TWI764995B - 攜帶式資訊終端、射束照射系統、及程式 - Google Patents

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Abstract

[課題]提供一種攜帶式資訊終端，能夠在期望的位置進行第1操作項目的操作。 　　[解決手段]一種攜帶式資訊終端，其係與對試樣照射帶電粒子束來對試樣進行處理的帶電粒子束照射裝置為不同體；其特徵為： 　　具備：顯示控制部，其係使顯示部顯示包含GUI (Graphical User Interface)的影像，該GUI能夠根據來自使用者的操作來操作第1操作項目，該第1操作項目是能夠在帶電粒子束照射裝置進行操作的多個操作項目中1個以上的一部分操作項目。

Description

攜帶式資訊終端、射束照射系統、及程式
本發明有關攜帶式資訊終端、射束照射系統、及程式。
有關對試樣照射帶電粒子束來對試樣進行處理的帶電粒子束照射裝置的技術的研究和開發持續進行。
與此相關，公知有具有觸控面板的控制裝置所控制的帶電粒子束照射裝置(參閱專利文獻1)。 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2012-159699號專利公報
[發明欲解決之課題]
在此，在習知的帶電粒子束照射裝置中，由帶電粒子束照射裝置所具有的操作面板或控制裝置中的任意一個對能夠在帶電粒子束照射裝置中進行操作的多個操作項目進行操作。操作面板是設置有對該多個操作項目分別進行操作的轉盤(dial)、按鈕等硬體的面板。但是，操作面板無法從控制裝置拆下而移動。另外，控制裝置大多與帶電粒子束照射裝置構成為一體。另外，控制裝置即使在與帶電粒子束照射裝置不同體構成的情況下，也有可能因移動所引起的故障等而無法進行帶電粒子束照射裝置的控制。因此，控制裝置在該情況下也有時無法容易地移動。其結果是，在該帶電粒子束照射裝置中，使用者有時難以在期望的位置進行該多個操作項目各自的操作。
因此，本發明有鑒於上述習知技術的問題而完成的，提供一種攜帶式資訊終端、射束照射系統、以程式，其能夠在期望的位置進行第1操作項目的操作。 [解決課題之手段]
本發明之其中一個樣態一種攜帶式資訊終端，其係與對試樣照射帶電粒子束來對前述試樣進行處理的帶電粒子束照射裝置為不同體；其特徵為：具備：顯示控制部，其係使顯示部顯示包含GUI(Graphical User Interface)的影像，該GUI能夠根據來自使用者的操作來操作第1操作項目，該第1操作項目是能夠在前述帶電粒子束照射裝置中進行操作的多個操作項目中的一部分操作項目。
另外，在本發明的另一樣態中，在上述的攜帶式資訊終端中也可以使用如下構成：在前述第1操作項目中，包含有與前述帶電粒子束的狀態相關的操作項目。
另外，在本發明的另一樣態中，在上述的攜帶式資訊終端中也可以使用如下構成：在與前述帶電粒子束的狀態相關的操作項目中，包含有：加速電壓、射束電流、透鏡模式、對位器、射束位移、OL值、像差值中至少一部分者。
另外，在本發明的另一樣態中，在上述的攜帶式資訊終端中也可以使用如下構成：在前述第1操作項目中，包含有：與檢測從被前述帶電粒子束照射的前述試樣所放射出的二次粒子的檢測靈敏度相關的操作項目。
另外，在本發明的另一樣態中，在上述的攜帶式資訊終端中也可以使用如下構成：在與前述檢測靈敏度相關的操作項目中，包含有：對比度、亮度中至少其中一方者。
另外，在本發明的另一樣態中，在上述的攜帶式資訊終端中也可以使用如下構成：該攜帶式資訊終端具備：像生成部，其係根據表示從被前述帶電粒子束照射的前述試樣所放射出的二次粒子的資訊，生成前述試樣的觀察像；前述顯示控制部使前述顯示部在前述影像內預先決定的位置上顯示前述像生成部所生成的前述觀察像。
另外，在本發明的另一樣態中，在上述的攜帶式資訊終端中也可以使用如下構成：前述顯示控制部將前述GUI配置在前述影像內與受理來自使用者的操作對應的位置上。
另外，在本發明的另一樣態中，在上述的攜帶式資訊終端中也可以使用如下構成：對於前述GUI分配了相互不同的前述第1操作項目；該攜帶式資訊終端還具備：輸出控制部，其係使輸出部輸出與分配給使用者所操作的前述GUI的前述第1操作項目對應的種類的輸出。
另外，在本發明的另一樣態中，在上述的攜帶式資訊終端中也可以使用如下構成：前述輸出部為揚聲器；前述輸出控制部使前述輸出部輸出前述種類的聲音作為前述種類的輸出。
另外，在本發明的另一樣態中，在上述的攜帶式資訊終端中也可以使用如下構成：前述輸出控制部使前述輸出部輸出與使用者對使用者所操作的前述GUI進行的操作的程度對應的程度的聲音。
另外，在本發明的另一樣態中，在上述的攜帶式資訊終端中也可以使用如下構成：前述顯示部是觸控面板；在使用者觸碰前述觸控面板上顯示了前述GUI的區域，且使用者未使所觸碰的觸碰位置移動的情況下，前述輸出控制部不從前述輸出部輸出前述種類的聲音。
另外，在本發明的另一樣態中，在上述的攜帶式資訊終端中也可以使用如下構成：前述帶電粒子束照射裝置與控制前述帶電粒子束照射裝置的控制裝置連接成可以通訊；前述攜帶式資訊終端與前述控制裝置連接成可以通訊，根據受理來自使用者的操作，透過前述控制裝置，操作前述第1操作項目。
另外，在本發明的另一樣態中，在上述的攜帶式資訊終端中也可以使用如下構成：前述攜帶式資訊終端與前述控制裝置係藉由無線連接成可以通訊。
另外，本發明的另一樣態是一種射束照射系統，其係具備：帶電粒子束照射裝置，其係對試樣照射帶電粒子束來對前述試樣進行處理；以及攜帶式資訊終端，其係與前述帶電粒子束照射裝置不同體；其特徵為：前述攜帶式資訊終端具備：顯示控制部，其係使顯示部顯示包含GUI(Graphical User Interface)的影像，該GUI能夠根據來自使用者的操作來操作第1操作項目，該第1操作項目是能夠在前述帶電粒子束照射裝置中進行操作的操作項目中的至少一部分的操作項目。
另外，本發明的另一樣態是一種攜帶式資訊終端，其係與對試樣照射射束來對前述試樣進行處理的射束照射裝置為不同體；其特徵為：具備：顯示控制部，其係使顯示部顯示包含GUI(Graphical User Interface)的影像，該GUI能夠根據來自使用者的操作來操作第1操作項目，該第1操作項目是能夠在前述射束照射裝置中進行操作的多個操作項目中的1個以上的一部分操作項目。
另外，本發明的另一樣態是一種程式，係用於與對試樣照射帶電粒子束來對前述試樣進行處理的帶電粒子束照射裝置為不同體的攜帶式資訊終端，執行如下的步驟：使顯示部顯示包含GUI(Graphical User Interface)的影像，該GUI能夠根據來自使用者的操作來操作第1操作項目，該第1操作項目是能夠在前述帶電粒子束照射裝置中進行操作的多個操作項目中1個以上的一部分操作項目。 [發明效果]
根據本發明，可以提供能夠在期望的位置進行第1操作項目的操作的攜帶式資訊終端、射束照射系統以及程式。
＜實施形態＞ 　　以下，關於本發明之實施形態，參閱圖面來說明之。
＜射束照射系統所進行的處理的概要＞ 　　首先，對實施型態的射束照射系統1所進行的處理的概要進行說明。
射束照射系統1具有射束照射裝置10、控制裝置30、以及攜帶式資訊終端40。關於射束照射裝置10、控制裝置30、攜帶式資訊終端40的詳細各自將在後面說明。
在射束照射系統1中，控制裝置30根據受理來自使用者的操作對射束照射裝置10進行控制，向試樣照射射束來對試樣進行處理。例如，射束照射系統1進行藉由該射束使試樣的截面露出並且藉由該射束生成該截面的觀察像(截面像)並進行顯示生成的觀察像的處理。另外，射束照射系統1也可以採用如下構成：進行透過照射該射束來切斷試樣的處理、透過照射該射束而在試樣上形成沉積膜(deposited film)的處理等其他處理作為針對試樣的處理。另外，以下，作為一例，對該射束是電子束、聚焦離子束等使帶電粒子聚焦的帶電粒子束的情況進行說明。即，在該一例中，射束照射系統1是帶電射束照射系統。另外，在該一例中，射束照射裝置10是帶電射束照射裝置。另外，該射束也可以代替帶電粒子束而是紅外線束、可見光束、X射線束、伽瑪射線束等中性粒子束。另外，該觀察像是表示試樣的化學組成中的該截面的化學組成、試樣的晶體結構中的該截面的晶體結構等試樣的內部構造的像。例如，該觀察像是SIM(Scanning Ion Microscope：掃描離子顯微鏡)像、SEM(Scanning Electron Microscope：掃描電子顯微鏡)像、BSE(Back Scattering Electron：背散射電子)像、EDS(Energy DispersiveX-ray Spectrometer：能量色散X射線光譜儀)像、EBSD(Electron Back Scatter Diffraction：電子背散射衍射)像等。
