JP2011127995A - X線分析用表示処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
3元素の強度を強度和で規格化した相対値を表す軸(A軸、B軸、C軸)を正三角形の三辺に割り当て、その三角形が載る平面に直交する方向に3元素の強度の和を表す軸(D軸)を追加した、三角柱状の3次元空間を、マッピング分析において1箇所の微小領域で得られたデータ点をプロットする空間として設定する。そして、この3次元的なグラフを平面化して表示部の画面上に描画する。3次元的なグラフを見る方向を任意に変化可能とすることにより、従来の三元散布図上でのデータ点の位置も把握可能であるとともに、三元素の強度の絶対値も容易に知ることができる。
【選択図】図3
Description
3元素の強度の相対情報をそれぞれ軸として三角形の三辺に割り当て、該三角形が載る平面に直交する方向に前記3元素の強度の和を割り当てた4軸で三角柱状の3次元空間を形成し、微小領域毎に前記3元素に対する強度データを取得して、その強度データに基づくデータ点を前記3次元空間内にプロットすることにより3次元三元散布図を作成して、該散布図を表示部の画面上に二次元的に表示する処理手段、を備えることを特徴としている。
2…電子銃
3…試料
4…試料ステージ
5…分光結晶
6…X線検出器
7…試料ステージ駆動部
8…分析制御部
9…データ処理部
90…データ保存部
10…中央制御部
11…表示処理部
12…操作部
13…表示部
20…[元素選択]画面
21…元素選択ボタン
22…「OK」ボタン
30…[3次元散布図]画面
31…グラフ表示領域
32…[XYZ]ボタン
33…[トライアングル]ボタン
34…[ピラミッド]ボタン
35…縦方向スライダ
36…横方向スライダ
Claims (1)
- 試料上で励起線の照射位置を1次元的又は2次元的に移動させつつ励起線照射部位から放出されたX線を順次検出することにより、試料中の各元素のマッピング分析が可能なX線分析装置において、試料上の1次元領域又は2次元領域内の多数の微小領域からそれぞれ得られたデータを処理して表示するX線分析用表示処理装置であって、
3元素の強度の相対情報をそれぞれ軸として三角形の三辺に割り当て、該三角形が載る平面に直交する方向に前記3元素の強度の和を割り当てた4軸で三角柱状の3次元空間を形成し、微小領域毎に前記3元素に対する強度データを取得して、その強度データに基づくデータ点を前記3次元空間内にプロットすることにより3次元三元散布図を作成して、該散布図を表示部の画面上に二次元的に表示する処理手段、を備えることを特徴とするX線分析用表示処理装置。
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2009
- 2009-12-17 JP JP2009286395A patent/JP5428826B2/ja active Active
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JP5428826B2 (ja) | 2014-02-26 |
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