JP2012048923A - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】複雑化している作業手順を簡易化し、操作性の高い荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】各操作画面を起動する順番および、次のステップへ進むための条件を作業手順として設定,登録し、作業者は予め登録しておいた作業手順を選択,実行することで自動的に操作画面の起動が行われ、また作業内容を確認することが可能であるため、操作性が向上する。同一の作業手順で運用することで、作業者間の作業の統一が図れ、作業により得られる結果の信頼性が向上する。
【選択図】 図2
【解決手段】各操作画面を起動する順番および、次のステップへ進むための条件を作業手順として設定,登録し、作業者は予め登録しておいた作業手順を選択,実行することで自動的に操作画面の起動が行われ、また作業内容を確認することが可能であるため、操作性が向上する。同一の作業手順で運用することで、作業者間の作業の統一が図れ、作業により得られる結果の信頼性が向上する。
【選択図】 図2
Description
本発明は、荷電粒子線装置における作業手順管理、特にレシピ作成時の操作画面の自動起動、および操作者との対話形式によるGUI制御方式に関する。
半導体製造工場で使用される製造装置あるいは計測/検査装置においては、電子線やイオンビームなど荷電粒子線を応用した装置が多数存在する。これらの荷電粒子線装置は、運用動作条件が完全に確定してしまえば、多くの場合無人運転が可能である。しかしながら、運用条件が確定する以前の準備段階においては、装置オペレータに頼ったマニュアル運転が行われており、特に、計測/検査を行うためのレシピ作成処理は、微細化や多品種少量生産等による条件設定複雑化という要因により、未だオペレータの介在なしには行えていないのが現状である。
上記の荷電粒子線装置においては、システム運用上、多数のアプリケーションが使用されており、使用されるアプリケーション数は、システムの多機能化に伴い増大の一途をたどっている。また、GUIの普及により、アプリケーションを操作する場合には、GUI上に表示される何らかの操作画面を介して使用することが常識となっている。一般に、アプリケーションを操作する際には、各種操作画面の機能を組合せて作業を行う。従って、一連の作業を行う際、各操作画面の起動や終了を含め、多くの画面操作を行う必要があり、装置オペレータは、多数の操作画面を用いて荷電粒子線の操作・運用を行っている。
特開2007−234798号公報には、検査レシピの設定項目を、対話形式で順次ユーザが入力するように操作画面を構成した発明が開示されている。ここで検査レシピとは、検査あるいは計測を実行するために必要な装置動作の設定情報の集合物のことである。本発明によれば、欠陥確認画面上に表示されるGUIボタンを用いて、ユーザが複数のウィンドウを見ながらレシピを設定することができ、検査レシピ設定の手順をある程度容易化することができる。
上記の通り、荷電粒子線装置においては多数のアプリケーションが使用されており、かつ使用されるアプリケーションの組み合わせは装置ユーザの目的に応じてさまざまである。また、アプリケーションの処理条件の設定内容および処理条件を設定するための作業手順は、装置の運用によって全く異なる。従って、GUIの汎用性を考慮すると、各GUIを機能単位で分割し、各機能を組合せて運用する形態が荷電粒子線装置においては一般的である。
上記の通り、アプリケーションの処理条件を設定するための作業手順は装置の運用によって全く異なるため、各機能の組合せパターンの数は膨大なものとなる。また、装置に同じ処理を実行されるための処理手順は、必ずしも一つのみの手順に一意に定まるわけではなく、違う手順によっても同じ処理を実行させることが可能であり、いずれの手順を選択するかは、装置オペレータにより変わる。
GUIの機能の組合せパターンの数が膨大であるということは、GUIが機能に応じて分割された複数の操作画面で構成されており、かつレシピ設定時に多数の操作画面を開かなければならないことを意味する。しかしながら、汎用性を持たせる必要上、特定の操作画面の組み合わせパターンを事前に想定してGUIのソフトウェアを構成することは困難である。