在射束照射系統1中，在生成向試樣照射帶電粒子束而露出的截面的觀察像時，射束照射裝置10對向該截面照射帶電粒子束而在該截面上產生的二次粒子進行檢測。然後，控制裝置30根據射束照射裝置10所檢測的二次粒子生成該截面的觀察像。二次粒子是包含於試樣的電子中的帶電粒子束所散射的散射電子、包含於試樣的電子中的帶電粒子束所激勵的電子所放射的X射線等。控制裝置30根據二次粒子生成該觀察像的方法可以是已知的方法，也可以是將來開發的方法。另外，二次粒子也可以是其他粒子代替該散射電子和該X射線中的任意一方或兩者。
在此，在與射束照射系統1不同的射束照射系統X即不具有攜帶式資訊終端40的射束照射系統X(例如，現有的射束照射系統)中，由射束照射裝置10所具有的操作面板或控制裝置30中的任意一個對能夠在射束照射裝置10中進行操作的多個操作項目中的一部分操作項目即第1操作項目進行操作。操作面板是設置有對第1操作項目分別進行操作的轉盤、按鈕等硬體的面板。但是，操作面板無法從控制裝置30拆下而移動。另外，控制裝置30大多與射束照射裝置10構成為一體。另外，控制裝置30即使在與射束照射裝置10不同體構成的情況下，也有可能因移動所引起的故障等而無法進行射束照射裝置10的控制。因此，控制裝置30在該情況下也有時無法容易地移動。其結果是，在射束照射系統X中，使用者有時難以在期望的位置進行1個以上的第1操作項目各自的操作。
因此，射束照射系統1除了射束照射裝置10和控制裝置30之外還具有上述的攜帶式資訊終端40。攜帶式資訊終端40與射束照射裝置10不同體，使包含能夠根據來自使用者的操作來操作第1操作項目的GUI(Graphical User Interface：圖形化使用者介面)在內的影像顯示。以下，為了便於說明，將該GUI稱作操作對象並進行說明。使用者能夠對包含於該影像的1個以上的操作對象進行操作，從而對分別分配給該1個以上的操作對象的第1操作項目進行操作。在使用者對該1個以上的操作對象中的某個操作對象進行操作的情況下，攜帶式資訊終端40透過對分配給該操作對象的第1操作項目進行操作而將設定在射束照射裝置10中的設定值變更為與使用者對該操作對象進行的操作對應的值即操作值。由此，在射束照射系統1中，使用者能夠在期望的位置進行第1操作項目的操作。另外，該設定值是與該第1操作項目的種類對應的數值，例如是表示物理量的數值、由使用者預先決定的表示何種狀態的數值、表示物體的數值等。
在該一例中，在第1操作項目中包含有與帶電粒子束的狀態相關的操作項目、與檢測從被帶電粒子束照射的試樣放射的二次粒子的檢測靈敏度相關的操作項目這2種操作項目。另外，也可以採用在第1操作項目中代替該2種操作項目中的任意一方或兩者而包含有其他操作項目的構成，也可以採用除了該2種操作項目之外還包含有其他操作項目的構成，也可以採用僅包含有該2種操作項目中的一方的構成。
在本實施方式中，對攜帶式資訊終端40所進行的處理進行詳細地說明。另外，以下，作為一例，對上述的試樣為試樣S的情況進行說明。試樣S例如是導電性的試樣。另外，也可以取而代之，試樣S是絕緣性的試樣，也可以是半導電性的試樣(半導體試樣)。另外，上述的試樣也可以是其他試樣代替試樣S，例如也可以是構成生物的細胞、骨等生物體。
＜射束照射系統1的構成＞ 　　以下，參閱圖1對射束照射系統1的構成進行說明。圖1是表示出實施型態的射束照射系統1的構成的一例的圖。
如上所述，射束照射系統1具備：射束照射裝置10、控制裝置30、以及攜帶式資訊終端40。另外，射束照射系統1還具備顯示裝置35。另外，在該一例中的射束照射系統1中，射束照射裝置10、控制裝置30、顯示裝置35各自不同體構成，但也可以取而代之，射束照射裝置10、控制裝置30、顯示裝置35的一部或全部一體構成。但是，在射束照射系統1中，攜帶式資訊終端40與射束照射裝置10、控制裝置30、顯示裝置35中的任意一個均是不同體的。
射束照射裝置10例如具有聚焦離子束(FIB(Focused Ion Beam))鏡筒11、電子束(EB(Electron Beam))鏡筒12、試樣室13、上述的未圖示的操作面板。
聚焦離子束鏡筒11照射使預先決定的種類的離子聚焦而成的聚焦離子束B1作為上述帶電粒子束的1種。聚焦離子束鏡筒11例如具有離子源(例如離子槍、氣體電解電離型離子源等)、離子加速部、離子照射部。離子源係產生離子。離子加速部對離子源所產生的離子向離子加速方向施加電場，使該離子加速。離子加速方向是沿聚焦離子束鏡筒11的中心軸的方向且是從聚焦離子束鏡筒11的離子源朝向聚焦離子束鏡筒11的射出聚焦離子束B1的射出口的方向。離子照射部具有靜電透鏡，由該靜電透鏡對被離子加速部加速後的離子施加電場，使該離子聚焦。而且，離子照射部將聚焦的離子作為聚焦離子束B1從該射出口向規定的照射區域照射。另外，該靜電透鏡可以是加速型，也可以是減速型。另外，離子照射部也可以採用如下的構成：具有磁場透鏡，透過該磁場透鏡對被離子加速部加速後的離子施加磁場，使該離子聚焦。
聚焦離子束鏡筒11收納在試樣室13內。在試樣室13中具有作為載置試樣S的試樣台的載臺14、根據來自控制裝置30的請求使載臺14的位置和姿勢變化的載臺驅動部。在該一例中，載臺14的位置由三維坐標系11C中的位置即三維坐標系14C的原點的位置進行表示。另外，載臺14的姿勢由相對於三維坐標系11C的各坐標軸的方向即三維坐標系14C的各坐標軸的方向進行表示。所謂三維坐標系11C是與聚焦離子束鏡筒11的預先決定的位置對應的三維坐標系。該預先決定的位置例如是聚焦離子束鏡筒11的重心的位置。在圖1中，為了防止附圖變得繁雜，三維坐標系11C的原點的位置從該重心的位置偏移。另外，該預先決定的位置也可以是與聚焦離子束鏡筒11對應的其他位置而取代之，。由於聚焦離子束鏡筒11被固定在試樣室13內而不移動，因此三維坐標系11C的原點的位置、以及三維坐標系11C的各坐標軸的方向被固定而不移動。所謂三維坐標系14C是與載臺14的上表面的中心對應的三維坐標系。因此，三維坐標系14C在載臺14移動的情況下與載臺14一起移動。在圖1中，為了防止附圖變得繁雜，三維坐標系14C的原點的位置從該中心的位置偏移。
在此，在該一例中，三維坐標系11C中的Z軸方向與聚焦離子束鏡筒11的中心軸方向一致。另外，三維坐標系11C中的X軸方向是與該Z軸方向垂直的方向，與從聚焦離子束鏡筒11朝向電子束鏡筒12的方向一致。另外，三維坐標系11C中的Y軸方向與該X軸方向和該Z軸方向一致。另外，也可以採用三維坐標系11C中的X軸方向、Y軸方向、Z軸方向分別與其他方向一致的構成而取代之。
聚焦離子束鏡筒11在載臺14的位置和姿勢與作為預先決定的基準的位置和姿勢即基準位置和基準姿勢一致的情況下，將聚焦離子束鏡筒11的中心軸設置在與載臺14的上表面垂直的位置。以下，為了簡化說明，對使用者不使載臺14的位置和姿勢從基準位置和基準姿勢變化的情況進行說明。
在此，在該一例中，在載臺14的位置和姿勢與基準位置和基準姿勢一致的情況下，三維坐標系14C中的X軸方向、Y軸方向、Z軸方向各自與三維坐標系11C中的X軸方向、Y軸方向、Z軸方向分別一致。另外，在該情況下，也可以採用三維坐標系14C中的X軸方向、Y軸方向、Z軸方向分別與其他方向一致的構成而取代之。
另外，聚焦離子束鏡筒11設置在能夠向上述的照射區域照射聚焦離子束B1的位置。該照射區域是載臺14的位置和姿勢與基準位置和基準姿勢一致的情況下的、設定在沿載臺14的上表面的平面上的平面區域。以下，作為一例，對照射區域是設定在該情況下的載臺14的上表面的內側的區域的情況進行說明。另外，照射區域也可以為設定在包含該情況下的載臺14的上表面的一部分或全部在內的範圍內的區域而取代之。另外，照射區域始終固定，即使在載臺驅動部使載臺14的位置和姿勢變化的情況下，也不會與載臺14的上表面一起移動。即，載臺驅動部透過使載臺14的位置和姿勢變化，能夠使載置於載臺14的上表面的試樣S相對於照射區域相對地並進平移或傾斜。
電子束鏡筒12照射使電子聚焦的電子束B2。電子束鏡筒12例如具備：電子源(例如電子槍)、電子加速部、以及電子照射部。電子源係產生電子。電子加速部對電子源所產生的電子向電子加速方向施加電場，使該電子加速。電子加速方向是沿電子束鏡筒12的中心軸的方向且是從電子束鏡筒12的電子源朝向電子束鏡筒12的射出電子束B2的射出口的方向。電子照射部具有靜電透鏡，由該靜電透鏡對被電子加速部加速後的電子施加電場，使該電子聚焦。然後，電子照射部將聚焦的電子作為電子束B2從該射出口照射。另外，該靜電透鏡可以是加速型，也可以是減速型。另外，電子照射部也可以採用如下構成：具有磁場透鏡，由該磁場透鏡對被電子加速部加速後的電子施加磁場，使該電子聚焦。
另外，電子束鏡筒12具有未圖示的鏡筒內反射電子檢測器。鏡筒內反射電子檢測器檢測包含於電子束B2的電子中的被試樣S反射的反射電子作為二次電子。鏡筒內反射電子檢測器將包含表示檢測到的該二次電子的資訊在內的訊號輸出給控制裝置30。表示該二次電子的資訊是表示該反射電子的數量的資訊。
