CN116235398A - 电源装置、电源单元、试验装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供电源装置、电源单元、试验装置。电源装置(100)具备被堆叠连接的多个通道的电源单元(200)。电源单元(200)分别具备在正极输出(OUTP)与负极输出(OUTN)之间产生与控制信号(Vctrl)相应的输出电压(Vi)的输出级(210)。主通道的电流检测器(250)生成表示输出级(210)的输出电流的电流检测信号(Is)。反馈控制器(240)生成控制信号(Vctrl)，使得电流检测信号(Is)接近目标值(Iref)。

Description

电源装置、电源单元、试验装置
技术领域
本公开涉及向器件供给电源电压或电源电流的电源装置。
背景技术
近年来，以节能化为目的，通过高速地切换高电压而能够进行高效率的电力转换的SiC(碳化硅)FET(Field-Effect Transistor)、GaN(氮化镓)HEMT(High ElectronMobility Transistor)等功率器件的研究开发正在盛行。与此相伴，施加高电压的器件试验的需要也增大，试验时间缩短的要求变强。在这些器件试验中，需要施加1000V的高电压，根据器件的不同也有时施加2000V的高电压，并且需要施加高精度的直流电压。
在试验装置用的电源装置的最高输出电压不满足应向负载供给的高电压的情况下，需要将多个通道的电源装置(以下称为电源单元)串联连接(以下为堆叠连接)。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2013-138557号公报
专利文献2：日本特表2013-535949号公报
发明内容
发明要解决的课题
图1是高电压电源100R的框图。参照图1，高电压电源100R具备堆叠连接的多个通道CH1～CHN的电源单元110＿1～110＿N。各通道的电源单元110具有初级侧P和次级侧S，初级侧P与次级侧S隔着变压器、电容器等隔离屏障112而绝缘。多个电源单元110＿1～110＿N的初级侧P的接地端子GND彼此被共同地连接。
在电源单元110的次级侧S设置有正极输出OUTP和负极输出OUTN，在正极输出OUTP与负极输出OUTN之间设置有输出级120。
通常，电源装置能够切换向负载供给恒压的电压施加模式(恒压模式)与向负载供给恒流的电流施加模式(恒流模式)。如图1那样，考虑使堆叠有多个电源单元110的高电压电源100R以电流施加模式进行动作的情形。这里，为了容易说明，设堆叠N＝2级的电源单元110＿1、110＿2。
(比较技术1)
在比较技术1中，使被堆叠的全部的电源单元110＿1、110＿2以目标值(设定值)Iref相等的电流施加模式进行动作。在该情况下，向全部通道流动相同的电流Iref，理想的是，在全部通道中检测到相同的电流量，但实际上，由于检测误差，在各电源单元110＿1、110＿2中，可能检测到偏离目标值Iref的电流Iref+ΔI1、Iref+ΔI2。在该情况下，从高电压电源100R向负载供给的电流IOUT成为
IOUT＝Iref-(ΔI1+ΔI2)/2。
即，输出电流IOUT成为从目标值Iref减去各通道的检测误差ΔI1、ΔI2的平均值而得到的电流量。
图2(a)是示出比较技术1的高电压电源的起动时的电压波形的图。在电流的检测误差ΔI1、ΔI2的影响下，各通道的电源单元的状态收敛到以下的任意一种状态。
(1)输出电压下降，达到可使用电压的下限(称为使用下限电压)。
(2)输出电压上升，达到可使用电压的上限(称为使用上限电压)。
在图2(a)中，第一通道的电压V1下降至使用下限电压，第二通道的电压V2上升至使用上限电压。
即，尽管为了生成高电压而堆叠了2级的电源单元，也产生以使用下限电压进行动作的通道，作为结果，无法生成所希望的高电压。即，在现实中无法采用比较技术1。