また、汎用性を確保する都合上、各操作画面は互いにリンクできるようにGUIを構成する必要がある。このように、ディスプレイ上に表示される操作画面の数が膨大という状況下でGUIがある操作画面から他の任意の操作画面が開けるように構成されている場合、次に操作すべき画面がどれか、あるいは次に操作するべき画面をどのように呼び出せばよいかを装置オペレータが視覚的に認識することが困難である。また、無駄な操作による効率の低下や誤った操作による結果不正が生じやすくなる。このような効率低下や誤操作による結果不正は、装置オペレータが装置に不慣れである場合には特に深刻となる。
レシピ作成手順は、実際にSEMの撮像条件を設定する段階と、その前段階となる前処理段階とに大別することができ、前処理段階であればある程度の定型化が可能である。
そこで本発明では、レシピ設定手順を、前処理段階と、レシピ内容の具体的な設定を行うレシピファイル設定段階とに大別し、少なくとも前処理段階については、実行するべき大まかな作業順序および作業内容を登録できるようにGUIを構成した。装置ユーザがGUIを操作する際には、レシピ設定時に装置ユーザが作業を行う操作画面の起動順序が、上記設定された順序となるように起動順序を管理する。これにより、無駄な操作による効率の低下や誤操作による結果不正という上記の課題を解決する。起動順序を管理するための具体的な装置構成については実施例で説明される。
本発明によれば、予め登録した作業手順に従い、自動的にGUIを起動し、対話形式で次の作業を指示することで、作業者の操作手順が明確になり、作業効率が向上する。また、同一の作業手順で運用することで、作業者間の作業の統一が図れ、作業により得られる結果の信頼性が向上する。
本実施例では、荷電粒子線装置として、走査電子顕微鏡(SEM)を用いた欠陥レビュー装置を想定した実施形態について説明する。欠陥レビュー装置とは、他の装置で取得された、試料の欠陥候補位置の座標情報に基づき当該位置のSEM画像を取得し、与えられた規準で欠陥を分類する処理を実行する装置のことである。
図1は、欠陥レビュー装置の荷電粒子線装置の全体構成を示す模式図である。図1に示した欠陥レビュー装置は、大きく分けてSEM本体1と、コントローラ部2に大別される。
SEM本体1は、一次電子線をレビュー対象となる試料上に走査し、検出される二次電子あるいは反射電子由来の信号を出力する機能を持つ電子光学カラム101,レビュー対象となるウェハが格納される試料室102,ロードロック室103,試料を試料室内に搬入するためのロードポート106などにより構成される。
電子光学カラム101は、一次電子線を発生させる電子銃105、当該一次電子線の照射により発生する二次電子あるいは後方散乱される反射電子を検出するトップ像検出器108、一次電子線の照射点から左側に出射された二次電子あるいは散乱された反射電子を検出するL検出器109、右側に出射された二次電子あるいは散乱された反射電子を検出するR検出器110などを含んで構成される。光学顕微鏡111は試料に対して光を照射し、散乱光あるいは反射光を検出して信号出力する機能を有し、試料の粗アライメント時に使用される。図示されていないが、トップ像検出器108,L検出器109,R検出器110,暗視野顕微鏡111の出力信号はAD変換器によりデジタル信号に変換されてハードウェア制御部117に出力される。
レビュー対象となるウェハは、試料ステージ112上に保持されており、試料ステージ112はロードロック室103と試料室102の間を移動する。ロードポート106にはウェハを格納するカセット105が設置されており、ウェハは搬送ロボット104により試料ステージ112に移設される。すなわち、ロードポートからロードロック室へのウェハの搬入あるいは搬出は、搬送ロボット104により実行される。
