JP2016080575A - 散布図表示装置、散布図表示方法、および表面分析装置 - Google Patents
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Abstract
Description
元素ごとの強度または濃度のマップデータに対して主成分分析を行う主成分分析部と、
前記主成分分析部における主成分分析の結果に基づいて、各元素に優先順位をつける順位付与部と、
各元素を組み合わせて作成された複数の散布図を、前記順位付与部で各元素につけられた優先順位に基づいて配列し、表示部に表示させる制御を行う表示制御部と、
を含む。
散布図を配列するため、複数の散布図を元素の相関がわかりやすいように表示させることができる。また、このような散布図表示装置では、例えば、自動で、複数の散布図を元素の相関がわかりやすいように表示させることができる。
前記順位付与部は、第1主成分の主成分係数の絶対値が最も大きい元素を優先順位が1番目に高い元素とし、第2主成分の主成分係数の絶対値が最も大きい元素を優先順位が2番目に高い元素としてもよい。
前記表示制御部は、複数の散布図を前記順位付与部で各元素につけられた優先順位に基づいてマトリックス状に配列して散布図マトリックスを形成し、優先順位が1番目に高い元素と優先順位が2番目に高い元素とを組み合わせて作成された散布図を前記散布図マトリックスの角部に配置してもよい。
前記順位付与部は、第1主成分の主成分係数の絶対値が1番目に大きい元素を優先順位が1番目に高い元素とし、第1主成分の主成分係数の絶対値が2番目に大きい元素を優先順位が2番目に高い元素としてもよい。
元素ごとの強度または濃度のマップデータに基づいて、各元素を組み合わせて複数の散布図を作成する散布図作成部と、
前記散布図作成部で作成された各散布図の分散を求める分散値算出部と、
前記分散値算出部で求められた各散布図の分散に基づいて、各元素に優先順位をつける順位付与部と、
各元素を組み合わせて作成された複数の散布図を、前記順位付与部で各元素につけられた優先順位に基づいて配列し、表示部に表示させる制御を行う表示制御部と、
を含む。
前記表示制御部は、複数の散布図を前記順位付与部で各元素につけられた優先順位に基づいてマトリックス状に配列して散布図マトリックスを形成し、優先順位が1番目に高い元素と優先順位が2番目に高い元素とを組み合わせて作成された散布図を前記散布図マトリックスの角部に配置してもよい。
元素ごとの強度または濃度のマップデータに対して主成分分析を行う主成分分析工程と、
前記主成分分析工程における主成分分析の結果に基づいて、各元素に優先順位をつける順位付与工程と、
各元素を組み合わせて作成された複数の散布図を、前記順位付与工程で各元素につけられた優先順位に基づいて配列し、表示部に表示させる制御を行う表示制御工程と、
を含む。
前記順位付与工程では、第1主成分の主成分係数の絶対値が最も大きい元素を優先順位が1番目に高い元素とし、第2主成分の主成分係数の絶対値が最も大きい元素を優先順位が2番目に高い元素としてもよい。
前記表示制御工程では、複数の散布図を前記順位付与工程で各元素につけられた優先順位に基づいてマトリックス状に配列して散布図マトリックスを形成し、優先順位が1番目に高い元素と優先順位が2番目に高い元素とを組み合わせて作成された散布図を前記散布図マトリックスの角部に配置してもよい。
前記順位付与工程では、第1主成分の主成分係数の絶対値が1番目に大きい元素を優先順位が1番目に高い元素とし、第1主成分の主成分係数の絶対値が2番目に大きい元素を優先順位が2番目に高い元素としてもよい。
元素ごとの強度または濃度のマップデータに基づいて、各元素を組み合わせて複数の散布図を作成する散布図作成工程と、
前記散布図作成工程で作成された各散布図の分散を求める分散値算出工程と、
前記分散値算出工程で求められた各散布図の分散に基づいて、各元素に優先順位をつける順位付与工程と、
各元素を組み合わせて作成された複数の散布図を、前記順位付与工程で各元素につけら
れた優先順位に基づいて配列し、表示部に表示させる制御を行う表示制御工程と、
を含む。