(比较技术2)
在比较技术2中，使多个电源单元110的一个电源单元以电流施加模式进行动作，使剩余的电源单元以电压施加模式进行动作。这里，使电源单元110＿1以电流施加模式进行动作，使电源单元110＿2以电压施加模式进行动作。关于电压施加模式的电源单元110＿2的电压设定值(目标值)Vref，预先考虑设想的负载电压VOUTH而适当地规定。
图2(b)是示出比较技术2的高电压电源的起动时的电压波形的图。首先，电压施加模式的电源单元110＿2先起动，在输出电压V2达到电压设定值Vref之后，电流施加模式的电源单元110＿1开始施加电流。
在比较技术2中，以电压施加模式进行动作的通道的电压设定值Vref需要根据负载来设定。例如，针对高电压的负载需要设定较高的电压设定值Vref，但在变更为其他的低耐压的负载的情况下，可能产生向负载施加过电压这样的问题。即，比较技术2的方法欠缺通用性。
另外，需要使电压施加与电流施加的通道依次进行动作，因此，成为2级稳定(settling)，无法得到与单一通道的情况相同的起动波形，并且稳定时间变长。
本公开的一方案是在上述状况下完成的，其例示的目的之一在于，提供一种改善了稳定动作的高电压电源。
用于解决课题的方案
本公开的某个方案是电源装置。该电源装置具备被堆叠连接的多个通道的电源单元。多个通道的电源单元分别具备：正极输出和负极输出；以及输出级，其在正极输出与负极输出之间产生与控制信号相应的输出电压。作为多个通道之一的主通道的电源单元还具备：电流检测器，其生成表示输出级的输出电流的电流检测信号；以及反馈控制器，其生成控制信号，使得电流检测信号接近目标值。全部通道的输出级基于由主通道的反馈控制器生成的控制信号进行动作。
本公开的另一方案是电源单元。该电源单元能够堆叠多个而构成电源装置。电源单元具备：正极输出和负极输出；输出级，其在正极输出与负极输出之间产生与控制信号相应的输出电压；电流检测器，其在设定为主通道时成为有效，生成表示输出级的输出电流的电流检测信号；反馈控制器，其在设定为主通道时成为有效，生成控制信号，使得电流检测信号接近目标值；以及接口电路，其在设定为主通道时，向其他通道发送控制信号，在设定为从通道时，从主通道接收控制信号。
需要说明的是，在方法、装置、系统等之间相互置换了以上的构成要素的任意的组合、本公开的构成要素、表述而得到的方案作为本发明的方案也是有效的。
发明效果
根据本公开的某个方案，能够改善堆叠级数较多时的稳定动作。
附图说明
图1是高电压电源的框图。
图2(a)是示出比较技术1的高电压电源的起动时的电压波形的图，图2(b)是示出比较技术2的高电压电源的起动时的电压波形的图。
图3是示出具备实施方式的电源装置的试验装置的框图。
图4是示出图3的电源装置的起动时的电压波形和电流波形的图。
图5是实施例1的电源装置的框图。
图6是实施例2的电源装置的框图。
图7是实施例3的电源单元的框图。
图8(a)、(b)是示出主模式、从模式中的图7的电源单元的状态的图。
图9是示出电源单元的具体的结构例的框图。
具体实施方式
(实施方式的概要)
对本公开的几个例示的实施方式的概要进行说明。该概要作为后述的详细说明的前置，以实施方式的基本理解为目的，简化地说明一个或多个实施方式的几个概念，不限定发明或公开的广度。另外，该概要不是所考虑的所有实施方式的概括性概要，并不限定实施方式的不可缺少的构成要素。为了方便，“一实施方式”有时用于指代本说明书中公开的一个实施方式(实施例、变形例)或多个实施方式(实施例、变形例)。
一实施方式的电源装置具备被堆叠连接的多个通道的电源单元。多个通道的电源单元分别具备正极输出和负极输出、以及在正极输出与负极输出之间产生与控制信号相应的输出电压的输出级。作为多个通道之一的主通道的电源单元还具备：电流检测器，其生成表示输出级的输出电流的电流检测信号；以及反馈控制器，其生成控制信号，使得电流检测信号接近目标值。全部通道的输出级基于由主通道的反馈控制器生成的控制信号进行动作。
