JP2019096544A - 定量分析方法および電子顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
Description
電子顕微鏡における定量分析方法であって、
試料を傾斜させながら傾斜角ごとに元素マッピングを行うことで得られる傾斜角ごとの2次元の元素マップを取得する工程と、
傾斜角ごとの2次元の元素マップから3次元再構成することにより、3次元の元素マップを生成する工程と、
前記3次元の元素マップから元素の定量値を計算する工程と、
を含む。
壊することなく分析が可能である。さらに、試料を針状に加工しなくても分析が可能である。
電子源と、
前記電子源から放出された電子線を試料に照射する照射系レンズと、
前記試料を傾斜可能に保持する試料ステージと、
前記試料に電子線を照射することにより発生したX線を検出する検出器と、
前記検出器におけるX線の検出結果に基づいて、定量分析を行う分析処理部と、
を含み、
前記分析処理部は、
前記試料を傾斜させながら傾斜角ごとに元素マッピングを行うことで得られる傾斜角ごとの2次元の元素マップを取得する処理と、
傾斜角ごとの2次元の元素マップから3次元再構成することにより、3次元の元素マップを生成する処理と、
前記3次元の元素マップから元素の定量値を計算する処理と、
を行う。
まず、本実施形態に係る電子顕微鏡について説明する。図1は、本実施形態に係る電子顕微鏡100の構成を示す図である。
電子顕微鏡像(STEM像)を得るための装置である。また、電子顕微鏡100は、エネルギー分散型X線検出器(energy dispersive X-ray spectrometer、以下「EDS検出器」ともいう)40,50を備えている。
DSスペクトル情報を分析処理部70に送る。
次に、本実施形態に係る定量分析方法について説明する。図4は、本実施形態に係る定量分析方法の一例を示すフローチャートである。
元素B 強度値IB(x,y)
元素C 強度値IC(x,y)
元素B 強度値IB(x,y,z)
元素C 強度値IC(x,y,z)
本実施形態に係る定量分析方法は、例えば、以下の特徴を有する。
領域6から放出されるX線を検出して定量分析を行うため、粒子4の上下の膜2の情報も含まれることとなる。
以下、実施例を挙げて本実施形態を説明するが、本発明はこれによって制限されるものではない。
って試料の傾斜角θごとの2次元のEDSマップを取得し、3次元のEDS元素マップを生成した。
が14.23at%であった。このように、2次元の定量分析では、チタン粒子を囲む樹脂の情報が含まれているため、酸素や炭素の割合が多くなってチタン粒子の組成を正確に分析できなかった。これに対して、3次元の定量分析では、チタン粒子の組成が正確に分析できた。
なお、本発明は上述した実施形態に限定されず、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。
上述した実施形態では、2つのEDS検出器40,50を用いて、試料Sで発生したX線を検出した。ここで、図3に示すように、試料SをEDS検出器40側に傾けた場合、試料SのX線発生源から見て、EDS検出器50が試料ホルダー18aのフレームや、試料Sの影になる。この結果、試料Sで発生したX線が遮蔽されてX線強度が減少してしまう。また、EDS検出器50が影になることによるX線強度の減少の度合いは、試料Sの傾斜角θによって異なる。そのため、3次元の定量分析の精度が低下してしまうおそれがある。
EDS元素マップを生成する。これにより、EDS検出器が試料ホルダー18aや試料Sの影になることの影響を低減でき、3次元の定量分析の精度を向上できる。
例えば、上述した実施形態では、電子顕微鏡100は、図2に示すように、2つのEDS検出器40,50を備えていたが、EDS検出器は1つであってもよい。
上述した実施形態では、分析処理部70が3次元のEDS元素マップを構成するボクセルごとに元素の定量値を計算する場合について説明した。分析処理部70の処理は、これに限定されず、例えば、3次元のEDS元素マップから抽出された粒子ごとに元素の定量値を計算してもよい。
上述した実施形態では、定量値を計算する工程では、クリフ・ロリマー法を用いて、元素の定量値を計算する場合について説明したが、その他の計算手法を用いて、元素の定量
値を計算してもよい。例えば、ゼータファクター(ζfactor)法を用いて、元素の定量値の計算を行ってもよい。
Claims (6)
- 電子顕微鏡における定量分析方法であって、
試料を傾斜させながら傾斜角ごとに元素マッピングを行うことで得られる傾斜角ごとの2次元の元素マップを取得する工程と、
傾斜角ごとの2次元の元素マップから3次元再構成することにより、3次元の元素マップを生成する工程と、
前記3次元の元素マップから元素の定量値を計算する工程と、
を含む、定量分析方法。 - 請求項1において、
前記元素の定量値を計算する工程では、クリフ・ロリマー法またはゼータファクター法を用いて、定量値を計算する、定量分析方法。 - 請求項1または2において、
前記電子顕微鏡は、前記試料の傾斜軸を挟んで配置された2つの検出器を備え、
前記2次元の元素マップを取得する工程では、
前記試料が傾斜している側の前記検出器を用いて、前記試料からのX線を検出する、定量分析方法。 - 請求項1または2において、
前記電子顕微鏡は、検出器を備え、
前記2次元の元素マップを取得する工程では、前記試料の傾斜角と前記検出器で検出さるX線強度の関係を示すデータを用いて、前記検出器で検出されたX線強度を補正する、定量分析方法。 - 請求項1ないし4のいずれか1項において、
前記元素の定量値を計算する工程では、前記3次元の元素マップから、X線強度に基づき粒子を抽出し、抽出した粒子ごとに定量値を計算する、定量分析方法。 - 電子源と、
前記電子源から放出された電子線を試料に照射する照射系レンズと、
前記試料を傾斜可能に保持する試料ステージと、
前記試料に電子線を照射することにより発生したX線を検出する検出器と、
前記検出器におけるX線の検出結果に基づいて、定量分析を行う分析処理部と、
を含み、
前記分析処理部は、
前記試料を傾斜させながら傾斜角ごとに元素マッピングを行うことで得られる傾斜角ごとの2次元の元素マップを取得する処理と、
傾斜角ごとの2次元の元素マップから3次元再構成することにより、3次元の元素マップを生成する処理と、
前記3次元の元素マップから元素の定量値を計算する処理と、
を行う、電子顕微鏡。
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