JP2007309859A - 測定回路及び試験装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】入力電圧に応じた直流電圧を被試験デバイスに印加する主増幅器と、直流電圧を主増幅器に帰還し、主増幅器が生成する直流電圧を入力電圧に応じた電圧に制御させる帰還用抵抗と、直流電流の電流値に応じた検出電圧を出力する電流検出回路と、主増幅器が出力する直流電流の電流値を制限するクランプ回路とを備え、クランプ回路は、直流電流の制限値に応じた制限電圧を出力する第1制限電圧出力部と、制限電圧と検出電圧との大小関係に基づいて、入力電圧を基準電圧とするバイアス電圧を生成する第1バイアス生成部と、主増幅器及び帰還用抵抗の接続点における電圧及びバイアス電圧の電圧差に応じて、直流電流を制限する制限電流を、帰還用抵抗を介して被試験デバイスに供給する第1ダイオードとを有する測定回路を提供する。
【選択図】図1
Description
Claims (12)
- 被試験デバイスに所定の直流電圧を印加し、前記被試験デバイスに流れる直流電流を測定する測定回路であって、
入力電圧に応じて前記直流電圧を生成し、前記被試験デバイスに印加する主増幅器と、
前記直流電圧を前記主増幅器に帰還し、前記主増幅器が生成する前記直流電圧を前記入力電圧に応じた電圧に制御させる帰還用抵抗と、
前記直流電流の電流値に応じた検出電圧を出力する電流検出回路と、
前記主増幅器が出力する前記直流電流の電流値を制限するクランプ回路と
を備え、
前記クランプ回路は、
前記直流電流の制限値に応じた制限電圧を出力する第1制限電圧出力部と、
前記制限電圧と前記検出電圧との大小関係に基づいて、前記入力電圧を基準電圧とするバイアス電圧を生成する第1バイアス生成部と、
前記主増幅器及び前記帰還用抵抗の接続点と、前記第1バイアス生成部との間に設けられ、前記接続点における電圧及び前記バイアス電圧の電圧差に応じて、前記直流電流を制限する制限電流を、前記帰還用抵抗を介して前記被試験デバイスに供給する第1ダイオードと
を有する測定回路。 - 前記第1制限電圧出力部は、前記直流電流の上限値に応じた上限電圧を出力し、
前記第1バイアス生成部は、
前記上限電圧に対応する電流値が、前記検出電圧に対応する電流値より大きい場合に、前記入力電圧を基準として、前記第1ダイオードに対して逆バイアスとなる前記バイアス電圧を印加し、
前記上限電圧に対応する電流値が、前記検出電圧に対応する電流値以下である場合に、前記入力電圧を基準として、前記第1ダイオードに対して順バイアスとなる前記バイアス電圧を印加し、前記帰還用抵抗を介して前記被試験デバイスに前記制限電流を供給させる
請求項1に記載の測定回路。 - 前記電流検出回路は、前記入力電圧を基準電圧として前記検出電圧を出力し、
前記第1制限電圧出力部は、前記入力電圧を基準電圧として、前記検出電圧とは極性が反転した前記上限電圧を出力し、
前記第1バイアス生成部は、
前記検出電圧と前記上限電圧とを所定の分圧比で分圧した分圧電圧を生成する分圧回路と、
前記分圧電圧を負入力端子に受け取り、前記入力電圧を正入力端子に受け取り、出力端子が前記第1ダイオードのアノード端子に接続される差動増幅器と、
前記差動増幅器の負入力端子にアノード端子が接続され、前記差動増幅器の出力端子にカソード端子が接続される第2ダイオードと
を有する
請求項2に記載の測定回路。 - 前記クランプ回路は、
前記第1ダイオードのカソード端子における電圧を受け取り、当該電圧を出力する電圧フォロワ回路と、
前記電圧フォロワ回路の出力端子と、前記差動増幅器の負入力端子との間に設けられた第1抵抗と
を更に有する請求項3に記載の測定回路。 - 前記分圧回路は、
一端に前記検出電圧を受け取り、他端が前記差動増幅器の負入力端子に接続される第2抵抗と、
一端に前記上限電圧を受け取り、他端が前記差動増幅器の負入力端子に接続される第3抵抗と
を有する
請求項4に記載の測定回路。 - 前記クランプ回路は、
前記直流電流の下限値に応じた下限電圧を出力する第2制限電圧出力部と、
前記下限電圧と前記検出電圧との大小関係に基づいて、前記入力電圧を基準電圧とするバイアス電圧を生成する第2バイアス生成部と、
前記主増幅器及び前記帰還用抵抗の接続点と、前記第2バイアス生成部との間に設けられ、前記接続点における電圧及び前記第2バイアス生成部が出力する前記バイアス電圧の電圧差に応じた制限電流を、前記被試験デバイスに供給される前記直流電流から引き込む第3ダイオードと
を更に有する
請求項2に記載の測定回路。 - 前記第2バイアス生成部は、
前記下限電圧に対応する電流値が、前記検出電圧に対応する電流値より大きい場合に、前記入力電圧を基準として、前記第3ダイオードに対して順バイアスとなる前記バイアス電圧を印加し、
前記下限電圧に対応する電流値が、前記検出電圧に対応する電流値以下である場合に、前記入力電圧を基準として、前記第3ダイオードに対して逆バイアスとなる前記バイアス電圧を印加し、前記帰還用抵抗を介して前記制限電流を引き込ませる
請求項6に記載の測定回路。 - 前記電流検出回路は、前記入力電圧を基準電圧として前記検出電圧を出力し、
前記第2制限電圧出力部は、前記入力電圧を基準電圧として、前記検出電圧とは極性が反転した前記下限電圧を出力し、
前記第2バイアス生成部は、
前記検出電圧と前記下限電圧とを所定の分圧比で分圧した分圧電圧を生成する分圧回路と、