根据该结构，仅在作为多个通道中的一个通道的主通道(Master channel)中进行电流测定，进行电流施加用的反馈控制。而且，通过将在主通道中得到的控制信号发送到其他的从通道(Slave channel)，能够实现与单一通道的电源装置相同的动作，能够改善稳定动作。
在一实施方式中也可以是，多个通道的电源单元分别还具备电压检测器，该电压检测器生成表示输出级的输出电压的电压检测信号。也可以是，主通道的电源单元还具备电压反馈信号生成部，该电压反馈信号生成部从作为多个通道的剩余通道的从通道的电源单元接收电压检测信号，生成基于全部通道的电压检测信号的电压反馈信号。也可以是，主通道的反馈控制器在电压反馈信号超过规定的极限值时，生成控制信号，使得电压反馈信号接近极限值。由此，能够实现电压钳位动作，使得全部通道的合计电压不超过规定的上限。
电压反馈信号也可以是全部通道的电压检测信号的平均值。
在一实施方式中也可以是，主通道的电源单元还具备电压检测器，该电压检测器生成表示输出级的输出电压的电压检测信号。也可以是，反馈控制器在电压检测信号超过规定的极限值时，生成控制信号，使得电压检测信号接近极限值。在该情况下，能够基于主通道的状态来实现全部通道的电压钳位动作。
在一实施方式中也可以是，多个通道的电源单元具备反馈控制器和电流检测器，并且被同样地构成。也可以是，各电源单元能够选择主模式和从模式，在设定为主模式时，使反馈控制器有效化，在设定为从模式时，使反馈控制器无效化。需要说明的是，“使某个电路组件无效化”不仅包括不使该组件进行动作的情况，也可以包括即便使其进行动作也通过切断或屏蔽其输出等而不使用的情况。
通过准备多个相同的电源单元，重组连接关系，并适当地设定模式，由此，能够使负载的个数变化。例如，在存在N个电源单元的情况下，如果堆叠N个并将其中的一个设为主模式、将剩余的部分设为从模式，则能够向一个负载供给电力。或者，如果将N个全部设为主模式并独立地使用，则能够向N个负载供给电力。
主通道也可以位于多个通道中的最上级。
一实施方式的电源单元能够堆叠多个而构成电源装置。电源单元具备：正极输出和负极输出；输出级，其在正极输出与负极输出之间产生与控制信号相应的输出电压；电流检测器，其在设定为主通道时成为有效，生成表示输出级的输出电流的电流检测信号；反馈控制器，其在设定为主通道时成为有效，生成控制信号，使得电流检测信号接近目标值；以及接口电路，其在设定为主通道时，向其他通道发送控制信号，在设定为从通道时，从主通道接收控制信号。
根据该结构，在堆叠了多个通道的情况下，仅在主通道中进行电流测定，进行电流施加用的反馈控制。而且，通过将在主通道中得到的控制信号发送到其他的从通道，能够实现与单一通道的电源装置相同的动作，能够改善稳定动作。另外，通过准备多个相同的电源单元，重组连接关系，并适当地设定模式，能够使负载的个数变化。
在一实施方式中也可以是，还具备电压检测器，该电压检测器生成表示输出级的输出电压的电压检测信号。也可以是，在设定为主通道时，反馈控制器在电压检测信号超过规定的极限值时，生成控制信号，使得电压检测信号接近极限值。
在一实施方式中也可以是，将电源单元堆叠连接多个而构成电源装置。
(实施方式)
以下，参照附图并基于实施方式对本公开进行说明。对各图所示的相同或等同的构成要素、构件、处理标注相同的标号，适当省略重复的说明。另外，实施方式并不限定发明，只是例示，实施方式所记载的全部特征及其组合不一定是发明的本质特征。
在本说明书中，“构件A与构件B连接的状态”除了包括构件A与构件B在物理上直接连接的情况之外，还包括构件A与构件B经由对它们的电连接状态不产生实质影响或者不损害通过它们的结合而起到的功能、效果的其他构件而间接连接的情况。
