JP6880671B2 - ダイナミックバーンイン装置及びそのための制御装置 - Google Patents
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複数のテスト対象デバイスのための複数のテスト信号を生成するダイナミックバーンイン装置のための制御装置であって、
DDS(Direct Digital Synthesizer)方式でそれぞれ動作し、前記複数のテスト信号を独立に生成する複数の信号生成回路と、
前記複数の信号生成回路に前記複数のテスト信号のパラメータをそれぞれ設定する制御回路とを備える。
図1のダイナミックバーンイン装置は、制御装置1、外部制御装置2、直流電源3、ケーブル4、及びチャンバ装置5を備える。
1)テスト対象デバイスの主走査方向のためのテスト信号の周波数。
テスト信号の波形:正弦波。設定可能な周波数の範囲:1〜40kHz。チャンネル数:1ch。
2)テスト対象デバイスの主走査方向のためのテスト信号のゲイン。
設定可能な電圧の範囲:0〜15V(ピーク・ツー・ピーク)
3)テスト対象デバイスの副走査方向のためのテスト信号の周波数。
テスト信号の波形:ラスタ波。設定可能な周波数の範囲:0〜100Hz。チャンネル数:2ch差動。
4)テスト対象デバイスの副走査方向のためのテスト信号のゲイン。
設定可能な電圧の範囲:-−5〜+80(ピーク・ツー・ピーク)
5)テスト対象デバイスの副走査方向のためのテスト信号の位相。
設定可能な位相の範囲:360°。
6)テスト対象デバイスの副走査方向のためのテスト信号の対称性。
1〜99%
7)電流監視設定
ピーク値、平均値、RMS値
2…外部制御装置、
3…直流電源、
4…ケーブル、
5…チャンバ装置、
11…制御回路、
12−1〜12−N…信号生成回路、
13…出力インターフェース(I/F)、
14…基準電圧源、
15…オフセット設定回路、
16…定電流回路、
17…温度センサ、
18…マルチプレクサ(MUX)、
19…A/D変換器、
21−1〜21−3…DDS(Direct Digital Synthesizer)回路、
22−1〜22−3…増幅回路、
31,33…D/A変換器、
32,34…オペアンプ、
41,42…オペアンプ、
43…計装アンプ、
44,45…リレー、
46…接続素子、
51,52…オペアンプ、
53…計装アンプ、
54,55…リレー、
56…接続素子、
C31,C32,C41,C51〜C53…キャパシタ、
D51,D52…定電流ダイオード、
D53,D54…ダイオード、
R41〜R47,R51〜R61…抵抗。
Claims (6)
- 複数のテスト対象デバイスのための複数のテスト信号を生成するダイナミックバーンイン装置のための制御装置であって、
DDS(Direct Digital Synthesizer)方式でそれぞれ動作し、前記複数のテスト信号を独立に生成する複数の信号生成回路と、
前記複数の信号生成回路に前記複数のテスト信号のパラメータをそれぞれ設定する制御回路とを備える、
前記複数のテスト対象デバイスは、互いに異なる共振周波数及び互いに異なる振角感度を有する複数の2軸MEMSミラーであり、
前記各テスト信号のパラメータは、前記各2軸MEMSミラーの振角感度に対応する振幅と、前記各2軸MEMSミラーの共振周波数に対応する周波数とを含み、
前記複数の信号生成回路は、前記各2軸MEMSミラーに対して、主走査方向のための1つのテスト信号と、副走査方向のための2つのテスト信号とを生成する、
ダイナミックバーンイン装置のための制御装置。 - 前記各信号生成回路は、生成した前記テスト信号の電流値を検出する電流検出回路を含み、
前記制御回路は、前記各信号生成回路の電流検出回路によってそれぞれ検出された電流値に基づいて、前記複数のテスト対象デバイスの状態を判定する、
請求項1記載のダイナミックバーンイン装置のための制御装置。 - 前記各信号生成回路の電流検出回路は、前記各テスト信号の電流のピーク値、平均値、及びRMS値(root mean square)を検出する、
請求項2記載のダイナミックバーンイン装置のための制御装置。 - 前記制御装置の温度を測定する温度センサと、
前記制御装置の温度に基づいて定電流を発生する回路とをさらに備える、
請求項1〜3のうちの1つに記載のダイナミックバーンイン装置のための制御装置。 - 前記制御回路は、FPGA(Field Programmable Gate Array)により構成される、
請求項1〜4のうちの1つに記載のダイナミックバーンイン装置のための制御装置。 - 請求項1〜5のうちの1つに記載のダイナミックバーンイン装置のための制御装置を備える、
ダイナミックバーンイン装置。
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