前記分圧電圧を負入力端子に受け取り、前記入力電圧を正入力端子に受け取り、出力端子が前記第3ダイオードのカソード端子に接続される差動増幅器と、
前記差動増幅器の負入力端子にカソード端子が接続され、前記差動増幅器の出力端子にアノード端子が接続される第4ダイオードと
を有する
請求項7に記載の測定回路。 - 前記電流検出回路は、
前記主増幅器の出力端子と前記被試験デバイスとの間に設けられた電流検出用抵抗と、
前記電流検出用抵抗の両端の電圧差を増幅する電流検出用増幅器と、
前記電流検出用増幅器が出力する電圧を、前記入力電圧を基準とした前記検出電圧に変換する基準増幅器と
を有する請求項3又は8に記載の測定回路。 - 被試験デバイスに所定の直流電流を供給し、被試験デバイスに印加される直流電圧を測定する測定回路であって、
入力電圧に応じて前記直流電圧を生成し、前記被試験デバイスに印加する主増幅器と、
前記被試験デバイスに供給される前記直流電流に応じた検出電圧を出力する電流検出回路と、
前記電流検出回路が出力する前記検出電圧を前記主増幅器に帰還し、前記被試験デバイスに供給される前記直流電流を所定の電流に制御させる帰還用抵抗と、
前記被試験デバイスに印加される直流電圧に応じた検出電圧を出力する電圧検出回路と、
前記主増幅器が出力する前記直流電圧の電圧値を制限するクランプ回路と
を備え、
前記クランプ回路は、
前記直流電圧の制限値に応じた制限電圧を出力する第1制限電圧出力部と、
前記制限電圧と前記検出電圧との大小関係に基づいて、前記入力電圧を基準電圧とするバイアス電圧を生成する第1バイアス生成部と、
前記主増幅器及び前記帰還用抵抗の接続点と、前記第1バイアス生成部との間に設けられ、前記接続点における電圧及び前記バイアス電圧の電圧差に応じた制限電流を、前記帰還用抵抗を介して前記電流検出回路に供給する第1ダイオードと
を有する測定回路。 - 被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスに所定の直流電圧を印加し、被試験デバイスに供給される直流電流を測定する測定回路と、
前記測定回路が測定した前記直流電流の電流値に基づいて、前記被試験デバイスの良否を判定する判定部と
を備え、
前記測定回路は、
入力電圧に応じて前記直流電圧を生成し、前記被試験デバイスに印加する主増幅器と、
前記直流電圧を前記主増幅器に帰還し、前記主増幅器が生成する前記直流電圧を前記入力電圧に応じた電圧に制御させる帰還用抵抗と、
前記直流電流の電流値に応じた検出電圧を出力する電流検出回路と、
前記主増幅器が出力する前記直流電流の電流値を制限するクランプ回路と
を有し、
前記クランプ回路は、
前記直流電流の制限値に応じた制限電圧を出力する第1制限電圧出力部と、
前記制限電圧と前記検出電圧との大小関係に基づいて、前記入力電圧を基準電圧とするバイアス電圧を生成する第1バイアス生成部と、
前記主増幅器及び前記帰還用抵抗の接続点と、前記第1バイアス生成部との間に設けられ、前記接続点における電圧及び前記バイアス電圧の電圧差に応じて、前記直流電流を制限する制限電流を、前記帰還用抵抗を介して前記被試験デバイスに供給する第1ダイオードと
を含む試験装置。 - 被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスに所定の直流電流を供給し、被試験デバイスに印加される直流電圧を測定する測定回路と、
前記測定回路が測定した前記直流電圧の電圧値に基づいて、前記被試験デバイスの良否を判定する判定部と
を備え、
前記測定回路は、
入力電圧に応じて前記直流電圧を生成し、前記被試験デバイスに印加する主増幅器と、
前記被試験デバイスに供給される前記直流電流に応じた検出電圧を出力する電流検出回路と、
前記電流検出回路が出力する前記検出電圧を前記主増幅器に帰還し、前記被試験デバイスに供給される前記直流電流を所定の電流に制御させる帰還用抵抗と、
前記被試験デバイスに印加される直流電圧に応じた検出電圧を出力する電圧検出回路と、
前記主増幅器が出力する前記直流電圧の電圧値を制限するクランプ回路と
を有し、
前記クランプ回路は、
前記直流電圧の制限値に応じた制限電圧を出力する第1制限電圧出力部と、
前記制限電圧と前記検出電圧との大小関係に基づいて、前記入力電圧を基準電圧とするバイアス電圧を生成する第1バイアス生成部と、
前記主増幅器及び前記帰還用抵抗の接続点と、前記第1バイアス生成部との間に設けられ、前記接続点における電圧及び前記バイアス電圧の電圧差に応じた制限電流を、前記帰還用抵抗を介して前記電流検出回路に供給する第1ダイオードと
を含む試験装置。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2067745A2 (en) | 2007-11-30 | 2009-06-10 | Mitsubishi Materials Corporation | Method for seperating and recovering conversion reaction gas |
US7834651B2 (en) | 2008-01-16 | 2010-11-16 | Advantest Corporation | Power supply circuit |