電子束鏡筒12與聚焦離子束鏡筒11一起收納在試樣室13內。電子束鏡筒12設置於在載臺14的位置和姿勢與作為基準的基準位置和基準姿勢一致的情況下電子束鏡筒12的中心軸相對於載臺14的上表面傾斜了規定的角度的位置。另外，電子束鏡筒12設置在能夠向上述的照射區域照射電子束B2的位置。另外，電子束鏡筒12期望配置成沿電子束鏡筒12的中心軸的方向即從電子束鏡筒12的電子源朝向電子束鏡筒12的射出電子束B2的射出口的方向與沿聚焦離子束鏡筒11的中心軸的方向即從聚焦離子束鏡筒11的離子源朝向聚焦離子束鏡筒11的射出聚焦離子束B1的射出口的方向垂直。
另外，射束照射裝置10還具有二次電子檢測器16、EDS檢測器17、EBSD檢測器18。
二次電子檢測器16檢測在聚焦離子束B1被照射到試樣S的情況下從試樣S產生的二次電子。該二次電子是試樣S所包含的電子中的聚焦離子束B1所散射的散射電子等。另外，二次電子檢測器16檢測在電子束B2被照射到試樣S的情況下從試樣S產生的二次電子。該二次電子是試樣S所包含的電子中的電子束B2所散射的散射電子等。二次電子檢測器16將包含表示檢測到的二次電子的資訊在內的訊號輸出給控制裝置30。該資訊是表示該二次電子的數量的資訊。
EDS檢測器17檢測在電子束B2被照射到試樣S的情況下從試樣S產生的X射線。從試樣S產生的X射線包含構成試樣S的每個物質所特有的特性X射線。射束照射系統1能夠根據該特性X射線來確定構成試樣S的物質。EDS檢測器17將包含表示檢測到的X射線的資訊在內的訊號輸出給控制裝置30。
EBSD檢測器18對在試樣S為結晶性材料的情況且電子束B2被照射到試樣S的截面的情況下在該截面上產生的、因電子射線後方散射衍射而產生的二次電子的強度分佈(衍射圖形)即EBSD圖案進行檢測。該二次電子是試樣S所包含的電子中的電子束所散射的散射電子等。在該截面上產生的EBSD圖案表示該截面的晶體結構(即晶體系統、晶體取向等)。射束照射系統1能夠根據該EBSD圖案來確定該截面的化學組成。EBSD檢測器18將包含表示檢測到的該EBSD圖案的資訊在內的訊號輸出給控制裝置30。
另外，射束照射裝置10透過電纜與控制裝置30以能夠進行通訊的方式連接。由此，射束照射裝置10所具有的聚焦離子束鏡筒11(包含上述的鏡筒內反射電子檢測器在內)、電子束鏡筒12、載臺14、二次電子檢測器16、EDS檢測器17、EBSD檢測器18分別進行基於從控制裝置30取得的控制訊號的動作。另外，經由電纜的有線通訊例如是根據乙太網路(註冊商標)、USB(Universal Serial Bus：通用序列匯流排)等標準進行的。另外，射束照射裝置10也可以採用透過根據Wi-Fi(註冊商標)等通訊標準進行的無線通訊而與控制裝置30連接的構成。
另外，射束照射裝置10也可以採用不具有上述的鏡筒內反射電子檢測器、二次電子檢測器16、EDS檢測器17、EBSD檢測器18中的一部分的構成。另外，射束照射裝置10也可以採用具有其他檢測器代替鏡筒內反射電子檢測器、二次電子檢測器16、EDS檢測器17、EBSD檢測器18中的一部或全部的構成。另外，射束照射裝置10也可以採用除了鏡筒內反射電子檢測器、二次電子檢測器16、EDS檢測器17、EBSD檢測器18之外還具有其他檢測器的構成。
控制裝置30例如是桌上型PC(Personal Computer：個人電腦)、工作站等資訊處理裝置。另外，控制裝置30也可以是筆記型PC等其他資訊處理裝置。控制裝置30是控制射束照射裝置10的裝置。因此，期望抑制因使控制裝置30移動而可能產生的控制裝置30的故障等麻煩。即，控制裝置30不是在通常時由使用者攜帶而進行移動那樣的運用的裝置。
如上所述，控制裝置30控制射束照射裝置10。例如，控制裝置30控制射束照射裝置10，向試樣S照射帶電粒子束，使試樣S的截面露出。另外，控制裝置30使射束照射裝置10向該截面照射帶電粒子束。其結果是，控制裝置30使射束照射裝置10檢測從該截面產生的二次粒子。控制裝置30從射束照射裝置10取得包含表示射束照射裝置10所檢測的二次粒子的資訊在內的訊號作為表示該截面的觀察像資訊。控制裝置30根據取得的觀察像資訊生成該觀察像資訊所表示的該截面的觀察像。另外，控制裝置30根據來自攜帶式資訊終端40的請求將取得的觀察像資訊輸出給攜帶式資訊終端40。另外，控制裝置30也能夠透過射束照射裝置10來進行使保護試樣S的表面的沉積膜形成在該表面上的處理等其他處理，但省略該其他處理的詳細。
另外，控制裝置30能夠根據受理來自使用者的操作來操作能夠在射束照射裝置10中進行操作的多個操作項目的全部。
顯示裝置35例如是具有液晶顯示器面板、或者有機EL(Electro Luminescence：電致發光)顯示面板作為上述顯示部的顯示器。顯示裝置35將從控制裝置30取得的各種影像顯示在該顯示部上。
另外，顯示裝置35透過電纜與控制裝置30以能夠進行通訊的方式連接。由此，顯示裝置35進行基於從控制裝置30取得的控制訊號的動作。另外，經由電纜的有線通訊例如是根據乙太網路(註冊商標)、USB等標準進行的。另外，顯示裝置35也可以採用透過根據Wi-Fi(註冊商標)等通訊標準進行的無線通訊而與控制裝置30連接的構成。
攜帶式資訊終端40是平板PC、多功能攜帶式電話終端(智慧型電話)、PDA(Personal Digital Assistant：個人資料助理)等的與射束照射裝置10、控制裝置30、顯示裝置35不同體的攜帶式資訊終端。
攜帶式資訊終端40透過根據Wi-Fi(註冊商標)等通訊標準進行的無線通訊與控制裝置30以能夠進行通訊的方式連接。由此，攜帶式資訊終端40能夠透過控制裝置30與射束照射裝置10進行通訊。另外，攜帶式資訊終端40也可以採用透過電纜與控制裝置30以能夠進行通訊的方式連接的構成。
如上所述，攜帶式資訊終端40顯示包含1個以上的操作對象在內的影像。在使用者對包含於該影像的某個操作對象進行操作的情況下，攜帶式資訊終端40對分配給該操作對象的第1操作項目進行操作。具體而言，攜帶式資訊終端40計算該情況下的、與對該操作對象進行了的來自使用者的操作對應的操作值。攜帶式資訊終端40生成分別表示以下的操作資訊：表示計算出的操作值的資訊和表示該第1操作項目的資訊。攜帶式資訊終端40將生成的操作資訊透過控制裝置30輸出給射束照射裝置10。取得了該操作資訊的射束照射裝置10將設定在該操作資訊所表示的第1操作項目中的設定值變更為該操作資訊所表示的操作值，由此操作該第1操作項目。
例如，在分配給某個操作對象的第1操作項目為射束電流的情況下，當使用者對該操作對象進行操作時，攜帶式資訊終端40計算與對該操作對象進行了的來自使用者的操作對應的操作值。由於該第1操作項目為射束電流，因此該操作值為電流值。攜帶式資訊終端40生成分別表示以下的操作資訊：表示計算出的電流值的資訊和表示作為該第1操作項目的射束電流的資訊。攜帶式資訊終端40將生成的該操作資訊經由控制裝置30輸出給射束照射裝置10。取得了該操作資訊的射束照射裝置10將設定為該操作資訊所表示的射束電流的設定值即電流值變更為作為該操作資訊所表示的操作值的電流值，由此操作射束電流。
另外，也可以採用攜帶式資訊終端40將生成的操作資訊經由控制裝置30輸出給射束照射裝置10的構成而代替輸出給控制裝置30的構成。在這種情況下，控制裝置30根據取得到的操作資訊對射束照射裝置10進行控制，使射束照射裝置10將設定在該操作資訊所表示的第1操作項目中的設定值變更為該操作資訊所表示的操作值。另外，也可以採用攜帶式資訊終端40將生成的操作資訊不經由控制裝置30而輸出給射束照射裝置10的構成。在這種情況下，攜帶式資訊終端40透過無線或有線與射束照射裝置10連接成可以通訊。
＜第1操作項目的詳細＞ 　　在此，對第1操作項目的詳細進行說明。
如上所述，在該一例中，在第1操作項目中包含有與帶電粒子束的狀態相關的操作項目、與檢測從被帶電粒子束照射的試樣放射的二次粒子的檢測靈敏度相關的操作項目這2種操作項目。
帶電粒子束的狀態是帶電粒子束展寬、由照射帶電粒子束的位置、帶電粒子束的射束電流的電流值等規定的狀態。
更具體而言，射束照射裝置10所能照射的2種帶電粒子束中的聚焦離子束B1的狀態是與射束照射裝置10的聚焦離子束鏡筒11中的分別設定為第1加速電壓、第1射束電流、第1透鏡模式、第1對位器、第1射束位移、第1OL(Objective Lens：對物透鏡)值、第1像差值的設定值對應的狀態。即，在與聚焦離子束B1的狀態相關的操作項目中包含有第1加速電壓、第1射束電流、第1透鏡模式、第1對位器、第1射束位移、第1OL值、第1像差值中的至少一部分。以下，作為一例，對在該操作項目中包含有第1加速電壓、第1射束電流、第1透鏡模式、第1對位器、第1射束位移、第1OL值、第1像差值中的全部的情況進行說明。
