JP2011145238A - X線分析用表示処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】分析者により指定された6元素をx、y、z軸の原点を中心とする+x、+y、+z、−x、−y、−zの各方向に割り当て、8個の象限の各空間に、分析した各微小領域の3元素のX線強度データをプロットした3次元散布図(XYZ表示)を表示部の画面上に表示させる。3次元散布図上で分析者が任意の位置をクリック操作すると、その位置に応じた3元素が選択され、3次元散布図は、選択された3元素の3元散布図を底面としそれに直交する方向に3元素の強度和をとった三角柱状のグラフ(トライアングル表示)に変更される。同時に、相解析画面には選択された3元素の3元散布図が表示され、該散布図を用いて相解析が可能となる。これにより、簡便な操作で6元素中の任意の3元素の組み合わせを選択することができる。
【選択図】図10
Description
a)指定された4以上の元素から任意に選択された3元素の絶対的な又は相対的な強度情報をそれぞれ軸とする2次元領域又は3次元空間に、微小領域毎に取得されたその3元素に対するX線強度データに基づくデータ点がプロットされてなる散布図を、複数の3元素組み合わせに対してそれぞれ作成し、それら散布図を関連付けて空間的に配置することで形成した3次元散布図を、表示画面上に3次元表示する3次元表示処理手段と、
b)表示画面に表示された3次元散布図上で分析者が任意の位置を指示するための位置指示手段と、
c)前記位置指示手段により3次元散布図上で指示された位置に対応した3元素の組み合わせを選択し、その3元素の3元散布図を表示画面上に表示する3元素選択手段と、
を備えることを特徴としている。
以上のように、本実施例のEPMAでは、多元素を含む試料のマッピング分析の結果を様々な形式の3次元散布図を用いて確認することができる。
2…電子銃
3…試料
4…試料ステージ
5…分光結晶
6…X線検出器
7…試料ステージ駆動部
8…分析制御部
9…データ処理部
90…データ保存部
10…中央制御部
11…表示処理部
12…操作部
13…表示部
20…相解析画面
21、22…グラフ表示領域
23…[3次元表示]アイコン
30…元素選択画面
31…元素選択ボタン
32…「OK」ボタン
40…3次元散布図画面
41…グラフ表示領域
42…[XYZ]ボタン
43…[トライアングル]ボタン
44…[ピラミッド]ボタン
45…縦方向スライダ
46…横方向スライダ
47…拡大ボタン
48…縮小ボタン
Claims (3)
- 試料上で励起線の照射位置を1次元的又は2次元的に移動させつつ励起線照射部位から放出されたX線を順次検出することにより、試料中の各元素のマッピング分析が可能なX線分析装置にあって、試料上の1次元領域又は2次元領域内の多数の微小領域からそれぞれ得られたデータを処理して表示部に表示するX線分析用表示処理装置であって、
a)指定された4以上の元素から任意に選択された3元素の絶対的な又は相対的な強度情報をそれぞれ軸とする2次元領域又は3次元空間に、微小領域毎に取得されたその3元素に対するX線強度データに基づくデータ点がプロットされてなる散布図を、複数の3元素組み合わせに対してそれぞれ作成し、それら散布図を関連付けて空間的に配置することで形成した3次元散布図を、表示画面上に3次元表示する3次元表示処理手段と、
b)表示画面に表示された3次元散布図上で分析者が任意の位置を指示するための位置指示手段と、
c)前記位置指示手段により3次元散布図上で指示された位置に対応した3元素の組み合わせを選択し、その3元素の3元散布図を表示画面上に表示する3元素選択手段と、
を備えることを特徴とするX線分析用表示処理装置。 - 請求項1に記載のX線分析用表示処理装置であって、
前記3次元散布図は、互いに直交するx、y、zの3軸上で原点を中心に+x、+y、+z、−x、−y、−zの6方向にそれぞれ異なる元素の強度情報をとった3次元的なグラフであり、前記位置指示手段は前記グラフの8象限のいずれか1つを仮想的に指示するものであることを特徴とするX線分析用表示処理装置。 - 請求項1に記載のX線分析用表示処理装置であって、
前記3次元散布図は、三角錐の4つの頂点にそれぞれ異なる元素を割り当て、4つの面にそれぞれ異なる3元散布図を配置した3次元的なグラフであり、前記位置指示手段は4つの面のうちの1つを指示するものであることを特徴とするX線分析用表示処理装置。
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