同样，“构件C设置在构件A与构件B之间的状态”除了包括构件A与构件C或者构件B与构件C直接连接的情况之外，还包括经由对它们的电连接状态不产生实质影响或者不损害通过它们的结合而起到的功能、效果的其他构件而间接连接的情况。
图3是示出具备实施方式的电源装置100的试验装置2的框图。试验装置2对DUT(被试验器件)1施加电压信号、电流信号等试验信号，对DUT1的响应进行测定。DUT1的种类没有特别限定，但高耐压功率晶体管、功率模块等需要进行超过1000V这样的高电压的电压施加的器件、或者包括这样的器件的电路、或者电路系统作为本试验装置2的试验对象是合适的。
试验装置2具备向DUT1供给电源信号的电源装置100。在本实施方式中，电源信号是被稳定化为规定的电流量(目标量)的电流信号IOUT。需要说明的是，在图3中，向DUT1直接供给了电流信号IOUT，但不限于此，该电流信号IOUT也可以被供给到DUT1的周边电路、驱动DUT1的电路、成为与DUT1的接口的电路。
试验装置2除了具备电源装置100之外，也可以具备电压传感器、电流传感器、信号发生器、驱动器、比较器、A/D转换器、D/A转换器等，但它们对应于DUT1的种类、试验项目，在图3中省略。
电源装置100具备被堆叠连接的多个N通道(CH1～CHN)的电源单元200＿1～200＿N。各电源单元200具有正极输出OUTP和负极输出OUTN。电源单元200与图1的电源单元110同样地具有被绝缘的初级侧和次级侧，但图3中仅示出次级侧的结构。负极输出OUTN成为次级侧的基准电位(接地)。
第i个(1≦i≦N-1)通道的电源单元110＿i的负极输出OUTN与第i+1个通道的电源单元110＿(i+1)的正极输出OUTP连接。第1个通道的电源单元110＿1的正极输出OUTP与负载1连接，第N个通道的电源单元110的负极输出OUTN被接地。
多个通道的电源单元200分别具备输出级210。第i个(i＝1～N)电源单元200＿i的输出级210根据控制信号Vctrl，在正极输出OUTP与负极输出OUTN之间产生输出电压Vi。
在本实施方式中，多个N通道CH1～CHN中的一个通道被设定为主通道，剩余通道被设定为从通道。不限于此，但在图3中，第1个通道CH1是主通道，第2个～第N个通道CH2～CHN是从通道。
主通道的电源单元200＿1除了具备输出级210之外，还具备电流检测器250和反馈控制器240。
电流检测器250生成表示输出级210的输出电流IOUT的电流检测信号Is1。该电流检测信号Is1作为反馈信号Ifb被输入到反馈控制器240。
向反馈控制器240输入输出电流IOUT的目标值Iref。反馈控制器240对控制信号Vctrl的信号电平(大小)进行反馈控制，使得反馈信号Ifb接近目标值Iref。反馈控制器240所生成的控制信号Vctrl被供给到主通道的输出级210。
主通道与从通道之间能够进行信号的收发。具体而言，能够从主通道的电源单元200＿1向从通道的电源单元200＿2～200＿N发送控制信号Vctrl。
从通道CH2～CHN的输出级210基于由主通道CH1的反馈控制器240生成的控制信号Vctrl进行动作。
以上是电源装置100的结构。
图4是示出图3的电源装置100的起动时的电压波形和电流波形的图。这里，对N＝2通道的结构进行说明。为了比较，以单点划线表示比较技术2的波形。
如实线所示，根据本实施方式，仅在作为多个通道中的一个通道的主通道中进行电流测定，进行电流施加用的反馈控制。而且，通过将在主通道中得到的控制信号Vctrl发送到其他的从通道，能够实现与单一通道的电源装置相同的动作，与比较技术2相比能够改善稳定动作。
本公开作为图3的框图、电路图被理解，或者涉及到从上述的说明导出的各种装置、方法，不限定于特定的结构。以下，为了有助于理解发明的本质、动作并且使它们变得清楚而非为了缩窄本发明的范围，对更具体的结构例、实施例进行说明。
(实施例1)
