JP6884647B2 - 固体撮像装置および電子機器 - Google Patents
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Description
1.固体撮像装置の概略構成例
2.画素の回路構成例
3.第1の実施の形態の画素構造
4.N型層97AおよびN型層97Bの作用効果
5.画素平面図
6.第2の実施の形態の画素構造
7.第3の実施の形態の画素構造
8.第4の実施の形態の画素構造
9.まとめ
10.本開示に係る技術を適用し得る積層型の固体撮像装置の構成例
11.電子機器への適用例
12.イメージセンサの使用例
13.体内情報取得システムへの応用例
14.移動体への応用例
図1は、本開示に係る技術(本技術)を適用した固体撮像装置の概略構成を示している。
図2は、画素2の回路構成例を示している。
図3及び図4を参照して、固体撮像装置1の画素2の構造について説明する。
次に、N型層97AおよびN型層97Bの作用効果について説明する。
図7は、画素トランジスタが形成される半導体基板12の表面側の画素2の平面図である。
図7に示したように、暗電流成分の電子の排出先としてのN型拡散層96(96Aおよび96B)を、画素トランジスタのソース領域またはドレイン領域とは独立して設けてもよいが、画素トランジスタのドレイン領域と共通化してもよい。
図11は、画素2の第2の実施の形態としての画素構造を示す垂直方向断面図である。
図12は、画素2の第3の実施の形態としての画素構造を示す垂直方向断面図である。
図13は、画素2の第4の実施の形態としての画素構造を示す垂直方向断面図である。
上述した第1乃至第4の実施の形態に係る画素2は、PD41を構成するN型層71、P型層73、及び、N型層74が、画素トランジスタが形成される半導体基板12の表面側界面90には配置されず、表面側界面90よりも深い位置に配置された画素構造を有している。そして、PD41のPN接合面であるP型層73とN型層74のPN接合部分を、基板の深さ方向の側面に形成することにより、PN接合面積を拡大することができるので、取扱い電荷量を増大させることができる。N型層71に蓄積された電荷は、トレンチ構造の転送トランジスタ42によって表面側界面90に形成されたFD43へ転送される。
上述した各実施の形態に係る画素構造は、例えば以下のように複数の基板を積層して構成する固体撮像装置にも適用できる。
本開示に係る技術は、固体撮像装置への適用に限られるものではない。即ち、本開示に係る技術は、デジタルスチルカメラやビデオカメラ等の撮像装置や、撮像機能を有する携帯端末装置や、画像読取部に固体撮像装置を用いる複写機など、画像取込部(光電変換部)に固体撮像装置を用いる電子機器全般に対して適用可能である。固体撮像装置は、ワンチップとして形成された形態であってもよいし、撮像部と信号処理部または光学系とがまとめてパッケージングされた撮像機能を有するモジュール状の形態であってもよい。
図20は、上述の固体撮像装置1を用いたイメージセンサの使用例を示す図である。
・自動停止等の安全運転や、運転者の状態の認識等のために、自動車の前方や後方、周囲、車内等を撮影する車載用センサ、走行車両や道路を監視する監視カメラ、車両間等の測距を行う測距センサ等の、交通の用に供される装置
・ユーザのジェスチャを撮影して、そのジェスチャに従った機器操作を行うために、TVや、冷蔵庫、エアーコンディショナ等の家電に供される装置
・内視鏡や、赤外光の受光による血管撮影を行う装置等の、医療やヘルスケアの用に供される装置
・防犯用途の監視カメラや、人物認証用途のカメラ等の、セキュリティの用に供される装置
・肌を撮影する肌測定器や、頭皮を撮影するマイクロスコープ等の、美容の用に供される装置
・スポーツ用途等向けのアクションカメラやウェアラブルカメラ等の、スポーツの用に供される装置
・畑や作物の状態を監視するためのカメラ等の、農業の用に供される装置
本開示に係る技術(本技術)は、様々な製品へ応用することができる。例えば、本開示に係る技術は、カプセル型内視鏡を用いた患者の体内情報取得システムに適用されてもよい。
本開示に係る技術は、例えば、自動車、電気自動車、ハイブリッド電気自動車、自動二輪車、自転車、パーソナルモビリティ、飛行機、ドローン、船舶、ロボット等のいずれかの種類の移動体に搭載される装置として実現されてもよい。
撮像部12101および12105で取得される前方の画像は、主として先行車両又は、歩行者、障害物、信号機、交通標識又は車線等の検出に用いられる。
マイクロコンピュータ12051が、撮像部12101ないし12104の撮像画像中に歩行者が存在すると判定し、歩行者を認識すると、音声画像出力部12052は、当該認識された歩行者に強調のための方形輪郭線を重畳表示するように、表示部12062を制御する。また、音声画像出力部12052は、歩行者を示すアイコン等を所望の位置に表示するように表示部12062を制御してもよい。
(1)
半導体基板の基板界面に形成された画素トランジスタを分離する素子分離領域と、
前記基板界面よりも深い位置に形成された電荷蓄積層と、
前記素子分離領域と前記電荷蓄積層との間に、前記電荷蓄積層と同じ導電型の電荷排出層と
を備える固体撮像装置。
(2)
前記電荷排出層は、前記素子分離領域の直下に配置されている
前記(1)に記載の固体撮像装置。
(3)
前記電荷排出層は、前記素子分離領域と前記電荷蓄積層との間に、ウェル領域を介して配置されている
前記(1)に記載の固体撮像装置。
(4)
