部と、
    を備え、
    前記出力部は、スピーカーであり、
    前記出力制御部は、前記種類の出力として、前記種類の音を前記出力部に出力させ、
    前記出力制御部は、ユーザーが操作している前記ＧＵＩに対してユーザーが行った操作の程度に応じた程度の音を前記出力部に出力させる、
    携帯型情報端末。
  2. 前記第１操作項目には、前記荷電粒子ビームの状態に関する操作項目が含まれる、
    請求項１に記載の携帯型情報端末。
  3. 前記荷電粒子ビームの状態に関する操作項目には、加速電圧、ビーム電流、レンズモード、アライナー、ビームシフト、ＯＬ値、スティグマ値の少なくとも一部が含まれる、
    請求項２に記載の携帯型情報端末。
  4. 前記第１操作項目には、前記荷電粒子ビームが照射された前記試料から放射された二次粒子が検出される検出感度に関する操作項目が含まれる、
    請求項１から３のうちいずれか一項に記載の携帯型情報端末。
  5. 前記検出感度に関する操作項目には、コントラスト、ブライトのうち少なくとも一方が含まれる、
    請求項４に記載の携帯型情報端末。
  6. 前記荷電粒子ビームが照射された前記試料から放射された二次粒子を示す情報に基づいて前記試料の観察像を生成する像生成部を備え、
    前記表示制御部は、前記画像内において予め決められた位置に前記像生成部が生成した前記観察像を前記表示部に表示させる、
    請求項１から５のうちいずれか一項に記載の携帯型情報端末。
  7. 前記表示制御部は、前記画像内において、ユーザーから受け付けた操作に応じた位置に前記ＧＵＩを配置する、
    請求項１から６のうちいずれか一項に記載の携帯型情報端末。
  8. 前記表示部は、タッチパネルであり、
    前記出力制御部は、前記タッチパネルにおいて前記ＧＵＩが表示された領域をユーザーがタッチしている場合であり、且つユーザーがタッチしているタッチ位置を動かしていない場合、前記種類の音を前記出力部から出力させない、
    請求項１から７のうちいずれか一項に記載の携帯型情報端末。
  9. 前記荷電粒子ビーム照射装置は、前記荷電粒子ビーム照射装置を制御する制御装置と通信可能に接続されており、
    前記携帯型情報端末は、前記制御装置と通信可能に接続されており、ユーザーから受け付けた操作に基づいて、前記制御装置を介して前記第１操作項目を操作する、
    請求項１から８のうちいずれか一項に記載の携帯型情報端末。
  10. 前記携帯型情報端末は、前記制御装置と無線によって通信可能に接続されている、
    請求項９に記載の携帯型情報端末。
  11. 試料に荷電粒子ビームを照射して前記試料に対する処理を行う荷電粒子ビーム照射装置と、
    前記荷電粒子ビーム照射装置と別体の携帯型情報端末と、
    を備えるビーム照射システムであって、
    前記携帯型情報端末は、前記荷電粒子ビーム照射装置において操作可能な操作項目のうち少なくとも一部の操作項目である第１操作項目をユーザーからの操作に基づいて操作可能なＧＵＩ（Graphical User Interface）であって互いに異なる前記第１操作項目が割り当てられているＧＵＩを含む画像を表示部に表示させる表示制御部と、
    ユーザーが操作している前記ＧＵＩに割り当てられた前記第１操作項目に応じた種類の出力を出力部に出力させる出力制御部と、
    を備え、
    前記出力部は、スピーカーであり、
    前記出力制御部は、前記種類の出力として、前記種類の音を前記出力部に出力させ、
    前記出力制御部は、ユーザーが操作している前記ＧＵＩに対してユーザーが行った操作の程度に応じた程度の音を前記出力部に出力させる、
    ビーム照射システム。
  12. 試料にビームを照射して前記試料に対する処理を行うビーム照射装置と別体の携帯型情報端末であって、
    前記ビーム照射装置において操作可能な複数の操作項目のうちの１以上の一部の操作項目である第１操作項目をユーザーからの操作に基づいて操作可能なＧＵＩ（Graphical User Interface）であって互いに異なる前記第１操作項目が割り当てられているＧＵＩを含む画像を表示部に表示させる表示制御部と、
    ユーザーが操作している前記ＧＵＩに割り当てられた前記第１操作項目に応じた種類の出力を出力部に出力させる出力制御部と、
    を備え、
    前記出力部は、スピーカーであり、
    前記出力制御部は、前記種類の出力として、前記種類の音を前記出力部に出力させ、
    前記出力制御部は、ユーザーが操作している前記ＧＵＩに対してユーザーが行った操作の程度に応じた程度の音を前記出力部に出力させる、
    携帯型情報端末。
  13. 試料に荷電粒子ビームを照射して前記試料に対する処理を行う荷電粒子ビーム照射装置と別体の携帯型情報端末に、
    前記荷電粒子ビーム照射装置において操作可能な複数の操作項目のうちの１以上の一部の操作項目である第１操作項目をユーザーからの操作に基づいて操作可能なＧＵＩ（Graphical User Interface）であって互いに異なる前記第１操作項目が割り当てられているＧＵＩを含む画像を表示部に表示させる表示ステップと、
    ユーザーが操作している前記ＧＵＩに割り当てられた前記第１操作項目に応じた種類の出力を出力部に出力させる出力ステップと、
    を実行させるためのプログラムであり、
    前記出力部は、スピーカーであり、
    前記出力ステップは、前記種類の出力として、前記種類の音を前記出力部に出力させ、
    前記出力ステップは、ユーザーが操作している前記ＧＵＩに対してユーザーが行った操作の程度に応じた程度の音を前記出力部に出力させる、
    プログラム。
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KR1020180034521A KR102588172B1 (ko) 2017-03-28 2018-03-26 휴대형 정보단말, 빔 조사 시스템, 및 프로그램
US15/936,183 US10485087B2 (en) 2017-03-28 2018-03-26 Portable information terminal, beam irradiation system, and program
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DE102018107250.3A DE102018107250A1 (de) 2017-03-28 2018-03-27 Tragbares Informationsendgerät, Bestrahlungsvorrichtung und Programm