图5是实施例1的电源装置100的框图。该电源装置100具有电压钳位功能。多个通道的电源单元200＿1～200＿N分别还具备电压检测器220。某个通道CHi的电压检测器220生成表示相同通道CHi的输出级210的输出电压Vi的电压检测信号Vsi。在从通道CH2～CHN中生成的电压检测信号Vs2～VsN被发送到主通道。
主通道CH1的电源单元200＿1具备电压反馈信号生成部230。电压反馈信号生成部230从从通道的电源单元200＿2～200＿N接收电压检测信号Vs2～VsN，生成基于全部通道CH1～CHN的电压检测信号Vs1～VsN的电压反馈信号Vfb。该电压反馈信号Vfb被供给到反馈控制器240。例如，电压反馈信号Vfb是全部通道的电压检测信号的单纯平均，由以下的式表示。
Vfb＝Σi＝1～NVi/N…(1)
主通道CH1的反馈控制器240在电压反馈信号Vfb比规定的极限值Vlim低的状态下，如上所述，生成控制信号Vctrl，使得电流反馈信号Ifb接近目标值Iref(恒流控制)。另一方面，在电压反馈信号Vfb超过极限值Vlim的状态下，恒流控制成为无效，生成控制信号Vctrl，使得电压反馈信号Vfb接近极限值Vlim(电压钳位控制)。
在式(1)中，Σi＝1～NVi是全部通道CH1～CHN的生成电压V1～VN的合计电压，即向负载供给的高电压VOUTH。因此，式(1)的电压反馈信号Vfb表示Vfb＝VOUTH/N。当电压钳位成为有效时，电压反馈信号Vfb与极限值Vlim相等。
Vfb＝VOUTH/N＝Vlim
因此，能够以电源装置100的输出电压VOUTH不超过Vlim×N的方式进行钳位。
需要说明的是，在多个通道的电源单元200＿1～200＿N存在偏差的情况下，也可以利用考虑了偏差的系数而取加权平均。
(实施例2)
图6是实施例2的电源装置100的框图。该电源装置100与实施例1同样地具有电压钳位功能。在主通道的电源单元200＿1设置有电压检测器220。反馈控制器240在由电压检测器220生成的电压检测信号Vs1比规定的极限值Vlim低的状态下，如上所述，生成控制信号Vctrl，使得电流反馈信号Ifb接近目标值Iref(恒流控制)。另一方面，在电压检测信号Vs1超过极限值Vlim的状态下，恒流控制成为无效，生成控制信号Vctrl，使得电压检测信号Vs1接近极限值Vlim(电压钳位控制)。
在能够忽略全部通道的输出级210的增益的偏差的情况下，全部通道的输出级210的输出电压V1～VN相等，因此，输出电压VOUTH能够近似为V1×N。当电压钳位成为有效时，电压V1与极限值Vlim相等，因此，能够以输出电压VOUTH不超过Vlim×N的方式进行钳位。也可以在电压钳位控制中不要求目前为止的精度的情况下采用实施例2。
(实施例3)
主通道的电源单元200＿1和从通道的电源单元200＿2～200＿N也可以从一开始就设计为不同的结构，但如以下说明那样，也可以作为相同的结构而构成为能够切换作为主通道进行动作时的模式与作为从通道进行动作时的模式。
图7是实施例3的电源单元200的框图。该电源单元200能够以主通道、从通道的双方进行使用。电源单元200除了具备输出级210、电压检测器220、电压反馈信号生成部230、反馈控制器240、电流检测器250之外，还具备模式选择器260和多路转接器(multiplexer，开关)270。
模式选择器260生成模式控制信号MODE，该模式控制信号MODE表示在以主通道使用时为主模式，在以从通道使用时为从模式。模式控制信号MODE被输入到电压反馈信号生成部230、反馈控制器240、电流检测器250的使能(enable)端子，这些组件在模式控制信号MODE表示主模式时成为使能，在表示从模式时成为禁用。
