JP6885456B2 - テストシステム - Google Patents
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Description
Claims (5)
- 被試験デバイスの電気特性試験を実施するテストシステムであって、
前記被試験デバイスが載置される載置台と、
前記被試験デバイスを前記載置台に載置するための第1ステーション、前記電気特性試験を実施するための第2ステーション、及び前記被試験デバイスを前記載置台から搬出するための第3ステーションの順に前記載置台を搬送する搬送機構と、
前記第2ステーションに設けられ、前記電気特性試験を行うための測定回路を含むテストヘッドと、
前記被試験デバイスの電極を前記測定回路に接続するためのプローブと、
前記載置台を第1方向に沿って移動させることにより、前記電極と前記プローブとを接触又は離間させる昇降機構と、
前記テストヘッドに設けられ、前記第1方向と交差する平面上で前記プローブを移動することにより、前記平面における前記プローブと前記電極との位置合わせを行うアライメント機構と、
前記第1ステーションにおいて、前記載置台に載置されている前記被試験デバイスを撮像する第1撮像装置と、
前記テストシステムを制御する制御装置と、
を備え、
前記制御装置は、前記第1撮像装置によって撮像された前記被試験デバイスの画像であるデバイス画像において、基準アライメントマークからの前記被試験デバイスのアライメントマークの第1ずれ量を検出し、前記第1ずれ量が0となるような、前記載置台における移動量だけ、前記アライメント機構に前記プローブを移動させ、
前記基準アライメントマークは、前記プローブが基準位置及び基準回転角度に設定されている場合に前記プローブによって電気特性の測定を行うことが可能な姿勢で前記載置台に載置されている基準被試験デバイスに付されたアライメントマークである、テストシステム。 - 前記プローブを着脱可能に保持するプローブホルダと、
前記プローブを撮像する第2撮像装置と、
をさらに備え、
前記アライメント機構は、前記第2撮像装置によって撮像された前記プローブの画像であるプローブ画像に基づいて、前記位置合わせを行う、請求項1に記載のテストシステム。 - 前記制御装置は、前記プローブ画像において、前記基準アライメントマークからの前記アライメントマークの第2ずれ量を検出し、前記第2ずれ量が0となるように前記アライメント機構に前記プローブを移動させる、請求項2に記載のテストシステム。
- 前記アライメント機構は、前記平面を規定する第2方向及び第3方向に前記プローブを移動可能であるとともに、前記第1方向を軸として前記プローブを回転可能である、請求項1〜請求項3のいずれか一項に記載のテストシステム。
- 前記昇降機構は、前記第2ステーションに設けられ、前記第2ステーションに停止している前記載置台を前記第1方向に沿って移動させる、請求項1〜請求項4のいずれか一項に記載のテストシステム。
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