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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11367588B2 (en) * 2018-07-25 2022-06-21 Hitachi High-Tech Corporation Charged particle beam device
JP7329081B2 (ja) * 2020-02-05 2023-08-17 株式会社日立ハイテク 計測システム、および荷電粒子線装置のパラメータ設定方法

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11110107A (ja) * 1997-09-29 1999-04-23 Toshiba Corp 情報入力装置および自動取引装置
US6222544B1 (en) * 1997-10-17 2001-04-24 Siemens Medical Systems, Inc. Graphical user interface for radiation therapy treatment apparatus
JP2002268079A (ja) * 2001-03-09 2002-09-18 Seiko Epson Corp 電気光学装置と電子機器
JP4355634B2 (ja) * 2004-09-02 2009-11-04 株式会社キーエンス 荷電粒子線装置、荷電粒子線装置の操作方法、荷電粒子線装置操作プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体又は記録した機器
JP4895569B2 (ja) * 2005-01-26 2012-03-14 株式会社日立ハイテクノロジーズ 帯電制御装置及び帯電制御装置を備えた計測装置
JP2011048686A (ja) * 2009-08-27 2011-03-10 Kyocera Corp 入力装置
JP5422506B2 (ja) * 2010-07-08 2014-02-19 株式会社キーエンス 拡大観察装置及び拡大観察方法、拡大観察用プログラム並びにコンピュータで読み取り可能な記録媒体
JP2012048923A (ja) * 2010-08-26 2012-03-08 Hitachi High-Technologies Corp 荷電粒子線装置
JP2012159699A (ja) 2011-02-01 2012-08-23 Jeol Ltd 画像表示方法、画像表示装置、プログラム及び情報記憶媒体
JP2014045232A (ja) * 2012-08-24 2014-03-13 Hitachi Consumer Electronics Co Ltd 遠隔操作システム、及び端末装置
EP2881972B1 (en) * 2013-08-09 2017-03-22 Carl Zeiss Microscopy Ltd. Method and data analysis system for semi-automated particle analysis using a charged particle beam
CN105518821B (zh) * 2013-09-06 2017-06-23 株式会社日立高新技术 带电粒子束装置以及试样图像取得方法
JP6664609B2 (ja) * 2014-03-28 2020-03-13 株式会社ユピテル 電子情報システム及びそのプログラム
JP6395650B2 (ja) * 2015-03-23 2018-09-26 株式会社日立製作所 Ｘ線撮影装置
JP6960716B2 (ja) * 2015-08-31 2021-11-05 株式会社デンソーテン 入力装置、表示装置、入力装置の制御方法およびプログラム
JP6774862B2 (ja) * 2016-12-05 2020-10-28 日本電子株式会社 プログラム、制御装置、および情報記憶媒体

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