前記表示制御工程では、複数の散布図を前記順位付与工程で各元素につけられた優先順位に基づいてマトリックス状に配列して散布図マトリックスを形成し、優先順位が1番目に高い元素と優先順位が2番目に高い元素とを組み合わせて作成された散布図を前記散布図マトリックスの角部に配置してもよい。
本発明に係る散布図表示装置を含む。
1.1. 散布図表示装置
まず、第1実施形態に係る散布図表示装置について図面を参照しながら説明する。図1は、第1実施形態に係る散布図表示装置100を含む表面分析装置1000の構成を模式
的に示す図である。ここでは、散布図表示装置100が表面分析装置1000に含まれている例について説明する。
表面分析装置本体部10は、電子銃11と、集束レンズ12と、偏向器13と、対物レンズ14と、試料ステージ15と、二次電子検出器17と、エネルギー分散型検出器18と、波長分散型検出器19と、を含んで構成されている。
散布図表示装置100は、表面分析装置本体部10におけるマップ分析の結果得られた元素マップデータを取得し、取得した元素マップデータに対して主成分分析を行い、主成分分析の結果に基づいて元素に優先順位をつけ、散布図を優先順位に基づいて配列し、表示部122に表示させる。散布図表示装置100は、例えば、パーソナルコンピューター(PC)等の汎用のコンピューターを用いて構成されている。散布図表示装置100は、処理部110と、操作部120と、表示部122と、記憶部124と、情報記憶媒体126と、を含む。
部から横方向に配置する。これにより、残りの散布図((c,d)散布図、(c,e)散布図、(d,e)散布図)の配置も決まり、散布図マトリックスを作成することができる。
次に、第1実施形態に係る散布図表示装置100における散布図表示方法について図面を参照しながら説明する。図4は、第1実施形態に係る散布図表示装置100における散布図表示方法の一例を示すフローチャートである。
直線状に並ぶ散布図は、最も注目すべき散布図とはいえない。
2.1. 散布図表示装置
次に、第2実施形態に係る散布図表示装置について図面を参照しながら説明する。図9は、第2実施形態に係る散布図表示装置200を含む表面分析装置2000の構成を模式的に示す図である。ここでは、散布図表示装置200が表面分析装置2000に含まれて
いる例について説明する。
Cov(X,Y)=E[(X−E[X])(Y−E[Y])]
(Cov(X,Y):2組の確率変数X,Yの共分散、E:期待値)
ら、2番目に分散が大きい散布図を選択し、当該散布図を構成する元素のうち優先順位が1番目に高い元素でないほうを優先順位が4番目に高い元素とする。順位付与部216は、5番目以降についても同様にして元素に順位づけする。
次に、第2実施形態に係る散布図表示装置200における散布図表示方法について図面を参照しながら説明する。図10は、第2実施形態に係る散布図表示装置200における散布図表示方法の一例を示すフローチャートである。
MgのうちのAlを優先順位が1番目に高い元素とし、Mgを優先順位が2番目に高い元素とする。
あわせで作成された散布図、すなわち、相分析において最も注目すべき散布図をみつけることができ、当該散布図を元素の相関がわかりやすい位置(散布図マトリックスの角部)に配置することができる。したがって、散布図表示装置200では、複数の散布図(散布図マトリックス)を元素の相関がわかりやすいように表示させることができる。また、散布図表示装置200では、例えば、自動で、複数の散布図(散布図マトリックス)を、元素の相関がわかりやすいように表示させることができる。
されない。例えば、本発明に係る表面分析装置は、オージェ電子分光装置(Auger Electron Spectroscope)、X線光電子分光装置(X−ray Photoelectron Spectroscope;XPS)、エネルギー分散型X線分光器(energy dispersive X−ray spectrometer;EDS)が搭載された走査電子顕微鏡(scanning transmission electron microscope;SEM)などであってもよい。
Claims (13)
- 元素ごとの強度または濃度のマップデータに対して主成分分析を行う主成分分析部と、
前記主成分分析部における主成分分析の結果に基づいて、各元素に優先順位をつける順位付与部と、