在此，設定為第1加速電壓的設定值是表示第1加速電壓的電壓值的數值。設定為第1射束電流的設定值是表示第1射束電流的電流值的數值。設定為第1透鏡模式的設定值是表示施加在聚焦離子束鏡筒11所具有的靜電透鏡的電極之間的電壓值的數值。設定為第1對位器的設定值是表示施加在聚焦離子束鏡筒11所具有的偏轉器的電極之間的電壓值的數值。設定為第1射束位移的設定值是表示從聚焦離子束鏡筒11照射的聚焦離子束B1的移位量的數值。設定為第1OL值的設定值是表示聚焦離子束鏡筒11所具有的未圖示的對物透鏡(OL)的位置的數值。設定為第1像差值的設定值是表示施加在聚焦離子束鏡筒11所具有的標記的電極之間的電壓值的數值。
另外，射束照射裝置10所能照射的2種帶電粒子束中的電子束B2的狀態是與射束照射裝置10的電子束鏡筒12中的分別設定為第2加速電壓、第2射束電流、第2透鏡模式、第2對位器、第2射束位移、第2OL值、第2像差值的設定值對應的狀態。即，在與電子束B2的狀態相關的操作項目中包含有第2加速電壓、第2射束電流、第2透鏡模式、第2對位器、第2射束位移、第2OL值、第2像差值中至少一部分。以下，作為一例，對在該操作項目中包含有第2加速電壓、第2射束電流、第2透鏡模式、第2對位器、第2射束位移、第2OL值、第2像差值的全部的情況進行說明。
另外，設定為第2加速電壓的設定值是表示第2加速電壓的電壓值的數值。設定為第2射束電流的設定值是表示第2射束電流的電流值的數值。設定為第2透鏡模式的設定值是表示施加在電子束鏡筒12所具有的靜電透鏡的電極之間的電壓值的數值。設定為第2對位器的設定值是表示施加在電子束鏡筒12所具有的偏轉器的電極之間的電壓值的數值。設定為第2射束位移的設定值是表示從電子束鏡筒12照射的電子束B2的移位量的數值。設定為第2OL值的設定值是表示電子束鏡筒12所具有的未圖示的對物透鏡(OL)的位置的數值。設定為第2像差值的設定值是表示施加在電子束鏡筒12所具有的標記的電極之間的電壓值的數值。
檢測從被帶電粒子束照射的試樣放射的二次粒子的檢測靈敏度是根據射束照射裝置10中的分別設定為對比度、亮度的設定值而確定的。
更具體而言，檢測從被帶電粒子束照射的試樣放射的二次粒子的檢測靈敏度中的、由上述的鏡筒內反射電子檢測器檢測該二次粒子的檢測靈敏度是與鏡筒內反射電子檢測器的分別設定為第1對比度、第1亮度的設定值對應的檢測靈敏度。即，在與由鏡筒內反射電子檢測器檢測該二次粒子的檢測靈敏度相關的操作項目中包含有第1對比度、第1亮度中的至少一方。以下，作為一例，對在該操作項目中包含有第1對比度、第1亮度這兩者的情況進行說明。
在此，設定為第1對比度的設定值是表示設定在鏡筒內反射電子檢測器中的對比度值的數值。設定為第1亮度的設定值是表示設定在鏡筒內反射電子檢測器中的對比度值的數值。
另外，檢測從被帶電粒子束照射的試樣放射的二次粒子的檢測靈敏度中的、由二次電子檢測器16檢測該二次粒子的檢測靈敏度是與二次電子檢測器16的分別設定為第2對比度、第2亮度的設定值對應的檢測靈敏度。即，在與由二次電子檢測器16檢測該二次粒子的檢測靈敏度相關的操作項目中包含有第2對比度、第2亮度中的至少一方。以下，作為一例，對在該操作項目中包含有第2對比度、第2亮度這兩者的情況進行說明。
設定為第2對比度的設定值是表示設定在二次電子檢測器16中的對比度值的數值。設定為第2亮度的設定值是表示設定在二次電子檢測器16中的對比度值的數值。
另外，檢測從被帶電粒子束照射的試樣放射的二次粒子的檢測靈敏度中的、由EDS檢測器17檢測該二次粒子的檢測靈敏度是與EDS檢測器17的分別設定為第3對比度、第3亮度的設定值對應的檢測靈敏度。即，在與由EDS檢測器17檢測該二次粒子的檢測靈敏度相關的操作項目中包含有第3對比度、第3亮度中的至少一方。以下，作為一例，對在該操作項目中包含有第3對比度、第3亮度這兩者的情況進行說明。
設定為第3對比度的設定值是表示設定在EDS檢測器17中的對比度值的數值。設定為第3亮度的設定值是表示設定在EDS檢測器17中的對比度值的數值。
另外，檢測從被帶電粒子束照射的試樣放射的二次粒子的檢測靈敏度中的、由EBSD檢測器18檢測該二次粒子的檢測靈敏度是與EBSD檢測器18的分別設定為第4對比度、第4亮度的設定值對應的檢測靈敏度。即，在與由EBSD檢測器18檢測該二次粒子的檢測靈敏度相關的操作項目中包含有第4對比度、第4亮度中的至少一方。以下，作為一例，對在該操作項目中包含有第4對比度、第4亮度這兩者的情況進行說明。
設定為第4對比度的設定值是表示設定在EBSD檢測器18中的對比度值的數值。設定為第4亮度的設定值是表示設定在EBSD檢測器18中的對比度值的數值。
＜攜帶式資訊終端的硬體構成＞ 　　以下，參閱圖2對攜帶式資訊終端40的硬體構成進行說明。圖2是示出攜帶式資訊終端40的硬體構成的一例的圖。
攜帶式資訊終端40例如具有CPU(Central Processing Unit：中央處理單元)41、記憶部42、輸入受理部43、通訊部44、顯示部45、輸出部46。這些構成要素透過匯流排B連接成可以相互通訊。另外，攜帶式資訊終端40透過通訊部44與控制裝置30進行通訊。
CPU 41執行保存在記憶部42中的各種電腦程式。
記憶部42例如包含HDD(Hard Disk Drive：硬碟驅動器)、SSD(Solid State Drive：固態硬碟)、EEPROM(Electrically Erasable Programmable Read-Only Memory：電性抹寫及可程式化型唯讀記憶體)、ROM(Read-Only Memory：唯讀記憶體)、RAM(Random Access Memory：隨機存取記憶體)等。另外，記憶部42也可以代替內置於攜帶式資訊終端40中的記憶部而是透過USB等數位輸入輸出埠等來連接的外置型的存儲裝置。記憶部42保存攜帶式資訊終端40所處理的各種資訊和影像、各種電腦程式。
輸入受理部43例如是與顯示部45一體構成的觸控面板。另外，輸入受理部43也可以代替觸控面板而是鍵盤、滑鼠、觸控板等其他輸入裝置。
通訊部34例如構成為包含USB等數位入輸出埠、乙太網路(註冊商標)埠等。
顯示部45例如是液晶顯示面板、或者有機EL(Electro Luminescence：電致發光)顯示面板，與輸入受理部43一體地構成觸控面板。另外，顯示部45也可以與輸入受理部43不同體。
輸出部46例如是揚聲器。另外，輸出部46也可以代替揚聲器而是使攜帶式資訊終端40振動的振動裝置，也可以是使光閃爍的LED(Light Emitting Diode：發光二極體)等。
＜攜帶式資訊終端的功能構成＞ 　　以下，參閱圖3對攜帶式資訊終端40的功能構成進行說明。圖3是示出攜帶式資訊終端40的功能構成的一例的圖。
攜帶式資訊終端40具有記憶部42、輸入受理部43、顯示部45、輸出部46、控制部47。
控制部47控制整個攜帶式資訊終端40。控制部47具有資訊取得部471、像生成部472、顯示控制部473、操作控制部475、輸出控制部476。控制部47所具有的這些功能部例如透過CPU 41執行存儲在記憶部42中的各種電腦程式來實現。另外，該功能部中的一部或全部也可以是LSI(Large Scale Integration：大型積體電路)、ASIC(Application Specific Integrated Circuit：特殊用途積體電路)等硬體功能部。
資訊取得部471經由控制裝置30從射束照射裝置10取得表示射束照射裝置10中的分別設定在1個以上的第1操作項目中的當前的設定值的設定值資訊。
像生成部472從控制裝置30取得控制裝置30從射束照射裝置10取得的觀察像資訊，生成基於取得到的觀察像資訊的觀察像。
顯示控制部473根據受理來自使用者的操作生成各種影像。顯示控制部473使生成的影像顯示在顯示部45上。例如，顯示控制部473根據受理來自使用者的操作生成包含上述的1個以上的操作對象在內的影像作為操作畫面影像。此時，顯示控制部473根據資訊取得部471所取得的設定值資訊生成操作畫面影像。顯示控制部473使生成的操作畫面影像顯示在顯示部45上。
操作控制部475在使用者在由顯示控制部473顯示在顯示部45上的操作畫面影像中對某個操作對象進行操作的情況下，計算與對該操作對象進行了的來自使用者的操作對應的操作值。操作控制部475生成分別表示以下的操作資訊：表示計算出的操作值的資訊和表示該第1操作項目的資訊。操作控制部475將生成的操作資訊經由控制裝置30輸出給射束照射裝置10。
輸出控制部476在使用者在由顯示控制部473顯示在顯示部45上的操作畫面影像中對某個操作對象進行操作的情況下，根據由操作控制部475計算出的操作值即與對該操作對象進行了的來自使用者的操作對應的操作值，將與該操作對象被分配到的第1操作項目對應的種類的輸出使輸出部46輸出。在該一例中，該輸出是聲音。另外，在輸出部46為振動裝置等其他裝置的情況下，該輸出為與該其他裝置對應的輸出(在該其他裝置為振動裝置的情況下，該輸出為振動)。另外，與各操作對象被分配到的第1操作項目分別對應的種類的輸出可以重複進行，也可以不重複進行。