CN112650349A (zh) * | 2019-10-10 | 2021-04-13 | 亚德诺半导体国际无限责任公司 | 用于强制和测量设备的模式切换的鲁棒架构 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7834607B2 (en) * | 2007-01-26 | 2010-11-16 | Advantest Corporation | Voltage generator with current limiting and semiconductor testing device |
JPWO2010058441A1 (ja) * | 2008-11-19 | 2012-04-12 | 株式会社アドバンテスト | 試験装置、試験方法、および、プログラム |
JP2010187047A (ja) * | 2009-02-10 | 2010-08-26 | Renesas Electronics Corp | テスト回路、及びテスト方法 |
CN102288899B (zh) * | 2011-07-18 | 2013-06-12 | 电子科技大学 | 一种精密恒流恒压施加测试电路 |
US8860817B2 (en) | 2011-07-25 | 2014-10-14 | Aptina Imaging Corporation | Imaging systems with verification circuitry for monitoring standby leakage current levels |
JP6386328B2 (ja) * | 2014-10-06 | 2018-09-05 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置、それを備えた抵抗計測システム及び圧力計測装置 |
WO2021173638A1 (en) | 2020-02-24 | 2021-09-02 | Analog Devices, Inc. | Output voltage glitch reduction in test systems |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60131881A (ja) * | 1983-12-19 | 1985-07-13 | 日本特殊陶業株式会社 | セラミツク基板用グレ−ズ組成物 |
JPH01163878A (ja) * | 1987-12-21 | 1989-06-28 | Dainippon Printing Co Ltd | 人物画像割付装置 |
JP2002123320A (ja) * | 2000-10-12 | 2002-04-26 | Advantest Corp | 電流制限機能付電圧発生器 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60131881U (ja) * | 1984-02-10 | 1985-09-03 | 株式会社アドバンテスト | 電流印加電圧測定装置 |
JPH0631430Y2 (ja) * | 1988-05-06 | 1994-08-22 | 株式会社アドバンテスト | 直流試験装置 |
JP3392029B2 (ja) * | 1997-12-12 | 2003-03-31 | 株式会社アドバンテスト | Icテスタの電圧印加電流測定回路 |
JP4152676B2 (ja) * | 2002-06-13 | 2008-09-17 | 株式会社アドバンテスト | 差動電圧測定装置、半導体試験装置 |
-
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60131881A (ja) * | 1983-12-19 | 1985-07-13 | 日本特殊陶業株式会社 | セラミツク基板用グレ−ズ組成物 |
JPH01163878A (ja) * | 1987-12-21 | 1989-06-28 | Dainippon Printing Co Ltd | 人物画像割付装置 |
JP2002123320A (ja) * | 2000-10-12 | 2002-04-26 | Advantest Corp | 電流制限機能付電圧発生器 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2067745A2 (en) | 2007-11-30 | 2009-06-10 | Mitsubishi Materials Corporation | Method for seperating and recovering conversion reaction gas |
US7834651B2 (en) | 2008-01-16 | 2010-11-16 | Advantest Corporation | Power supply circuit |
CN112650349A (zh) * | 2019-10-10 | 2021-04-13 | 亚德诺半导体国际无限责任公司 | 用于强制和测量设备的模式切换的鲁棒架构 |
JP2021063802A (ja) * | 2019-10-10 | 2021-04-22 | アナログ・ディヴァイシス・インターナショナル・アンリミテッド・カンパニー | 強制および測定装置のモード切り替えのための堅牢なアーキテクチャ |
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