コントローラ部2は、取得画像のデータやレシピファイルが格納される記憶装置113、GUIの操作画面や観察した画像を表示するためのディスプレイ114、キーボードやマウスなどの入力装置115、SEM本体1を構成する電子光学カラム101の動作や試料ステージ112、ロードポート106からロードロック室103あるいは試料室102間のウェハの搬送など、ハードウェアの動作制御を行うハードウェア制御部117、ハードウェア制御部の更に上位の制御を行い、レビューSEM全体を統括的に制御するマンマシン制御部116などにより構成される。
ハードウェア制御部117は、SEM本体側から出力されてくる、トップ像検出器108,L検出器109,R検出器110,暗視野顕微鏡111の各デジタル信号を受信し、欠陥レビューに必要な画像処理を実行する画像演算部118,ロードポート106からロードロック室103へのウェハ搬送を制御するウェハ搬送制御部119,ロードロック室103から試料室102へのウェハ移動あるいは試料室102内でのウェハ移動を制御するステージ制御部120などを含んで構成されている。
図2には、図1に示したマンマシン制御部116の内部構成図を示す。
マンマシン制御部116は、ハードウェア的には、マンマシン制御部の持つ機能を実現するソフトウェアを実行するプロセッサ201,主記憶202,上記ソフトウェアが格納される二次記憶装置203などにより構成されている。
次に、マンマシン制御部116上に実現される機能について説明する。
「発明が解決しようとする課題」欄に記載した通り、荷電粒子線装置のレシピ設定時には膨大な数の操作画面を開く必要がある。これらの操作画面の起動,終了を実行するのが操作画面処理部であり、図2ではGUI−x(xは任意の自然数を示す)で示されている。
ディスプレイ上に表示される操作画面ないしGUI画面は、互いに全て独立しているわけでなく、操作画面と操作画面間に何らかの従属関係がある場合がある。例えば、ある操作画面が特定の操作画面からしか呼び出せないように構成されている場合や、ある操作画面は特定の操作画面上でしか使用されないような場合である。
図2中では、参照番号209で示したGUI−1から参照番号210のGUI−nまでが独立した操作画面処理部を示しており、参照番号211で示したGUI−(n+1)から参照番号214の操作画面までがツリー構造の相互関係を持つ操作画面処理部の例を示している。例えば、GUI−(n+1)−1からGUI−(n+1)−3に示した操作画面処理部212は、GUI−(n+1)の操作画面処理部211の子の操作画面処理部になっており、GUI上では、GUI−(n+1)−1からGUI−(n+1)−3に対応する操作画面は、GUI−(n+1)に対応する操作画面のサブウィンドウになっていることに相当する。GUI−(n+1)−1からツリー状に伸びた操作画面213あるいは214との関係も同様である。
ウィンドウマネージャ205は、これら操作画面処理部の起動(ディスプレイ上への表示)や終了(ディスプレイからの消去)の指示,状態管理などを実行している。また、上記GUI−xで示される多数の操作画面処理部間の内部通信は、ソケット通信処理部204により実行され、ウィンドウマネージャ205と操作画面処理部、および作業手順モニタ206と操作画面処理部間の内部通信もソケット通信処理部204を介して実行される。図中の矢印は内部通信のパスを示す。
各操作画面は、必要に応じて起動,終了するため、図中の矢印で示される内部通信パスも操作画面処理部の起動,終了に応じて生成,接続終了を繰り返す。ソケット通信処理部204は、操作画面あるいはウィンドウの新規起動命令がウィンドウマネージャ205から出力された場合には、所定操作画面処理部への通信パスを新たに生成し、略同操作画面処理部へウィンドウマネージャからの起動命令を転送する。操作画面あるいはウィンドウの終了命令がウィンドウマネージャ205から出力された場合には、所定操作画面処理部からの操作画面シャットダウン完了報告を待ち、内部通信パスの接続を終了する。これにより、イベント駆動方式で処理を実行することが可能となる。
作業手順モニタ207は、装置ユーザが設定した作業順序および作業内容を登録する機能を備え、新規操作画面の生成あるいは操作画面の終了時にウィンドウマネージャによって参照される。また、作業手順モニタ207は、GUIを構成する操作画面の一つであり、起動,終了はウィンドウマネージャ205によって管理されるが、本発明では特に重要な操作画面であるため、図2では、他の操作画面処理部とは別に表示している。