＜攜帶式資訊終端生成操作畫面影像的處理＞ 　　在攜帶式資訊終端40中，使用者可以從1個以上的第1操作項目中選擇使用者所期望的1個以上的第1操作項目。另外，在攜帶式資訊終端40中，使用者可以從預先決定的1個以上的種類中選擇分別分配了使用者所選擇的第1操作項目的操作對象的種類(即，作為轉盤、滑桿(slide bar)、按鈕等的GUI的種類)。而且，在攜帶式資訊終端40中，使用者可以將分別分配了使用者所選擇的第1操作項目的操作對象配置在操作畫面影像中的位置即使用者所期望的配置位置。
在此，參閱圖4對攜帶式資訊終端40生成操作畫面影像的處理進行說明。圖4是示出攜帶式資訊終端40生成操作畫面影像的處理的流程的一例的圖。圖4所示的流程圖的處理是從使用者受理到使攜帶式資訊終端40生成操作畫面影像的處理開始的操作後的處理。
顯示控制部473生成資訊受理影像(步驟S110)。資訊受理影像是包含從使用者受理到為了生成操作畫面影像所需的各種資訊後的GUI在內的影像。在該各種資訊中例如包含有使用者所選擇的1個以上的第1操作項目、分配給該資訊各自所表示的第1操作項目的操作對象的種類、操作畫面影像中的位置即分別配置該操作對象的配置位置。另外，也可以採用在該各種資訊中包含有其他資訊而代替這3個資訊中的一部分或全部的構成，也可以採用除了該3個資訊之外還包含有其他資訊的構成。
顯示控制部473使在步驟S110中生成的資訊受理影像顯示在顯示部45上(步驟S120)。
接下來，顯示控制部473對是否受理到對象第1操作項目進行判定(步驟S130)。對象第1操作項目是由使用者從使用者所能選擇的1個以上的未選擇的第1操作項目中選擇的第1操作項目。例如，顯示控制部473使分別表示該1個以上的未選擇的第1操作項目的資訊的一覽(列表)顯示在資訊受理影像上。在進行了使用者從該一覽中選擇表示期望的第1操作項目的資訊的操作(例如該資訊的抽頭(tap))的情況下，顯示控制部473受理該資訊所表示的第1操作項目作為對象第1操作項目。
在判定為未受理到對象第1操作項目的情況下(步驟S130：否)，顯示控制部473轉移到步驟S170。關於步驟S170的處理在後面說明。另一方面，在判定為受理到對象第1操作項目的情況下(步驟S130：是)，顯示控制部473待機到受理對象操作對象的種類為止(步驟S140)。對象操作對象是分配給對象第1操作項目的操作對象。在該種類中例如包含有轉盤、滑桿、按鈕等。另外，也可以採用在該種類中代替轉盤、滑桿、按鈕中的一部分或全部而包含有其他GUI的種類的構成，也可以採用除了轉盤、滑桿、按鈕之外還包含有其他GUI的種類的構成。例如，顯示控制部473使分別表示使用者所能選擇的1個以上的GUI的種類的資訊的一覽(列表)顯示在資訊受理影像上。在進行了使用者從該一覽中選擇表示期望的種類的GUI的資訊的操作(例如該資訊的抽頭)的情況下，顯示控制部473受理該資訊所表示的種類作為對象操作對象的種類。
在受理到對象操作對象的情況下(步驟S140：是)，顯示控制部473待機到受理對象配置位置為止(步驟S150)。對象配置位置是操作畫面影像中配置對象操作對象的配置位置。例如，顯示控制部473使資訊受理影像上顯示縱橫比與操作畫面影像的縱橫比相同的影像且比操作畫面影像小的縮小影像。在此，操作畫面影像上的座標與縮小影像上的座標相對應。因此，操作畫面影像上的某個位置和與該位置對應的縮小影像上的位置，在將縮小影像放大到與操作畫面影像的大小相同的大小並將放大後的縮小影像與操作畫面影像重疊的情況下重疊。在進行了使用者選擇縮小影像上的某個位置的操作(例如該位置的抽頭)的情況下，顯示控制部473受理與該位置對應的操作畫面影像上的位置作為對象配置位置。另外，顯示控制部473在預先決定了操作畫面影像內不可以配置操作對象的區域的情況下，例如透過將與該區域對應的縮小影像上的區域的顯示狀態相對於縮小影像上的該區域以外的區域的顯示狀態相對地改變，向使用者通知操作畫面影像內不可以配置操作對象的區域。另外，在進行了使用者選擇與操作畫面影像內不可以配置操作對象的區域對應的縮小影像上的區域內的位置的操作的情況下，顯示控制部473例如未受理與該位置對應的操作畫面影像上的位置作為對象配置位置，而是將通知使用者所選擇的位置是不可以配置操作對象的區域內的位置的內容的警報與資訊受理影像重疊並進行顯示。以下，作為一例，對僅預先決定了1個操作畫面影像內不可以配置操作對象的區域的情況進行說明。另外，在操作畫面影像內也可以有多個該區域。
在受理到對象操作對象的情況下(步驟S150：是)，顯示控制部473生成分別表示以下的資訊作為輸入資訊：表示在步驟S130中受理到的對象第1操作項目的資訊、表示在步驟S140中受理到的對象操作對象的種類的資訊、表示在步驟S150中受理到的對象配置位置的資訊的資訊。顯示控制部473將生成的輸入資訊存儲到記憶部42中。然後，顯示控制部473轉移到步驟S170。
在步驟S170中，顯示控制部473對是否受理到結束使用者對為了經由資訊受理影像生成操作畫面影像所需的各種資訊的輸入的操作進行判定(步驟S170)。例如，在資訊受理影像中包含於受理該操作的按鈕。在進行了使用者選擇該按鈕的操作(例如該按鈕的抽頭)的情況下，顯示控制部473判定為受理到結束使用者對為了經由資訊受理影像生成操作畫面影像而所需的各種資訊的輸入的操作，將資訊受理影像的顯示從顯示部45刪除。在判定為未受理到結束使用者對為了經由資訊受理影像生成操作畫面影像而所需的各種資訊的輸入的操作的情況下(步驟S170：否)，顯示控制部473轉移到步驟S130，再次對是否受理到對象第1操作項目進行判定。另一方面，在判定為受理到結束使用者對為了經由資訊受理影像生成操作畫面影像而所需的各種資訊的輸入的操作的情況下(步驟S170：是)，顯示控制部473根據存儲在記憶部42中的1個以上的各個輸入資訊生成操作畫面影像(步驟S180)。在此，對步驟S180的處理進行說明。
在步驟S180中，顯示控制部473讀出存儲在記憶部42中的1個以上的輸入資訊。另外，顯示控制部473生成沒有任何配置的影像作為操作畫面影像。顯示控制部473按讀出的該1個以上的每個輸入資訊對輸入資訊所表示的種類的操作對象分配輸入資訊所表示的第1操作項目，並將分配了該第1操作項目的該操作對象配置在生成的該影像中輸入資訊所表示的配置位置。由此，顯示控制部473生成操作畫面影像。這樣，在攜帶式資訊終端40中，使用者可以從1個以上的第1操作項目中選擇使用者所期望的1個以上的第1操作項目。另外，在攜帶式資訊終端40中，使用者可以從預先決定的1個以上的種類中選擇分別分配了使用者所選擇的第1選擇專案的操作對象的種類。而且，在攜帶式資訊終端40中，使用者可以將分別分配了使用者所選擇的第1操作項目的操作對象配置在操作畫面影像中的位置即使用者所期望的配置位置。
在此，參閱圖5和圖6對步驟S180和步驟S190的更具體的處理和操作畫面影像中的操作對象的具體的動作進行說明。圖5是示出在步驟S180中生成的操作畫面影像的一例的圖。另外，在此，為了便於說明，對顯示控制部473在重複執行的步驟S130的處理中從1個以上的第1操作項目中分別受理第1對比度、第1亮度、第2OL值、第2透鏡模式、第2加速電壓、第2射束電流、第2對位器、第2射束位移、第2像差值作為對象第1操作項目的情況進行說明。圖5所示的影像P1是該情況下顯示控制部473所生成的操作畫面影像的一例。
在影像P1中包含有轉盤DL1、轉盤DL2、滑桿SB、6個按鈕BTs作為操作對象。
轉盤DL1是作為對象第1操作項目而分配給顯示控制部473所受理的第1對比度的操作對象。轉盤DL1例如具有分配給轉盤DL1的顯示當前設定為第1對比度的設定值的未圖示的顯示欄。在顯示控制部473生成操作畫面影像時，資訊取得部471經由控制裝置30從射束照射裝置10取得表示該設定值的設定值資訊。顯示控制部473根據資訊取得部471所取得的該設定值資訊所表示的設定值生成具有顯示該設定值的該顯示欄的轉盤DL1。另外，資訊取得部471在顯示控制部473使操作畫面影像顯示在顯示部45上的期間，在每次操作轉盤DL1時經由控制裝置30從射束照射裝置10取得表示該設定值的設定值資訊。顯示控制部473在每次資訊取得部471取得該設定值資訊時，使取得到的設定值資訊所表示的設定值顯示在該顯示欄上。另外，轉盤DL1也可以代替具有該顯示欄的構成而採用沿轉盤DL1的圓周繪製隔開規定的間隔的刻度和與各刻度對應的數值的構成。