各元素を組み合わせて作成された複数の散布図を、前記順位付与部で各元素につけられた優先順位に基づいて配列し、表示部に表示させる制御を行う表示制御部と、
を含む、散布図表示装置。 - 請求項1において、
前記順位付与部は、第1主成分の主成分係数の絶対値が最も大きい元素を優先順位が1番目に高い元素とし、第2主成分の主成分係数の絶対値が最も大きい元素を優先順位が2番目に高い元素とする、散布図表示装置。 - 請求項2において、
前記表示制御部は、複数の散布図を前記順位付与部で各元素につけられた優先順位に基づいてマトリックス状に配列して散布図マトリックスを形成し、優先順位が1番目に高い元素と優先順位が2番目に高い元素とを組み合わせて作成された散布図を前記散布図マトリックスの角部に配置する、散布図表示装置。 - 請求項1において、
前記順位付与部は、第1主成分の主成分係数の絶対値が1番目に大きい元素を優先順位が1番目に高い元素とし、第1主成分の主成分係数の絶対値が2番目に大きい元素を優先順位が2番目に高い元素とする、散布図表示装置。 - 元素ごとの強度または濃度のマップデータに基づいて、各元素を組み合わせて複数の散布図を作成する散布図作成部と、
前記散布図作成部で作成された各散布図の分散を求める分散値算出部と、
前記分散値算出部で求められた各散布図の分散に基づいて、各元素に優先順位をつける順位付与部と、
各元素を組み合わせて作成された複数の散布図を、前記順位付与部で各元素につけられた優先順位に基づいて配列し、表示部に表示させる制御を行う表示制御部と、
を含む、散布図表示装置。 - 請求項5において、
前記表示制御部は、複数の散布図を前記順位付与部で各元素につけられた優先順位に基づいてマトリックス状に配列して散布図マトリックスを形成し、優先順位が1番目に高い元素と優先順位が2番目に高い元素とを組み合わせて作成された散布図を前記散布図マトリックスの角部に配置する、散布図表示装置。 - 元素ごとの強度または濃度のマップデータに対して主成分分析を行う主成分分析工程と、
前記主成分分析工程における主成分分析の結果に基づいて、各元素に優先順位をつける順位付与工程と、
各元素を組み合わせて作成された複数の散布図を、前記順位付与工程で各元素につけられた優先順位に基づいて配列し、表示部に表示させる制御を行う表示制御工程と、
を含む、散布図表示方法。 - 請求項7において、
前記順位付与工程では、第1主成分の主成分係数の絶対値が最も大きい元素を優先順位
が1番目に高い元素とし、第2主成分の主成分係数の絶対値が最も大きい元素を優先順位が2番目に高い元素とする、散布図表示方法。 - 請求項8において、
前記表示制御工程では、複数の散布図を前記順位付与工程で各元素につけられた優先順位に基づいてマトリックス状に配列して散布図マトリックスを形成し、優先順位が1番目に高い元素と優先順位が2番目に高い元素とを組み合わせて作成された散布図を前記散布図マトリックスの角部に配置する、散布図表示方法。 - 請求項7において、
前記順位付与工程では、第1主成分の主成分係数の絶対値が1番目に大きい元素を優先順位が1番目に高い元素とし、第1主成分の主成分係数の絶対値が2番目に大きい元素を優先順位が2番目に高い元素とする、散布図表示方法。 - 元素ごとの強度または濃度のマップデータに基づいて、各元素を組み合わせて複数の散布図を作成する散布図作成工程と、
前記散布図作成工程で作成された各散布図の分散を求める分散値算出工程と、
前記分散値算出工程で求められた各散布図の分散に基づいて、各元素に優先順位をつける順位付与工程と、
各元素を組み合わせて作成された複数の散布図を、前記順位付与工程で各元素につけられた優先順位に基づいて配列し、表示部に表示させる制御を行う表示制御工程と、
を含む、散布図表示方法。 - 請求項11において、
前記表示制御工程では、複数の散布図を前記順位付与工程で各元素につけられた優先順位に基づいてマトリックス状に配列して散布図マトリックスを形成し、優先順位が1番目に高い元素と優先順位が2番目に高い元素とを組み合わせて作成された散布図を前記散布図マトリックスの角部に配置する、散布図表示方法。 - 請求項1ないし6のいずれか1項に記載の散布図表示装置を含む、表面分析装置。
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