以上説明したソケット通信処理部205,ウィンドウマネージャ206,作業手順モニタ207および操作画面処理部の機能を実現するプログラムは二次記憶装置203内に格納されており、マンマシン制御部112の起動時に主記憶204に読み込まれ、プロセッサ201により実行される。これにより、図2に示した機能ブロックがマンマシン制御部内に仮想的に構成される。なお、以上の説明では、上記の各機能ブロックが単一のプロセッサがプログラムを実行することにより実現されるとしたが、図2に示した機能ブロックが実装形態を問わず実現可能であることは言うまでも無い。例えば、各機能ブロックを実現するソフトウェアを複数のプロセッサで並列処理しても良いし、各機能ブロックを専用チップで構成するハードウェア実装の形で実現してもよい。あるいは、FPGAなど、ハードウェア実装とソフトウェア実装の中間的な実装形態を取ることも可能である。
以下、図面を用いて本実施例の荷電粒子線装置を用いたレシピ設定手順について説明する。
まず、荷電粒子線装置を用いてレシピ設定を行う際の基本的な作業手順について説明する。
最初は、SEM本体内にはレビュー対象であるウェハは格納されていないため、ロードポート106内のカセットからロードロック室103経由で試料室102内にウェハを搬入するプロセスが必要となる。以下の説明では、このプロセスを「ウェハ搬送制御」と称する。
試料室102内にウェハが搬入されても、この状態では試料ステージは任意の視野移動を実行することはできない。ステージ制御部120はウェハの原点座標を知らないためである。そこで、ウェハ上の適当な位置の光学顕微鏡画像を用いてステージ制御部の持つ座標系(相対座標系)とウェハ上の物理座標(絶対座標系)との座標マッチングが実行される。以下の説明では、このプロセスを「ステージ制御」と称する。
ステージ制御プロセスが終了すると、一次電子線をウェハ上の任意位置に走査し、走査電子顕微鏡画像を画面表示することが可能となる。この時点で、装置ユーザは、光学顕微鏡あるいはSEM,任意の画像を一旦画面表示させ、どのような画像が取得可能か確認する。以下の説明では、このプロセスを「画像表示」と称する。この後、SEMの具体的な撮像条件を設定登録するレシピ設定が実行可能となる。以下の説明では、このプロセスを「レシピ管理」と称する。
以上の通り、レシピ設定時の基本的な作業手順は、ウェハ搬送→ステージ制御→画像表示→レシピ管理、という3つに大別される。本実施例の場合、ウェハ搬送から画像表示までの工程が前処理段階、SEMの具体撮像条件を設定するレシピ管理の工程が、前述のレシピファイル管理段階に相当する。各プロセスの詳細設定は、各プロセスの専用設定画面あるいはそのサブウィンドウを呼び出すことにより行われる。
図3には、レシピ設定時にディスプレイ114上に表示される操作画面の一例を示したものある。図3に示すGUIは、画面下部にウィンドウマネージャ301が表示され、画面上部に操作画面表示エリア302が表示されている。マンマシン制御部116を立ち上げた初期状態では、ウィンドウマネージャ301と作業手順管理モニタ312のみが表示されており、ウィンドウマネージャ301内に表示されたウェハ搬送制御表示303,ステージ搬送制御画面表示304,画像表示画面表示305,レシピ管理画面表示306の各ボタンをクリックすることにより、対応するウェハ搬送制御画面307,ステージ制御画面309,画像表示画面310,レシピ管理画面311および作業手順管理モニタ312がディスプレイ上に表示されるようになっている。これらの各操作画面は、各々対応する操作画面処理部に対しウィンドウマネージャ205がGUI上でボタンがクリックされたことをソケット通信処理部204を介して伝達することにより起動される。
ウェハ搬送制御画面307,ステージ制御画面309,画像表示画面310,レシピ管理画面311および作業手順管理モニタ312の各画面は、互いに重ねられて表示されており、現在アクティブな操作画面は一番上に表示される。図3に示す例では、レシピ管理画面311がアクティブな状態になっている。