在由使用者對轉盤DL1進行操作的情況下，操作控制部475計算與對轉盤DL1進行了的來自使用者的操作對應的操作值。例如，操作控制部475計算將與轉盤DL1的單位轉動角對應的規定值和使用者使轉盤DL1轉動時的轉動角相乘後的值作為該操作值。該單位轉動角例如是0.1度。另外，該單位轉動角可以是比0.1度小的轉動角，也可以是比0.1度大的轉動角。該規定值是在變更設定為第1對比度的第1對比度值時可變更的最小的值。另外，該規定值也可以是在變更設定為第1對比度的第1對比度值時可變更的其他值而取代之。在此，在該一例中，操作控制部475在轉盤DL1順時針轉動的情況下計算該操作值作為正的值，在轉盤DL1逆時針轉動的情況下，計算該操作值作為負的值。另外，操作控制部475也可以採用在轉盤DL1逆時針轉動的情況下計算該操作值作為正的值，在轉盤DL1順時針轉動的情況下計算該操作值作為負的值的構成。操作控制部475生成分別表示、表示計算出的操作值的資訊和表示分配給轉盤DL1的第1操作項目(即第1對比度)的資訊的操作資訊。操作控制部475將生成的操作資訊經由控制裝置30輸出給射束照射裝置10。由此，攜帶式資訊終端40能夠根據該情況下的對轉盤DL1進行了的來自使用者的操作對第1對比度進行操作。另外，操作控制部475在使用者在保持觸碰轉盤DL1的狀態下未使轉盤DL1轉動的情況下，不計算該操作值。所謂使用者在保持觸碰轉盤DL1的狀態下未使轉盤DL1轉動的情況是使用者觸碰上述的觸控面板中顯示了的轉盤DL1的區域，且使用者未使所觸碰的觸碰位置移動的情況。
另外，在由使用者對轉盤DL1進行操作的情況下，輸出控制部476將與分配給轉盤DL1的第1對比度(在該一例中是分配給轉盤DL1的第1操作項目)對應的種類的聲音是輸出部46輸出。也可以採用與第1對比度對應的種類(聲音的種類)即與第1操作項目對應的種類(聲音的種類)能夠由使用者進行選擇的構成，也可以採用預先決定的構成。在採用該種類能夠由使用者進行選擇的構成的情況下，輸出控制部476例如在步驟S130中經由資訊受理影像從使用者受理該種類。另外，輸出控制部476在由使用者對轉盤DL1進行操作的情況下，使輸出部46輸出與操作控制部475所計算出的操作值(轉盤DL1的操作值)對應的程度的聲音。該程度例如是長度。另外，該程度也可以代替長度而是聲音的高低等。即，該操作值是表示使用者對轉盤DL1進行了的操作的程度的值。另外，輸出控制部476在使用者在保持觸碰轉盤DL1的狀態下未使轉盤DL1轉動的情況下，不使聲音從輸出部46輸出。
轉盤DL2是作為對象第1操作項目而分配給顯示控制部473所受理的第1亮度的操作對象。由於與轉盤DL2相關的顯示控制部473、操作控制部475、輸出控制部476各自的動作與由使用者操作轉盤DL1的情況下的顯示控制部473、操作控制部475、輸出控制部476各自的動作相同，因此省略說明。
滑桿SB是作為對象第1操作項目而分配給顯示控制部473所受理的第2OL值的操作對象。滑桿SB例如具有分配給滑桿SB的顯示當前設定為第2OL值的設定值的未圖示的顯示欄。在顯示控制部473生成操作畫面影像時，資訊取得部471經由控制裝置30從射束照射裝置10取得表示該設定值的設定值資訊。顯示控制部473根據資訊取得部471所取得的該設定值資訊所表示的設定值生成具有顯示該設定值的該顯示欄的滑桿SB。另外，資訊取得部471在顯示控制部473使操作畫面影像顯示在顯示部45上的期間，在每次操作滑桿SB時，經由控制裝置30從射束照射裝置10取得表示該設定值的設定值資訊。顯示控制部473在每次資訊取得部471取得該設定值資訊時，使取得到的設定值資訊所表示的設定值顯示在該顯示欄上。另外，滑桿SB也可以代替具有該顯示欄的構成而採用沿滑桿SB繪製隔開規定的間隔的刻度和與各刻度對應的數值的構成。
在由使用者對滑桿SB進行操作的情況下，操作控制部475計算與對滑桿SB進行了的來自使用者的操作對應的操作值。例如，操作控制部475計算將與滑桿SB的單位滑動寬度對應的規定值和使用者使滑桿SB滑動時的滑動寬度相乘後的值作為該操作值。該單位滑動寬度是在使滑桿SB滑動時能夠滑動的最小滑動寬度，例如為1毫米。另外，該單位滑動寬度可以是比1毫米小的滑動寬度，也可以是比1毫米大的滑動寬度。該規定值是在變更設定為第2OL值的設定值時可變更的最小值。另外，該規定值也可以是在變更設定為第2OL值的設定值時可變更的其他值。在此，在該一例中，操作控制部475在使滑桿SB向能夠使滑桿SB滑動的兩個方向中的第1方向滑動的情況下，計算該操作值作為正的值，在使滑桿SB向作為與該第1方向相反的方向的第2方向滑動的情況下，計算該操作值作為負的值。另外，操作控制部475也可以採用在使滑桿SB向第2方向滑動的情況下計算該操作值作為正的值，在使滑桿SB向第1方向滑動的情況下，計算該操作值作為負的值的構成。也可以採用使用者能夠任意變更操作畫面影像內的第1方向和第2方向的構成，也可以採用預先決定的構成。在使用者能夠任意變更操作畫面影像內的第1方向和第2方向的朝向的情況下，顯示控制部473例如在步驟S140中受理滑桿作為對象操作對象的種類時，經由資訊受理影像從使用者受理該朝向。操作控制部475生成分別表示、表示計算出的操作值的資訊和表示分配給滑桿SB的第1操作項目(即第2OL值)的資訊的操作資訊。操作控制部475將生成的操作資訊經由控制裝置30輸出給射束照射裝置10。由此，攜帶式資訊終端40能夠根據該情況下的對滑桿SB進行了的來自使用者的操作對第2OL值進行操作。另外，操作控制部475在使用者在保持觸碰滑桿SB的狀態下未使滑桿SB滑動的情況下，不計算該操作值。所謂使用者在保持觸碰滑桿SB的狀態下未使滑桿SB滑動的情況是使用者觸碰上述的觸控面板中顯示了的滑桿SB的區域，且使用者未使所觸碰的觸碰位置移動的情況。
另外，在由使用者對滑桿SB進行操作的情況下，輸出控制部476使輸出部46輸出與分配給滑桿SB的第2OL值(在該一例中是分配給滑桿SB的第1操作項目)對應的種類的聲音。也可以採用與第2OL值對應的(聲音的)種類、即與第1操作項目對應的(聲音的)種類與轉盤DL1和轉盤DL2的情況同樣地能夠由使用者進行選擇的構成，也可以採用預先決定的構成。另外，輸出控制部476在由使用者對滑桿SB進行操作的情況下，與轉盤DL1和轉盤DL2的情況同樣地使輸出部46輸出與操作控制部475所計算出的(滑桿SB的)操作值對應的程度的聲音。
6個按鈕BTs分別是作為對象第1操作項目分配給顯示控制部473所受理的第2透鏡模式的操作對象。在該一例中，設定為第2透鏡模式的設定值是分別表示6個透鏡模式的值中的任意一個。即，按鈕BTs所包含的按鈕分別與這6個透鏡模式中的任意一個對應，而不重複。即，使用者透過選擇按鈕BTs中的某個按鈕的操作(例如該按鈕的抽頭)，能夠選擇與該按鈕對應的值作為設定為第2透鏡模式的操作值，從而操作第2透鏡模式。在顯示控制部473生成操作畫面影像時，資訊取得部471經由控制裝置30從射束照射裝置10取得表示當前設定為第2透鏡模式的設定值的設定值資訊。顯示控制部473使按鈕BTs所包含的按鈕中的與資訊取得部471所取得的該設定值資訊所表示的設定值對應的按鈕的顯示狀態變化。顯示狀態例如是該按鈕的顏色、明亮度、大小等。另外，資訊取得部471在顯示控制部473使操作畫面影像顯示在顯示部45上的期間，在每次按鈕BTs所包含的按鈕中的任意1個被操作(抽頭)時經由控制裝置30從射束照射裝置10取得表示該設定值的設定值資訊。顯示控制部473在每次資訊取得部471取得該設定值資訊時，使按鈕BTs所包含的按鈕中的與資訊取得部471所取得的該設定值資訊所表示的設定值對應的按鈕的顯示狀態變化。另外，按鈕BTs所包含的按鈕的數量既也可以是比6個少的數量，也可以是比6個多的數量而代替6個。
在由使用者對按鈕BTs所包含的6個按鈕中的某個按鈕進行操作的情況下，操作控制部475確定與該按鈕對應的操作值。操作控制部475生成分別表示、表示確定的操作值的資訊和表示分配給按鈕BTs的第1操作項目(即第2透鏡模式)的資訊的操作資訊。操作控制部475將生成的操作資訊經由控制裝置30輸出給射束照射裝置10。由此，攜帶式資訊終端40能夠根據該情況下的對按鈕BTs進行了的來自使用者的操作對第2透鏡模式進行操作。另外，操作控制部475在使用者在保持觸碰按鈕BTs所包含的某個按鈕的狀態下未放開該按鈕的情況下，不計算該操作值。
另外，在由使用者對按鈕BTs所包含的6個按鈕中的某個按鈕進行操作的情況下，輸出控制部476將與分配給按鈕BTs的第2透鏡模式(在該一例中是分配給按鈕BTs的第1操作項目)對應的6個種類的聲音中的與該按鈕對應的種類的聲音使輸出部46輸出。也可以採用與該按鈕對應的(聲音的)種類能夠由使用者進行選擇的構成，也可以採用預先決定的構成。在採用該種類能夠由使用者進行選擇的構成的情況下，輸出控制部476例如在步驟S140中經由資訊受理影像從使用者受理該種類。另外，輸出控制部476在由使用者對該按鈕進行操作的情況下，使輸出部46輸出與操作控制部475所計算出的(該按鈕的)操作值對應的程度的聲音。另外，輸出控制部476在使用者在保持觸碰按鈕BTs所包含的某個按鈕的狀態下未放開該按鈕的情況下，不使聲音從輸出部46輸出。