前記電荷排出層は、転送トランジスタ以外の前記画素トランジスタの下方にも配置されている
前記(1)または(3)に記載の固体撮像装置。
(5)
前記電荷排出層は、転送トランジスタ以外の前記画素トランジスタのゲート電極の下方には配置されていない
前記(1)または(2)に記載の固体撮像装置。
(6)
前記電荷排出層は、前記基板界面に形成された前記電荷蓄積層と同じ導電型の半導体領域と接続されるように構成される
前記(1)乃至(5)のいずれかに記載の固体撮像装置。
(7)
前記半導体領域は、前記画素トランジスタのソース領域およびドレイン領域とは別に設けられている
前記(6)に記載の固体撮像装置。
(8)
前記半導体領域は、前記画素トランジスタの一つであるリセットトランジスタのドレイン領域である
前記(6)に記載の固体撮像装置。
(9)
前記半導体領域は、前記画素トランジスタの一つである増幅トランジスタのドレイン領域である
前記(6)に記載の固体撮像装置。
(10)
前記半導体領域には、所定の電圧が常時印加される
前記(6)乃至(9)のいずれかに記載の固体撮像装置。
(11)
前記半導体領域は、前記画素トランジスタとしての増幅トランジスタと選択トランジスタの間の半導体領域である
前記(6)に記載の固体撮像装置。
(12)
前記画素トランジスタの一つである転送トランジスタは、ゲート電極が前記基板界面から前記電荷蓄積層まで形成されたトレンチ構造のトランジスタである
前記(1)乃至(11)のいずれかに記載の固体撮像装置。
(13)
平面視において、前記電荷蓄積層の外側の画素境界に、前記半導体基板を貫通する画素間分離部をさらに備える
前記(1)乃至(12)のいずれかに記載の固体撮像装置。
(14)
前記画素間分離部は、側壁膜と、その内側の充填材との2層構造で構成される
前記(13)に記載の固体撮像装置。
(15)
前記電荷蓄積層と前記画素間分離部との間に、PN接合面を形成するP型層とN型層をさらに備える
前記(13)または(14)に記載の固体撮像装置。
(16)
前記画素トランジスタが形成された前記半導体基板の第1の面と異なる第2の面側に、遮光膜とオンチップレンズをさらに備える
前記(1)乃至(15)のいずれかに記載の固体撮像装置。
(17)
半導体基板の基板界面に形成された画素トランジスタを分離する素子分離領域と、
前記基板界面よりも深い位置に形成された電荷蓄積層と、
前記素子分離領域と前記電荷蓄積層との間に、前記電荷蓄積層と同じ導電型の電荷排出層と
を有する固体撮像装置
を備える電子機器。
Claims (17)
- 半導体基板の基板界面に形成された画素トランジスタを分離する素子分離領域と、
前記基板界面よりも深い位置に形成された電荷蓄積層と、
前記半導体基板の深さ方向の前記素子分離領域と前記電荷蓄積層との間に、前記電荷蓄積層と同じ導電型の電荷排出層と
を有する画素
を備える固体撮像装置。 - 前記電荷排出層は、前記素子分離領域の直下に配置されている
請求項1に記載の固体撮像装置。 - 前記電荷排出層は、前記半導体基板の深さ方向の前記素子分離領域と前記電荷蓄積層との間に、ウェル領域を介して配置されている
請求項1に記載の固体撮像装置。 - 前記電荷排出層は、転送トランジスタ以外の前記画素トランジスタの下方にも配置されている
請求項1に記載の固体撮像装置。 - 前記電荷排出層は、転送トランジスタ以外の前記画素トランジスタのゲート電極の下方には配置されていない
請求項1に記載の固体撮像装置。 - 前記電荷排出層は、前記基板界面に形成された前記電荷蓄積層と同じ導電型の半導体領域と接続されるように構成される
請求項1に記載の固体撮像装置。 - 前記半導体領域は、前記画素トランジスタのソース領域およびドレイン領域とは別に設けられている
請求項6に記載の固体撮像装置。 - 前記半導体領域は、前記画素トランジスタの一つであるリセットトランジスタのドレイン領域である
請求項6に記載の固体撮像装置。 - 前記半導体領域は、前記画素トランジスタの一つである増幅トランジスタのドレイン領域である
請求項6に記載の固体撮像装置。 - 前記半導体領域には、所定の電圧が常時印加される
請求項6に記載の固体撮像装置。 - 前記半導体領域は、前記画素トランジスタとしての増幅トランジスタと選択トランジスタの間の半導体領域である
請求項6に記載の固体撮像装置。 - 前記画素トランジスタの一つである転送トランジスタは、ゲート電極が前記基板界面から前記電荷蓄積層まで形成されたトレンチ構造のトランジスタである
請求項1に記載の固体撮像装置。 - 平面視において、前記電荷蓄積層の外側の画素境界に、前記半導体基板を貫通する画素間分離部をさらに備える
請求項1に記載の固体撮像装置。 - 前記画素間分離部は、側壁膜と、その内側の充填材との2層構造で構成される
請求項13に記載の固体撮像装置。 - 前記電荷蓄積層と前記画素間分離部との間に、PN接合面を形成するP型層とN型層をさらに備える
請求項13に記載の固体撮像装置。 - 前記画素トランジスタが形成された前記半導体基板の第1の面と異なる第2の面側に、遮光膜とオンチップレンズをさらに備える
請求項1に記載の固体撮像装置。 - 半導体基板の基板界面に形成された画素トランジスタを分離する素子分離領域と、
前記基板界面よりも深い位置に形成された電荷蓄積層と、
前記半導体基板の深さ方向の前記素子分離領域と前記電荷蓄積層との間に、前記電荷蓄積層と同じ導電型の電荷排出層と
を有する画素
を有する固体撮像装置
を備える電子機器。
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