図4は、ウェハ搬送制御画面の例を示す。ウェハ搬送を実行するためには、初めに、カセット105に格納されたウェハのいずれを搬送するか選択する必要がある。スロット選択ボタン402をクリックすると、カセット内のウェハを選択するためのスロット選択画面が表示される。スロット選択画面の構成例は図5に示した。スロット選択画面には、スロット選択部502,503と画面終了ボタン501とが表示され、スロット選択部502,503の左側には対応するカセットのスロット番号が表示されており、スロット番号右側の矩形をクリックすることで、選択,解除を行うことができる。
ウェハ搬送開始ボタン403をクリックすることで、スロット選択部502,503で選択済みのスロットのウェハロードを開始し、ウェハ搬送終了ボタン404をクリックすることで、処理中のウェハのアンロードを開始する。また、処理中の全ウェハに対して、中止ボタン405をクリックすると、装置内にある処理中のウェハすべてに対し、アンロードを行う。
図6は、ステージ制御画面の例を示す。画面上には、図中矩形で示されたチップレイアウトを含むウェハマップが表示される。通常、ウェハ上の適当な位置にはアライメントマークが形成されており、装置ユーザは、ウェハマップ上に表示されたチップレイアウトの中からウェハアライメント(祖アライメント)に使用するチップを選択する。装置ユーザがウェハアライメントに使用するチップを選択すると、ステージ制御部120は、装置ユーザの選択したチップ位置が光学顕微鏡111の光照射位置に位置するようにステージ移動を実行する。その後、光学顕微鏡111画像によりアライメントマークの光学顕微鏡画像が取得され、画像演算部118によりアライメントマーク位置と取得した光学顕微鏡画像の視野中心とのずれ量が計算される。計算されたずれ量を補正したステージ制御の座標位置がウェハの物理座標位置であり、ステージ制御系の原点とウェハの物理座標の原点とのずれ量も計算されたずれ量に等しい。
図7には、画像表示画面の一例を示す。図7に示す画像表示画面701で、装置ユーザがOMボタン703あるいはSEMボタン704をクリックすると、ステージ制御画面中のステージX座標603,ステージY座標602で設定されている座標位置が光学顕微鏡画像あるいはSEM画像の取得位置に位置するようにステージ移動が実行され、光学顕微鏡画像あるいはSEM画像が撮像され、画像表示領域702に表示される。図1で説明した通り、本実施例のSEMは、トップ像検出器108,L検出器109,R検出器110の3つの検出器を備えており、これら3つの検出器由来の画像を選択して表示させることが可能である。このため、図7の画像表示画面は、3つの検出器由来の画像を選択するためのS像選択ボタン705,L像選択ボタン706,R像選択ボタン707を備えている。倍率設定欄708,加速電圧設定欄709,ビーム電流値設定欄710には、現在使用中の倍率,加速電圧,一次電子線のビーム電流が表示されており、各設定欄へ数値を入力することにより、倍率,加速電圧値,一次電子線のビーム電流値を調整することができる。
図3の示したレシピ管理画面表示ボタン306をクリックすると、記憶装置113に格納されたレシピファイルが読み込まれ、レシピ管理画面311に表示されるが、図11には、作業手順モニタの一例を示す。作業手順モニタ1101は、前処理条件およびレシピ設定の進捗状況を表示する機能を有する画面であり、順番表示欄1102,対象ウィンドウ表示欄1103,処理内容表示欄1104,終了条件表示欄110,コメント表示欄1107などを含んで構成される。終了条件表示欄1107の画面右側にはスクロールバー1106が表示されており、装置ユーザはスクロールバーの操作により、画面の表示内容を上下にスクロールさせることができる。
各表示欄に表示させる内容は装置ユーザにより事前設定されたものであり、現在実行中の処理は、対応する各表示欄がハイライト表示される。これにより、装置ユーザは現在自分が実行している処理を視覚的に確認することができる。また、コメント表示欄1107には、次に実行するべき操作内容が表示され、操作画面を操作する際のガイダンスとして機能する。これにより、登録した作業手順の自動実行が不可能な場合も、コメントを補助に装置ユーザが操作を行うことが可能となる。コメントは、作業手順管理モニタ上に表示しても良いし、別のGUIに表示しても良い。また、コメント表示の他、音声による通知機能を装置に搭載してもよい。