另外，在影像P1中包含有端部DE、區域RA1。
端部DE是分別沿為長方形的影像P1所具有的四個邊的端部中的1個。在圖5所示的例子中，端部DE是從轉盤DL1和轉盤DL2朝向滑桿SB的方向側的端部。在使用者從端部DE朝向影像P1的內側進行滑動操作的情況下，顯示控制部473使圖6所示的區域RA2重疊顯示在其他影像或GUI上。圖6是示出顯示有區域RA2的情況下的影像P1的一例的圖。另外，在使用者在區域RA2內朝向端部DE進行滑動操作的情況下，顯示控制部473將區域RA2的顯示從顯示部45刪除。
在圖6所示的例子中，在區域RA2中包含有轉盤DL3～轉盤DL7這5個轉盤作為操作對象。另外，也可以採用在區域RA2中包含有其他種類的操作對象的構成而代替該5個轉盤的一部分或全部，也可以採用包含有其他GUI的構成而代替該5個轉盤的一部分或全部，也可以採用除了該5個轉盤之外還包含有其他種類的操作對象的構成，也可以採用除了該5個轉盤之外還包含有其他GUI的構成。
如上所述，顯示控制部473能夠透過使用者的滑動操作來切換影像P1中的區域RA2的顯示/非顯示。由此，攜帶式資訊終端40能夠增加可以顯示在影像P1上的資訊。
轉盤DL3是作為對象第1操作項目分配給顯示控制部473所受理的第2加速電壓的操作對象。由於與轉盤DL3相關的顯示控制部473、操作控制部475、輸出控制部476各自的動作與由使用者對轉盤DL1進行操作的情況下的顯示控制部473、操作控制部475、輸出控制部476各自的動作相同，因此省略說明。
轉盤DL4是作為對象第1操作項目而分配給顯示控制部473所受理的第2射束電流的操作對象。由於與轉盤DL4相關的顯示控制部473、操作控制部475、輸出控制部476各自的動作與由使用者對轉盤DL1進行操作的情況下的顯示控制部473、操作控制部475、輸出控制部476各自的動作相同，因此省略說明。
轉盤DL5是作為對象第1操作項目而分配給顯示控制部473所受理的第2對位器的操作對象。由於與轉盤DL5相關的顯示控制部473、操作控制部475、輸出控制部476各自的動作與由使用者對轉盤DL1進行操作的情況下的顯示控制部473、操作控制部475、輸出控制部476各自的動作相同，因此省略說明。
轉盤DL6是作為對象第1操作項目而分配給顯示控制部473所受理的第2射束位移元的操作對象。由於與轉盤DL6相關的顯示控制部473、操作控制部475、輸出控制部476各自的動作與由使用者對轉盤DL1進行操作的情況下的顯示控制部473、操作控制部475、輸出控制部476各自的動作相同，因此省略說明。
轉盤DL7是作為對象第1操作項目而分配給顯示控制部473所受理的第2像差值的操作對象。由於與轉盤DL7相關的顯示控制部473、操作控制部475、輸出控制部476各自的動作與由使用者對轉盤DL1進行操作的情況下的顯示控制部473、操作控制部475、輸出控制部476各自的動作相同，因此省略說明。
返回到圖5。區域RA1是操作畫面影像內不可以配置操作對象的區域，是顯示有控制裝置30所生成的觀察像的區域。即，操作畫面影像內的區域RA1的位置被預先決定。另外，也可以採用操作畫面影像內的區域RA1的位置能夠由使用者進行變更的構成。在影像P1顯示在顯示部45上的期間，像生成部472從控制裝置30取得控制裝置30從射束照射裝置10取得的上述的觀察像資訊，生成基於取得到的觀察像資訊的觀察像。然後，顯示控制部473將像生成部472所生成的觀察像顯示在區域RA1中。另外，顯示控制部473也可以採用如下構成：在顯示有上述的區域RA2的情況下，使區域RA1的形狀根據操作畫面影像內顯示有區域RA2的區域而變形。由此，攜帶式資訊終端40能夠抑制區域RA1的一部分被區域RA2覆蓋。
另外，顯示控制部473也可以採用如下構成：能夠根據受理來自使用者的操作將區域RA1的位置變更為與使用者對應的位置。例如，顯示控制部473受理表示使用者為左撇子或右撇子的資訊，根據受理到的資訊而變更區域RA1的位置。例如，在圖5所示的影像P1中的區域RA1的配置為右撇子用的情況下，顯示控制部473將影像P1中的區域RA1與其他操作對象在圖5中的相對的左右的位置關係顛倒。
另外，顯示控制部473也可以根據從使用者受理的1個以上的輸入資訊而像圖7所示那樣生成能夠顯示轉盤DL1～轉盤DL7、滑桿SB、按鈕BTs、區域RA1的全部而不顯示區域RA2的操作畫面影像。圖7所示的影像P2是這樣的操作畫面影像的一例。即，圖7是示出在步驟S180中生成的操作畫面影像的另外一例的圖。
返回到圖4。在進行了步驟S180的處理之後，顯示控制部473使在步驟S180中生成的操作畫面影像顯示在顯示部45上(步驟S190)，結束處理。
＜實施型態的變形例＞ 　　在上述中進行了說明的攜帶式資訊終端40也可以採用如下構成：存儲表示顯示在顯示部45上的操作畫面影像的歷史的歷史資訊。例如，顯示控制部473也可以採用如下構成：將表示在圖4所示的步驟S180中生成的操作畫面影像的資訊存儲到記憶部42中作為歷史資訊。在這種情況下，顯示控制部473根據受理來自使用者的操作，使存儲在記憶部42中的1個以上的歷史資訊中的使用者所選擇的歷史資訊所表示的操作畫面影像顯示在顯示部45上。由此，攜帶式資訊終端40能夠根據歷史資訊使與使用者所進行的作業對應的優選操作畫面影像顯示在顯示部45上。
另外，在上述中進行了說明的攜帶式資訊終端40也可以採用如下構成：將表示顯示在顯示部45上的操作畫面影像的資訊預先存儲在記憶部42中。在這種情況下，攜帶式資訊終端40不經由資訊受理影像從使用者受理各種資訊，而根據受理來自使用者的操作從記憶部42讀出表示操作畫面影像的資訊，並使讀出的該資訊所表示的操作畫面影像顯示在顯示部45上。由此，攜帶式資訊終端40能夠使使用者使用製作攜帶式資訊終端40的製造商所推薦的操作畫面影像。
另外，也可以是，在上述中進行了說明的攜帶式資訊終端40所具有的功能能夠從與互聯網、移動體通訊網等網路連接的伺服器取得作為應用程式。在這種情況下，平板PC、多功能攜帶式電話終端(智慧型電話)等攜帶式資訊終端經由該網路從該伺服器下載該應用程式，並安裝下載的該應用程式，由此具有與攜帶式資訊終端40所具有的功能相同的功能。由此，使用者能夠將使用者所期望的攜帶式資訊終端用作攜帶式資訊終端40。
另外，在上述中，控制裝置30也可以與多個攜帶式資訊終端40以能夠進行通訊的方式連接。在這種情況下，在該多個攜帶式資訊終端40中的某個攜帶式資訊終端40即第1攜帶式資訊終端經由控制裝置30操作射束照射裝置10的第1操作項目的過程中，該多個攜帶式資訊終端40中的第1攜帶式資訊終端以外的其他攜帶式資訊終端40無法操作該第1操作項目。該其他攜帶式資訊終端40能夠在第1攜帶式資訊終端對該第1操作項目的操作結束之後，進行該第1操作項目的操作。
如上所述，上述實施方式的攜帶式資訊終端40是與透過向試樣照射帶電粒子束(在該一例中是聚焦離子束B1、電子束B2)來對試樣進行處理的帶電粒子束照射裝置(在該一例中是射束照射裝置10)不同體的攜帶式資訊終端，使包含能夠根據來自使用者的操作來操作能夠在帶電粒子束照射裝置中進行操作的多個操作項目中的一部分操作項目即第1操作項目的GUI(在該一例中是操作對象)在內的影像(在該一例中是操作畫面影像)顯示在顯示部(在該一例中是顯示部45)上。由此，攜帶式資訊終端40能夠在期望的位置進行第1操作項目的操作。
另外，在攜帶式資訊終端40中，在第1操作項目中包含有與帶電粒子束的狀態相關的操作項目。由此，攜帶式資訊終端40能夠在期望的位置進行包含有與帶電粒子束的狀態相關的操作項目的第1操作項目的操作。
另外，在攜帶式資訊終端40中，在與帶電粒子束的狀態相關的操作項目中包含有加速電壓、射束電流、透鏡模式、對位器、射束位移、OL值、像差值中的至少一部分。由此，攜帶式資訊終端40能夠在期望的位置進行包含有加速電壓、射束電流、透鏡模式、對位器、射束位移、OL值、像差值中的至少一部分的第1操作項目的操作。
另外，在攜帶式資訊終端40中，在第1操作項目中包含有與檢測從被帶電粒子束照射的試樣放射的二次粒子(在該一例中是電子、X射線等)的檢測靈敏度相關的操作項目。由此，攜帶式資訊終端40能夠在期望的位置進行包含有與檢測從被帶電粒子束照射的試樣放射的二次粒子的檢測靈敏度相關的操作項目的第1操作項目的操作。
另外，在攜帶式資訊終端40中，在第1操作項目中，在與檢測從被帶電粒子束照射的試樣放射的二次粒子(在該一例中是電子、X射線等)的檢測靈敏度相關的操作項目中包含有對比度、亮度中的至少一方。由此，攜帶式資訊終端40能夠在期望的位置進行包含有對比度、亮度中的至少一方的第1操作項目的操作。
另外，攜帶式資訊終端40在包含能夠根據來自使用者的操作來操作第1操作項目的GUI在內的影像內預先決定的位置將像生成部(在該一例中是像生成部472)所生成的觀察像顯示在顯示部上。由此，攜帶式資訊終端40能夠一邊確認顯示在顯示部上的觀察像一邊在期望的位置進行第1操作項目的操作。
