JP2010161171A - プローブ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウエハチャックの側部に設けられた下側撮像部40と、プローブカード撮像時におけるステージユニットの移動領域と重なる位置で、ウエハチャック上のウエハを撮像するための上側撮像部50と、上側撮像部50を、ウエハを撮像するときの位置と、ヘッドプレートにおける、ステージユニットの移動領域の上方側かつプローブカードから外れた位置に形成された退避領域である凹部29と、の間で移動させるための移動機構とを有し、筐体22のX−Y平面上から、上側撮像部50の退避領域を削除して筐体22を小さくし、プローブ装置を小型化する。
【選択図】図15
Description
筐体の内部に設けられ、水平面に沿って移動可能かつ昇降可能な載置台上に基板を載置し、プローブカードのプローブと基板上の電極パッドとを接触させて、基板に形成されている被検査部の電気的特性を測定するプローブ装置において、
前記載置台の側部に設けられ、プローブカードを撮像するための下側撮像部と、
前記プローブカードの撮像時における前記載置台の移動領域と重なる位置において、前記載置台上の基板を撮像するための上側撮像部と、
この上側撮像部を、前記基板を撮像するときの前記位置と、前記移動領域の上方側でかつ前記プローブカードから外れた位置に形成された退避領域と、の間で移動させるための移動機構と、
を備えたことを特徴としている。
本発明のプローブ装置の第2の実施形態について図17ないし図19を参照して説明する。この実施形態では、第1の実施形態と構成の異なる検査部221を4台、X軸方向に並ぶようにローダ部1に隣接して配置してプローブ装置本体2を構成しており、検査部221の構成が異なる点以外は、第1の実施形態のプローブ装置と同構成であるため、本実施形態では、検査部221の構成についてのみ説明し、他の部材については同一番号を付し、説明を省略する。
上述した各実施形態では、下側撮像部と上側撮像部に、下カメラと上カメラをX軸方向に並ぶように二つずつ並べているが、本発明は、下側撮像部と上側撮像部に上カメラと下カメラを一つずつ備えたプローブ装置であってもよい。例えば、下カメラを1つ備えた下側撮像部と上カメラを一つ備えた上側撮像部とを有し、ヘッドプレートに上側撮像部の退避領域となる凹部を形成したプローブ装置であってもよい。このような実施の形態の一例としては、例えば図20に示すような検査部321がある。この検査部321では、ヘッドプレート325のプローブカード6の配設位置と重ならない位置を、ウエハWの撮像位置として設定し、この上方にあるヘッドプレート325に上側撮像部350の退避領域となる凹部329を形成している。そして上側撮像部350を移動させる移動機構360は、凹部329の内部に配置されており、上側撮像部350を昇降するだけの機能を有している。
2 プローブ装置本体
3 ウエハ搬送アーム(基板搬送手段)
4 ウエハチャック(載置台)
5 制御部
6 プローブカード
7 プローブ針
8 テストヘッド
9 ポゴピン
10 搬送室
21 検査部
22 筐体
23 搬入出口
24 ステージユニット
25 ヘッドプレート
29 凹部(退避領域)
40 下側撮像部
41、42 下カメラ
43、44 マイクロカメラ(撮像カメラ)
45、46 マクロカメラ
47、48 ターゲット
50 上側撮像部
51、52 上カメラ
53、54 マイクロカメラ(撮像カメラ)
55、56 マクロカメラ
57 ターゲット
59 ブリッジユニット
60 移動機構
61 ガイドレール
62 Y方向移動部
63 ベース体
64 ガイドブロック
65 ロッドレスシリンダ
66 キャリアブロック
70 昇降ユニット(昇降機構)
71 水平基台
72 駆動シリンダ
73 ガイドシリンダ
74 昇降台
75 シリンダロッド
80、81、82、83 撮像領域
100 FOUP(キャリア)
W、W1 ウエハ
Claims (7)
- 筐体の内部に設けられ、水平面に沿って移動可能かつ昇降可能な載置台上に基板を載置し、プローブカードのプローブと基板上の電極パッドとを接触させて、基板に形成されている被検査部の電気的特性を測定するプローブ装置において、
前記載置台の側部に設けられ、プローブカードを撮像するための下側撮像部と、
前記プローブカードの撮像時における前記載置台の移動領域と重なる位置において、前記載置台上の基板を撮像するための上側撮像部と、
この上側撮像部を、前記基板を撮像するときの前記位置と、前記移動領域の上方側でかつ前記プローブカードから外れた位置に形成された退避領域と、の間で移動させるための移動機構と、
を備えたことを特徴とするプローブ装置。 - 前記移動機構は、上側撮像部を水平移動させる水平移動機構を備えたことを特徴とする請求項1に記載のプローブ装置。
- 前記水平移動機構は、水平ガイド部材と、この水平ガイド部材にガイドされて水平移動する移動部材とを含み、
前記移動部材は、前記移動部材に設けられた、前記上側撮像部を昇降させるための昇降機構を備えていることを特徴とする請求項1または2に記載のプローブ装置。 - 前記退避領域は、前記筐体の天板に形成された凹部であることを特徴とする請求項1ないし3の何れか一項に記載のプローブ装置。
- 前記プローブカードのプローブと基板上の全ての電極パッドとを一括して接触させるように構成されていることを特徴とする請求項1ないし4の何れか一項に記載のプローブ装置。
- X,Y平面において前記上側撮像部の前記退避領域が、前記プローブカードに対してY方向に変位しているとすると、前記上側撮像部はX方向に並ぶ第1の撮像カメラ及び第2の撮像カメラを備え、前記下側撮像部は、載置台の基板載置領域の中心を通りかつY方向に伸びるラインの両側に対称に配置された第1の撮像カメラ及び第2の撮像カメラを備えていることを特徴とする請求項1ないし5の何れか一項に記載のプローブ装置。
- 前記上側撮像部及び前記下側撮像部には、各々の第1の撮像カメラと第2の撮像カメラとの間にターゲットが設けられており、前記上側撮像部と前記下側撮像部とは、各々の前記第1の撮像カメラと第2の撮像カメラの焦点位置を一致させ、
次いで前記上側撮像部、若しくは前記下側撮像部どちらか一方で対向する前記ターゲットを撮像することにより、前記上側撮像部と前記下側撮像部の位置補正を行うことを特徴とする請求項6に記載のプローブ装置。
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