JP6901461B2 - 真空冷却装置及びイオンミリング装置 - Google Patents
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Description
排気部は、真空チャンバーの内部空間のガスを排気する。真空計は、真空チャンバーの内部空間の圧力を測定する。ヒーターは、試料ホルダーを加熱する。ガス導入部は、真空チャンバーの内部空間に水分を含まないドライガスを導入する。制御部は、真空計が測定した内部空間の圧力情報に基づいて、内部空間の圧力が所定の圧力以下に達した際に、ガス導入部を制御し、ドライガスを真空チャンバーに導入する。
イオン照射源は、試料ホルダーに保持された試料に向けてイオンビームを照射する。排気部は、真空チャンバーの内部空間のガスを排気する。真空計は、真空チャンバーの内部空間の圧力を測定する。ヒーターは、試料ホルダーを加熱する。ガス導入部は、真空チャンバーの内部空間に水分を含まないドライガスを導入する。制御部は、真空計が測定した内部空間の圧力情報に基づいて、内部空間の圧力が所定の圧力以下に達した際に、ガス導入部を制御し、ドライガスを真空チャンバーに導入する。
1−1.イオンミリング装置の構成
まず、本発明の第1の実施の形態例(以下、「本例」という。)にかかるイオンミリング装置について図1を参照して説明する。
図1は、本例のイオンミリング装置を示す概略構成図である。
次に、上述した構成を有するイオンミリング装置1における室温復帰動作の一例について図1及び図2を参照して説明する。
図2は、室温復帰動作を示すフローチャートである。
次に、図3を参照して第2の実施の形態例にかかるイオンミリング装置について説明する。
図3は、第2の実施の形態例にかかるイオンミリング装置を示す概略構成図である。
Claims (5)
- 試料を保持する試料ホルダーと、
前記試料ホルダーが内部空間に配置された真空チャンバーと、
前記真空チャンバーの前記内部空間のガスを排気する排気部と、
前記真空チャンバーの前記内部空間の圧力を測定する真空計と、
前記試料ホルダーを加熱するヒーターと、
前記試料ホルダーの温度を検出する温度検出部と、
前記真空チャンバーの前記内部空間に水分を含まないドライガスを導入するガス導入部と、
前記排気部、前記ヒーター及び前記ガス導入部を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記温度検出部が検出した前記試料ホルダーの温度情報を取得し、前記試料ホルダーの温度が設定温度を超えたと判断した場合に、前記真空計が測定した前記内部空間の圧力情報を取得し、
前記内部空間の圧力が所定の圧力以下に達したか否かを判断し、前記内部空間の圧力が所定の圧力以下に達したと判断した際に、前記ガス導入部を制御し、前記ドライガスを前記真空チャンバーに導入する
真空冷却装置。 - 前記制御部は、前記ガス導入部から前記内部空間に前記ドライガスを導入する際、前記排気部による排気量を前記ガス導入部による前記ドライガスの導入量よりも小さくなるように前記排気部を制御する
請求項1に記載の真空冷却装置。 - 前記制御部は、前記ガス導入部から前記内部空間に前記ドライガスを導入する際、前記排気部の駆動を停止させる
請求項2に記載の真空冷却装置。 - 前記真空チャンバーの前記内部空間には、前記試料ホルダーに保持された前記試料に向けて風を吹き付ける送風機が設けられる
請求項1に記載の真空冷却装置。 - 試料を保持する試料ホルダーと、
前記試料ホルダーが内部空間に配置された真空チャンバーと、
前記試料ホルダーに保持された前記試料に向けてイオンビームを照射するイオン照射源と、
前記真空チャンバーの前記内部空間のガスを排気する排気部と、
前記真空チャンバーの前記内部空間の圧力を測定する真空計と、
前記試料ホルダーを加熱するヒーターと、
前記試料ホルダーの温度を検出する温度検出部と、
前記真空チャンバーの前記内部空間に水分を含まないドライガスを導入するガス導入部と、
前記排気部、前記ヒーター及び前記ガス導入部を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記温度検出部が検出した前記試料ホルダーの温度情報を取得し、前記試料ホルダーの温度が設定温度を超えたと判断した場合に、前記真空計が測定した前記内部空間の圧力情報を取得し、
前記内部空間の圧力が所定の圧力以下に達したか否かを判断し、前記内部空間の圧力が所定の圧力以下に達したと判断した際に、前記ガス導入部を制御し、前記ドライガスを前記真空チャンバーに導入する
イオンミリング装置。
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