JP7382888B2 - 検査装置、及び、検査装置の制御方法 - Google Patents
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Description
図1は、実施形態に係る検査装置10の一例を示す断面図である。図2は、図1におけるA-A矢視断面に相当する切断面における検査装置10の全体の断面の一例を示す図である。以下では、直交座標系であるXYZ座標系を定義して説明する。XY平面は水平面であり、Z方向は上下方向である。
15 テスタ
15A ポゴフレーム
15B プローブカード
15B1 プローブ
15C チャックトップ
16 ウエハアライメントカメラ(上カメラ)
17d コントローラ
19 アライナ
20 プローブアライメントカメラ(下カメラ)
21 コレクションターゲット
W ウエハ
Claims (5)
- アライメントステージ側の第1座標取得部で、前記アライメントステージと対向するポゴフレームに保持されるプローブカードのカード重心座標を取得する工程と、
前記ポゴフレームに設けられた基準ターゲットのターゲット座標系における基準ターゲット座標を前記第1座標取得部で取得する工程と、
前記ポゴフレーム側の第2座標取得部と前記第1座標取得部との位置を合わせて共通座標を取得する工程と、
前記第2座標取得部で前記アライメントステージの上に載置されたウエハのウエハ重心座標を取得する工程と、
前記カード重心座標、前記共通座標、及び前記ウエハ重心座標を用いて前記ウエハを前記プローブカードのプローブに接触させるコンタクト座標を求め、前記コンタクト座標を含むコマンドでアライメントステージを移動させ、前記第1座標取得部で前記ターゲット座標系における第1ターゲット座標を取得する工程と、
前記基準ターゲット座標を基準として計算されるコンタクト座標に前記ターゲット座標系で対応する第2ターゲット座標と、前記第1ターゲット座標との位置ずれ量に基づいて前記アライメントステージの位置を補正して前記プローブと前記ウエハとを接触させる工程と、を含む処理を実行する、検査装置。 - 前記第1座標取得部は、前記アライメントステージに取り付けられたカメラである、請求項1に記載の検査装置。
- 前記第2座標取得部は、前記ポゴフレームに取り付けられたカメラ、又は、前記ポゴフレームに対応して設けられる検査部が複数配列される場合に配列方向に沿って移動可能なカメラである、請求項1又は2に記載の検査装置。
- 前記第2ターゲット座標は、前記検査装置の設計値に基づいて得られる座標である、請求項1乃至3のいずれか一項に記載の検査装置。
- アライメントステージ側の第1座標取得部で、前記アライメントステージと対向するポゴフレームに保持されるプローブカードのカード重心座標を取得する工程と、
前記ポゴフレームに設けられた基準ターゲットのターゲット座標系における基準ターゲット座標を前記第1座標取得部で取得する工程と、
前記ポゴフレーム側の第2座標取得部と前記第1座標取得部との位置を合わせて共通座標を取得する工程と、
前記第2座標取得部で前記アライメントステージの上に載置されたウエハのウエハ重心座標を取得する工程と、
前記カード重心座標、前記共通座標、及び前記ウエハ重心座標を用いて前記ウエハを前記プローブカードのプローブに接触させるコンタクト座標を求め、前記コンタクト座標を含むコマンドでアライメントステージを移動させ、前記第1座標取得部で前記ターゲット座標系における第1ターゲット座標を取得する工程と、
前記基準ターゲット座標を基準として計算されるコンタクト座標に前記ターゲット座標系で対応する第2ターゲット座標と、前記第1ターゲット座標との位置ずれ量に基づいて前記アライメントステージの位置を補正して前記プローブと前記ウエハとを接触させる工程と、
を含む、検査装置の制御方法。
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