另外，攜帶式資訊終端40在包含能夠根據來自使用者的操作來操作第1操作項目的GUI在內的影像內將該GUI配置在與受理來自使用者的操作對應的位置。由此，攜帶式資訊終端40能夠將該GUI配置在該影像內使用者所期望的位置。
另外，攜帶式資訊終端40將與分配給使用者所操作的GUI的第1操作項目對應的種類的輸出使輸出部輸出。由此，在攜帶式資訊終端40中，使用者能夠根據該輸出來操作期望的第1操作項目，而不必看到顯示部。
另外，在攜帶式資訊終端40中，作為與分配給使用者所操作的GUI的第1操作項目對應的種類的輸出，使輸出部輸出該種類的聲音。由此，在攜帶式資訊終端40中，使用者能夠根據該聲音來操作期望的第1操作項目，而不必看到顯示部。
另外，攜帶式資訊終端40將與使用者對使用者所操作的GUI進行了的操作的程度對應的程度的聲音輸出給輸出部。由此，在攜帶式資訊終端40中，使用者能夠根據該操作的程度來操作第1操作項目，而不必看到顯示部。
另外，攜帶式資訊終端40在使用者觸碰觸控面板中顯示了的GUI的區域，且使用者未使所觸碰的觸碰位置移動的情況，不使與分配給使用者所操作的GUI的第1操作項目對應的種類的聲音從輸出部輸出。由此，在攜帶式資訊終端40中，使用者能夠明確地區分操作第1操作項目時和不操作第1操作項目時，而不必看到顯示部。其結果是，攜帶式資訊終端40能夠抑制使用者對第1操作項目的誤操作。
以上，參閱附圖對本發明的實施方式進行了詳細說明，但具體的構成並不限於該實施方式，只要不脫離本發明的主旨也可以進行變更、置換、刪除等。
另外，也可以將用於實現以上說明的裝置(例如控制裝置30、攜帶式資訊終端40)中的任意構成部的功能的程式記錄於電腦能夠讀取的程式中，使電腦系統讀出該程式並進行執行。另外，這裡所說的“電腦系統”包含OS(Operating System：作業系統)和周邊設備等硬體。另外，所謂“電腦能夠讀取的記錄介質”是指軟碟、磁光碟、ROM、CD(Compact Disk：光碟)-ROM等可移動介質、內置於電腦系統中的硬碟等存儲裝置。並且，所謂“電腦能夠讀取的記錄介質”也可以包含像作為經由互聯網等網路或電話線路等通訊線路反射程式的情況下的伺服器或使用者端的電腦系統內部的易失性記憶體(RAM)那樣將程式保持一定時間的程式。
另外，上述程式也可以從將該程式保存在存儲裝置等中的電腦系統經由傳送介質或者透過傳送介質中的傳送波而傳送到其他電腦系統。在此，傳送程式的「傳輸媒介」，是所謂像是網際網路等的網路(通訊網)或電話線路等的通訊線路(通訊線)那般具有傳送資訊的功能之媒體。 　　另外，上述程式也可以是用於實現上述功能的一部分的程式。並且，上述程式也可以是能夠透過與已經記錄在電腦系統中的程式的組合來實現上述功能的所謂的差分檔(差分程式)。
1‧‧‧射束照射系統10‧‧‧射束照射裝置11‧‧‧聚焦離子束鏡筒12‧‧‧電子束鏡筒13‧‧‧試樣室14‧‧‧載臺16‧‧‧二次電子檢測器17‧‧‧EDS檢測器18‧‧‧EBSD檢測器30‧‧‧控制裝置35‧‧‧顯示裝置40‧‧‧攜帶式資訊終端41‧‧‧CPU42‧‧‧記憶部43‧‧‧輸入受理部44‧‧‧通訊部45‧‧‧顯示部46‧‧‧輸出部47‧‧‧控制部471‧‧‧資訊取得部472‧‧‧像生成部473‧‧‧顯示控制部475‧‧‧操作控制部476‧‧‧輸出控制部
[圖1]是表示出實施方式的射束照射系統1的構成的一例的圖。 　　[圖2]是表示出攜帶式資訊終端40的硬體構成的一例的圖。 　　[圖3]是表示出攜帶式資訊終端40的功能構成的一例的圖。 　　[圖4]是表示出攜帶式資訊終端40生成操作畫面影像的處理的流程的一例的圖。 　　[圖5]是表示出在步驟S180中生成的操作畫面影像的一例的圖。 　　[圖6]是表示出顯示有區域RA2的情況下的影像P1的一例的圖。 　　[圖7]是表示出在步驟S180中生成的操作畫面影像的另外一例的圖。
10‧‧‧射束照射裝置
30‧‧‧控置裝置
35‧‧‧顯示裝置
40‧‧‧攜帶式資訊終端
42‧‧‧記憶部
43‧‧‧輸入受理部
45‧‧‧顯示部
46‧‧‧輸出部
47‧‧‧控制部
471‧‧‧資訊取得部
472‧‧‧像生成部
473‧‧‧顯示控制部
475‧‧‧操作控制部
476‧‧‧輸出控制部

Claims (12)

  1. 一種攜帶式資訊終端，其係與對試樣照射帶電粒子束來對前述試樣進行處理的帶電粒子束照射裝置為不同體；其特徵為，該攜帶式資訊終端具備：顯示控制部，其係使包含GUI(Graphical User Interface)的影像顯示到顯示部，該GUI被分配了互為相異的第1操作項目並且能夠根據來自使用者的操作來操作第前述1操作項目，該第1操作項目是能夠在前述帶電粒子束照射裝置中進行操作的多個操作項目中的一部分操作項目；以及輸出控制部，其係使輸出部輸出與分配給使用者所操作的前述GUI的前述第1操作項目對應的種類的輸出；其中，前述輸出部為揚聲器；前述輸出控制部使前述輸出部輸出前述種類的聲音作為前述種類的輸出；前述輸出控制部使前述輸出部輸出與使用者對使用者所操作的前述GUI進行的操作的程度對應的程度的聲音。
  2. 如請求項1的攜帶式資訊終端，其中，在前述第1操作項目中，包含有與前述帶電粒子束的狀態相關的操作項目。
  3. 如請求項2的攜帶式資訊終端，其中， 在與前述帶電粒子束的狀態相關的操作項目中，包含有：加速電壓、射束電流、透鏡模式、對位器、射束位移、OL值、像差值中至少一部分者。
  4. 如請求項1的攜帶式資訊終端，其中，在前述第1操作項目中，包含有：與檢測從被前述帶電粒子束照射的前述試樣所放射出的二次粒子的檢測靈敏度相關的操作項目。
  5. 如請求項4的攜帶式資訊終端，其中，在與前述檢測靈敏度相關的操作項目中，包含有：對比度、亮度中至少其中一方者。
  6. 如請求項1至5中任一項的攜帶式資訊終端，其中，該攜帶式資訊終端具備：像生成部，其係根據表示從被前述帶電粒子束照射的前述試樣所放射出的二次粒子的資訊，生成前述試樣的觀察像；前述顯示控制部使前述顯示部在前述影像內預先決定的位置上顯示前述像生成部所生成的前述觀察像。
  7. 如請求項6的攜帶式資訊終端，其中，前述顯示控制部將前述GUI配置在前述影像內與受理來自使用者的操作對應的位置上。
  8. 如請求項1的攜帶式資訊終端，其中，前述顯示部是觸控面板；在使用者觸碰前述觸控面板上顯示了前述GUI的區域，且使用者未使所觸碰的觸碰位置移動的情況下，前述輸出控制部不從前述輸出部輸出前述種類的聲音。
  9. 如請求項1的攜帶式資訊終端，其中，前述帶電粒子束照射裝置與控制前述帶電粒子束照射裝置的控制裝置連接成可以通訊；前述攜帶式資訊終端與前述控制裝置連接成可以通訊，根據受理來自使用者的操作，透過前述控制裝置，操作前述第1操作項目。
  10. 如請求項9的攜帶式資訊終端，其中，前述攜帶式資訊終端與前述控制裝置係藉由無線連接成可以通訊。
  11. 一種射束照射系統，具備：帶電粒子束照射裝置，其係對試樣照射帶電粒子束來對前述試樣進行處理；以及攜帶式資訊終端，其係與前述帶電粒子束照射裝置不同體；其特徵為：前述攜帶式資訊終端，具備：顯示控制部，其係使包含GUI(Graphical User Interface)的影像顯示到顯示部，該GUI被分配了互為相異的第1操作項目並且能夠根據來自使用者的操作來操作前述第1操作項目，該第1操作項目是能夠在前述帶電粒子束照射裝置中進行操作的操作項目中的至少一部分的操作項目；以及輸出控制部，其係使輸出部輸出與分配給使用者所操作的前述GUI的前述第1操作項目對應的種類的輸出；其中，前述輸出部為揚聲器；前述輸出控制部使前述輸出部輸出前述種類的聲音作為前述種類的輸出；前述輸出控制部使前述輸出部輸出與使用者對使用者所操作的前述GUI進行的操作的程度對應的程度的聲音。
  12. 一種程式，係用於與對試樣照射帶電粒子束來對前述試樣進行處理的帶電粒子束照射裝置為不同體的攜帶式資訊終端，執行如下的步驟：使包含GUI(Graphical User Interface)的影像顯示到顯示部之步驟，其中，該GUI被分配了互為相異的第1操作項目並且能夠根據來自使用者的操作來操作前述第1操作項目，該第1操作項目是能夠在前述帶電粒子束照射裝置中進行操作的多個操作項目中1個以上的一部分操作項目；以及使與分配給使用者所操作的前述GUI的前述第1操作項目對應的種類的輸出，輸出到輸出部之步驟； 其中，前述輸出部為揚聲器；前述輸出控制步驟使前述輸出部輸出前述種類的聲音作為前述種類的輸出；前述輸出控制步驟使前述輸出部輸出與使用者對使用者所操作的前述GUI進行的操作的程度對應的程度的聲音。
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