ウィンドウマネージャ205が各操作画面を起動あるいは終了する際には、作業手順モニタ206を参照して装置ユーザの行った操作が妥当かどうか判断しており、もし装置ユーザが事前設定された操作順序とは異なる操作を行った場合、ディスプレイ114上にアラームを表示する。実行中の作業は、作業中止ボタン1109をクリックすることで中止することができる。また、作業を再開したい場合は、作業再開ボタン1108をクリックすることで、再開することができる。更に、作業手順管理モニタの表示を終了する場合には、作業終了ボタン1110をクリックする。
なお、作業手順管理モニタの機能は、必ずしも新規のGUIとして登録する必要はなく、既存のGUIに同様の機能を搭載し管理することも可能である。
次に、作業手順モニタに表示させる作業の順序および内容を設定する方法について説明する。
まず、図8に示す作業手順登録画面の新規登録ボタン804をクリックし、図9に示す作業内容新規登録画面を表示する。次に作業名称入力欄902に適当な作業名称を入力する。作業名称は、作業手順実行時に判りやすいユニークな作業名称であるとよい。次に、作業内容登録部903に含まれる作業順番入力欄904,対象ウィンドウ名入力欄905,処理内容入力欄906,終了条件入力欄907の各入力欄に、作業の順番,処理対象ウィンドウ名,処理内容,終了条件等の作業内容を順次入力する。各入力欄への内容設定方法は、マニュアル入力しても良いし、対象となる画面名や処理内容,終了条件を予め登録しておき、プルダウンメニューなどの形式で選択できるようにすることも有用である。
作業内容の設定が終了したら、保存ボタン909をクリックすることで、作業内容新規登録画面を終了し、設定した作業内容をファイル形式で記憶装置や外部記憶媒体に保存する。また、設定した作業内容はファイルに保存する以外に、メモリ上に保持しても良い。
キャンセルボタン910をクリックすると、設定した内容を保存せずに作業内容新規登録画面を終了する。
保存した作業内容は、登録済み作業一覧表示部802に表示される。登録した作業は、登録済み作業一覧表示部802で選択し、登録ボタン807をクリックすると、選択した作業が実行可能作業一覧表示部801にコピーされ、実行可能な作業として登録される。
逆に、実行可能な作業としては登録しておく必要のない作業は、実行可能作業一覧表示部801から該当する作業を選択し、登録解除ボタン808をクリックすることで、登録済み作業一覧表示部802に移動することができる。
不要となった登録済み作業手順は、登録済み作業一覧表示部802で該当する作業手順を選択し、登録削除ボタン806をクリックすることで、削除される。また、登録済み作業一覧表示部802に表示されている登録済みの作業手順を選択し、編集ボタン805をクリックすることで、編集が可能となる。
図10には、一連の作業の入力が終わった状態の作業内容新規登録画面を示す。この状態で保存ボタン909をクリックすると、入力した作業手順,内容,終了条件が二次記憶装置203に保存され、図8の作業手順登録画面に戻る。また、装置ユーザが図8の作業実行ボタン803をクリックすると、実行可能作業一覧表示部801に表示された作業内容の実行が開始され、ディスプレイ114上に表示されるGUIが図3に示す画面に遷移する。
図12には、図2に示したソケット通信処理部204,ウィンドウマネージャ205および作業手順モニタ206間で送受信される内部通信のシーケンスを示す。
図12(A)に示すシーケンス例は、ウィンドウマネージャが作業手順モニタに対して、現在進捗中の作業および装置ユーザが行った操作を示すステータス情報の通知要求を発行し、作業手順モニタがステータス情報をウィンドウマネージャに通知し、ウィンドウマネージャが通知されたステータス情報を元に各操作画面処理部に画面の起動/終了指示を行うシーケンスであり、最も一般的なシーケンスである。ウィンドウマネージャが通知要求発行を行わずに、ステータス情報に何らかの変化があった際に作業手順モニタがステータスをウィンドウマネージャに対して自動的に通知するシーケンスにしてもよい。また、各GUIからの画面の起動/終了報告は、一斉同報通信(ブロードキャスト)を使用することも有用である。