在多路转接器270的一个输入节点连接相同的电源单元200内的反馈控制器240的输出。另外，能够向多路转接器270的另一个输入节点输入在其他的电源单元200中生成的控制信号Vctrl。多路转接器270在模式控制信号MODE表示主模式时，选择相同的电源单元200内的控制信号(内部控制信号)Vctrl＿int，在表示从模式时，选择由其他的电源单元200生成的来自外部的控制信号Vctrl＿ext。
另外，电源单元200能够将在其内部生成的控制信号Vctrl＿int、电压检测信号Vsi向外部输出。另外，电源单元200能够接收在外部生成的控制信号Vctrl＿ext和电压检测信号Vsi。
图8(a)、(b)是示出主模式、从模式中的图7的电源单元200的状态的图。在图8(a)、(b)中，以单点划线表示成为禁用的组件、信号线。
图9是示出电源单元200的具体的结构例的框图。该电源单元200的控制系统以数字电路的架构被安装，检测信号、控制信号是数字信号。
输出级210包括D/A转换器212和功率放大器214。输出级210将输入的数字的控制信号Vctrl转换成模拟的控制信号。功率放大器214将模拟的控制信号放大并输出到正极输出OUTP。
电压检测器220包括电压感测放大器(sense amplifier)222和A/D转换器224。电压感测放大器222将两个输出OUTPT与OUTN之间的电压Vi放大。A/D转换器224将感测放大器222的输出转换成数字的电压检测信号Vsi。能够经由接口电路280而与其他通道共享电压检测信号Vsi。
电压反馈信号生成部230包括加减法器232和除法器234。加减法器232将相同的通道和其他通道的电压检测信号Vsi相加。除法器234用加减法器232的输出除以通道数量N，生成基于平均值的电压反馈信号Vfb。除法器234也能够理解为将加减法器232的输出乘以系数1/N的系数电路。
电流检测器250包括感测电阻252、感测放大器254、A/D转换器256。感测电阻252设置在输出级210的输出电流IOUT的路径上。在感测电阻252中，产生与输出电流IOUT成比例的电压降。感测放大器254将感测电阻252的电压降放大。A/D转换器256将感测放大器254的输出转换成数字的电流检测信号Isi。向反馈控制器240输入电流的目标值Iref和电压的极限值Vlim。
加减法器242生成极限值Vlim与电压反馈信号Vfb的差分(电压误差Verr)。加减法器246生成目标值Iref与电流检测信号Isi(Ifb)的差分(电流误差Ierr)。
选择器248在Vfb＜Vlim时，选择电流误差Ierr(恒流控制)，在Vfb＞Vlim时，选择电压误差Verr(电压钳位控制)。
滤波器244基于选择器248的输出，生成控制信号Vctrl。不限于此，但滤波器244能够由PI(比例积分)控制器、PID(比例积分微分)控制器等构成。在恒流控制中，通过反馈对控制信号Vctrl的电平进行调节，使得电流误差Ierr接近零，在电压钳位控制中，通过反馈对控制信号Vctrl的电平进行调节，使得电压误差Verr接近零。也可以在恒压控制和电流钳位控制中切换滤波器244的参数。
反馈控制器240和电压反馈信号生成部230能够由CPU(Central ProcessingUnit)、DSP(Digital Signal Processor)或者FPGA(Field Programmable Gate Array)等构成。
接口电路280能够在与其他通道的接口电路280之间收发电压检测信号、控制信号Vctrl。
以上，基于实施方式对本公开进行了说明。该实施方式是例示，在它们的各构成要素、各处理过程、它们的组合中能够存在各种变形例。以下，对这样的变形例进行说明。
在图9中，针对其控制系统以数字电路的架构被安装的电源单元200进行了说明，但不限于此，也可以由模拟电路构成控制系统。
基于实施方式对本公开进行了说明，但实施方式只不过示出了本发明的原理、应用，在不脱离权利要求书所规定的本发明的思想的范围内，允许对实施方式进行很多变形、配置的变更。
产业利用性
本公开涉及电源装置。
附图标记说明