図12(B)に示すシーケンス例は、ウィンドウマネージャを介さずに、作業手順管理モニタが起動対象となる操作画面の担当処理部に対し、直接起動要求を行うシーケンスである。起動要求は、登録された作業手順に従って実行され、画面の起動を完了した操作画面処理部が、作業手順管理モニタへ画面の起動完了報告を行う。これにより、作業手順管理モニタで各GUIの起動/終了状態を管理することが可能となる。本シーケンスは、事前設定された作業手順をマンマシン制御部が自動実行する際に使用される。
例えば、図11に示される作業手順管理モニタで、ある作業名称の作業に対する終了条件としてウェハのアンロード完了を設定した場合、順番9で示されたウェハアンロードの終了報告を作業手順管理モニタで受信(トリガーを認識)できるようにしておくことで、次のステップへ処理を進めることが可能となる。
図12(C)に示すシーケンス例は、ウィンドウマネージャを使用し画面の起動/終了を行うシーケンスである。ウィンドウマネージャが画面の起動/終了の起点となる点は従来と同様であるが、各操作画面処理部は、画面の起動要求に対してウィンドウマネージャと作業手順管理モニタの両者に起動完了報告を通知する点が従来と異なる。これにより、作業手順管理モニタで各GUIの起動状態を管理することが可能となる。
図13にはアラーム発生時の処理を示す。前述の通り、ウィンドウマネージャ205は、作業手順モニタ206から通知されるステータスの変化を監視しており、各操作画面の起動,終了要求が妥当かどうかを判断している。また、ある作業を実行とSEM本体の現在のステータスとの間に排他関係が成立する場合がある。例えば、図4に示すウェハ搬送制御画面において、レビュー済みのウェハがSEM本体内に格納されているのに(=ウェハアンロードが完了していないのに)ウェハ搬送開始ボタン403をクリックすることは不合理であり、現在のステータス(この場合はアンロード未完了)から見て許容されない操作である。つまり、図5に示すスロット選択画面は、アンロード未完了というステータスからみて表示が許容されない操作画面に相当する。
図2に示す二次記憶装置203には、各操作画面間の組み合わせパターンに対して、このような排他関係を記述したテーブルが格納されており、ウィンドウマネージャ205は、作業手順モニタ206からステータス情報の通知がある度に、排他関係テーブルを参照して、起動要求あるいは終了要求のあった操作画面が現在のステータスからみて妥当かどうかを判断する。
図13では、作業手順モニタから通知されたステータス情報に操作画面1の起動要求が含まれており、操作画面1の起動完了後、作業手順モニタから操作画面2の起動要求を含むステータス情報が通知された例を示している。ウィンドウマネージャは、操作画面1の起動完了という現ステータスと操作画面2の起動要求の排他関係を判断し、排他関係ありと判断した場合には、アラームに対応する操作画面の起動を中止し、作業手順モニタ206にアラームを通知する。アラームが通知されると、図11に示す作業手順モニタのコメント欄にはアラーム発生の旨が表示され、更に本来行うべき正しい作業内容および作業手順(リカバリー手順)が表示される。
排他関係なしと判断した場合には、操作画面2に対応する操作画面処理部に画面の起動要求を転送する。その後、ウィンドウマネージャは、画面2の起動完了報告を受信すると、作業手順モニタに軌道完了報告を転送する。
予め、作業手順管理モニタでアラームが発生することが判断できる場合は、作業手順管理モニタでアラームにしても良いし、ウィンドウマネージャや各GUIが判断しアラームを発生させても良い。
1 SEM本体
2 コントローラ部
2 コントローラ部
Claims (10)