1…DUT，2…试验装置，100…电源装置，200…电源单元，210…输出级，220…电压检测器，230…电压反馈信号生成部，240…反馈控制器，250…电流检测器，260…模式选择器，270…多路转接器，280…接口电路。

Claims (10)

1.一种电源装置，其特征在于，
所述电源装置具备被堆叠连接的多个通道的电源单元，
所述多个通道的电源单元分别具备：
正极输出和负极输出；以及
输出级，其在所述正极输出与所述负极输出之间产生与控制信号相应的输出电压，
作为所述多个通道之一的主通道的电源单元还具备：
电流检测器，其生成表示所述输出级的输出电流的电流检测信号；以及
反馈控制器，其生成所述控制信号，使得所述电流检测信号接近目标值，
全部通道的所述输出级基于由所述主通道的所述反馈控制器生成的所述控制信号进行动作。
2.根据权利要求1所述的电源装置，其特征在于，
所述多个通道的电源单元分别还具备电压检测器，该电压检测器生成表示所述输出级的输出电压的电压检测信号，
所述主通道的电源单元还具备电压反馈信号生成部，该电压反馈信号生成部从作为所述多个通道的剩余通道的从通道的电源单元接收所述电压检测信号，生成基于全部通道的所述电压检测信号的电压反馈信号，
所述主通道的所述反馈控制器在所述电压反馈信号超过规定的极限值时，生成所述控制信号，使得所述电压反馈信号接近所述极限值。
3.根据权利要求1所述的电源装置，其特征在于，
所述主通道的电源单元还具备电压检测器，该电压检测器生成表示所述输出级的输出电压的电压检测信号，
所述反馈控制器在所述电压检测信号超过规定的极限值时，生成所述控制信号，使得所述电压检测信号接近所述极限值。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的电源装置，其特征在于，
所述多个通道的电源单元具备所述反馈控制器和所述电流检测器，并且被同样地构成，
各电源单元能够选择主模式和从模式，在设定为所述主模式时，使所述反馈控制器有效化，在设定为所述从模式时，使所述反馈控制器无效化。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的电源装置，其特征在于，
所述主通道位于所述多个通道中的最上级。
6.一种电源单元，其能够堆叠多个而构成电源装置，其特征在于，
所述电源单元具备：
正极输出和负极输出；
输出级，其在所述正极输出与所述负极输出之间产生与控制信号相应的输出电压；
电流检测器，其在设定为主通道时成为有效，生成表示所述输出级的输出电流的电流检测信号；
反馈控制器，其在设定为所述主通道时成为有效，生成所述控制信号，使得所述电流检测信号接近目标值；以及
接口电路，其在设定为所述主通道时，向其他通道发送所述控制信号，在设定为从通道时，从所述主通道接收所述控制信号。
7.根据权利要求6所述的电源单元，其特征在于，
所述电源单元还具备电压检测器，该电压检测器生成表示所述输出级的输出电压的电压检测信号，
在设定为所述主通道时，所述反馈控制器在基于全部通道的电压检测信号的电压反馈信号超过规定的极限值时，生成所述控制信号，使得所述电压反馈信号接近所述极限值。
8.根据权利要求6所述的电源单元，其特征在于，
所述电源单元还具备电压检测器，该电压检测器生成表示所述输出级的输出电压的电压检测信号，
在设定为所述主通道时，所述反馈控制器在所述电压检测信号超过规定的极限值时，生成所述控制信号，使得所述电压检测信号接近所述极限值。
9.一种电源装置，其特征在于，
所述电源装置通过将权利要求6至8中任一项所述的电源单元堆叠连接多个而构成。
10.一种试验装置，其特征在于，
所述试验装置具备向被试验器件供给电力的权利要求1至5、9中任一项所述的电源装置。
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