- 試料室内に保持された試料に対して荷電粒子線を照射して荷電粒子線画像を撮像する機能を備えた荷電粒子線装置本体と、当該荷電粒子線装置本体を制御する制御ユニットと、前記荷電粒子線装置本体の制御条件を設定する操作画面が表示されるディスプレイと、当該操作画面を介して入力された情報を前記制御ユニットに伝送する情報処理装置と、当該情報処理装置で実行されるプログラムを格納する情報記憶装置とを備える荷電粒子線装置における前記情報処理装置上で実行されるプログラムであって、
複数の前記操作画面を前記ディスプレイ上に表示させる第1のプログラムと、
当該複数の操作画面の起動順序が予め設定された順序に沿うよう管理する第2のプログラムとを記憶した情報記憶装置。 - 請求項1に記載のプログラムを記憶した情報記憶装置において、
前記プログラムが、以下の操作画面を前記ディスプレイ上に表示させることを特徴とする前記プログラムを記憶した情報記憶装置。
(1)前記試料室内に試料を搬入させる処理における条件を設定する試料搬送制御画面
(2)前記試料に対するアライメント条件を設定するステージ制御画面
(3)前記荷電粒子線画像の撮像条件を設定画面を含むレシピ管理画面 - 請求項2に記載のプログラムを記憶した情報記憶装置において、
前記プログラムの実行により、前記試料搬送制御画面に引き続き、前記搬入される試料が格納されているスロットから棚番号を選択するための操作画面が前記ディスプレイ上に表示されることを特徴とする前記プログラムを記憶した情報記憶装置。 - 試料室内に保持された試料に対して荷電粒子線を照射して荷電粒子線画像を撮像する機能を備えた荷電粒子線装置本体と、
当該荷電粒子線装置本体を制御する制御ユニットと、
前記荷電粒子線装置本体の制御条件を設定する操作画面が表示されるディスプレイと、
当該操作画面を介して入力された情報を前記制御ユニットに伝送する情報処理装置と、当該情報処理装置で実行されるプログラムを格納する情報記憶装置とを備え、
前記情報処理装置は、複数の前記操作画面を前記ディスプレイ上に表示させ、当該複数の操作画面の起動順序が与えられた順序に沿うよう管理することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項4に記載の荷電粒子線装置において、
前記操作画面は、荷電粒子線画像の撮像条件を設定するレシピ設定画面または当該レシピ設定を実行するために必要な前処理条件を設定する前処理条件設定画面の一部を構成し、
前記情報処理装置は、当該操作画面上において装置ユーザが実行する作業内容および当該作業の順序を登録するための作業手順登録画面を表示することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項5に記載の荷電粒子線装置において、
前記情報処理装置は、前記作業手順登録画面上で登録された作業順序に沿って、前記操作画面を表示することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項5に記載の荷電粒子線装置において、
前記前処理条件設定画面は、前記試料室内に試料を搬入させる処理における条件を設定する試料搬送制御画面または前記試料に対するアライメント条件を設定するステージ制御画面を含むことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項4に記載の荷電粒子線装置において、
前記ディスプレイ上に、前記複数の操作画面を介して行われる作業のうち現在実行中の作業を示す作業手順管理モニタが表示されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項5に記載の荷電粒子線装置において、
前記情報処理装置は、1の操作画面上で装置ユーザが行った操作により呼び出される他の操作画面と前記1の操作画面との排他関係を判断し、
前記1の操作画面と前記他の操作画面とが排他関係にある場合には、前記他の操作画面の呼び出しを実行しないことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項9に記載の荷電粒子線装置において、
前記情報処理装置は、
前記他の操作画面の呼び出し不実行時に前記ディスプレイ上にアラーム表示を行うことを特徴とする荷電粒子線装置。
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